1

2002/2003, sem. I; MASTER: Conducerea Sistemelor Electromecanice 2C+1L Conversii si Control in Sisteme Electrice Industriale (2005/2006)

DISPOZITIVE I STRUCTURI ELECTROMAGNETICE I ELECTROMECANICE AVANSATE SISTEME ELECTROMAGNETICE I ELECTROMECANICE AVANSATE Introducere
Disciplina DSEEA are ca obiectiv prezentarea cunotinelor legate de noile tehnologii folosite n realizarea unor structuri, dispozitive i sisteme electromecanice avansate. Se va pune accent pe cunoaterea sistemelor electromecanice mici i a microsistemelor, cat i a microactuatorilor si microsenzorilor obinui prin tehnologie de microsistem. Pe lng aceasta, vom face o incursiune n cadrul sistemelor mecatronice care sunt sisteme electromecanice inteligente combinnd inginerie mecanic, inginerie electronic, control automat i tehnica de calcul. Vom continua cu sistemele de levitaie magnetic (MAGLEV), cum sunt lagrele magnetice pasive i cele active sau sistemele de sustentaie ale trenurilor MAGLEV i, n final, se vor prezenta sistemele de conducere cu automate programabile sau cu PLC-uri, care stau la baza funcionrii majoritii mainilor, echipamentelor i sistemelor de fabricaie moderne. Produsele industriale de azi sunt mult mai complexe, integrnd componente electromecanice ce includ circuite de comand, ceea ce necesit o pregtire inginereasc diversificat, bazat pe o instruire n facultate multidisciplinar pentru a face fa numeroaselor faete de aplicaii interdisciplinare din industrie. n prezent n tehnic exist o puternic tendin de miniaturizare a produselor prin reducerea dimensiunilor i greutii acestora, avnd ca efect reducerea consumurilor de materiale i energie, creterea siguranei n funcionare, precum i mbuntirea caracteristicilor ergonomice. Miniaturizarea presupune folosirea unor elemente componente ct mai mici. De aceea se vorbete azi tot mai mult de microsenzori, microactuatori, micromaini, microrelee, microroboi, microsisteme electromecanice. n ultimii ani, tehnologia microsistemelor a devenit un punct de interes pentru industriile rilor avansate precum S.U.A., Germania, Frana i Japonia, care au iniiat programe importante pentru a susine i coordona dezvoltarea de microsisteme.

Microsistemele electromecanice MEMS (de la acronimul denumirii englezeti, Micro ElectroMechanical Systems), au fost studiate n laboratoare de cercetare de pe la nceputul anilor 90 (deci dup 1980). Deja, microsistemele electromecanice (MEMS) joac un rol decisiv n ceea ce privete competivitatea industrial, n domenii cum ar fi: industria automobilelor, bunurile casnice, medicina, tehnologia mediului, biotehnologia. Diverse ramuri ale industriei includ deja componente MEMS n produsele lor noi; acestea depesc produsele vechi i cuceresc un sector tot mai mare al pieei. Principalele produse realizate ca MEMS sunt senzorii, actuatorii (elemente de acionare) i unele module de control general. n ceea ce privete Mecatronica, cuvntul este o combinaie lingvistic dintre Mecanic i Electronic, sugernd deci combinarea conceptelor din cele 2 mari domenii inginereti. Termenul a fost introdus de Tetsuro Mori, un inginer al Companiei japoneze Yaskawa, n 1969. Sistemele mecatronice sunt de fapt sisteme electromecanice, care datorit includerii de microelectronic avansat, senzori, actuatori i sisteme de control moderne,le putem numi dispozitive i sisteme avansate sau inteligente. Cteva exemple de dispozitive i sisteme mecatronice sunt: roboi, frne anti-blocare, fotocopiatoare, hard-discuri de calculator, maini de splat moderne, CD-players, mecanisme bowling, bancomate, motor de c.c. fr perii, etc. Un automat programabil (AP) sau un controler cu logic programabil (Programable Logic Cotroller - PLC) este un calculator specializat pentru a fi utilizat n automatizarea proceselor industriale, precum controlul masinilor de pe liniile de asamblare din fabrici. Spre deosebire de calculatoarele obisnuite, automatele programabile sunt proiectate pentru diferite configuratii ale intrarilor si iesirilor, domenii de temperatura extinse, imunitate la perturbaiile electrice si rezisten la vibratii si impact. n ultimul capitol al cursului vom cunoate arhitectura i funcionarea unui AP, modul su de programare i exemple de echipamente conduse cu APe.

1. Microsisteme electromecanice (MEMS)

1.1. Prezentare general i aplicaii ale microsistemelor electromecanice (MEMS)
MEMS pot fi definite ca o clas de sisteme cu dimensiuni foarte mici, care integreaz pe un singur strat de siliciu senzori miniaturizai i uniti de actuatori i de procesare a semnalelor ntr-un sistem complex capabil s simt, s decid i s reacioneze. Altfel spus,

un MEMS poate fi definit ca integrarea funcional a unor elemente mecanice, electronice, optice i a altor elemente funcionale, folosind tehnici speciale MEMS. Folosind astfel de tehnologii se pot fabrica sisteme pe un cip (systems-on-a-chip), cip-uri inteligente, monolitice sau integrate, capabile s simt (cu senzori), s planifice, s ia decizii (cu uniti de procesare a semnalului) i s acioneze (cu actuatori). n comparaie cu sistemele convenionale, aceste microsisteme de nalt siguran ofer utilizatorului funciuni anterior de nebnuit. De exemplu, ntregul domeniu al roboticii ar putea fi revoluionat prin dezvoltarea actuatorilor i a senzorilor superminiaturizai. n prezent roboii inteligeni cu funciuni multiple au devenit o realitate. Microroboii vor deschide noi domenii de aplicaii, vor atinge un grad nalt de siguran (printr-un grad ridicat de integrare) i promit o reducere a costurilor pe termen lung pentru multe operaii de manipulare i de asamblare. n privina dimensiunilor unui MEMS nu exist un consens general. Unii cercettori se refer la un MEMS ca avnd dimensiuni de civa centimetri, alii consider c sunt numai acele sisteme cu dimensiuni de ordinul micrometrilor. Printr-un compromis putem defini un MEMS ca fiind un sistem n care sunt realizate ct mai multe funcii ntr-un spaiu foarte mic i care conine cel puin o component fabricat micromecanic. Ca idee despre dimensiunile tipice ale unei componente de microsistem, un micromotor electrostatic are dimensiuni doar cu puin mai mari ca diametrul unui fir de pr uman, care e cuprins ntre 50 i 100 m. Primul produs MEMS a fost realizat n jurul anului 1980, fiind o structur de siliciu cu o membran obinut prin corodare, utilizat ca microsenzor de presiune. Prin deformarea membranei sub efectul presiunii se modific rezistena electric a unui strat piezorezitiv depus pe suprafaa membranei, rezultnd astfel transformarea presiunii ntr-un semnal electric. Desen: Unul din scopurile principale ale MEMS este s creeze copii tehnice ale fiinelor din lumea noastr. De exemplu, cercettorii de la Toyota se concentrau la un moment dat asupra reproducerii funcionalitii unu nar un microsistem natural care caut celulele sanguine folosind senzori, neap pielea i extrage i pompeaz sngele. Teoretic, un astfel de dispozitiv ar putea fi folosit ca un microaparat pentru diagnosticarea sngelui. Dezvoltarea nanoprocesrii i a nanotehnologiei este urmtoarea etap de miniaturizare a MEMS: n viitor nanotehnologia va ncerca s realizeze dispozitive i sisteme chiar mai mici i s construiasc sisteme electronice i mecanice atom cu atom. ntr-o zi, nanodispozitivele vor controla roi minuscule, manipulatori, actuatori i senzori. De exemplu, fantezia omeneasc merge att de departe nct imagineaz nanoroboi invizibili care acioneaz n tapieria unui fotoliu controlat pneumatic pentru ca acesta s ia forma

proprietarului su, sau, ntr-o alt aplicaie, asemenea nanoroboi sunt trimii prin jetul unui spray n gur s ndeprteze tartrul dentar. n prezent asemenea idei sunt departe de a fi realizate, dar aceste viziuni ar putea deveni ntr-o zi realitate. n ceea ce privete piaa comercial a MEMS n lume i prognoza sa viitoare, se poate spune c MEMS posed deja un mare potenial de pia n special n privina microsenzorilor i microactuatorilor, n S.U.A, Japonia i Europa. Se estimeaz c volumul mondial de vnzri n anul 2001 a fost de 3,8 miliarde de dolari, n 2002 - 3,9, urcnd la 5,6 miliarde n 2005. Se apreciaz o pia MEMS de 7 miliarde dolari n 2007 i de aproape 10 miliarde n 2010, rezultnd o cretere medie de 17%.....Figura 1 MEMS-Industry Principalele familii de produse MEMS sunt urmtoarele: senzori de acceleraie i de presiune, capete de imprimare, microfoane cu siliciu, giroscoape, componente optice MEMS (cititoare cod de bare, componente pentru fibre optice), RF MEMS (de radiofrecven componente pentru telecomunicaii, precum comutatoare de nalta frecven), microfluidica (sisteme de activarea a fluidelor prin microcanele). Principalele arii de aplicaii sunt: domeniul aer-spaial, industria de automobile, medicina i telecomunicaiile. n sectorul automobilelor, valoarea componentelor MEMS reprezint ntre 2% i 4% din ntreaga valoare a mainii. Anual se produc sute de milioane de buci senzori de acceleraie (190 de milioane n 2005) pentru airbag-uri i de ali senzori pentru controlul autovehiculelor (de presiune, 300 mil. n 2005, de temperatur). Alte exemple de produse ce nglobeaz tehnologie MEMS, comercializate curent sunt: stimulatoare cardiace (1 milion n 2005), proteze auditive (900 mii n 2005), microactuatori pentru capete magnetice de citire/redare (peste 2,5 miliarde n 2005) n hard-discuri, capete de imprimanta cu jet de cerneal (850 milioane n 2005), reflectoare i comutatoare optice, mouse-uri optice, jocuri i jucrii. MEMS ctig tot mai mult teren n controlul mediului ambiant, mai ales n instalaii de tratare a apei. Rata de cretere n acest domeniu este prognozat la 20% anual. Sute de mii de senzori de presiune cu siliciu sunt produi n fiecare an pentru monitorizarea i controlul produciei industriale. Senzori i actuatori pe baza MEMS vor fi folosii pentru controlul sistemelor hidraulice, compresoarelor, agregatelor de rcire, instalaiilor de aer condiionat etc. Produsele de larg consum constituie cea mai important pia pentru microsenzori, care se extinde foarte repede. Componentele MEMS vor fi folosite ca manometre pentru echipamente de scufundare, manometre digitale pentru anvelope, barometre i aparate de msurat adncimea, sisteme computerizate pe biciclet care s msoare nclinaia. n viitor, astfel de componente vor fi instalate n aspiratoarele de

praf, mainile de splat, usctoarele de rufe, prjitoarele de pine i chiar n pantofii de sport, senzori pentru controlul umiditii. Europa va domina piaa pentru dispozitive de control i analiza proceselor, pentru instrumente medicale i de control al produciei n timp ce S.U.A. i Japonia vor domina celelalte sectoare, cum ar fi aplicaiile n aer i spaiu i n tehnologiile pentru produse de consum i casnice. 1.2. Structura unui MEMS Sistemele microelectromecanice (MEMS) sunt aadar maini miniaturizate care includ senzori, elemente de acionare (actuatori) i electronic de procesare a informaie i de comand a ssitemului. Un MEMS complet trebuie s detecteze, proceseze i evalueze semnale externe, trebuie s ia decizii pe baza informaiei obinute i n final s emit comenzi de acionare corespunztoare. MEMS poate executa n acest caz manipulri condiionate de anumite sarcini. Structura cu principalele componente ale unui MEMS sunt prezentate n figura 1.

Fig. 1. Componentele unui MEMS

Trstura

principal

a microcomponentelor n comparaie cu componentele

convenionale este c senzorii i actuatorii sunt compatibili ca mrime i pre de cost cu componentele microelectronice. Limitele execuiei de precizie tehnologic la MEMS le depete pe cele ale tehnologiei tradiionale. Subansamble executate cu microunelte

constnd din materiale dure (de exemplu, diamant) devin cu att mai costisitoare cu crete gradul de miniaturizare. Senzorii individuali, care formeaz un modul senzor, nu mai sunt compensai fiecare n parte, ci pot fi produi n mas pe un strat mic cu costuri de producie relativ sczute. Mai muli microsenzori pot fi integrai mpreun pentru a forma o matrice de senzori. Acest lucru mrete considerabil fiabilitatea sistemului i o defectare a unuia dintre senzori nu mai este o problem critic. De asemenea, domeniul de msurare poate fi proiectat n mod optim. Dependent de aplicaie, aceti senzori pot folosi principii mecanice, termice, magnetice, chimice sau biologice. Actuatorii sunt componentele active ale MEMS, care permit acestuia s reacioneze la un stimul. Ei sunt mici motoare, pompe, valve, cleti, ntreruptoare, relee i actuatori speciali de microsistem care n mod obinuit sunt produi micromecanic. Sarcini diverse ale roboticii, de exemplu deplasarea sau manipularea unui obiect foarte mic, pot fi realizate de microactuatori. n comparaie cu miniaturizarea actuatorilor, miniaturizarea senzorilor este destul de avansat. Marea majoritate a microproduselor aflate azi la ndemn sunt senzori. n 2000 aproape 50% din produsele MEMS erau microsenzori. Dezvoltarea componentelor MSEM de procesare a semnalului este, de asemenea, foarte pretenioas, deoarece sarcinile cerute sunt complexe, iar sistemele sunt limitate ca mrime i putere. Algoritmii de control trebuie ajustai la necesitile MEMS, ceea ce nseamn c ei ar trebui s utilizeze ntreaga putere de calcul a microprocesorului. Multe dintre problemele nerezolvate ale MEMS sunt legate de interfee. MEMS trebuie s menin contactul cu mediul nconjurtor pentru a fi capabile s schimbe energie, informaie i substan cu alte sisteme (Fig. 2).

Fig. 2. Interfee ntre un MEMS i mediul su nconjurtor

Posibilitatea de realizare i de vnzare a microsistemelor viitorului depinde n mare msur de dezvoltarea interfeelor practice micro-macro. Pn acum, cele mai dezvoltate sunt interfeele electrice pentru transmiterea informaiei i a energiei. Sunt studiate diverse posibiliti de realizare a interfeelor de natur optic, termic i acustic. Pn la ora actual substanele pot fi transportate folosind metode microfluidice. Convertorii A/D i D/A fac parte adesea dintr-o interfa electric. Ei permit conversia semnalelor senzoriale analoge pentru procesarea digital i controlul actuatorilor analogi folosind comenzi de control digital care sunt generate de un microcontroler. ntr-un MEMS descentralizat, convertorii A/D i D/A pot fi integrai direct pe chip-ul microsenzor sau microactuator. Componentele electronice de putere sunt eseniale pentru aproape orice microsistem; ele provoac adesea probleme de natur termic i electromagnetic. De aceste probleme trebuie s se in cont nc din faza de proiectare a sistemului.

1.2. Tehnologii pentru MEMS

Produsele MEMS se pot obine prin folosirea a 2 categorii de tehnologii: microelectronica i microprelucrarea mecanic. Microelectronica, care produce circuite electronice pe chip-uri de siliciu, este foarte bine dezvoltat. Circuitele integrate microelectronic pot fi considerate drept creiere ale sistemelor, Avnd aceste circuite, MEMS i cresc capacitatea de luare a deciziilor adugnd ochi i brae, respectiv senzori i actuatori, pentru a permite detectarea i controlul mediului. Senzorii dau informaii despre mediu prin msurarea fenomenelor mecanice, termice, biologice, chimice, optice i magnetice. Circuitele electronice proceseaz informaia furnizat de senzori i prin luarea unor decizii permit actuatorilor s rspund prin micare, poziionare, reglare, pompare, controlnd astfel mediul n obinerea rezultatelor dorite. Microprelucrarea mecanic se refer la tehnicile folosite pentru a produce elemente structurate tridimensional i mobile ale dispozitivelor micromecanice. Unul din scopurile principale ale microingineriei MEMS este de integra circuitele microelectronice n structuri microfabricate pentru a produce sisteme integrate complet sau microsisteme, aa numitele systems-on-a-chip. Astfel de sisteme au aceleai avantaje de cost sczut, fiabilitate i mici dimensiuni ca i chip-urile de circuite integrate produse de industria microelectronic. Schema de fabricaie a unui produs MEMS prin tehnologie microelectronic este artat n fig. 1.

Fig. 1. Fabricaie MEMS cu tehnologie microelectronic.

n cadrul acestei tehnologii se folosesc procesele de prelucrare specifice confecionrii circuitelor integrate: procese bipolare, CMOS etc. Astfel de procese includ operaii de: oxidare, difuziune, fotolitografie, pulverizare etc.

Componentele micromecanice sunt realizate folosind procese de microfabricaie care ndeprteaz pri din stratul de siliciu sau adaug noi straturi structurale pentru a forma dispozitive mecanice i electromecanice. n cadrul proceselor sau tehnologiei de microfabricaie, principalele tehnici utilizate sunt: microprelucrarea de volum, microprelucrarea de suprafa i tehnica LIGA. La microprelucrarea de volum, structurarea volumului de substrat se face prin: Corodare umed, de subiere a microplcuei; Corodare ionic reactiv n adncimea microplcuei.
Microprelucrarea de suprafa presupune construirea de structuri din metal sau polisiliciu prin intermediul straturilor de sacrificiu.

LIGA, denumire ce provine din acronimul german al proceselor ce intervin, este o tehnic complex care include litografie cu raze X, galvanoplastie i modelare plastic (reproducere) prin injecie (formare prin injecie) sau profilare la cald. Schema de desfurare a proceselor din tehnica LIGA este ilustrat n figura 2.

Fig. 2. Tehnica LIGA

Cel mai important pas n procesul LIGA este litografia cu raze X (Fig. 2a i 2b). Datorit capacitii mari de penetrare, litografia cu raze X este foarte potrivit pentru fabricarea structurilor tridimensionale cu nlimi de pn la 1mm. Se folosete o surs de radiaie sincrotron, de energie nalt. Imaginea unei mti este proiectat pe un substrat ce are depus la suprafa un strat de rezist sensibil la radiaie. Structura mtii este transferat n rezist, zonele iradiate suferind modificri chimice. Aceste zone sunt apoi dizolvate, lsnd n urm o microstructur tridimensional care reprezint imaginea spaial a mtii plane. Structura plastic obinut astfel este un produs intermediar. Scopul este crearea unei microstructuri metalice. Urmtorul pas important n procesul LIGA este depunerea galvanic a metalului n golurile structurii plastice (Fig. 2c). Pentru aceasta, materialul substratului sau placa de baz trebuie s fie conductor electric pentru a porni procesul galvanic. Dup ndeprtarea plasticului i a substratului, rmne o structur metalic replic la structura primar, care poate reprezenta deja produsul dorit. Scopul principal este ns producerea unei matrie metalice pentru producia de mas a pieselor din plastic de mare precizie, folosind tehnici de micromodelare. Pentru aceasta, metalul se depune i peste rezist pentru a genera matria cu placa ei de baz (Fig. 2d).

10

Ultima etap a tehnicii LIGA este modelarea plastic n vederea obinerii unei producii de mas. Folosind diverse tehnici de micromodelare, cum ar fi tehnicile de turnare i de imprimat, poate fi produs orice cantitate de piese din plastic, copii ale formei primare. n concluzie, deoarece dispozitivele MEMS sunt realizate utiliznd tehnici de fabricaie n loturi sau serie, similare cu circuitele integrate, pot fi atinse nivele nemaintlnit de ridicate de funcionalitate, fiabilitate i complexitate pe o pastil de siliciu, la un cost relativ sczut. 4. MICROACTUATORI 4.1. Generaliti despre microactuatori MSEM i, n particular, microroboii solicit dezvoltarea a noi actuatori avansai, cu dimensiuni foarte mici, uor de construit mecanic i cu fiabilitate foarte ridicat. n literatur, termenul microactuatori este folosit pentru dispozitive cu mrimea mergnd de la civa microni pn la civa centimetri, dovedind dificultile de clasificare ale acestui nou domeniu tiinific. Un microsistem poate fi nzestrat n vederea ndeplinirii anumitor sarcini, cu microdispozitive avnd elemente cum ar fi: pompe, valve, cleti robot, elemente de poziionare liniare i unghiulare, actuatori simpli de tip consol i sisteme complexe de muchi artificiali. Micropompele i microvalvele pentru tratarea la nivel microscopic a lichidelor i gazelor pot fi folosite n medicin, unde sunt necesare sisteme implantabile, de mare acuratee, pentru dozarea medicaiei, sau pentru analiza chimic i biotehnologic, unde volume exacte de lichid trebuie s fie transportate i analizate. Ele pot fi, de asemenea, folosite pentru echipamente tehnice cum ar fi imprimantele cu jet de cerneal. Microactuatorii folosind principiul consolei pot fi utilizai n diverse aplicaii pentru a genera micri exacte. n optic, astfel de microactuatori pot servi ca oglinzi cu reglare electronic, n dinamica fluidelor ca valve, iar n microrobotic drept cleti. Micromotoarele au i ele o perspectiv foarte bun, dei deocamdat dezvoltarea lor nu este foarte avansat. n micromotoarele actuale, un rotor este micat prin fore electrostatice, electromagnetice sau piezoelectrice, care sunt aplicate n afara sau n interiorul unui stator. Dezvoltarea micromotoarelor trece prin cicluri repetate de proiectare, fabricare, testare i modificare. Principalele teme de cercetare sunt dimensiunile optime, principiile elementare de proiectare i materialele folosite. n cazul celor mai multe aplicaii, parametrii de performan, cum ar fi momentul de torsiune i viteza de rotaie, nu ating nc valorile dorite. Muli cercettori analizeaz cu atenie principiile i proprietile actuatorului natural structura muchiului, caracterizat prin flexibilitate, diversitate i for ridicat. Un muchi

11

artificial este, de obicei, fcut dintr-o serie de actuatori pui mpreun pentru a forma, prin analogie cu muchiul natural, un mnunchi cu integrare mare i mai puternic. De obicei, actuatorii sunt componente de sistem complexe sau subsisteme independente. n ceea ce privete integrarea sistemului, un actuator conecteaz partea de procesare a informaiei din unitatea de control a sistemului cu procesul care trebuie influenat i este, de aceea, indispensabil pentru un microsistem complet. O reprezentare schematic a unor actuatori integrai este prezentat n figura 1. Aici, semnalul de control generat cu ajutorul informaiei senzoriale este transformat n micare prin intermediul actuatorilor. Fluxul de informaie
Transformarea semnalului, procesarea informaiei i controlul sistemului

Microsenzori

Componente electronice de putere

Microactuator

Componente electronice de putere

Microactuator

P R O C E S

Fluxul de energie Fig. 1. Integrarea microactuarorilor ntr-un microsistem n prezent, numrul actuatorilor n funcionali este mult mai mic dect al senzorilor. Principalele probleme cu care se confrunt dezvoltarea actuatorilor privesc conceptele de proiectare, principiile de control, precizia, rezistena la influenele mediului etc. O alt dificultate practic provine de la frecare, care adesea are consecine dezastruoase pentru sistemul microactuator. Pentru multe sisteme actuator, fabricarea dispozitivului i a componentelor de procesare a semnalului se bazeaz pe aceeai tehnologie a siliciului, rezultnd o construcie monolitic de sistem care salveaz timp i spaiu. Apoi, pentru aplicaii specifice ar putea s se combine diferite tipuri de componente de sistem ntr-un

12

microsistem complex. Exist multe alte materiale i efecte care pot conduce la conceperea unui sistem microactuator, dar care nu poate fi realizat cu tehnologia actual pe siliciu. Metoda LIGA de exemplu, ofer un mod de a structura un sistem dintr-o varietate de materiale. Metodele de fabricaie pentru MSEM trebuie s fie accesibile n privina costurilor, mai ales cnd este vorba de producia de mas. n contrast cu aceasta, microactuatorii fabricai prin prelucrarea de precizie convenional sunt scumpi. 5.2. Clasificarea microactuatorilor Prin folosirea tehnicilor potrivite de transformare a energiei, microactuatorii trebuie s fie capabili s genereze fore i momente sau schimbri de poziia. Funcia unui microactuator se poate baza pe principiile convenionale de producere a forelor, precum i pe principii noi special gsite pentru MSEM i potrivite pentru microvolume. Cercettorii au gsit multe principii noi de producere a forelor. n figura 1 este dat o clasificare a microactuatorilor pe baza acestor principii.

Fig. 1 Clasificarea microactuatorilor

13

Pe lng microactuatorii electrostatici, piezoelectrici sau electromagnetici care sunt n mod curent investigai i folosii, ali microactuatori cu materiale magneto- i electrostrictive i aliajele cu memoria formei devin de mare interes. Microactuatorii magnetoreologici i electroreologici, hidraulici, pneumatici i termomecanici sunt, de asemenea, cercetai pentru a li se gsi utilizri convenabile. Muli microactuatori se bazeaz pe principii de funcionare complet diferite fa de actuatorii convenionali, iar n comparaie cu acetia folosesc, n general, acionri directe fr elemente de transmisie mecanic. Efectul piezoelectric, de exemplu, se bazeaz pe interaciunile atomice n materiale ceramice crora li se aplic o tensiune electric. Cmpul electric provoac ntinderea corpurilor ceramice, care poate fi exact controlat i permite astfel o micare n domeniul nanometric. Expunerea actuatorilor din aliaje magnetostrictive ntr-un cmp magnetic determin extinderea sau contracia aliajului. Micrile produse sunt ntr-un domeniu similar cu cele ale actuatorilor piezoelectrici. De un interes deosebit sunt aliajele cu memorie a formei. Dup ce au fost deformate plastic, ele revin la forma iniial atunci cnd sunt nclzite (memorie termic a formei). n actuatorii electroreologici lichidele electroreologice i schimb vscozitatea sub influena unui cmp electric i trec din starea lichid n cea plastic. Aceast proprietate poate fi folosit pentru multe aplicaii cum ar fi cuplaje, valve sau amortizoare de vibraii. O comportare sinonim cu electroreologicele au lichidele magnetoreologice care i cresc vscozitatea cu cmpul magnetic aplicat. Materialele menionate mai sus sunt adesea caracterizate ca inteligente, deoarece ele prezint, n acelai timp, att proprieti de senzori ct i de actuatori. Aceste principii ale actuatorilor au marele avantaj c un curent dat la intrare are drept rezultat o deplasare predictibil, astfel nct sistemul actuator poate opera fr senzori de for sau de poziie. 5.3. Microactuatori electrostatici 1. Principiul de micare i proprietile microactuatorilor electrostatici O for electrostatic este creat prin aplicarea unei tensiuni pe plcile unui condensator care sunt separate de un izolator, de exemplu aer. n felul acesta, cele dou plci se ncarc cu sarcini opuse, rezultnd o for de atracie ntre cei 2 electrozi (fig. 1). Aceast for este calculat cu relaia:
F= SU 2 2d 2

unde:

F fora electrostatic [N] - constanta dielectric [ C 2 N 1m 2 ] S aria suprafeei electrodului [ m 2 ]

14

d distana dintre electrozi [m]. Prin variaia tensiunii (de obicei ntre 40 V i 200 V) aplicate electrozilor special proiectai, poate fi obinut o deplasare. Deplasarea este de ordinul a civa microni. Cu ct este mai mic distana dintre electrozi cu att crete densitatea energiei cmpului electric i Fig. 1 Generarea unei fore electrostatice n consecin, o for mai mare a actuatorului. Tehnicile actuale permit realizarea de spaii foarte mici ntre electrozi, iar tehnologia siliciului permite proiectarea monolitic a electrozilor pe un cip. Actuatorii electrostatici sunt uor de miniaturizat, deoarece fora electrostatic dintre plcile unui condensator depinde de tensiunea aplicat, de spaiul dintre plci i de aria plcilor i nu de grosimea plcilor sau de volumul lor. De aceea, fora electrostatic mai este cunoscut i ca for de suprafa; aceasta este n contrast cu fora magnetic care depinde att de grosimea ct i de aria elementului i care este cunoscut ca for de volum. Pentru electrozi se folosesc materiale uoare, cum ar fi aluminiul. Spre comparaie, actuatorii magnetici sunt fcui din aliaje de fier sau cobalt, actuatorii cu memoria formei folosesc, de obicei, aliaje de nichel-titan, iar piezoactuatorii bare solide de titanat de bariu. Ca toate tipurile de actuatori, microactuatorii electrostatici au i ei dezavantaje. Tensiunea aplicat trebuie s fie nalt, de exemplu, pentru o distan de 1 m tensiunea aplicat pentru un actuator de presiune de 1 Kg/
cm 2

este de aproximativ 150

V. Un alt dezavantaj este c n anumite situaii actuatorul poate suferi o strpungere electrostatic provocat de defecte de suprafa; de aceea aceste dispozitive necesit suprafee foarte fine n comparaie cu ali actuatori. n plus, cmpurile electrice atrag particule de praf, ceea ce poate fi duntor funcionrii circuitelor electrice. Folosind principiul electrostatic se pot realiza att acionri liniare ct i de rotaie (fig. 2). Proiectarea se bazeaz pe faptul c electrozii n micare tind s ating o stare de capacitate maxim ntr-o anumit poziie. n aranjamentul n form de pieptene din figura 2a, un element mobil de forma unui pieptene este inserat ntr-un element fix, de

15

aceeai form, realiznd o micare liniar vertical, de mic amplitudine. Pieptenele mobil are de obicei un mecanism de revenire cu arc, arcul furniznd fora de revenire. Amplitudinea posibil a micrii depinde de fora de retragere a arcului, adncimea dinilor pieptenului i tensiunea aplicat. Aranjamentul din figura 2b arat cum poate fi obinut o micare orizontal fa de structura pieptenului. Acest aranjament este cel mai potrivit pentru microacionri de rotaie.

Fig. 2. Dou tipuri de micri care pot fi obinute prin fore electrostatice Principiul funcional al unui micromotor electrostatic este ilustrat n figura 2b. Dac 2 electrozi n form de pieptene ncrcai cu sarcini opuse se afl fa n fa, ei sunt atrai nu numai pe direcia normal ci i pe o direcie paralel cu suprafeele lor datorit unei fore tangeniale, pn cnd plcile sunt aliniate exact. Pentru a genera un moment sau o rotaie, rotorul i statorul trebuie s fie echipai cu electrozi parial deplasai; aceasta determin o for tangenial n orice poziie a rotorului. Deoarece fora generat este proporional cu numrul de electrozi, adesea sunt folosii muli electrozi n paralel, ntr-un spaiu mic. Variatele micromotoare electrostatice dezvoltate n ultimii ani au un moment motor foarte mic iar durata de via a fost scurt din cauza frecrii cauzate de contactele mecanice ntre elementele staionare i cele mobile. n prezent se investigheaz noi concepte de micromotoare la care rotorul este fcut s pluteasc pentru evitarea frecrilor. Un alt mod de a proiecta actuatori electrostatici este de a folosi o structur cu membran. Aici, electrozii plani se afl fa n fa; ei se apropie unul de altul cnd este aplicat o tensiune. Fora, care acioneaz numai vertical pe suprafaa electrozilor, crete ptratic cu descreterea distanei dintre ei. Acest principiu de micare este folosit pentru a fabrica valve, pompe i muchi artificiali. 2. Microobturator electrostatic

16

n metrologie i n microoptic aa numitele microobturatoare au devenit de mare interes. Principiul unui astfel de obturator se bazeaz pe deplasarea electrostatic a unui electrod mobil microobturator, fabricat din aluminiu, aur sau polisiliciu dopat. n timpul unei operri, obturatorul se mic spre electrodul fix de siliciu, care este substratul, acesta fiin produs prin corodare umed anizotrop din siliciu (110) (fig. 1). Atunci cnd este aplicat o tensiune, electrozii mobili, microobturatoarele, sunt n poziia orizontal de repaus i obturatorul este complet nchis. Dac se aplic o tensiune ntre

Fig. 1. Microobturator electrostatic microobturatori i substrat, obturatorii se deschid. Fiecare obturator are ataat o bar ngust de torsiune fa de care se poate roti. Bara de torsiune este izolat de substratul de siliciu printr-un strat de oxid. Cnd obturatorul este complet deschis (90 ), trece o cantitate de lumin maxim. Cnd tensiunea este anulat, obturatoarele revin la poziia iniial datorit aciunii forei elastice din barele de torsiune. Dimensiunile fiecruia dintre electrozii mobili sunt 0,8 mm x 0,5 mm. Cu o bar de torsiune de 450 m lungime, 10 m lime i 1 m grosime, o tensiune de 20,2 V poate deplasa obturatorul n poziia sa maxim de 90 . Microobturatorul are o mas mic, o tensiune de comand sczut, o frecven de tiere nalt i un timp de operare lung. Toate componentele principale ale structurii sunt monolitic integrate pe un cip, ceea ce elimin toate procesele ndelungate de ajustare i montare. 3. Actuator electrostatic cu 2 camere Actuatorul cu 2 camere folosete oprin tehnica microprelucrrii de membran pentru a genera o micare pe direciasuprafa. normal la suprafaa membranei. El a fost fabricat

17

Camerele sunt conectate una cu cealalt prin mai multe canale. Dac se aplic o tensiune ntre substrat i membrana camerei exterioare, membrana se arcuiete ctre substrat i preseaz aerul afar din camer. Aerul este mpins prin canalele de legtur n camera interioar curbeaz i atunci spre membrana Avnd acesteia o se exterior. camer

exterioar mare i o camer interioar mic, o mic micare

electrostatic aplicat membranei exterioare poate fi transformat ntr-o micare mai mare a membranei interioare. Prototipuri ale acestui actuator au fost fcut din polisiliciu. Camera interioar are o raz de 100-250 m, iar camera exterioar o raz de 200-750 m. Ele au funcionat la o tensiune de 50 V atingnd deplasri de la 1 m la 4 m. 4. Micropomp electrostatic Principiul membranei electrostatice este foarte potrivit pentru proiectarea micropompelor. Schia unei pompe cu micromembran electrostatic este prezentat n figur.

Dispozitivul const din 4 cip-uri de siliciu i a fost produs prin tehnica microprelucrrii n volum. Cele 2 cip-uri din partea de sus a dispozitivului formeaz partea de acionare constnd din membran i electrod; cel din urm este parte din exterior. Cip-urile identice din partea de jos formeaz valvele interioar i exterioar. Dac este aplicat o tensiune ntre membran i electrod, membrana se curbeaz ctre electrod genernd astfel o scdere a presiunii n camer. Aceasta determin

18

deschiderea valvei interioare i aspirarea lichidului n camera pompei. La anularea tensiunii, lichidul este mpins prin valva exterioar. Deoarece unitatea de comand i camera pompei sunt separate, lichidul nu este afectat de cmpul electric. Acest lucru este important cnd lichidele conin ioni, aa cum este cazul soluiilor de sruri sau a medicamentelor. Pompa construit are o dimensiune exterioar de 7 mm x7 mm x 2 mm, iar valvele o seciune transversal de 0,16 mm 2 . Membrana are suprafaa de 16 mm 2 i o grosime de 50 m. Distana dintre membran i electrod este de 6,3 m. La o tensiune de 170 V i o frecven de 25 Hz, dispozitivul este capabil s pompeze 70 l/min; el poate s funcioneze la frecvene de pn la100 Hz. Deoarece volumul micat ntr-un ciclu este de aproximativ 10 - 50 nl, cantitatea de lichid care curge poate fi msurat cu precizie. Aceasta este de mare importan pentru aplicaiile medicale, de exemplu pentru sisteme de dozare implantate.

5. Motor electrostatic cu pas linear Prin procesul LIGA a fost fabricat un motor bidirecional cu pas linear, acionat electrostatic, care folosete principiul unei capaciti variabile. Forele produse de un astfel de actuator sunt proporionale cu nlimea microstructurii. Procesul LIGA este foarte potrivit pentru a produce actuatori cu o nlime de pn la 500 m. Schema actuatorului este prezentat n figur.

Dispozitivul const din electrozi fici i mobili. Cnd se aplic o tensiune pe electrozi, partea mobil este deplasat fa de partea fix. Pentru a crete performana, o mulime de condensatoare dinate, avnd cteva mii de dini, sunt aranjate n paralel unele fa altele. Dispozitivul are 3 grupe stator montate pe un substrat i electrozi mobili (actuatori) care sunt legai la structur resort lamelar. Dinii actuatorului i

19

statorului sunt decalai astfel nct la aplicarea unei tensiuni este creat o for tangenial n cel puin 2 din cele 3 rnduri de electrozi. O comutare a tensiunii dintre grupurile de electrozi determin o deplasare la stnga sau la dreapta pn cnd este atins poziia final. Deplasarea este limitat de structura resort. Mrimea deplasrii obinute este determinat de structura pieptenului i a resortului, ca i de tensiunea de acionare. Unul dintre prototipurile realizate are o nlime de 150 m i o distan ntre electrozi de 3 m fiind testat la o tensiune de 200 V; acesta a realizat o deplasare de aproximativ 100 m i o for maxim de 50 mN. 6. Motoare electrostatice de rotaie Motoarele electrostatice de rotaie se bazeaz pe aranjamentul a 2 structuri de electrozi fa n fa i apariia forelor tangeniale de deplasare a structurii mobile n raport cu cea fix. O problem major a acestor motoare o constituie forele de frecare importante existente ntre rotor i axul de sprijin ceea ce reduce mult din cuplul motor util. Unul dintre aceste motoare este ilustrat n figura 1. El are un rotor cu 56 de dini i o raz exterioar a rotorului de 267 m; nlimea motorului este de 100 m. Distana dintre rotor i ax (jocul lagrului) este de 4,8 m. Motorul este acionat de o tensiune decalat n 3 faze cuprins ntre 60 i 100 V. Viteza de rotaie poate fi variat de la funcionarea pas cu pas la 3400 rpm. Datorit frecrii, momentul

20

Fig. 1. Prototip de micromotor electrostatic de sprijinirea rotaie.

Fig. 2. Micromotor electrostatic cu rotorului pe ace.

motorului este de numai 10 pNm. Aceast valoare este prea mic pentru majoritatea aplicaiilor practice. Din aceast cauz s-a fcut ncercarea de a scdea masa rotorului pentru a reduce frecarea. Un micromotor electrostatic folosind o structur cu de sprijin mecanic ntre substrat i rotor, a fost fabricat din nichel prin procesul LIGA (fig. 2). Motorul const dintr-un ax fix, un rotor care se rotete liber i opt electrozi stator. Tensiunea de operare este succesiv comutat de la un pol la urmtorul astfel nct rotorul urmrete ntotdeauna polul activ. Jocul ntre ax i rotor este de 2 m, ceea ce provoac o micare cu bti. Rotorul const din 3 inele interconectate. Inelul exterior servete drept plac

21

condensatoare i se afl la 3 m de stator. Sub inelul din mijloc se afl mai multe ace de sprijin, care susin rotorul n timpul micrii excentrice. Procesul de fabricare include mai muli pai, n ultimul rezultnd eliberarea rotorului folosind corodarea cu plasm a substratului de siliciu (fig. 3). Diametrul rotorului este de 140 m i cel al axului de 80 m. Motorul a atins o vitez maxim de 10 000 rpm la 60 V. Fig. 3. Ultima faz a fabricrii micromotorului 5.4. Microactuatori piezoelectrici 1. Principiul de micare al microactuatorilor piezoelectrici i proprietile lor Actuatorii bazai pe materiale piezoelectrice, ct i cei pe baz de aliaje magnetostrictive, sunt caracterizai prin micrile lor precise n domeniul nanometric i viteze de reacie foarte mari, de cteva microsecunde. Principiul de lucru al materialelor ceramice piezoelectrice face posibil transformarea semnalelor electrice din domeniul cuprins ntre 10 mV pn la 1000 V, n micare. Pentru MSEM aceast tehnologie este de interes deoarece permite realizarea actuatorilor foarte mici care genereaz micare i exercit fore foarte mari. Atunci cnd se exercit o presiune asupra unui material piezoelectric, ntre feele cristalului este generat o tensiune. Acesta este efectul piezoelectric direct. Efectul piezoelectric invers const n aplicarea unei tensiuni electrice care provoac o deformare a materialului pe o anumit direcie. Din cauza reciprocitii efectului piezoelectric, materialele piezoelectrice pot fi folosite pentru a construi actuatori inteligeni. Deoarece cauza (tensiunea aplicat) i efectul (modificarea n lungime) sunt strict proporionale, nu sunt necesari senzori suplimentari. Piezoactuatorii sunt cunoscui pentru viteza lor mare de reacie i reproductibilitatea distanei parcurse. Ei sunt foarte eficieni: aproximativ 50% din energia electric aplicat poate fi direct transformat n energie mecanic. Din aceast cauz, piezoactuatorii pot exercita fore foarte mari, ceea ce este de mare importan pentru MSEM. Alte avantaje ale piezomaterialelor sunt: durabilitatea lor mecanic, ele nu reacioneaz cu alte componente electrice care se afl n apropiere i nu sunt sensibile la praf. O problem de baz n privina materialelor piezoelectrice ct i la ali actuatori monolitici, este c micarea obinut este relativ mic; ea este de ordinul a civa nm/V.

22

Un singur piezoelement se poate dilata cu aproximativ 0,1-0,2% pe o direcie. Astfel, el poate fi folosit n aplicaii unde sunt necesare deplasri foarte mici, dar foarte precise, avnd fore mari i timpi de reacie redui. Forma i dimensiunea componentei ceramice poate fi uor adaptat la scopul propus. Cel mai adesea sunt folosite construcii de tip stive multistrat sau consol. Cnd mai multe elemente piezoelectrice sunt aezate n stiv, deplasrile lor se adun. Piezodiscurile subiri acoperite cu electrozi metalici plani sunt principalele elemente motoare ale acestor actuatori. Actuatorii n stiv au o grosime de aproximativ 10-200 m, sunt pui n funciune de o tensiune cu prins ntre 50 i 300 V i pot fi produi n mas. Cercetarea curent este preocupat de reducerea tensiunii de funcionare ntr-un domeniu de 5 pn la 15 V. Totui, timpul de via al acestor actuatori poate fi limitat de tensiuni mecanice interne provocate de neomogeniti provenite de la electrozi (fig. 1).

Fig. 1. Structur piezoceramic multistrat. bimorf

Fig. 2. Structur piezoceramic

Un alt principiu de funcionare este acel n consol. Structurile piezoelectrice care folosesc acest principiu pot fi de form tubular sau plat. Cel mai adesea, piezoactuatorul n consol plan este un element bimorf constnd din 2 plci ceramice piezoelectrice (fig. 2). Straturile ceramice sunt montate pe ambele pri ale unei plci de susinere. Fiecare plac este acoperit pe ambele fee de un strat conductor. Principiul de lucru al acestui actuator se bazeaz pe dilatarea i contracia coordonat a piezostraturilor. Materialul ceramic se dilat pe o direcie perpendicular pe axa sa de polarizare. Cmpul electric aplicat este paralel sau opus direciei de polarizare a piezostraturilor. Dac direcia de polarizare este aceeai cu direcia cmpului, atunci piezoceramica se dilat stratul ceramic de sus, n figur, dac direciile sunt opuse, piezoceramica se contract stratul de jos. Acest lucru provoac ncovoierea actuatorului. Energia

23

mecanic nu este mare comparabil cu ceea ce poate realiza elementul n stiv, dar structura bimorf poate obine o deplasare mai mare. Totui, fora maxim i frecvena de lucru sunt de cteva ori mai mici dect cele ale unui actuator n stiv. La selectarea optim a unui actuator pentru a aplicaie, trebuie luai n considerare o serie de parametri. Tabelul 1 este o prezentare general a celor mai imporatnte principii de proiectare ale actuatorilor piezoelectrici i a unora dintre parametrii tipici ce descriu comportarea lor funcional. Tabel 1 Tipuri de piezoactuatori i valorile parametrilor caracteristici.

Tabelul arat c piezoactuatorii funcioneaz la tensiuni de pn la 1 kV. Tehnicile noi de producie permit realizarea de straturi ceramice foarte subiri (20-40 m), care sunt acoperite cu un material de electrod foarte subire, ceea ce face posibil reducerea tensiunii necesare la 100 V. Printre materialele potrivite pentru sistemele integrate de microactuatori piezoelectrici menionm, titanatul-zirconatul de plumb (plumb-zirconium-titanium PZT), care este cel mai bun, dar este greu de lucrat cu el i oxidul de zinc (ZnO). Microactuatorii piezoelectrici pot fi uor integrai n microsisteme. Un alt avantaj este c pot fi utilizai folosind algoritmi de control relativ simpli. Exist multe aplicaii ale microactorilor piezoelectrici. De exemplu, ei pot s alinieze cu precizie cabluri de fibre optice, s poziioneze dispozitive de prindere ntr-o main de frezat de precizie sau s acioneze motoare ultrasonice micromecanice. Pot fi, de asemenea folosii pentru a fabrica micropompe i valve pentru dozarea exact a substanelor n biologie i medicin. Ei pot s serveasc i ca generatoare de unde de

24

oc pentru pulverizarea calculilor renali sau ca microunelte pentru practicarea chirurgiei minimal invazive. n industria de automobile, piezoactuatorii pot fi folosii la controlul activ al vibraiei i la atenuarea zgomotului. Deoarece piezoelementele au un timp de rspuns mic, sunt componente ideale pentru valve automate care trebuie cu repeziciune s iniieze sau s ntrerup o anumit funcie a mainii, cum ar fi supapele de admisie controlate electronic sau injectoarele. n prezent sunt realizabili timpi de injecie ntre 1,2 i 2 ms, ns pentru reducerea consumului ar fi necesari timpi de ordinul 0,2 ms. Se desfoar experimente cu piezoelemente integrate n jiclorul de injecie pentru a regla presiunea i volumul de aer. 2. Microvalv piezoelectric O microvalv poate avea probleme atunci cnd presiunea extern este mult mai mare dect presiunea intern care acioneaz valva, astfel nct valva nu mai poate fi deschis dup ce a fost nchis. O soluie este folosirea unui microactuator puternic care poate s nving presiunea extern. Un prototip al unei astfel de valve normal nchise este prezentat n figura 1.

Fig. 1. Microvalv piezoelectric Valva este cldit pe un substrat de sticl. O membran a valvei este realizat din siliciu prin tehnici de corodare i este montat pe substratul de sticl prin lipire anodic. Sistemul de acionare const dintr-o membran de sticl i un disc piezoceramic. Membrana valvei i membrana de acionare sunt legate prin elemente de conectare prismatice. Microvalva se deschide i se nchide atunci cnd membranele actuatorului i valvei se ridic sau revin la loc simultan cu ajutorul piezoelementului. Prototipul valvei are 130 m grosime. La aplicarea unei tensiuni de 50 V se obine un spaiu de trecere a fluidului de 4 m.

25

3. Micro-mn piezoelectric Un domeniu de aplicaie foarte important pentru actuatorii pizoelectrici este manipularea fin a microobiectelor. Piezoactuatorii pot s poziioneze astfel de obiecte cu o precizie de 10 nm. O micro-mn de manipulare conine 2 degete de forma unui beior acionate peizoelectric, fiecare avnd cte 6 grade de libertate, este conceput s manipuleze micro-obiecte ca o mn uman (fig. 1). Cele 2 degete au fost special proiectate pentru a lucra n lumea micro, unde gravitaia i momentele de inerie joac un rol minor. Din aceast cauz, dou degete sunt suficiente pentru a manipula microobiecte.

Fig. 1. Mn piezoelectric cu beioare.

Fig. 2. Dou prototipuri de degete beior.

Dou prototipuri de degete beior au fost realizate i ele sunt prezentate n figura 2. S-a folosit un mecanism de articulaie paralel alctuit din 6 piezo-elemente prismatice de legtur care sunt conectate la placa de baz i la efectorul (mnuitorul) terminal. La primul prototip au fost adugate arcuri pentru a permite degetelor s se mite continuu i pentru a menine stabilitatea minii. Degetele sunt fcute din ace de 50 mm lungime avnd o raz la vrf de 30 m. Cel de-al doilea prototip are articulaii sferice flexibile, fcute din oel. Acestea mresc rigiditatea, n felul acesta crescnd precizia. Ambele prototipuri de deget sunt acionate de 6 elemente piezoelectrice cu dimensiunea de 2 mm x 3 mm x 8 mm. Diametrul plcii de baz este de 56 mm, cel al efectorului terminal de 20 mm i distana dintre plci este de 6,4 mm. Micarea vrfului degetului a fost 8 m la o tensiune de 150 V. Pentru a compensa efectul de histerezis al elementelor piezoelectrice, a fost adugat fiecruia dintre cele 6 elemente de conectare

26

un regulator PI. Aceast micro-mn are n vedere manipularea fin a celulelor biologice, asamblarea microsistemelor i diferite operaiuni n microchirurgie. 5.5. Microactuatori magnetostrictivi 1. Principiul funcionrii microactuatorilor magnetostrictivi n materialele magnetostrictive energia electric se transform n energie mecanic n mod similar materialelor piezoceramice. Magnetostriciunea nseamn modificarea unei dimensiuni a unui material feromagnetic la aplicarea unui cmp magnetic. Pe direcia de magnetizare un astfel de material este alungit sau contractat, schimbarea relativ a lungimii fiind la unele materiale de circa 0,1%. Pn n prezent au fost elaborate materiale speciale, cum sunt aliajele de tip Terfenol-D, cu proprieti magnetostrictive excelente i modificri relative n lungime de 0,15-0,2, similare cu cele ale materialelor piezoceramice. Aceste aliaje prezint o densitate energetic nalt, de aproximativ 20 de ori mai mare ca a ceramicelor. n plus, actuatorii magnetostrictivi sunt comandai n curent i nu n tensiune precum actuatorii piezoelectrici. De aceea , tensiunile pot fi meninute la valori joase, reducnd numrul circuitelor de comand. Principalul dezavantaj al actuatorilor magnetostrictivi este, ca i n cazul celor piezoceramici, deplasarea foarte mic produs. De asemenea, prezint pierderi ohmice cci curentul de magnetizare trebuie aplicat permanent. Spre deosebire de efectul piezoelectric, efectul magnetostrictiv nu poate fi inversat n mod direct. n momentul de fa este greu de produs componente magnetostrictive la scar microscopic. De aceea, au fost fabricai puini microactuatori magnetostrictivi. Materialul Terfenol-D prezint un potenial ridicat pentru microactuatori deoarece el asigur fore mari datorit densitii energetice ridicate. Actuatorii magnetostrictivi pot fi folosii n aplicaii unde sunt cerute fore mari, un rspuns dinamic rapid i distane de control scurte cu precizie de poziionare foarte bun, precum i n aplicaii n care actuatorul este expus la o temperatur de mediu ridicat. Ei nu au nevoie nici de electrozi mobili i nici de tensiuni electrice nalte. Aceti actuatori sunt folosii ca elemente de comand pentru motoare liniare, ca amortizoare active de vibraii, ca elemente de poziionare etc. Actuatorii din Terfenol-D sunt, n general, fcui dintr-o tij care este introdus ntro bobin de magnetizare. n tija de Terfenol-D este generat astfel un cmp magnetic puternic, iar pentru utilizarea eficient a dispozitivului se aplic o pretensionare pe direcia axei tijei, cu un resort, de pild. Deoarece rezistena la ntindere a Terfenol-ului-

27

D este foarte mic, tija trebuie s fie sub compresie. Principiile tipice de proiectare ale actuatorilor magnetostrictivi cu tij sunt prezentate n figura 1.

Fig. 1. Model de actuatori cu tij din Terfenol-D.

Fig. 2. Consol magnetostrictiv

Exist 2 posibiliti: 1) tija poate fi magnetizat cu o bobin (stnga) i 2) poate fi adugat un magnet permanent (dreapta), care premagnetizeaz tija. A doua variant este mai avantajoas, deoarece premagnetizarea tijei determin o relaia aproape liniar ntre curentul de comand i variaia de lungime rezultat. Actuatorii magnetostrictivi multistrat devin tot mai intereseni, cci sunt foarte potrivii ca elemente de conversie pentru microsenzori i actuatori. Fa de tijele de Terfenol-D, dispozitivele ce pot fi construite sunt mult mai uoare i ofer deplasri mai mari la costuri mai mici. Actuatorii magnetostrictivi bimorfi ncep s aib un rol important, deoarece o variaie a lungimii uneia dintre componentele structurii bimorfe, poate fi transformat n micri mari ale unei membrane sau console (fig. 2). De exemplu, o consol de siliciu poate fi folosit ca substrat elastic ntr-o structur bimorf. ntr-o structur tip consol, n comparaie cu straturile piezoelectrice, materialele magnetostrictive prezint o variaie relativ mare a lungimii i nu necesit contacte electrice directe. Filmele subiri magnetostrictive prezint un mare interes pentru microactuatori. n comparaie cu tijele convenionale din Terfenol-D, filmele pot fi mai uor integrate n dispozitive electromecanice, iar costurile sunt mai mici. n continuare se dau 2 exemple de aplicaie ale acestor filme. 2. Microcomutator magnetostrictiv pentru fluide

28

Un film din aliajul Terfenol-D este folosit pentru a realiza un schimbtor de cale sau un comutator bistabil pentru fluide, din siliciu. Acesta const dintr-o bobin exterioar, un bra consol bimorfic, un orificiu de intrare i dou de ieire (figur). Dac este aplicat un cmp magnetic extern, braul consol este curbat n jos i jetul de lichid este comutat de la orificiul de ieire din partea de sus la cel din partea de jos. Pentru fabricarea acestui comutator s-a folosit tehnica de prelucrare n volum. Braul consol are o lungime de 2 mm, 1 mm lime, are un strat de siliciu de 20 m i un strat de Terfenol-D de 5m. Deplasarea este de 13 m cu o frecven de 1 kHz i la o intensitate de cmp magnetic de 20 mT. Avantajul acestui model este c presiunea lichidului deasupra i dedesubtul braului consol este aceeai. Aceasta permite controlul unor volume mari de lichid, de pn la 500 ml/s.

2. Microvalv magnetostrictiv tip membran

Microvalv magnetostrictiv Figura prezint schema unei microvalve de amestecare de tip membran, ale crei pri pasive pot fi fabricate prin metoda LIGA. Valva const dintr-o bobin exterioar, un actuator bimorfic magnetostrictiv cu membran, 2 orificii de intrare i un scaun de valv.

29

Prin alimentarea bobinelor magnetice, datorit filmelor magnetostrictive membrana actuator se deformeaz n jos i nchide valva. 5.6. Microactuatori pe baz de aliaje cu memoria formei
Atunci cnd un aliaj cu memoria formei ( shape memory alloy SMA) este deformat sub o temperatur critic i apoi nclzit peste aceasta, el i va aminti forma originar i va reveni la aceasta. Acest efect poate fi folosit pentru generarea de fore i micri. Caracteristic pentru actuatorii care folosesc SMA sunt complexitatea lor sczut, greutatea i dimensiunile mici i deplasrile mari; de exemplu, componentele SMA sunt folosite de ani buni drept conectori activi pentru conducte. Aceste aliaje au o bun perspectiv i pentru MSEM. Pornind de la o stare austenitic stabil i rigid, SMA se transform n stare martensitic pe msur ce temperatura scade sub o temperatur critic; din acest motiv forma SMA poate fi deformat cu pn la 8%, aa cum este cazul aliajelor Ni-Ti. n starea de temperatur joas, SMA pstreaz forma deformat dorit pn cnd este expus unei temperaturi mai ridicate. Cnd este nclzit peste temperatura de prag, martensita deformat este transformat napoi n austenit i SMA revine la forma sa originar, efectul de memorie termic a formei. Cu aceast proprietate pot fi obinute deplasri mari n comparaie cu alte principii de acionare. Efectul de memoria formei a fost observat la mai multe aliaje i chiar la unele materiale ceramice. Aliajele de nichel-titan prezint un interes deosebit pentru actuatori, deoarece au o memorie a formei i proprieti mecanice excelente. Problema principal o constituie temperatura critic de transformare destul de sczut, cuprins ntre -100 C i +100C. Din aceast cauz, un material mai potrivit pentru microactuatori sunt aliajele de tip Ni-Ti-Pd (Praseodim?), care au o temperatur de transformare mai ridicat, de aproximativ 200 C. Cel mai mare dezavantaj al actuatorilor termici SMA este timpul lor de rspuns relativ lung, cea ce limiteaz n multe cazuri aplicaiilor practice. nclzirea poate fi destul de uor controlat prin ajustarea curentului aplicat, ns ciclul de rcire este foarte dificil de controlat. Pentru aplicaiile n care timpul nu este un factor hotrtor sau critic, temperatura de comutare poate fi cu uurin atins schimbnd temperatura mediului ambiant n care se afl dispozitivul. n acest caz, actuatorul funcioneaz ca un termostat folosind proprietatea senzorial a SMA, ceea ce este caracteristic pentru aa-numitele materiale inteligente. Cu ajutorul unui actuator SMA mic pot fi generate fore mari din pricina unui raport puteregreutate ridicat. Datorit construciei sale simple i a sistemului su de acionare, acesta poate fi cu uurin aplicat ntr-un sistem de control. De aceea este posibil integrarea unui actuator SMA ntr-un microsistem complet. Materialele SMA prezint un interes particular ca actuatori termici cu funcie senzorial integrat i ca actuatori capabili s realizeze micri complexe ntr-un spaiu mic. Un SMA poate funciona cu o tensiune de acelai nivel cu cea a circuitului su integrat de

30 control. Cum masa microactuatorului SMA este de obicei mic, pot fi atini timpi de rspuns relativ mici, ceea ce face posibil construirea n anumite limite a actuatorilor cu dinamic acceptabil. Aplicaii interesante ale materialelor SMA sunt microrobotica i aplicaii medicale speciale. Un actuator SMA poate fi folosit ca o legtur a unui bra robotic miniaturizat sau ca efector (mnuitor, mn artificial) final al unui instrument biomedical, cum ar fi un cateter sau un endoscop. O alt aplicaie ar putea fi o legtur miniaturizat pentru proteza unei mini. Trebuie ns gsite soluiile cele mai potrivite care s permit un bun control al actuatorului i rcirea lui. Un alt domeniu de interes o reprezint aplicaiile subacvatice, deoarece ar crete efectul de rcire datorit mediului natural. n prezent comportarea dinamic este mult inferioar fa de cea a microactuatorilor electrostatici sau electromagnetici. Un alt dezavantaj al unui microactuator SMA este capacitatea slab de microstructurare a componentelor sale, dar cercetrile sunt promitoare i se ateapt un punct de cotitur. Pentru aplicaiile tehnice ale microactuatorilor SMA exist mai multe principii de proiectare. Cele mai obinuite sunt destinderea i compresia arcurilor elicoidale i a arcurilor consol. Dependent de aplicaie, efectul SMA poate fi folosit n diferite moduri. ntr-o multitudine de aplicaii, actuatorul SMA este mecanic ngrdit s revin la poziia iniial atunci cnd este nclzit. Forele mari produse pot fi folosite s fac un anumit lucru. O posibil aplicaie este descris n figura 1.

Fig. 1 Principiul de lucru al unui arc construit din SMA (TMf-temperatura de formare a martensitei; TAf- temperatura austenitic de terminare, TMf < TAf).

Un resort din SMA poate fi deformat n faza martensitic, de exemplu cu o greutate. Atunci cnd este nclzit i transformat n structur austenitic, acesta ridic greutatea pn la o anumit nlime. Rcind resortul din SMA sub punctul de comutare, greutatea deformeaz din nou resortul n stare martensitic moale, n aa fel reaeznd mecanismul. n locul resortului poate fi folosit pentru aplicaii similare un fir drept din SMA. Pentru ca actuatorii SMA s poat fi folosii pe scar larg trebuie cercetate unele probleme fundamentale pentru a se obine stabilitate ridicat, temperatur nalt de lucru, mbuntirea comportrii dinamice i a controlului specific pentru SMA. Printre realizrile de prototipuri experimentate de actuatori pe baz de SMA se pot meniona microendescoape i microcatetere destinate chirurgiei minimal invazive i microcleti din Ni-Ti pentru microbrae flexibile de microroboi.

31

5.7. Microactuatori termomecanici

1. Generaliti Microactuatorii termomecanici se bazeaz pe principiul schimbrii formei sau volumului unui material la nclzirea sau rcirea acestuia. Cei mai cunoscui sunt actuatorii bimetalici. Ei sunt fabricai din straturi de materiale diferite care au coeficieni de dilatare termic diferii. Un alt tip de actuator termomecanic folosete dilatatrea termic a gazelor sau transformarea lichid-gaz pentru producerea unei micri. Pentru actuatori extrem de mici, dilatarea i contracia termic pot fi induse de energia optic; adesea aceste sisteme necesit o cantitate foarte mic de energie. Microactuatorii fabricai din straturi bimateriale funcioneaz n cea mai mare parte pe principiul consolei i sunt folosii ca microntreruptoare sau microvalve ale sistemelor de reglare a temperaturii. Ei sunt activai de temperatura mediului ambiant sau de o surs artificial de cldur. Pot fi folosii, de asemenea, pentru realizarea cletilor microrobot sau pentru instrumente medicale. Pentru a fabrica un actuator cu bimaterial, trebuie s fie combinate materiale cu coeficieni termici diferii pentru a forma o structur sandwich bimorfic. Actuatorii sunt activai printr-o schimbare forat a temperaturii actuatorului, prin nclzire electric sau prin iradiere optic. Prima metod este mai des folosit, dar structura actuatorului este complex. Tensiunile de acionare sunt reduse, ceea ce face uoar integrarea actuatorului ntr-un alt sistem. Cu toate acestea, actuatorii miniaturizai pe baz de bimateriale prezint un mare dezavantaj. O reducere a masei materialului reduce, de asemenea, cantitatea de energie electric sau optic necesar funcionrii i prin aceasta se obin timpi de rspuns mici. Totui, cu aceasta se reduce fora exercitat de dispozitiv. 2. Microactuator termomecanic bistabil de tip consol Actuatorul a fost fabricat prin metode de microprelucrare de suprafa dintr-un substrat de siliciu (100). Aceast microstructur const dintr-o tij n consol n form de U fcut din film subire cu 3 straturi (siliciu policristalin dioxid de siliciu siliciu policristalin), o band de tensionare (nitrur de siliciu) i o structur de ancorare fcut din 3 straturi. Banda de tensionare este montat n mijlocul structurii de ancorare. Lungimea total a actuatorului este de 187 m; lungimea consolei este de 82 m, grosimea sa de 30 m, iar spaiul dintre cele 2 brae ale tijei n U fixat n consol este de 30 m. Tija n consol poate fi ndoit n sus sau n jos de ctre forele create de banda de tensionare, provocnd o micare de vibraie. Aceasta poate fi controlat prin alternarea ciclurilor de nclzire-rcire aplicate tijei i structurii de ancorare. Cldura este obinut prin aplicarea de impulsuri scurte de 7 mA, la tensiunea de 24 V, tijei n consol i 3 mA, tensiune 7,5 V, structurii de ancorare.

32

Exist 3 cureni care pot fi stabilii sau oprii selectiv pentru a pune n funciune microactuatorul. Un curent, I1 poate fi aplicat ancorei, iar curenii I2 i I3 straturilor superior i, respectiv, inferior de polisiliciu. n starea iniial nu este aplicat nici o energie i tija n consol este mpins n sus de banda de tensionare. n pasul al doilea, straturile de polisiliciu din structura de ancorare sunt nclzite de curentul I1. Rezult o dilatare termic a ancorei, determinnd o descretere a forei exercitate asupra benzii de tensionare i cu aceasta a deformrii tijei n
Principiul de funcionare al unui microactuator bistabil

consol.

Mai departe, tija n consol este deformat prin aplicarea simultan i a curentului I2 care trece prin stratul superior de polisiliciu pasul al treilea. Acum captul articulaiei este ndoit n jos sub planul de baz al actuatorului. n pasul al 4-lea ambii cureni sunt ntrerupi; straturile de material se rcesc i tija n consol este adus n a 2-a stare stabil de ctre banda de tensionare. Actuatorul revine la starea iniial prin paii consecutivi al cincilea, al aselea i nti. n pasul 6 curentul I3 trece prin stratul de polisiliciu inferior al tijei n consol. 3. Sistem microactuator termomecanic ciliar pentru locomoie Un sistem de locomoie ciliar const dintr-o multitudine de microactuatori plai cu bimaterial, formnd o matrice actuator care se mic lin, conform cu un principiu al micrii coordonate. Aceast matrice actuator imit micarea cililor pentru a genera locomoie. Principiul a fost adoptat din biologie; el poate fi ntlnit i la traiectul respirator uman. Cnd muli dintre aceti cili vibreaz sincronizat, ei pot mica obiecte sau lichide. Deoarece un singur actuator poate face o micare simpl, trebuie combinai mai muli actuatori, ca n figura 1, pentru cazul transportrii unei plci. Pasul individual al unui cil este foarte mic, dar cnd muli cili sunt aranjai secvenial, pot fi acoperite distane mari. Prin distribuirea unor sarcini grele pe mai muli actuatori slabi, se poate obine un mecanism flexibil care poate fi uor extins i care este insensibil la defectele elementelor individuale.

33

Fig. 1. Principiul microactuatorului bimaterial ciliar pentru locomoie.

Fig. 2. Fotografia unui sistem microactuator cu cili folosit pentru deplasare.

Un interes deosebit l reprezint frecarea sczut a acestui sistem actuator. Frecarea este una dintre problemele de baz ale lumii micro; aceasta adesea face imposibil proiectarea unei transmisii sau a unor mbinri. Pentru acionarea microactuatorului cu cili, un element de micronclzire este nglobat ntre 2 straturi de poliamid, care au coeficieni de dilatare diferii. Cnd elementului de nclzire i se aplic o tensiune, temperatura lui crete i microactuatorul se curbeaz. Prin nclzirea alternativ a cililor nvecinai, un obiect care se afl aezat pe sistemul actuator poate fi deplasat. Fiecare microactuator cil are o lungime de 500 m, o lime de 100 m i o grosime de 6 m. Pe suprafaa de 1 cm 2 a unui substrat au fost aranjate 512 astfel de elemente (fig. 2). Prototipul unui astfel de microactuator a fost capabil s transporte plci mici de siliciu cu greutatea de 2,4 mg, cu o vitez de 27 m/s i la o frecven de operare de 1 Hz. Sursa de curent a fost de 22,5 mA, puterea consumat de 3 mW, iar temperatura de 200 C. Sarcini de transport i de poziionare mult mai complexe pot fi imaginate cu o schem de comand corespunztoare.

6. MICROSENZORI

34 6.1. Generaliti despre microsenzori Un senzor este un element vital pentru un sistem tehnic, formnd interfaa dintre mediu i elementul de control. Senzorii pot simi, vedea, mirosi i gusta prin msurarea parametrilor mecanici, termici, magnetici, biochimici i radiani. Ei sunt clasificai, de obicei, dup semnalele pe care le msoar (tabelul 1).
Tabelul 1 Clasificarea senzorilor Natura semnalului Mecanic Magnetic Termic Radiant Chimic Biologic Mrimi msurate Deplasare, vitez, acceleraie, for, presiune, debit, amplitudine i lungime de und acustic etc. Cmp magnetic, flux, moment magnetic, magnetizare, permeabilitate magnetic etc. Temperatur, cldur, flux termic, entropie, capacitate caloric etc. Raze gama, raze X, ultraviolete, lumin vizibil i infraroie, microunde, unde radio etc. Umiditate, nivelul pH-ului i ioni, concentraie gaz, materiale toxice i inflamabile, concentraie de vapori i mirosuri, poluani etc. Zaharuri, proteine, hormoni, antigene etc.

Tendina actual este de a fabrica senzori din ce n ce mai mici. Evoluia este de la un singur senzor la un sistem inteligent de senzori cu dimensiuni extrem de mici, realizat prin MSEM. Aa-numitele sisteme inteligente sau integrate pot fi dezvoltate prin integrarea componentelor senzor cu cele de procesare a semnalului. Aceast integrare micoreaz i zgomotul care este adesea creat la transmiterea semnalelor ctre o unitate exterioar de procesare. Tendina este de a integra ntregul sistem senzorial pe un singur cip. Este posibil astfel s se msoare toi parametrii de interes ntr-un singur loc i la un anumit moment. Un pas important pentru dezvoltarea microsenzorilor este conceperea i proiectarea microprocesoarelor adecvate acestora. Sistemul uman de procesare a semnalului este foarte avansat; semnalele senzoriale sunt primite de sistemul nervos i transferate creierului, care le evalueaz cu siguran prin intermediul unui sistem de calcul paralel natural. Oamenii de tiin ncearc s copieze sistemul folosind abordri ingenioase de prelucrare a informaiei bazate pe reelele neuronale sau logica fuzzy (vag); ambele tehnici fiind foarte promitoare pentru aceste aplicaii. Azi se produc anual n lume cteva sute de milioane de microsenzori cu o cretere anual de circa 20%. Microsenzorii ce au succes de pia trebuie s prezinte o ncredere ridicat, volum i mas mici i costuri de producie n mas sczute. Aplicaiile prezente i viitoare ale acestora sunt legate n special de industria de automobile, protecia mediului, procesul de producie i sectorul militar. Cerinele cerute microsenzorilor sunt: precizie nalt, siguran mare i capacitatea de a furniza rezultate de ncredere n timp real. 6.2. Microsenzori de for i presiune

35 6.2.1. Principii de funcionare a microsenzorilor de for i presiune Datorit construciei simple i largii lor aplicabiliti, S mecanici joac un rol important n MSEM. S de presiune au fost cei dinti dezvoltai i folosii n industrie. Acetia trebuie s fie ieftini, s aib o rezoluie bun, precizie, liniaritate i stabilitate. n prezent, cei mai folosii sunt S de presiune bazai pe siliciu; ei pot fi uor integrai cu electronica pentru procesarea semnalului ntr-un singur cip. Cel mai des, presiunea este msurat prin intermediul unei membrane subiri care se curbeaz la aplicarea presiunii. Fie c se msoar curbarea membranei fie modificarea frecvenei sale de rezonan, ambele mrimi sunt direct proporionale cu presiunea aplicat. Aceste schimbri mecanice sunt transformate n semnale electrice folosind principii de conversie piezorezistive sau capacitive. Membranele pot fi fabricate prin microprelucrare n volum a unui substrat de siliciu, folosind una din tehnicile de corodare selectiv. Figura 1 prezint modelul unui S de presiune piezorezistiv. Piezorezistorii sunt integrai n membran; ei i modific rezistena proporional cu presiunea aplicat. Modificarea rezistenelor (2 sau 4 piezorezistene) este msurat ntr-un circuit cu punte Wheatstone.

Fig. 1. Principiul unui S de presiune piezorezistiv

S capacitivi folosesc modificarea capacitii unui sistem format din 2 plci metalice. La aplicarea presiunii membrana se curbeaz, ceea ce modific distana dintre cei 2 electrozi. Prin aceasta capacitatea se mrete sau se micoreaz. Variaia de capacitate este msura presiunii aplicate. Un S capacitiv de presiune integrat, bazat pe siliciu, conine componente CMOS integrate (circuite integrate MOS cu simetrie complementar) incluznd senzorul, circuitele de conversie semnal, amplificatorul i compensatorul de temperatur (fig. 2). Pentru a produce acest dispozitiv, un substrat ptrat de siliciu a fost corodat anizotrop cu o soluie de KOH. Cip-ul rezultat, coninnd membrana, a fost intercalat ntre 2 cip-uri de pyrex prin lipire anodic. Condensatorii senzorului au fost fixai de membran i cip-ul de pyrex superior, iar condensatorii de referin au fost localizai n afara ariei sensibile la presiune. Cipul senzor are dimensiunile de 8,4 mm x 6,2 mm.

36

Fig. 2. Senzor de presiune capacitiv

n comparaie cu senzorii de presiune piezorezistivi, senzorii capacitivi nu prezint histerezis, au o stabilitate mai bun n timp i o sensibilitate mai bun. Ultima caracteristic depinde n mod special de distana care poate fi realizat ntre electrozi. Totui, costurile de producie ale senzorilor de presiune capacitivi sunt mai ridicate. n cazul ambelor principii de detectare a presiunii, semnalul senzorial este generat ca urmare a deformrii i curbrii membranei. Este, de asemenea, posibil obinerea unui semnal din modificarea frecvenei de rezonan a membranei, provocat de for sau presiune. Prin aplicarea ciclic de energie termic dispozitivului, membrana ncepe s vibreze la rezonan. Principalul avantaj al acestui principiu de msur este c transmisia valorii msurate sub forma unei frecvene este practic lipsit de zgomot, iar semnalele pot fi procesate digital. 6.2.2. Microsenzor de for capacitiv Un senzor de for capacitiv este prezentat n figur.

Fig. Senzor de for capacitiv fabricat din siliciu

Electrozii sunt alctuii dintr-o structur planar n form de pieptene. Fora aplicat este paralel cu suprafaa senzorului, spre deosebire de senzorii de presiune cu membrane, la care fora de presiune este aplicat perpendicular pe suprafa. Aici, neliniaritate i sensibilitatea transversal ar putea crea probleme. n dispozitivul descris, elementul senzor const n principal din dou pri: prima, o structur elastic mobil care transform fora ntr-o deplasare i a doua, o unitate de transformare constnd din electrozi care convertesc deplasarea ntr-o variaie msurabil a capacitii. Revenirea la poziia iniial este realizat de o travers elastic

37 de suspensie. Condensatoarele constau din 2 electrozi subiri, izolai electric, avnd ntre ei un spaiu foarte ngust, aproximativ 10 m. Configuraia este astfel conceput nct se produce creterea capacitii unui grup de condensatori i scderea capacitii celuilalt grup. Prin msurarea diferenial de capacitate a celor 2 grupuri se obine o liniaritate i o sensibilitate ridicate. Unitate senzor este fabricat prin corodare anizotropic din siliciu (110) i apoi este fixat pe un substrat de pyrex prin lipire anodic. Prototipul microsenzorului capacitiv a avut o capacitate de 1 pF. n acest domeniu, msurtorile pot fi cu uurin realizate folosind dispozitive de msur microelectronice disponibile comercial. Au fost msurate fore foarte mici n domeniul 0,01-10 N. Aceeai structur poate fi folosit ca unitate de poziionare pentru microroboi. 6.2.3. Microsenzor tactil capacitiv Microsenzorii tactili joac un rol important n microrobotic, deoarece ei sunt folosii pentru a recunoate obiecte, pentru a le detecta poziia i orientarea i pentru ale msura. Senzorii pot fi produi n mas cu tehnologiile siliciului n combinaie cu materiale clasice, cum ar fi foiele de plastic sau cauciuc. Exist un efort continuu pentru a dezvolta un sim tactil artificial asemntor celui uman, care necesit senzori cu integrare nalt, cu o bun flexibilitate i stabilitate. Un astfel de senzor folosete ca piele poliamida care este foarte flexibil i are proprieti electrice, mecanice i chimice excelente. Structura unui astfel de senzor este prezentat n figur.

Fig. Microsenzor tactil capacitiv

Senzorul const dintr-o baz de poliamid pe care este depus un electrod interior de 4
mm 2 . Peste acesta se afl un electrod exterior separat de cel interior printr-un spaiu de aer de

25 m. Foia de poliamid supus la presiune este localizat deasupra. Aceasta este ataat printr-un strat de poliamid la electrodul exterior. Cnd este aplicat o for, capacitatea condensatorului format din cei 2 electrozi se modific permind localizarea forei. Este posibil integrarea ntregului circuit de procesare a semnalului pe un substrat.

6.3. Microsenzori de poziie i vitez

Microsenzorii de poziie i vitez sunt eseniali pentru multe aplicaii, n special n domeniul automobilelor, roboilor i instrumentelor medicale. Controlul poziiei i vitezei este, de

38 asemenea, de mare importan n microrobotic cu scopul, de exemplu, de a determina poziia exact a unui efector final n orice moment. Principalele principii folosite pentru aceste msurtori sunt: metodele fr contact, optice i cele magnetice. n robotic este necesar controlul exact al micrii braelor i picioarelor robotului sau a altor componente cu articulaii. Un microsenzor magnetic pentru msurarea deplasrii unghiulare care poate msura foarte exact deplasarea unghiular, folosind efectul Hall, este artat n figura 1. Senzorul const dintr-un rotor care are un rnd de dini pe partea de jos. Rotorul se afl fa n fa cu un stator care conine mai muli senzori Hall i circuite electronice. Un magnet permanent este localizat dedesubtul senzorilor Hall, producnd un cmp magnetic. Atunci cnd rotorul se mic, dinii care trec pe deasupra senzorilor Hall produc o modificare a cmpului magnetic. Aceast variaie a cmpului magnetic este detectat de senzorii Hall care produc semnale de tensiune.

Fig. 1. Microsenzor pentru msurarea unghiurilor.

Procedeul de msurare este sugerat sub forma unei diagrame de semnale n figura 2. Cmpul senzorului acoper exact o tietur i un dinte al rotorului. Un multiplexor baleiaz constant cele n elemente Hall, ceea ce creeaz o funcie treapt reprezentnd distribuia cmpului magnetic. Acest semnal este apoi trecut printr-un filtru i netezit pentru a forma o curb sinus. Rotorul senzorului este conectat la articulaia la care se determin deplasarea unghiular. O deplasare unghiular determin u defazaj al curbei, care este determinat de un comparator. Acest procedeu este relativ independent de distana de la rotor la matricea de senzori, ceea ce face sistemul insensibil la vibraii. Sistemul este, de asemenea i foarte stabil.

39

Fig. 2. Diagrama semnalelor pentru procedeul de msurare.

Prototipul matricei de senzori a fost produs pe un substrat de Ga-As avnd un strat de dioxid de siliciu cu o grosime de 1 m. Prototipul are o lungime de circa 4 mm i poate msura unghiuri de rotaie cu o precizie de 0,028 la temperaturi cuprinse ntre -10C i +80C. 6.3.1. Microsenzor capacitiv pentru vitez unghiular (Nu 2004) n multe sisteme tehnice, cum ar fi cele pentru navigaie sau pentru controlul trenului de aterizare, sunt senzori compaci i ieftini pentru determinarea vitezei unghiulare. Senzorii convenionali, care folosesc rezonatori piezoelectrici sau fibre optice din sticl, sunt foarte sensibili, dar scumpi de obicei. n figur se prezint un microsenzor din siliciu, la producerea cruia s-a folosit metoda de fabricaie n loturi, care folosete un principiu de funcionare rezonant.

Fig. Principiul de funcionare al unui microsenzor pentru viteza de rotaie.

Un aranjament n form de furc cu o grosime de 200 m fcut din siliciu (110) este folosit ca rezonator. Acesta este poziionat de 2 bare de torsiune care servesc i ca terminale electrice. Cnd rezonatorul este introdus ntr-un cmp magnetic i este aplicat un curent alternativ, rezonatorul ncepe s oscileze datorit forelor Lorenz. Dac senzorul se rotete cu

40 grade n jurul axei sale longitudinale, forele Coriolis induc o micare de rotaie n sens opus; aceast micare este proporional cu viteza unghiular =d/dt. Deviaia fa de planul furcii a celor 2 dini ai furcii este detectat prin schimbarea capacitii dintre cei 2 dini ai furcii (electrozi mobili) i electrozii de detecie fici, care nu sunt prezentai n figur. Cei din urm sunt integrai ntr-un nveli de sticl constnd din 2 straturi de sticl pyrex, fiecare cu o grosime de 250 m. A fost construit un prototip al senzorului cu o arie a bazei de 2 cm x 2 cm; el a avut o sensibilitate de 0,5 mV/(grad/sec) la o frecven de excitare de 470 Hz. 6.4. Microsenzori de acceleraie 6.4.1. Principii de funcionare a microsenzorilor de acceleraie Principiul capacitiv Senzorii miniaturizai de acceleraie i gsesc locul mai ales n industria automobilului. Ei prezint, de asemenea, interes pentru industria aeronautic i spaial i pentru multe alte aplicaii. Ca i n cazul presiunii, acceleraia este de obicei detectat i transformat n semnal util, prin metode piezorezistive sau capacitive. Cel mai adesea este folosit o consol elastic la care este ataat o mas seismic. Cnd senzorul este accelerat, masa fixat n consol se deplaseaz, deplasarea fiind detectat de un senzor. Un astfel de senzor de acceleraii cu consol i detecie capacitiv a deviailor masei seismice este prezentat n figura 1. Din semnalul corespunztor deplasrii masei se obine acceleraia, de exemplu, prin derivare de 2 ori.

Fig. 1. Microsenzor capacitiv de acceleraii.

Principiul piezorezistiv Pentru a msura efectiv acceleraia cu acest principiu, piezorezistorii sunt plasai n puncte ale consolei unde se produce deformarea sau tensionarea maxim. Stabilitatea i precizia senzorului se mbuntesc cu creterea numrului de piezoelemente. Dac o mas se mic accelerat, aceasta determin deformarea piezorezistorilor, modificndu-se astfel rezistena lor. Acceleraia este determinat din variaia rezistenei (fig. 2).

41

Fig. 2. Microsenzor piezorezistiv de acceleraii.

Prin creterea masei mobile se va mbunti sensibilitatea senzorului. Centrul de greutate a masei trebuie s fie ct mai aproape de captul consolei. Microsenzorii piezorezistivi pentru acceleraie sunt de obicei fabricai prin tehnologia siliciului. Aceasta permite ca unitatea microelectronic de procesare s fie integrat pe cip-ul senzor, fcnd sistemul compact i robust. 6.4.2. Accelerometru capacitiv complet integrat Acest senzor capacitiv pentru acceleraie a intrat n producia de mas la nceputul anilor 90. Cip-ul senzor cu un diametru de aproximativ 9 mm a fost fcut din polisiliciu prin microprelucrare de suprafa. Circuitele microelectronice pentru preamplificarea semnalului, compensarea temperaturii i scopuri de autotestare a sistemului au fost integrate n senzor (fig. 1). Un condensator diferenial servete ca element sensibil al dispozitivului. Acesta const din plci fixe independente i o microstructur mobil n form de pieptene; cea din urm i modific poziia ca rspuns la o schimbare a micrii relative (fig. 1b).

Fig. 1 Microsenzor pentru acceleraie ADXL50: a) cip-ul senzor integrat; b) suprafaa condensatorului diferenial microprelucrat fcut din polisiliciu.

Acest senzor a fost unul din primele exemple de transfer cu succes al unui dispozitiv MSEM din cercetare n industrie, dup cum a fost i primul accelerometru complet integrat, produs n mas. Cu acest dispozitiv pot fi msurate acceleraii de pn la 50 g cu o precizie de

42 19 mV/g. Dispozitivul este curent folosit pentru sistemele airbag ale mai multor modele de automobile. Domeniul de msurare al celui mai nou senzor este 5 g, el poate detecta schimbri foarte mici ale acceleraiei cu o precizie de 0,005 g. 6.4.3. Microsenzor de acceleratie capacitiv cu consol Senzorul este produs prin tehnica microprelucrrii de suprafa i const din una sau mai multe console care acioneaz ca un electrod; ele sunt suspendate liber deasupra unui electrod opus i a unei benzi de contact. ntre electrod i consol exist un spaiu foarte mic pentru a maximiza forele electrostatice i pentru a menine tensiunile mecanice ct mai mici (fig. 1).

Fig. 1. Desenul accelerometrului capacitiv. Fig. 2. Microstructura senzorului capacitiv.

Spre deosebire de ce se ntmpl n senzorii capacitivi convenionali, o aa-numit tensiune de prag este aplicat pentru a compensa forele provocate de acceleraie, iar aceasta va da o indicaie asupra acceleraiei curente. O tensiune dinte de ferstru este aplicat n pai definii ntre consol i electrod, ceea ce crete gradat fora electrostatic ce acioneaz pe consol. Cnd este atins tensiunea critic, sistemul devine instabil i consola se curbeaz spre contacte pe care n final le atinge. Tensiunea scade la zero i procesul este reluat din nou prin aplicarea tensiunii dinte de ferstru. Valoarea efectiv a tensiunii de prag care trebuie aplicat depinde de mrimea acceleraiei. Acceleraia este indirect determinat prin msurarea timpului din momentul aplicrii tensiunii dinte de ferstru i momentul contactului. Consola, electrodul opus i banda de contact sunt fcute din polisiliciu prin procesul de corodare uscat. nlimea microstructurii (fig. 2) este de 2,2 m (strat de polisiliciu), iar spaiul dintre consol i banda de contact este de 1,5 m. Pentru o lungime a consolei de 120 150 m, sensibilitatea este cuprins n domeniul 0,6-100 mV/g. 6.4.4. Microsenzor de acceleraie piezorezistiv Microsenzorul este integrat i prevzut cu amortizare cu ulei. Cip-ul senzor a fost fabricat dintr-un substrat de siliciu (100) i conine o mas seismic suspendat pe o consol subire i, de asemenea, un circuit integrat pentru procesarea semnalului (figur).

43

Fig. Schema microsenzorului de acceleraie piezorezistiv.

Circuitul const dintr-o punte piezorezistoare i amplificatoare. Uleiul este folosit pentru amortizarea oscilaiilor masei suspendate. n comparaie cu un mecanism cu amortizare cu aer, acest dispozitiv nu necesit o etap suplimentar de fabricaie. Totui, amortizarea este influenat de vscozitatea uleiului, de dimensiunile senzorului i de temperatura dispozitivului. Pentru a fabrica acest senzor au fost folosite diferite tehnici pe siliciu. Prile micromecanice ale senzorului, care sunt masa mobil i consolele, au fost fabricate prin corodare n soluie a substratului de siliciu. Consola are 480 m lungime, 200 m lime i 12m grosime; greutatea masei seismice este de 2 mg. Intervalul de msurare al dispozitivului este ntre 20 i 50 g, ceea ce l face foarte folositor pentru multe aplicaii industriale de automatizare.

7. MICROROBOTIC 7.1. Introducere n microrobotic

Cuvntul robot i are originea n cuvntul ceh robota, care nseamn muncitor. Roboii au capaciti superioare operatorilor umani n ceea ce privete fora, viteza, reproductibilitatea i rezistena. Roboii au mbuntit multe procese de producie. Exist, de asemenea, ali roboi care, spre deosebire de roboii industriali, furnizeaz funcii avansate i sunt capabili s ndeplineasc sarcinile unui servitor. Aceti roboi sunt cunoscui sub numele de roboi de servicii. Conceptul de serviciu cuprinde o multitudine de activiti, cum ar fi serviciu n medicin, control, ntreinere, munci casnice, distracii, etc. Pentru a oferi servicii, roboii trebuie s fie mobili, uor de manevrat de utilizator i adaptabil; toate acestea necesit un anumit grad de inteligen. Pe termen lung se urmrete dezvoltarea unui robot cu anumite capaciti umane. Ca i roboii convenionali, microroboii sunt sisteme foarte complexe care folosesc diferite tipuri de microactuatori i microsenzori. Ei sunt dotai cu algoritmi pentru procesarea semnalelor inteligente i a informaiei. Microroboii, de asemenea, se mic, aplic fore, manipuleaz obiecte etc. Unele principii de acionare ale lumii macro pot fi aplicate i celei mocro, dar trebuie luat n considerare efectul reducerii la scar; n caz contrar, pentru o micromain calculat la scar, pot fi calculate caracteristici de funcionare nerealiste. Cu

44 excepia problemelor specifice lumii micro i ale diferenei de mrime, criteriile de proiectare i etapele construirii micro- i macroroboilor pot fi n multe cazuri identice. Analog proiectrii i fabricrii unui macromecanism, mai nti trebuie produse componentele funcionale ale microrobotului cu dimensiunile i structurile interne dorite i apoi acestea trebuie asamblate i reglate fin. n final sunt efectuate teste care s dovedeasc funcionarea corect a robotului. De obicei, microroboii au cerine specifice pentru a-i face folositori la manevrarea pieselor de prelucrat cu dimensiuni foarte mici. O mare importan este acordat capacitii microroboilor de a se deplasa pe distane mari cu viteze adecvate, de a manevra diferite tipuri de obiecte, de a fi rezisteni i capabili s opereze ntr-un mediu riscant i s funcioneze fr ntreinere perioade lungi de timp. Studiile efectuate n Europa (NEXUS), Statele Unite ale Americei (NSF) i Japonia (MITI), pe problemele MSEM curente, au artat c n viitorul apropiat microroboii vor juca un rol important n industrie, iar piaa pentru astfel de sisteme va crete. Criteriile importante pentru folosirea microroboilor sunt sigurana ridicat n funcionare i costul sczut. Motivul costului ridicat al microroboilor existeni este determinat de eforturile speciale necesare proiectrii componentelor, cum ar fi actuatorii, senzorii i unitile de procesare a semnalului. Costurile ridicate sunt o problem general a MSEM, care poate fi eliminat numai prin dezvoltarea standardelor hardware i software ce pot fi folosite de mai multe sisteme microrobot. Datorit progreselor roboticei convenionale i a tehnicilor de microproducie potrivite, azi pot fi dezvoltai microroboi mobili cu dimensiuni mai mici de 1 cm 3 . Pentru multe aplicaii, un microrobot trebuie s fie mobil i s posede capaciti excelente de micromanevrare pentru a mnui ntr-un spaiu de lucru obiecte foarte mici cu dimensiuni micrometrice sau nanometrice, ca n cazul asamblrii microsistemelor sau a manipulrii celulelor biologice. Dei mna uman este un instrument foarte flexibil i posed o dexteritate aproape nentrecut, ea are limitri atunci cnd lucreaz n lumea micro.

7.2. Aplicaiile microroboticii

Este greu de prevzut deocamdat ct de mare influen vor avea n viitor microroboii asupra vieii oamenilor. Sunt multe domenii ns n care se poate observa o influen semnificativ, aa cum sugereaz figura urmtoare. Multe aplicaii vor fi n medicin, producie, biologie i metrologie. n industrie i, n special n producie i metrologie prezint un interes crescut sistemele de testare foarte sensibile cu microdimensiuni. O aplicaie important este testarea microcipurilor unde mai multe puncte de contact de pe o plachet trebuie atinse cu senzori de temperatur sau tensiune. Pentru a automatiza aceast operaie dificil i adesea efectuat manual, sunt necesare sisteme robot, ca echipamente de control ale plachetelor cu sonde, care pot fi manipulate cu precizie i care se pot mica pe anumite distane.

45
Tehnic medical Tehnologia mediului nconjurtor

Automatizare

Microasamblare

M I C R O R O B O T I C Obiecte casnice

Bioinginerie

Metrologie

Producie

Aplicaii poteniale ale microroboilor.

Pentru ntreinere i control sunt necesari microroboi inteligeni, care s ajung n zone greu accesibile, de exemplu, sistemele de conducte, schimbtoarele de cldur sau turbinele avioanelor, sau n medii periculoase, pentru a detecta scurgeri de fluid sau pri defecte i dac se poate, s efectueze reparaii.
Microasamblarea este una dintre cele mai importante aplicaii de viitor ale microroboilor. Producia n mas a microsistemelor prezint probleme particulare. La fabricarea microsistemelor complexe, procesele n loturi sunt rareori aplicabile. Astfel de sisteme conin mai multe mai multe microcomponente fcute din materiale diferite i fabricate prin diferite microtehnici. Componentele trebuie s fie foarte exact asamblate pentru a forma microsistemul dorit. Adesea este necesar combinarea componentelor convenionale cu microcomponente, ceea ce necesit o reglare fin precis i o mare flexibilitate din partea sistemului de asamblare. Sistemele convenionale prezint acionri cu elemente mecanice de transfer, care frecvent sunt supuse uzurii mecanice i necesit ntreinere, fcnd aceste sisteme costisitoare. Considernd progresul rapid realizat n MSEM, este evident c asamblarea microsistemelor, adic transportarea ne-distructiv, manipularea precis i poziionarea exact a microcomponentelor, devine una dintre cele mai importante aplicaii ale microroboilor, O aplicaie medical foarte important este chirurgia minimal invaziv. Sunt necesare endoscoape active, mai mici i mai flexibile, care s-l ajute pe chirurg i care pot reaciona la instruciuni n timp real. Ele pot ptrunde n corp prin incizii mici sau prin cile naturale de intrare, s nainteze prin vasele de snge i s ajung n diverse caviti, prin telecomand, unde s desfoare msurtori i manipulri complexe: fixare, aplicare de bandaje pentru vasele de snge, incizii i operaii de absorbie i cltire. Pentru a satisface aceste cerine, un endoscop inteligent trebuie s aib un microprocesor, mai muli senzori i actuatori, o surs de lumin i pe ct posibil, integrat, o unitate de procesare a imaginii. Aceste dispozitive microrobot vor revoluiona chirurgia clasic, dar dezvoltarea lor este nc o problem

46
din cauza frecrii, dificultii n orientare, biocompatibilitii etc; de asemenea, ele nu sunt nc destul de mici. n biotehnologie, sunt necesare unelte microstructurate care s permit realizarea diverselor manipulri, cum ar fi sortarea i combinarea celulelor, msurarea profilelor n esuturi sau injectarea de substane strine ntr-o celul folosind un microscop. De exemplu, adesea este necesar gsirea anumitor celule ntr-un esut i transportul lor la locul de testare, sau plasarea precis ntr-o arie restrns a esutului a unei microsonde echipate cu senzori biologici, de oxigen sau glucoz, de exemplu. n cercetarea genetic i tehnologia mediului nconjurtor n care celulele sunt folosite pentru a indica prezena unor substane periculoase, este necesar manipularea precis, ne-distructiv a celulelor individuale.

7.3. Clasificarea microroboilor

Termenul de microrobot nu este deocamdat bine definit. Primele cercetri sistematice asupra microroboilor au fost fcute n Japonia. n timp ce termenul de microsistem este potrivit pentru toate tipurile de microdispozitive, inclusiv microuneltele i microroboii, ntre acestea din urm exist o diferen conceptual. O microunealt este un dispozitiv care poate efectua un lucru mecanic fr s fie nevoie de un control direct, de la un panou de comand, de exemplu. Un micromotor sau o valv, de pild, este o microunealt, care poate fi alctuit din mai multe componente pentru a fi capabil s efectueze o micare complex. n esen, o microunealt este un sistem pasiv care este o parte operant a unui sistem mai complex. Definirea microrobotului deriv din lumea macro; un microrobot este caracterizat de caracteristicile sale de programare, senzorii i actuatorii pentru sarcini specifice i, n general, de mobilitatea sa nengrdit. Ca i roboii convenionali, microroboi constau, de obicei, din dou sub-sisteme autonome care determin agilitatea general a microrobotului; ei sunt actuatori pentru manipularea obiectelor (braele i minile robotului) i actuatori pentru micarea platformei robotului, acionarea robotului. Primul subsistem determin capacitile de manipulare, iar cel de al doilea mobilitatea microrobotului. Elementele de manipulare i unitatea de acionare pot fi cu succes integrate ntr-un sistem microrobot flexibil. 1. Clasificarea dup mrime La clasificarea microroboilor este important s facem deosebirea ntre minimecanisme, micromecanisme i nanomecanisme. Minimecanismele sunt din ce n ce mai des folosite n practic. Micromecanismele abia au depit limita dintre conceptele teoretice i prototipuri, n timp ce nanomecanismele nu vor fi realizate n viitorul prea apropiat. n mod obinuit, roboii miniaturizai au dimensiuni de civa centimetri cubi i sunt fcui din componente convenionale miniaturizate i microunelte. Ei pot genera fore comparabile cu operatorului uman la efectuarea manipulrilor fine. Pot fi controlai de la distan, sau, pentru a putea lucra singuri, au un anumit grad de inteligen i o surs de energie ataat. Un robot miniatur este de fapt un sistem robot complex, foarte mic ca mrime i destinat aplicaiilor specifice MESM.

47 Microroboii au dimensiuni de la civa micrometri cubi pn la civa milimetri cubi. Ei sunt structurai pe un cip constnd dintr-un microactuator, un microsenzor i o unitate de procesare a semnalului i pot fi produi prin tehnologii de fabricaie micromecanice, cum ar fi microprelucrarea de suprafa i n volum i metoda LIGA. Un microrobot trebuie s fie programabil i trebuie s fie capabil s reacioneze la evenimente neprevzute. Dac este necesar, el va putea fi controlat de la distan. Conform acestei scheme de clasificare, singura diferen dintre semnificativ ntre roboii din lumea macro i cei din lumea micro este mrimea spaiului lucru n care ei opereaz. Un spaiu de lucru mic poate conduce la dificulti deoarece operaiile microrobotului pot fi observate numai cu un microscop optic cu lumin sau un microscop electronic cu baleiere. Adesea, miniaturizarea modific semnificativ proprietile fizice ale materialului de fabricaie. Aceasta poate avea efect asupra forelor i momentelor care pot fi transmise. Problema trebuie considerat de cercettori care ar trebui s foloseasc principii noi pentru microroboi, specifice MSEM. Aici sunt cerui actuatori care au dimensiuni extrem de mici, o proiectare mecanic simpl, angrenaje de acionare direct i o fiabilitate ridicat; astfel de actuatori au fost descrii n prelegerile trecute. Nanotehnologia se ocup de obiectele sau mecanismele din domeniul micrometric sau chiar mai mic. Principiile mecanice convenionale nu pot fi aplicate aici, spre deosebire de microroboi. Multe organisme biologice produse de natur pot servi ca exemple pentru nanoroboi; ele sunt eficiente i simple i pot fi considerate ca excelente modele pentru acionri electrochimice. S-a demonstrat, n timpul dezvoltrii tehnicilor nanofabricaiei, c tehnologia strii solide nu este potrivit pentru manipularea moleculelor i atomilor. Se pun sperane n noile tehnici ale polimerilor. Aceste tehnici sunt abia n faza cercetrilor fundamentale. 2. Clasificarea dup funciune Un microrobot are, de obicei, senzori, actuatori, o unitate de control i o surs de energie, care determin capacitile i performanele sale. Alegnd diferite combinaii ale acestor componente, pot fi construite diferite tipuri de roboi (figur). Abrevierile reprezint: CU unitate de control; PS surs de putere; AP actuatori pentru poziionare i AO Actuatori pentru operare.

48

Clasificarea funcional a microroboilor.

Folosind aceast clasificare, pentru microroboi trebuie luate n considerare 3 criterii importante, i anume: mobilitatea (da sau nu), autonomia (sursa de energie ncorporat sau nencorporat) i tipul de control (cu cablu sau fr cablu). Microroboii din partea stng a figurii sunt controlai de la distan prin cablu ombilical. Separarea sursei de putere i a controlului de unitatea de manipulare simplific construcia i realizarea sistemului. Tipul (a) este similar cu roboii convenionali miniaturizai. Microroboii de tipurile (b) i (c) au actuatori integrai i sunt conectai la elementele de control i sursa de energie prin mijloace electrice, hidraulice sau pneumatice. Tipul (c) este i mobil, spre deosebire de (b), cea ce i crete posibilitile aplicative, dar asta implic un numr de dificulti. Spre deosebire de roboii convenionali, mobilitatea unui microrobot poate fi realizat prin deplasarea acestuia prin mijloace externe, de exemplu, prin deplasarea printr-o arter de ctre curentul de snge; aceti microroboi sunt ns dificil de controlat. Pentru alimentarea microroboilor nu exist nc surse de energie ncorporate, n ciuda eforturilor pentru realizarea acestora. Actuatorii eficieni au de obicei nevoie de atta energie nct sursele ncorporate nu o pot furniza pentru un interval lung de timp. Transmiterea informaiei pentru controlul microrobotului poate fi uor realizat fr cabluri, prin interfee acustice, optice, electromagnetice sau termice. Sun cutate soluii pentru folosirea acestor interfee i la transferul energiei. Este evident c dezvoltarea i controlul microroboilor (d), (e) i (f) vor necesita timp i bani, dar o dat puse la punct vor gsi numeroase aplicaii noi. 3. Clasificarea dup sarcina specific Clasificarea microroboilor dup sarcina specific se bazeaz pe raportul C dintre dimensiunile fizice ale robotului i domeniul su de operare realizabil. La un capt al scrii de clasificare, C>>1, se afl sistemele staionare pentru micromanevrare, care au mrimea de civa decimetri, dar pot duce la ndeplinire manipulri foarte precise, de ordinul micrometrilor

49 sau nanometrilor. La cellalt capt al scalei, C<<1, sunt sistemele robot mobile de mrime microscopic, care pot fi folosite, de exemplu, pentru transport, control sau asamblare. ntre aceste extreme se afl roboii industriali miniaturizai ale cror dimensiuni sunt similare domeniului de operare, C1. Un microrobot universal flexibil ar trebui s posede caracteristicile primei i celei de a treia clase, adic s fie capabil s manipuleze foarte precis cu efectorii si obiecte microscopice i, de asemenea, s se poat deplasa pe distane mari. Pentru a combina aceste trsturi conflictuale ntr-un singur sistem robot, trebuie dezvoltate principiile de acionare potrivite. Pn acum exist puine prototipuri care s ndeplineasc cerinele unui astfel de microrobot flexibil.

7.4. Principii de acionare a microroboilor

Cele mai interesante concepte de acionare pentru microroboii mobili au aprut n Japonia. Programul japonez de cercetare Tehnologia micromainilor, care a nceput n 1991 i care a implicat numeroase universiti de prestigiu, institute de cercetare i firme industriale, a produs mai multe dispozitive microrobotice promitoare. Scopul proiectului a fost dezvoltarea sistemelor inteligente foarte mici pentru aplicaii industriale i medicale. Aici a fost introdus conceptul de sistem robot multi-agent, pentru controlul i ntreinerea interiorului obiectelor inaccesibile sau periculoase. Acesta const din 4 subsisteme: o microcapsul, o navet-mam, un modul de operare i un modul de inspecie fr cablu. Naveta-mam asigur transportul modulelor, furnizndu-le energie i transfernd date ntre module i unitatea de control exterioar. Microcapsula, care are propria ei surs de energie, are misiunea s cerceteze locurile inaccesibile care ar putea fi distruse i s raporteze apoi defectele ctre unitatea de control exterioar. Dup aceasta, modulul de control va efectua o analiz precis a zonelor cu defecte i va transmite, de asemenea, informaiile adunate la unitatea de control. n final, modulul de operare, care este conectat la unitatea-mam printr-un cablu de comunicare i putere, va efectua reparaiile necesare bazndu-se pe rezultatele inspeciei. Cteva dintre exemplele urmtoare au fost dezvoltate n cadrul acestui concept. 7.4.1. Microactuator cibernetic liniar silenios Aa-numitul microactuator cibernetic liniar silenios valorific excelentele proprieti de rspuns n timp real ale actuatorilor piezoelectrici folosind un nou principiu de acionare (figur). Dispozitivul const dintr-un element piezoelectric realizat din straturi multiple aezate n stiv. O greutate aezat la unul din capete servete ca acionare prin fora de inerie. Un element de poziionare electromagnetic avnd integrat o bobin magnetic, prin care actuatorul poate fi fixat de un ghidaj fcut din oel, este prins la cellalt capt al stivei.

50

Microactuator cibernetic liniar silenios: a) desen schematic; b) principiul de micare.

Principiul de funcionare este descris n figura b. n prima faz, piezoelementul este excitat i se dilat rapid. Greutatea este atunci la distana maxim fa de elementul de poziionare. Apoi, elementul de poziionare este fixat de trenul de ghidare prin activarea electromagnetului. Dup aceea, piezoelementul se contract rapid prin aplicarea unei tensiuni pe el; aceast aciune accelereaz greutatea ctre elementul de poziionare. Cnd elementul sa contractat complet, electromagnetul este decuplat i ineria greutii deplaseaz dispozitivul n direcia acceleraiei. Distana parcurs n timpul unui pas depinde de fora de inerie i de forele de frecare la alunecare prezente. Parametrii unui astfel de prototip actuator construit sunt 5x5x12 mm 3 ; el are greutatea de 1g. Piezoelementul de acionare este de 1x2x5 mm 3 . La o frecven de operare de 35 kHz, microactuatorul se poate deplasa cu o vitez de 35 mm/s. Acest microactuator poate fi folosit pentru multe funcii de deplasare liniar, de exemplu poziionarea precis a unei piese de lucru cu un aranjament de 4 actuatori. 7.4.2. Maina micro-trtoare

51 n cadrul unui program de cercetare derulat n Elveia, a fost dezvoltat o aa numit main micro-trtoare care poate efectua micri precise asemntoare micrii unui vierme i poate fi folosit la acionarea unei mese de poziionare la o staie de microasamblare sau ca o mic platform mobil a unui robot. Dispozitivul are aproximativ 60 mm x 60 mm i const din 2 picioare triunghiulare (fig. 1). Piciorul interior este conectat la cel exterior prin 3 piezoelemente multistrat. n toate cele 3 coluri ale triunghiului exterior i n centrul piciorului interior sunt ncorporai electromagnei.

Fig. 1. Main micro-trtoare cu electromagnei: a) desen schematic; b) prototipul dispozitivului.

Dispozitivul se poate tr nainte inndu-se de un suport feromagnetic cu un picior i mutndu-l pe cellalt. Secvena de micare este urmtoarea: n starea iniial, piciorul exterior este fixat pe baz prin cei 3 magnei (alimentai cu curent), iar piciorul exterior este liber (curentul este ntrerupt n bobina magnetic interioar). Dac piezoelementele sunt apoi activate de o tensiune electric, piciorul interior se mic ntr-o poziie nou n planul x-y dependent de interaciunea piezoactuatorilor. La acest moment, piciorul interior este fixat n noua sa poziie prin alimentarea cu curent a bobinei sale magnetice. n acelai timp, piciorul exterior este lsat liber prin ntreruperea curentului din electromagnei i dispozitivul mai face un pas, etc. Platforma poate fi micat precis ntr-un mod omnidirecional. Piezoactuatorii ating dilatarea sau contractarea maxim de 5 m la o tensiune de 150 V. Rezoluia micrii este de aproximativ 10 nm. Cu acest principiu se poate obine o prindere bun de suport i ca urmare poate fi folosit pentru mpingerea greutilor, urcarea pereilor sau chiar deplasarea pe un tavan feromagnetic. Totui, din cauza cmpurilor magnetice produse, acest dispozitiv nu este potrivit pentru folosirea n interiorul unui microscop electronic cu baleiere. Din acest motiv a fost proiectat o alt platform mobil, care se bazeaz pe principiul micrii ineriale i al frecrii neliniare (fig. 2).

52

Fig.2. Main micro-trtoare fr electromagnei: a) desenul schematic; b) un prototip, n comparaie cu prima main micro-trtoare.

Dispozitivul este similar cu prima main micro-trtoare, dar nu are electromagnei; de aceea a fost posibil reducerea dimensiunilor sale la 38 x 35 x 9 mm 3 . Deoarece componenta exterioar nu are nici un fel de contact cu baza de deplasare, ea nu trebuie s acioneze ca un picior, ci ca o mas suspendat care s genereze fora de inerie i momentul de inerie necesare micrii. 3 sfere de rubin sunt fixate pe componenta interioar; ele sunt n contact cu suprafaa de lucru i acioneaz ca un picior. Cele 2 componente ale platformei sunt interconectate prin intermediul a 3 actuatori piezoelectrici multistrat. Dispozitivul este acionat prin dilatarea sau contractarea elementelor piezoelectrice n conformitate cu o strategie definit. De exemplu, dac piezoelementele se dilat rapid, platforma alunec ntr-o parte fa de centrul de greutate din cauza forei de inerie create i a frecrii mici dintre rubine i suport. Apoi, piezoelementele sunt contractate lent, astfel nct forele lor de inerie sunt mici, iar forele de frecare sunt suficient de mari ca s previn alunecarea platformei napoi. La o tensiune de alimentare de 100 V, deplasarea rezultat ntr-un pas este de 2 m. Pentru o frecven de operare de 400 Hz, viteza atins de platform poate fi pn la 1 mm/s. Platforma poate atinge aceeai vitez de poziionare de 10 nm ca i prima main micro-trtoare, dar pentru acest principiu de micare problemele legate de controlul deplasrii sunt mai dificile. 7.4.3. Principiul de micare bazat pe peri Un alt exemplu de platform mobil este dispozitivul acionat pe peri, care poate servi ca unitate de transport acionat electromagnetic pentru microroboi. Au fost construite 2 modele diferite (fig. 1). Unitatea 1 se poate mica numai nainte, n timp ce unitatea 2 se poate ntoarce la stnga i la dreapta. Principiul de micare este acelai, aa c l vom descrie numai pe cel al unitii 1.

53

Fig. 1. Reprezentarea schematic a unui microrobot acionat pe peri.

Robotul const dintr-un corp fcut din aluminiu, o bobin solenoid, un magnet permanent ca parte a piciorului, un picior din tabl subire n form de L, la care n partea de jos este ataat o pnz de nailon cu peri i un opritor fcut din cupru. Bobina magnetic este fcut dintr-un miez de fier i o nfurare de srm emailat avnd 600 de spire. Bobina i magnetul permanent formeaz actuatorul electromagnetic (fig. 2).
Fig. 2. Structura actuatorului electromagnetic al microrobotului

Pe miez este prins un strat izolator care garanteaz o distan fix de 0,5 mm ntre magnetul permanent i fier. Cnd bobina nu este alimentat cu curent, ntre magnetul permanent i fier se exercit o for de atracie de 0,018 N. Cnd bobinei i se aplic o tensiune, asupra prii superioare a piciorului este exercitat o for de respingere de 0,054 N i piciorul ncepe s se mite (fig. 3). Prin pornirea i ntreruperea succesiv a curentului se obine o micare de alunecare n pai discrei. Fora de impact exercitat i ineria generat valorific diferitele fore de frecare cu care perii de nailon se cupleaz la podea. Deoarece perii sunt ndoii la un unghi de 45 , actuatorul se poate deplasa mai bine nainte de ct napoi. Astfel micrile nainte i napoi ale bobinei determin deplasarea dispozitivului. Microrobotul poate urca o pant cu nclinaia de 25 crnd o sarcin de 5 g.

SEEA

54

Fig. 3. Principiul de micare al robotului.

7.4.4. Microrobot piezoelectric nottor Noul concept de microrobot nottor poate fi folosit la realizarea de roboi pentru platforme mobile n aplicaii industriale, de exemplu, la inspecia conductelor sau ca dispozitiv miniaturizat pentru scopuri medicale la controlul vaselor de snge. Micarea robotului este obinut folosind piezoactuatori, prin vibraia aripioarelor (figur).

Principiul de operare al microrobotului nottor: schia robotului (stnga) i principiul de micare al aripioarelor.

Piezoelementele multistrat n stiv exercit fore mari, dar deplasarea lor este mic. Totui, ele pot aciona cu uurin un mecanism prghie. La acest microrobot o curs mic de 8 m a piezoelementelor este mrit de 250 ori pentru a genera o micare secundar de 2 mm. Micarea de not este realizat de 2 aripioare lungi de 32 mm i un mecanism prghie. Fora de propulsie rezultant a fost de 10 4 N pentru micrile nainte i de 2x 10 4 N pentru micrile napoi.

SEEA

55

Robotul are o lungime de 34 mm i o lime de 19 mm. Aripioarele confer robotului un grad de libertate de rotaie i unul de translaie, permindu-i s se mite nainte i s evite obstacolele din calea sa. Robotul a fost capabil s se deplaseze cu o vitez de 30 mm/s la o frecven de operare a piezoelementelor de 100 300 Hz i o tensiune de 150 V.

SEEA

56

2. SISTEME MECATRONICE 2.1. Definirea mecatronicii Sistemele tehnologice de fabricaie i multe produse obinute n cadrul acestor sisteme reprezint un ansamblu de componente mecanice i electrice interdependente, fiind deci sisteme electromecanice. Aceste sisteme au devenit tot mai complexe i performante dup apariia i introducerea circuitelor integrate i a calculatoarelor. Obiectivul tradiional al electromecanicii s-a lrgit i a aprut un nou domeniu ingineresc Mecatronica. Mecatronica este un domeniu ingineresc interdisciplinar care se ocup de proiectarea i dezvoltarea de sisteme complexe ce combin principii electrice, mecanice i ale calculatoarelor. Mecatronica este disciplina care studiaz, prin tehnici de analiz, sintez, modelare i simulare, sisteme ce combin componente mecanice i electrice cu tehnici de control moderne i cu microprocesoare. Mecatronica se ocup deci de combinarea ingineriei mecanice de precizie, ingineriei electrice i electronice, tehnologiei calculatoarelor i a informaticii industriale la proiectarea de produse i procese de fabricaie de nalt performan. Sistemele mecatronice sunt constituite n mod tipic din componente tradiionale mecanice i electrice la care se adaug dispozitive i sisteme moderne de tipul senzorilor, actuatorilor i sistemelor de control pe baz de calculator. Aceast combinaie face posibil realizarea de produse mai simple, economice, fiabile i versatile. Cuvntul Mecatronica este o combinare lingvistic de Mecanic i Electronica. Termenul a fost folosit prima dat de Tetsuro Mori, n 1969, inginer al Companiei Japoneze Yaskawa. Mecatronica mai are semnificaia de sisteme electromecanice inteligente. Mecatronica mai semnific o tehnologie integrat pentru realizarea produselor ce prezint performane de rapiditate i precizie. Printr-o complet colaborare, modulele mecatronice ndeplinesc sarcini de producie i asigur proprieti flexibile n schemele de fabricaie. Echipamentele de producie moderne const din module ce sunt integrate conform unei arhitecturi de control. Cele mai cunoscute arhitecturi sunt de tip ierarhic, poli-ierarhic, eterogen (amestecat) i hibrid. Metodele pentru obinerea unui efect tehnic sunt descrise prin algoritmi de control.

2.2. Concepte n mecatronic

SEEA

57

2.2.1. Conceptul interdisciplinar al mecatronicii Disciplina Mecatronica cuprinde o arie larg de tematici din domeniile ingineriei electrice, mecanice i calculatoarelor. Aceasta se ocup, de asemenea, cu metodele i tehnicile de concepere i proiectare care ncearc s fac o punte peste tradiionalele diferene ale acestor discipline i de a crea produse complet integrate, de natur sinergetic. (sinergie aciunea coordonat a mai multor componente pentru ndeplinirea unei funcii comune)

.
Fig. 1. Conceptul interdisciplinar al Mecatronicii

Dup cum este ilustrat conceptul interdisciplinar al Mecatronicii (Fig. 1), aceasta se afl la confluena a 4 mari domenii inginereti: Sisteme mecanice, Sisteme electrice (electronice), Calculatoare i Sisteme de control. Figura ilustreaz i rezultatele confluenei a dou cte dou pentru cele 4 domenii, rezultnd urmtoarele subdomenii: Electromecanic (Mecanica i Ingineria electric), Proiectarea asistat de calculator (Mecanica i Calculatoarele), Sisteme de control digital (Sisteme de control i Calculatoare) i Electronica de control (Sisteme de control i Electronic). La confluena a cte 3 domenii, sau a cte 2
SISTEM MECANIC subdomenii menionate anterior, se gsesc alte diviziuni de domenii sau de discipline
- model de sistem - rspuns dinamic

cunoscute: Analiza sistemelor, Senzori i actuatori, Simularea sistemelor, Microcontrolere i microprocesoare.

SEEA

58

ACTUATORI
- electromagnei - cu bobin mobil - motoare c.c. - motoare pas cu pas - servomotoare electrice, hidraulice i pneumatice

SENZORI
- limitatoare - mrci tensom - poteniometre - termocupluri - fotoelectrici - accelerometre - cu ieire codat - MEMS

CONDIIONARE SEMNALE DE INTRARE I INTERFAARE

-circuite discrete -filtre -amplificatoare -A/D, D/A

AFIRI GRAFICE
-LEDuri -LCD -digital -CRT

CONDIIONARE SEMNALE DE IEIRE I INTERFAARE

- D/A, A/D -tranzist. de putere - amplificat. -amplif. op. de putere - PWM

ARHITECTURI DE CONTROL DIGITAL

- circuite logice -secvenare i temporiz. - microcontroler -logic i aritmetic - PLC -algoritmi de control - comunicaii

Fig. 1. Arhitectura general i componentele unui sistem mecatronic.

Schema bloc din figura 1 reprezint arhitectura general a unui sistem mecatronic, care pune n eviden principalele sale componente i legturile dintre acestea. n structura unui sistem mecanic exist actuatori i senzori, primii fiind dispozitive motoare generatoare de fore i cupluri pentru asigurarea micrii i poziionrii, iar ultimii fiind dispozitive detectoare a mrimilor i parametrilor finali sau intermediari ai sistemului mecanic. Semnalele electrice furnizate de senzori sunt condiionate i aduse n forma convenabil aplicrii unui centru de comand al sistemului mecatronic, prevzut cu o anumit arhitectur de control digital ce asigur ndeplinirea algoritmului de control implementat. n baza acestui algoritm i pe baza informaiilor de la senzori, se emit semnale de comand, prin intermediul unui bloc de condiionare ieiri i interfaare ctre actuatori pentru corecii n procesul din sistemul mecanic i desfurarea lui n sensul dorit. Semnalizri i valori utile ale unor mrimi din proces sunt afiate grafic prin LED-uri, afioare numerice, cristale lichide sau tuburi catodice. 2.2.2. Componentele de baz ale unui sistem mecatronic n cele ce urmeaz vom prezenta componentele principale ce concur la realizarea unui sistem mecatronic, categorisite pe 4 grupe de discipline: electric, software, mecanic i concepie i proiectare. A. Componente electrice

SEEA

59

Acest grup de componente din domeniul ingineriei electrice cuprinde senzori, controlere i motoare, ct i alte dispozitive electrice i electromecanice. A1. Senzori. Senzorii i traductoarele joac un rol cheie n interaciunea unui controler, sau unitate de comand cu mecanismele sistemului i mediul acestuia. Asemenea organismelor vii, unitatea de comand a sistemului se bazeaz pe senzori pentru colectarea datelor la intrarea sa i a lua decizii de conducere a proceselor. Aceste date sau informaii ale senzorilor pot include monitorizarea presiunii, poziiei, intensitii luminoase sau a altor parametri ce afecteaz comportarea sistemului mecatronic. n mod tipic, informaia de la senzori se prezint sub forme variate de tensiuni electrice ce depind de parametrii msurai. Semnalele analogice de tensiune necesit de obicei unele tipuri de condiionri sau procesri nainte de a fi transmise unor dispozitive de control digital, cum sunt microcontrolerele. O list uzual de senzori i traductoare pentru sisteme mecatronice este dat mai jos: Senzori de lumin Fotorezistori (sau fotocelule): rezistena electric variaz cu lumina Fototranzistori: curentul din tranzistor variaz cu lumina Fotodiode: jonciunea semiconductoare produce curent n funcie de intensitatea luminoas Mini- i microcamere video: produc semnale analogice ca funcii de intensitatea luminii i culoarea sa pe o gril cu pixeli. Senzori de for Microntreruptoare: limitatoare mecanice de poziie Mrci tensometrice: rezistena electric filamentului mrcii variaz cu alungirea i comprimarea filamentului Piezorezistene: rezistena electric variaz cu tensiunea mecanic Senzori de sunet si vibratii Microfoane: produc semnale analogice de amplitudine i frecven variind ca funcie de volumul i tonalitatea sunetului Senzori cu film piezoelectric: produc tensiuni electrice cnd sunt supui unor vibraii sau schimbri de fore. Sonare: genereaz i primesc unde sonore la intervale constante de timp pentru msurarea distanei.

SEEA

60

Cel mai precis i avantajos mijloc de msurare a vitezei i poziiei unui ax de motor este un encoder optic. Principiul de funcionare a unui encoder se poate deduce din funcionarea unui disc crestat cu ntreruptor optic din Fig. 1, care poate fi folosit pentru a detecta o poziie unghiular particular a mainii, viteza de rotaie a acesteia, sau cte rotaii a efectuat.

Fig. 1. Disc crestat i opto-ntreruptor. O mic fant radial este taiat n disc, uzual metalic, montat pe axul mainii. La rotirea discului, lumina va trece prin fant la fototranzistor cnd discul are o poziia unghiular particular, astfel c se obine un puls electric pe rotaie. Pentru msurarea precis a poziiilor unghiulare mai mici de 360 sunt necesare encodere optice incrementale i absolute. Encoderul incremental are un disc din sticl prevzut cu o un numr de segmente formnd o succesiune alternativ de segmente opace i transparente pentru fasciculul de lumin. Numrul de impulsuri electrice generat de fototranzistor este proporional cu unghiul de rotaie a axului mainii. Rezoluia encoderului este raportul dintre numrul de impulsuri pe rotaie i unghiul de 360. De exemplu, pentru 1000 de impulsuri (1000 de segmente negre i albe), rezoluia de detectare a unghiului este de 360 grade / 1000 = 0,36 grade. Encoderul absolut prevede valori digitale ca semnal de ieire, n cod binar de 4 ranguri BCD (Fig. 2) sau/i n cod Gray (Fig. 3).

SEEA

61

Fig. 2. Disc de encoder optic absolut n cod BCD.

Fig. 3. Encoder absolut cu ieiri n codurile BCD i Gray. A2. Controlere Termenul de controler, n sensul de concept pentru mecatronic, poate fi definit ca o unitate sau un dispozitiv prevzut cu un mijloc de calcul electronic, capabil s execute un set de instruciuni ce definesc funcionalitatea unui sistem mecatronic. Controlerul constituie singur sau face parte din unitatea de comand a sistemului.

SEEA

62

Sistemele mecatronice timpurii, dezvoltate pentru largi aplicaii de automatizri industriale, utilizau controlere cu logic programabil, aa numitele PLC uri (PLC acronim de la Programmable Logic Controller), sau n terminologia romneasc, automate programabile. Extinderea mecatronicii la produsele electromecanice de consum, de genul electrocasnice, precum i progresele microelectronicii au condus la o nou form de controlere integrate numite microcontrolere. Acestea sunt de fapt calculatoare simplificate de mici dimensiuni, un calculator pe un singur cip. Prin programare, un microcontroler poate monitoriza un proces primind la intrare informaii de la o varietate de senzori. Microcontrolerul utilizeaz linii de intrare i ieire cu semnale digitale sau convertoare intrare/iesire A/D si D/A. Un microcontroler este dezvoltat n jurul unui microprocesorunitatea sa central de calcul. Cerinele industriale i dezvoltarea rapid a circuitelor integrate cu mare putere de calcul au condus la o cretere puternic a numrului de fabricani de microcontrolere de variate capaciti i destinaii. Un mare fabricant, de pild, este Motorola, iar familia sa de microcontrolere MC68HC11 st la baza proiectrii i realizrii multor sisteme mecatronice. A3. Motoare/Actuatori Motoarele, care convertesc puterea electric n cea mecanic, pot fi considerate ca cele mai numeroase dispozitive electromecanice. De regul, variate tipuri de motoare de c.a. sunt folosite n aplicaii de echipamente mari ca gabarit i putere, n timp ce variate tipuri de motoare de c.c. se ntlnesc n aplicaii de mici dimensiuni, unde sunt cerine speciale de control precis al vitezei i cuplului. Viteza motoarelor convenionale de c.c. poate fi controlat prin simpla variaie a tensiunii ori prin alimentarea motorului cu tensiuni n form de impulsuri variabile n lime (convertoare PWM Pulse Width Modulation). Cele mai specializate tipuri de motoare de c.c. sunt motoarele pas cu pas i diversele varieti de servomotoare. Motoarele pas cu pas ofer avantajul controlului mai simplu a micrii, n bucl deschis, utiliznd cteva nfurri ce pot fi activate secvenial pentru a determina att viteza ct i poziia axului rotorului. Configuraiile tipice includ 4 nfurri separate ce produs pai cuprini ntre 3 i 8 grade. Servomotoarele (motoare comandate) de c.c. au i ele o larg utilizare n mecatronic, fiind componentele principale ale servomecanismelor destinate poziionrii precise, n cadrul unei bucle nchise de reglare, a unor organe mecanice. Aceste motoare, care ncorporeaz

SEEA

63

limitatoare mecanice de poziie, nu sunt destinate rotaiilor continue, ci n special deplasrilor unghiulare limitate, ofer costuri sczute i soluii optime de cuplu mecanic pentru anumite aplicaii. Muli actuatori opereaz pe aceleai principii electromagnetice precum motoarele de c.a. i c.c. discutate mai sus. Electromagneii, care const dintr-o bobin strbtut de un curent electric, un miez magnetic fix i un miez magnetic mobil, sunt exemple uzuale de actuatori folosii n sisteme mecatronice. De asemenea, de mare interes, mai ales n sistemele mecatronice ce asigur deplasri i poziionri precise i de nalt rezoluie (de ordinul micronilor sau chiar submicronilor), sunt actuatorii sau motoarele liniare electromagnetice cu bobin mobil (lucrarea L4 de laborator). B. Software Softul pentru sistemele mecatronice trebuie s conin instruciuni pentru interpretarea informaiei senzoriale i pentru controlul dispozitivelor electromecanice n acord cu funciile stabilite ale sistemului. Abordrile pentru satisfacerea acestor cerine, variaz de la codificarea simpl i direct a semnalelor, la procesarea complex a semnalelor i pn la rutine sau subprograme de inteligen artificial. n timp ce majoritatea automatelor programabile sunt programate folosind scheme de logic n scar, cele mai moderne microcontrolere interfaeaz cu compilatoare (translatoare de program, din pr. surs n pr. obiect) n limbaj C sau de asamblare. O excepie o constituie o serie de controlere care suport o versiune a limbajului BASIC: Un mod de abordare radical diferit a fost utilizat cu succes de compania american National Instruments, cu produsul soft LabVIEW. Programarea n LabVIEW presupune scheme folosind iconuri (simboluri grafice) funcionale, asemenea organigramelor realizate din blocuri. Acest program este cel mai frecvent utilizat acolo unde o staie de lucru sau un calculator personal funcioneaz drept controler. C. Componente mecanice Componentele mecanice din sistemele mecatronice sunt diverse, unele fiind chiar unice pentru anumite aplicaii. n plus, fa de componentele structurale convenionale, o serie de elemente mecanice trebuie s asigure asamblarea prilor electrice i electronice n structura mecanic proiectat. Aceasta implic asigurarea unui spaiu suficient componentelor electrice pentru eliminarea interferenelor i pentru rezolvarea problemelor de protecie, ventilaie i ntreinere ale componentelor. Deoarece, prin natura lor, majoritatea sistemelor

SEEA

64

mecatronice interacioneaz cu mediul, multe componente mecanice sunt asociate micrii i transferului de putere, cum sunt: roi dinate, lagre, pistoane etc. Dup cum se tie, simplificat vorbind, un sistem mecatronic se poate obine prin utilizarea i includerea unui controler ntr-un sistem electromecanic. Cum utilizarea de controlere ncorporate ntr-un sistem electromecanic este tot mai rspndit, lista de sisteme tehnice incluse ca aplicaii mecatronice crete rapid i n consecin, mecanica i specialitii si trebuie s abordeze un spectru nou de componente pentru aceste aplicaii. D. Probleme de concepie i proiectare Orice produs ce poate fi mbuntit prin ncorporarea unui controler ar putea deveni un produs mecatronic. Un astfel de exemplu sunt sistemele de ghidare ale avioanelor i altor vehicule de zbor spaiale. Totui, nlocuirea circuitelor electronice analogice i a dispozitivelor mecanice i electromecanice pentru temporizri (relee de timp, de exemplu), prin microcontrolere n produsele de consum, implic o examinare atent. Un bun proiectant poate fi constrns de dezavantajele ct i de dezavantajele ncorporrii unei tehnologii mai complexe ntr-un produs. Un exemplu ar putea fi afluxul de microcontrolere n industria de automobile. Costurile de nlocuire prin microcontrolere n cadrul sistemelor de control al suspensiei i sistemelor de frnare antiblocare sofisticate, de exemplu, pot avea un impact sau efect important asupra mentenanei mainii i asupra cumprtorului. Problemele de siguran sunt un alt aspect de luat n considerare n conceperea i proiectarea unui sistem mecatronic. Compania Boeing, de exemplu, un operator de marc pe piaa constructorilor de avioane, a refuzat pe motive de securitate introducerea unui sistem modern de limitare automat a factorului de ncrcare a avionului, rmnnd la vechiul sistem de limitare fly-by-wire. Consideraiile de mai sus nu implic o nou procedur de proiectare, ci reprezint doar idei conceptuale pentru aplicaii mecatronice. Provocarea cercettorilor i proiectanilor const n mbuntirea integrrii cu succes a domeniilor multidisciplinare ntr-un adevrat produs sinergetic. Conceptul proiectrii mecatronice pune accentul pe o interaciune dinamic dintre colaboratorii disciplinelor principale concurente n mecatronic, pentru ndeplinirea cerinelor produsului. Scopul este de a defini cel mai bun curs al aciunii, al procesului de proiectare, ncepnd cu stadiul de concepere sau definire a produsului, trecnd prin analizele de fiabilitate i pn la implementarea sa industrial. 2.3. Aplicaii ale mecatronicii

SEEA

65

Mai multe sisteme mecatronice au devenit obinuite n viaa oamenilor. Reglarea automat a vitezei (cruise control), spre exemplu, schimb un automobil ntr-o main mecatronic. Calculatoarele personale i mainile moderne de splat sunt alte 2 exemple ce conin module sau sisteme mecatronice. Alte sisteme mecatronice cu impact asupra societii actuale sunt: roboii, sistemele de lagre magnetice, bancomatele, echipamentele de exerciii fizice, o serie de echipamente medicale i sisteme de fabricaie industriale. Dou interesante i recente exemple sunt date n continuare. Este vorba mai nti de un proiect n care un ecran LCD transparent optic este folosit ca vizier sau parasolar de soare activ pentru aplicaii n automobile. Prin urmrirea poziiei soarelui, microcontrolerul poate calcula care pixeli trebuie s fie ntunecai sau nchii la culoare n scopul de a bloca transmiterea luminii solare la ochii oferului. O a doua soluie mecatronic deosebit aparine Companiei National Instruments. Dup cum se tie, NI a devenit unul dintre liderii automatizrilor industriale, furniznd numeroase produse software i sisteme de achiziii date. n acest caz, este vorba de un sistem ce utilizeaz un microcontroler i un sistem de achiziii date pentru monitorizarea i controlul amestecului de boabe de cafea n acord cu cerinele unei reete stricte. Sistemul prevede, de asemenea, o continu legtur de reacie din proces ctre operator i inventarierea rezultatelor i operaiilor anterioare. Aplicaiile medicale sunt zone extrem de promitoare pentru sistemele mecatronice, cum sunt roboii. Roboii medicali i de chirurgie asistat de calculator pot asigura proceduri medicale mai bine dect orice chirurg sau main. Un produs mecatronic de mare popularitate este tranportorul uman cu 2 roi, Segway ('zeg-uei) PT. Numele este prescurtarea de la expresia englez Segway Personal Transporter, care este o biciclet special electric cu auto-echilibru, inventat de inginerul american Dean Kamen. Este produs de compania Segway Inc. din statul federal american New Hampshire. Iniial vehicolul se numea Segway HT, de la Segway Human Transporter. Segway este constituit dintr-o mic platform joas pe care te urci, avnd n dreapta i n stnga cte o roat de mrime mijlocie, i n mijloc un ghidon (tij) subire i nalt ca de trotinet, cu mnere. Segway este inut n picioare n echilibru static sau dinamic de ctre un computer i motoare electrice plasate discret sub platform. Pentru a detecta aplecrile ghidonului, prin care se dau comenzile, se folosesc senzori giroscopici. Acetia livreaz computerului poziia i viteza momentan. La rndul lui,

SEEA

66

computerul prelucreaz continuu datele i calculeaz ce comenzi anume trebuie date motoarelor, n aa fel ca acestea s restabileasc echilibrul n mod automat (fr intervenia utilizatorului).

SEEA

67

Pentru a demara i nainta utilizatorul trebuie doar s aplece ghidonul puin spre n fa; pentru a coti ghidonul trebuie aplecat uor spre dreapta sau stnga (asemntor unui joystick). Viteza maxim este de circa 20 km/h (5,6 m/s). ncetinirea deplasrii se obine prin tragerea ghidonului napoi (spre sine), fr s fie nevoie de frne propriu-zise ca la biciclet. Avantajele unui Segway (n comparaie cu o biciclet sau motoret obinuit) sunt: ocup loc puin, este uor de nvat i condus, nedepunndu-se nici un efort, lipsa polurii, posibilitatea de a opri fr a pierde echilibrul, manevrabilitatea mare att n ora, chiar n zone pietonale nguste, ct i n zone accidentate naturale, viteza relativ mare n comparaie cu mersul pe jos. Dezavantajele sunt: nu constituie un antrenament sportiv, folosina e limitat de acumulatorul electric, este nc scump drept care i puin rspndit n public, are o situaie legal nc nedefinit, de exemplu cu privire la dreptul de a circula pe trotuar sau pe partea carosabil a strzii, obligativitatea (sau lipsa ei) de a avea frne i faruri etc. Din aceste cauze are succese deocamdat numai n domenii speciale (nie), cum ar fi la poliie, n baze militare extinse, la personalul de paz n magazine generale mari, la firme i coli cu un campus de mare extindere.

Max Speed: Range on a single charge:

20 km/h 17 - 25 km

The measure for perfect conditions: 25km range is as follows: (15 mi) normal conditions: 16 km (10 mi) rough terrain: 8 km (5 mi) Max weight of Passenger Weight of vehicle (incl. batteries) 110 kg (250 lbs) 38 kg (83 lbs)

Weight of batteries approx. 9 kg Diameter of wheels 48 cm

Table 5.1

Segway Human Transporter

53 8. SISTEME DE LEVITAIE MAGNETIC 8.1. Levitaia magnetic Sistemele de levitaie magnetic sau maglev sunt sisteme electromecanice care sustenteaz sau suspend obiecte feromagnetice utiliznd fenomene electromagnetice. Tehnologia maglev prezint o atenie deosebit deoarece elimin pierderile datorate frecrilor. Centrat pe reducerea frecrii, sistemele maglev au o serie larg de aplicaii cum ar fi lagrele magnetice, platforme de poziionare de nalt precizie i trenurile de mare vitez. Levitaia magnetic (maglev, de la magnetic levitation) este fenomenul de plutire sau suspendare a unui corp sub efectul cmpului magnetic. Principiul de baz al maglev const n faptul c 2 poli magnetici de nume diferite, N i S, se atrag n timp ce 2 poli cu acelai nume se resping. Astfel, pe acest principiu, un magnet ar putea fi levitat deasupra unui alt magnet (Fig. 1).

Fig.1 Levitarea unui magnet deasupra altuia.

Totui, este uor de neles c magnetul superior din aceast configuraie nu va sta fix deasupra celuilalt, avnd tendina de a se nclina fa de axa sa vertical. Sistemul este instabil deoarece fora este repulsiv, iar energia magnetic potenial nu are un punct de minim ca o funcie fie de distana vertical fie de cea orizontal dintre magneti.. De altfel, nc din 1842 exist teorema lui Earnshaw conform creia, n general, nici un aranjament static de magnei nu poate fi stabil, separat sau n prezena gravitaiei. Teorema este valabil pentru toate tipurile de fore, gravitaionale, electrice i magnetice, aa cum de altfel a enunat-o iniial Earnshaw: nici un obiect staionar, constituit din sarcini, magnei sau mase nu poate fi pstrat n spaiu printr-o combinaie fixat de fore electrice, magnetice i gravitaionale. Teoretic, toate obiectele pot fi levitate sau sustentate n cmp magnetic, deoarece toate substanele sunt influenate de cmpul magnetic aplicat. Din punct de vedere magnetic substanele se divid n 3 categorii: a) Feromagnetice, cum sunt fierul, oelul, cobaltul i nichelul,

54 capabile s se magnetizeze puternic n cmpuri magnetice, care au permeabilitatea relativ r>>1; b) Paramagnetice, cum sunt oxigenul lichid i ferofluidele, care se magnetizeaz cu ceva mai mult dect vidul, r>1, dar mult mai puin dect fierul; c) Diamagnetice, cum sunt substanele alcaline, halogenii i gazele nobile, cu r<1, care sunt respinse de magnei i tind s se auto-poziioneze la unghiuri drepte fa de liniile de cmp magnetic. Pentru a obine o levitaie stabil exist cteva ci de a evita presupunerile sau ipotezele teoremei lui Earnshow: 1. Controlul levitaiei: Dac se detecteaz poziia unui obiect n spaiu i se introduce aceast informaie n reacia negativ a unui sistem de control, se poate varia intensitatea cmpului magnetic care acioneaz asupra obiectului, obinndu-se o levitaie stabil. Un astfel de sistem n bucl nchis, ce include electromagnei, senzori i un circuit de reacie negativ, asigur o compensare activ a micrilor de dezechilibru ale magnetului sau piesei magnetice n levitaie. Astfel de sisteme sunt pe larg utilizate n industrie n lagrele magnetice active. 2. Efectul giroscopic: Se poate obine un sistem de levitaie stabil cu magnei permaneni prin rotirea magnetului levitat n jurul axei verticale. Magnetul rotit (giroscop magnetic) se afl deasupra unei baze cu un aranjament de magnei staionari ce asigur repulsia magnetic a giroscopului. Stabilitatea este dat de fora giroscopic care previne nclinarea magnetului superior fa de axa vertical, obinndu-se un rspuns dinamic al giroscopului la cmpul magnetic al magneilor de baz. Materializarea acestei idei simple s-a fcut prin realizarea levitronului - o jucrie comercializat cu mare succes. O dat magnetul rotitor pus n micare rapid de rotaie, levitronul rmne stabil levitat, de la 5 minute pn la cteva zeci de ore, att timp ct viteza de rotaie se pstrat ntre anumite limite. Pentru evitarea disiprilor de energie prin cureni indui, magneii sunt confecionai din materiale magnetice ceramice. 3. Diamagnetismul: Materialele diamagnetice prezint o magnetizaie de sens opus cmpului magnetic extern. Ca urmare diamagneticele sunt respinse de cmpul magnetic i tind s se stabileasc n regiuni cu cmpuri locale minime. Deoarece magnetizarea diamagneticelor depinde de cmpul extern, acestea rspund n mod dinamic la schimbrile cmpului. Astfel, dac diamagnetul n levitaie este deplasat din minimul local de cmp, magnetizaia sa negativ crete i determin mrirea forei de revenire, care reine diamagnetul pe loc. Practic orice obiect din material diamagnetic poate fi levitat stabil dac se pot obine cmpuri magnetice extrem de intense care s permit crearea de fore magnetice suficiente s nving greutatea obiectului. Cmpuri de 10 T sunt suficiente de a levita orice substan diamagnetic. n laboratoare s-a obinut levitarea picturilor de ap i a unor substane organice. n urm cu civa ani, un grup de cercettori de la o universitate din Olanda a raportat c a reuit s leviteze, cu un magnet de 20 T, aproape tot ce le-a czut la mn: de la buci de brnz i pizza la creaturi vii, inclusiv broate i un oarece.

55 Broasca levitat nu a prezentat nici un fel de reacii adverse ca urmare a expunerii la cmpul magnetic. n contrast cu diamagneticele, materialele paramagnetice nu pot fi levitate stabil fr folosirea reaciei negative ntr-un sistem de control. 4. Supraconductibilitatea: Supraconductibilitatea este un fenomen caracterizat prin dispariia rezistivitii electrice la unele substane rcite la temperaturi foarte joase, sub cea de tranziie sau critic Tc, care poate fi de cteva grade Kelvin sau cteva zeci de grade K. Au fost descoperii i supraconductori cu temperaturi ridicate T c, n jur de 100K (-173 C). Materialele supraconductoare expulzeaz cmpul magnetic din interior, efectul Meissner, fiind astfel perfect diamagnetice. Comportndu-e precum diamagneticele, obiectele din materiale supraconductoare pot fi levitate stabil n cmp magnetic staionar ntr-un mediu rcit sub temperatura critic (Fig. 2).

Fig. 2a. Magnet cu linii de cmp

Fig. 2b. Magnet i supraconductor cu linii de cmp

8.2. Lagre magnetice Un lagr magnetic asigur levitarea unui ax sau rotor n cmp magnetic. Cmpul magnetic poate fi generat n principal pe 2 ci: fie folosind un magnet permanent fie folosind un electromagnet. Vom avea 2 tipuri principale de lagre magnetice: 1) Lagre magnetice pasive, cu magnei permaneni i 2) Lagre magnetice active, cu electromagnei. n prezent exist tendina dezvoltrii unor lagre magnetice combinate, care s prezinte avantajele ambelor tipuri de lagre. Lagrele magnetice sunt mult mai eficiente dect lagrele mecanice, deoarece reduc drastic frecarea, ceea ce conduce la reducerea pierderilor de energie i la o durat de via mult mai mare dect n cazul lagrelor convenionale. Exemple de sisteme care pot beneficia de lagre magnetice sunt: instalaii industriale (turbine mai eficiente), roi volante (pierderi reduse de energie cinetic) i vehicule (frecare de rotaie sczut la axe sau osii). 8.2.1. Lagre magnetice pasive (LMP) Lagrele magnetice pasive exploateaz forele de respingere ale magneilor permaneni pentru crearea forelor radiale dintre stator i rotor. Dup cum se tie, este imposibil obinerea unui echilibru stabil utiliznd numai magnei i atunci lagrul va trebui stabilizat pe cel puin o direcie folosind un lagr secundar, de tip mecanic sau magnetic activ. Lagrele pasive opereaz fr consum de energie electric dar prezint, ca dezavantaje, rigiditate i amortizare sczute.

56 Un exemplu de lagr magnetic pasiv pentru un ax poziionat vertical este dat in figura 1. Cei 2 magnei permaneni, stator i rotor, au forma inelar i sunt magnetizai radial, prezentnd poli de acelai nume faz n fa pentru crearea forelor magnetice de respingere. Magnetul rotor este fixat de axul care se rotete. Instabilitatea sistemului este pe direcia axial. Aceast instabilitate poate fi eliminat printr-un dispozitiv-stop, cum s-a folosit la primele lagre pasive, sau chiar printrun lagr magnetic activ.

Stabilitate

Stabilitate

Instabilitate
Fig. 1. Lagr magnetic pasiv pentru un ax vertical.
N N S S

Stabilitate

Instabilitate

Fig. 2. Lagr magnetic pasiv pentru un ax orizontal. Un lagr magnetic pasiv pentru susinerea unui ax orizontal se poate obine tot cu 2 inele de magnei permaneni, care sunt magnetizai fie axial, ca n figura 2, fie radial, ca n figura 3a. n ambele cazuri, inelele rotor i stator sunt dispuse cu polii magnetici de acelai nume fa n fa pentru dezvoltarea forelor magnetice de repulsie. Tot n ambele situaii, stabilitatea lagrului este pe direcia radial, iar instabilitatea pe direcia axial. O posibilitate de a elimina instabilitatea axial o constituie folosirea unui ferofluid. Un disc magnetizat axial i imersat ntr-un ferofluid, leviteaz stabil n acesta, cu condiia ca diametrul interior al rezervorului s fie doar cu puin mai mare dect diametrul discului magnetic (Fig. 3b). Ferofluidul este un lichid magnetic care dei este un coloid bifazic (lichid + particule magnetice solide), se comport ca un lichid omogen paramagnetic, atras de zonele cu densitatea mai mare a liniilor de cmp magnetic. n aceste zone cresc presiunea magnetic i vscozitatea ferofluidului, aa nct stratul de ferofluid din jurul discului mpiedic atingerea acestuia de pereii vasului. O configuraie posibil de ax orizontal echipat cu lagr magnetic i stabilizator ferofluidic este artat n figura 4. Pentru a obine fore axiale de restaurare a echilibrului suficient de mari, cavitatea trebuie s fie doar cu puin mai mare dect

57
discul magnetic, acesta din urm avnd o geometrie optimizat pentru creterea forelor de revenire axiale. O alt calitate a unui astfel de lagr este amortizarea vibraiilor prin intermediul ferofluidului.

LEVITATIA STABILA A UNUI MAGNET PERMANENT INTR-UN FEROFLUID

Fig. 3. Lagr magnetic prevzut cu stabilitate radial, dar instabilitate axial (a); Un magnet imersat ntr-un ferofluid este levitat stabil n 3 dimensiuni (b).

Fig. 4. Un ax cu lagre magnetice i stabilizator ferofluidic este levitat stabil n toate direciile.

8.2.2. Lagre magnetice active (LMA)

58 Lagrele magnetice active exploateaz forele atractive, de tip electromagnetic, dezvoltate n ntrefierul dintre axul sau rotorul din material feromagnetic i electromagneii statorului, care asigur suspendarea axului n rotaie n aer, fr nici un punct de contact. Este necesar un sistem de control n bucl nchis care stabilizeaz rotorul ntr-o poziie specificat. Fiecare lagr are, 3 sau mai muli electromagnei. Poziia rotorului este msurat cu senzori, ale cror semnale sunt trimise unor controlere, de multe ori de tip PID, semnalul de comand al acestora este furnizat unor amplificatoare de putere, iar curentul de ieire alimenteaz electromagneii care acioneaz asupra rotorului, stabilizndu-i poziia. Importantul avantaj al LMA, n comparaie cu LMP, este posibilitatea de a adapta rigiditatea (inflexibilitatea) i amortizarea lagrului n coordonate radiale n acord cu condiiile de lucru sau de operare. n plus, LMA pot influena activ i pozitiv comportarea unei maini.

Fig. 1. Lagr magnetic activ cu 8 poli

n figura 1 este ilustrat un lagr tipic cu 8 poli i 4 electromagnei. nfurrile a 2 poli perechi adiaceni, care formeaz un electromagnet, sunt n serie. Electromagnetul de sus i cel de jos genereaz fore verticale, de compensare a gravitaiei, n timp ce electromagneii dispui n stnga i n dreapta mpiedic sau restricioneaz deplasrile orizontale ale axului rotor. Cea mai mare parte a fluxului magnetic generat de curentul prin bobinele unui electromagnet este concentrat pe traseul format de cei 2 poli, aa nct nu exist cuplaj magnetic ntre direcia vertical i cea orizontal, cu alte cuvinte orice comand de variaie a poziiei pe vertical nu influeneaz poziia rotorului pe orizontal. Figura 2 arat componentele unui sistem tipic de lagr magnetic activ (LMA).
Amplificator Controler

Electromagnet

59
(Actuator) Fm s Obiect suspendat Senzor de poziie Fg

Fig. 2. Schema de principiu a unui sistem de LMA.

Electromagnetul este elementul actuator (de acionare), care, la trecerea prin bobina sa a unui curent i, produce fora magnetic de atracie, F m, asupra obiectului feromagnetic suspendat, respectiv axul unei maini, for ce echilibreaz pe cea gravitaional, F g, n vederea levitrii axului ce formeaz cu miezul electromagnetului ntrefierul de lungime s. Fora magnetic are expresia:
Fm = 0 An 2 i i = k 4 s s
2

(1)

7 H/m este permeabilitatea magnetic a vidului, A este aria seciunii miezului unde, 0 =4 10

magnetic al electromagnetului, n este numrul de nfurri, iar k = proporionalitate.

0 An 2 este un factor de 4

Se constat c fora este proporional cu ptratul curentului i invers proporional cu ptratul ntrefierului s. Amplificatorul convertete semnalele de mic putere de la ieirea controlerului n semnale de mare putere, cureni, necesari electromagnetului. Senzorul de poziie msoar continuu poziia axului levitat, semnalul furnizat fiind preluat de controler n vederea elaborrii comenzii corespunztoare. Senzorul este fr contact i poate fi de exemplu, de tip senzor Hall sau cu laser. n figura 3 se prezint schema bloc a sistemului de control n bucl nchis pentru un LMA. Fiecare electromagnet este prevzut separat cu controler i o bucl de reglare ca cea din figur. Reacia local indicat ntre ieirea rotorului (ieirea sistemului) i electromagnet arat dependena comportrii electromagnetului i de ntrefierul s, aa cum rezult din ecuaia funcionrii sale (1).

s0 + -

Controler

Amplific.

i(A)

Electro- Fm(N) Rotor magnet

s(m)

smas

60
Lagr magnetic Senzor de poziie

Fig. 3. Sistem de control al LMA Controlerul este destinat s asigure pstrarea constant a distanei s dintre rotor sau ax i polii electromagnetului. Problema proiectrii unui controler nu este simpl, datorit neliniaritilor existente i asociate cu dinamica sistemului electromecanic. Multe controlere se bazeaz pe strategia de reglare PID (proporional-integral-derivativ), n particular de obicei de tip PD. Marea popularitate a acestora se bazeaz pe faptul c sunt simple i destul de robuste. Teoria modern a controlului automat prevede posibilitatea proiectrii unor controlere avansate pentru sisteme de LMA de nalt performan. Caracteristica principal a acestora este robusteea fa de schimbarea valorilor parametrilor sistemului n timpul funcionrii sale. Exemple de astfel de controlere prevzui cu algoritmi avansai sunt: adaptive, de tip sliding (glisor, alunector, cursor) sau ajustabile. 8.3. Sisteme de levitaie magnetic n transporturi Rspunznd unor necesiti privind transportul cltorilor n condiii de vitez i confort sporite, cercettorii au gsit o nou tehnic pentru trenuri i calea de rulare, care utilizeaz sisteme electromagnetice pentru suspensie i propulsie, bazate pe levitaia magnetic sau maglev. Maglev asigur vehiculelor suspendarea i ghidarea prin fore magnetice. n loc de motoare, vehiculele maglev utilizeaz electromagnetismul pentru a levita sau sustenta vehiculul ct i pentru propulsia sa. Vehiculul se poate deplasa astfel cu vitez foarte mare i fr contact de-a lungul unei structuri-suport, denumit cale de ghidare. Exist 2 tipuri de baz de maglev: suspensia electrodinamic (EDS-electrodynamic suspension) i suspensia electromagnetic (EMS-electromagnetic suspension). Principiile implementrii acestora sunt ilustrate n figura 1. , H fuzzy i aa numitele controlerele

61

Fig. 1. Dou sisteme de vehicule maglev: EDS i EMS.

EDS se bazeaz pe fore repulsive. Vehiculul conine magnei supraconductori ce induc fore repulsive n bobinele conductoare fixate de-a lungul cii de ghidare. Electromagneii supraconductori sunt mult mai puternici dect cei obinuii care funcioneaz la temperaturi obinuite. Sistemul EDS este dezvoltat de japonezi. Pe de alt parte, sistemul EMS se bazeaz pe fore atractive. Electromagneii de pe vehicul sunt atrai ctre o pereche de ine din oel fixate pe calea de ghidare. Acest sistem a fost pus la punct de Germania (Transrapid). Reducerea drastic a frecrii la un tren cu sistem maglev asigur confort, mers lin, elimin zgomotul i poate reduce costurile de ntreinere. Cel mai important avantaj este obinerea unor viteze de cltorie de peste 500 Km/h. Un avantaj este legat de siguran pentru c un astfel de tren nu poate deraia datorit faptului c vehiculul este legat de calea de ghidare i nu poate fi desprins de aceasta. O problem de sntate a oamenilor este ecranarea necesar mpotriva radiaiilor cmpului magnetic. Principalul impediment n introducerea n circulaie a unor astfel de trenuri este costul extrem de ridicat al investiiei iniiale: estacadele cu calea de ghidare i trenul propriu-zis. n acest moment, China este prima ar din lume care utilizeaz comercial un tren maglev (inaugurat la 31 dec. 2002), ce face legtura dintre aeroportul internaional Shanghai i centrul comercial al aceluiai ora, tehnologia fiind luat din Germania, trenul maglev denumit Transrapid. Distana de 30 Km este strbtut in aproape 8 minute, fa de 45 cu trenul convenional, atingnd o vitez maxim de 430 Km/h. n prezent recordul de vitez este deinut de trenul japonez cu 550 Km/h, fr oameni la bord, pe o linie de 18,4 Km.

62 Alte aplicaii ale levitaiei magnetice au n vedere att industria (levitarea unor table din oel pentru manipulare n vederea efecturii unor operaii de curire sau de alte tratamente) ct i echipamentele din armat (lansatoare electromagnetice n spaiu pentru diverse obiecte).

SISTEME CONDUSE CU AUTOMATE PROGRAMABILE

1. Introducere n automate programabile
1.1. Prezentarea general a automatelor programabile Un automat programabil (AP) sau un controler cu logic programabil (Programable Logic Cotroller - PLC) este un calculator numeric utilizat pentru controlul automat al proceselor i mainilor industriale, precum controlul masinilor de pe liniile de asamblare din fabrici. Spre deosebire de calculatoarele obisnuite, automatele programabile (APe) sunt proiectate pentru diferite configuratii ale intrarilor si iesirilor, domenii de temperatura extinse, imunitate la perturbaiile electrice si rezistenta la vibratii si impact. Programele pentru controlul operatiilor masinii sunt stocate ntr-o memorie volatil de tip RAM. Automatele programabile (APe) au fost dezvoltate iniial pentru a prevedea nlocuirea unei mari pri din releele electromecanice ale sistemelor de comand electrice. APe nlocuiesc circuitele electrice cu un program de calculator. APe fac parte din familia calculatoarelor, capabile de stocarea instruciunilor pentru funcii de comand cum ar fi, comanda secvenial, temporizarea, contorizarea (numrarea), cu care se comand o main sau un proces. AP primete semnale de intrare ce vin de la main i prin programul su intern furnizeaz semnale de comand la ieire care se ntorc la main. Figura 1 arat conexiunile unui AP cu dispozitivele unei instalaii controlate de acesta.

63

Fig. 1. Conexiuni la un AP. n zilele mai vechi ale electrotehnicii (cum sunt cele de naintea anului 1980) conducerea unei maini sau sistem tehnic se implementa cu ajutorul releelor. Releele sunt robuste electric, termic i mecanic, uor de proiectat cu ele, ieftine i capabile de a comanda cureni foarte mari prin contactele lor de ieire. Cnd au aprut microprocesoarele (la sfritul anilor 60) s-a realizat c acestea nu puteau asigura baza componentelor necesare pentru o form mai flexibil de conducere a instalaiilor industriale. Aa s-au nscut APe. Bedford Associates, fondate de Richard Morley, au realizat primul PLC n anul 1968, cunoscut cu denumirea Modular Digital Controller, de la care compania MODICON i-a desemnat numele. De menionat c, APe sau nscut ca urmare a solicitrii emise de General Motors (GM) ctre furnizorii de sisteme de conducere industriale. GM se sturase cu nlocuirea i refacerea conexiunilor dulapurilor i panourilor complexe cu relee, ajustndu-le mereu s devin puin mai mari sau puin mai mici. n 1969 GM a fost primul care a folosit un AP la nlocuirea logicei cu relee pe liniile sale de asamblare. n general APe sunt destinate automatizrii proceselor secveniale. Ele realizeaz prin logica programat urmtoarele funcii: - detectarea schimbrilor de stare ale semnalelor aplicate pe intrri; - prelucreaz logic pas cu pas informaiile primite conform programului stocat n memoria program; - emite semnale de comand corespunztoare programului stocat n memorie; - semnalizeaz optic valorile semnalelor de pe intrri i ieiri(valoare logic 1, LED aprins);

64

APe au ctigat o bun popularitate n sectoarele industriale din rile dezvoltate economic i vor rmne probabil predominante pentru ceva timp ncolo. n ara noastr, n msura n care se produce modernizarea tehnologiilor, APe sunt tot mai prezente. Toate acestea sunt datorit principalelor avantaje pe care le ofer APe: Consum redus de energie electric; Gabarit redus. Costuri reduse la conducerea sistemelor complexe; Flexibilitate i pot fi re-aplicabile la controlul altor sisteme, repede i uor; Abiliti de calcul ce permit o conducere mai sofisticat; Fiabilitate nalt ce face ca AP s opereze muli ani fr defecte; Robustee fa de aciunea vibraiilor, temperaturii i umiditii; 1.2. Clasificri ale APe Mrimea unui AP poate fi apreciat n funcie de numrul total de I/O (intrri/ieiri). Pe acest criteriu, APe pot fi mprite n 5 grupe: 1. APe Micro: <32 I/O 2. APe Mici: 32-128 I/O 3. APe Medii: 128-1024 I/O 4. APe Mari: 1024-4096 I/O 5. APe Foarte Mari: 4096-8192 I/O Un alt criteriu de clasificare este cel al dimensiunii magistralei de date. Dup acest criteriu, APe se clasific n: - APe cu programare la nivel de bit, la care magistrala are capacitatea de un bit, iar prelucrarea se efectueaz asupra unor operanzi de un bit;
-

APe cu prelucrare a informaiei la nivel de cuvnt, care efectueaz prelucrri logice i aritmetice asupra unor operanzi de n bii, unde n 8. Magistrala de date e dimensionat corespunztor;

- APe mixte, care conin dou uniti aritmetico-logice ce pot lucra cu operanzi de un bit sau de un cuvnt (n bii). n sfrit, sub aspectul modului de asamblare sau de configurare, APe se mpart n:

65

- APe asamblate (care pot fi compacte sau modulare); - APe pe o singur plac de circuit, ncorporate n sisteme dedicate (embedded systems). Exemple de sisteme dedicate cu PLC: - Sistem antifurt la automobile; - Sistem de comand a geamurilor la automobile; - Sistem de direcie la automobile; - Maini de splat; - Cuptoare cu microunde: - Standurile din laborator de aplicaii PLC (Semaforizarea i Benzile transportoare).

2. Structura general i funcionarea unui automat programabil (AP)

APe ndeplinesc sarcini de conducere proprii echipamentelor de comand discret a proceselor industriale, permind detectarea schimbrii valorilor unor semnale furnizate de elemente de tipul: butoane cu meninere, butoane cu autorevenire, comutatoare basculante, limitatoare de curs, etc. i prelucrarea informaiei furnizate de aceste elemente pe baza unui program nscris ntr-o memorie n vederea emiterii semnalelor de ieire care comand elemente de tipul: contactoare, relee, electroventile, elemente de semnalizare, etc. Structura de baz a unui AP cuprinde dou grupe de componente (Fig. 1): Unitatea central de procesare (CPU); Sistemul de intrri/ieiri (I/O)

Fig. 1. Componentele principale ale unui AP.

66

Unitatea central de procesare (CPU) este partea automatului programabil care recupereaz, decodeaz, stocheaz i proceseaz informaii. Acesta execut, de asemenea, programul de comand stocat n memoria AP. n esen, CPU este creierul unui AP. Acesta funcioneaz aproape n acelai mod ca un calculator pentru conducerea unui proces, cu excepia faptului c utilizeaz instruciuni i coduri speciale pentru ndeplinirea funciilor sale. CPU are trei pri principale (Fig.2): Procesorul logic; Sistemul de memorie; Sursa de energie.

Fig. 2. Prile unui CPU Procesorul logic este componenta care codeaz, decodeaz i face calcule cu date. Sistemul de memorie este componenta unitii care stocheaz att programul de comand ct i datele de la echipamentul conectat la AP. Sursa de energie prevede alimentarea AP cu tensiunile i curenii necesari funcionrii. Avantajul conexiunilor electrice prin soft prevzut de AP este extrem de important. De fapt, acesta este cea mai important caracteristic a APe. Realizarea circuitelor electrice prin programare soft permite schimbri uoare i ieftine n sistemul de comand. Dac se dorete ca un dispozitiv al sistemului AP s se comporte altfel sau de a comanda n mod diferit un element al procesului, tot ce este de fcut este schimbarea programului de comand. ntr-un sistem tradiional, o astfel de schimbare presupune modificri fizice de conexiuni dintre dispozitive ce implic eforturi costisitoare i consumatoare de timp.

67

Sistemul de intrri/ieiri (I/O) al AP prevede conexiunile fizice ntre echipamentul de proces i procesor. Acesta const din rack-uri i module I/O. Un rack este o ram sau o montur cu nie i conectori n care sunt instalate modulele I/O. Modulele I/O sunt dispozitive la care se conecteaz dispozitivele din instalaia industrial care constituie dispozitivele de proces I/O ale AP. mpreun, rack-ul i modulele I/O formeaz interfaa dintre dispozitivele de proces i AP. Fiecare modul I/O este conectat electric n siguran la dispozitivele de proces corespondente, dar este de asemenea fixat n siguran ntr-o deschidere a rack-ului. Aceasta asigur legtura fizic dintre echipamentul industrial i AP. Automatele programabile mici sunt livrate ca o unitate asamblat, fr rack, cu intrri i ieiri ncorporate n aceast unitate. APe medii i mari folosesc un sistem rack. Aici sunt fixate locaiile pentru alimentarea cu energie, procesor i cartelele de comunicaii, iar niele ce rmn pot fi completate cu module I/O. Toate dispozitivele instalaiei industriale conectate la AP sunt clasificate n una din categoriile: intrri sau ieiri. Dispozitivele de intrare furnizeaz sistemului I/O al AP semnale/date din proces. Exemple tipice sunt ntreruptoarele cu buton de apsare, comutatoarele i dispozitivele de msurare. Dispozitivele de ieire primesc semnale/date de la AP pentru ndeplinirea funciilor de conducere. Dispozitivele de intrare i de ieire pot fi discrete sau analogice. Dispozitivele discrete sunt intrri i ieiri ce au numai dou stri de funcionare, de exemplu, nchis i deschis. Tabelul 1 prezint exemple de astfel de dispozitive. Tabelul 1. Dispozitive I/O discrete. Dispozitive de intrare ntreruptoare basculante ntreruptoare cu buton de apsare ntreruptoare de poziie Pori logice ntreruptoare ale traductoarelor din proces (nivel, presiune, debit, etc.) ntreruptoare ale senzorilor de proximitate Dispozitive de ieire Relee de comand Pori logice Alarme Contactoare pentru motoare Electroventile

68

Dispozitivele analogice sunt intrri i ieiri ce pot avea un numr infinit de stri. Aceste dispozitive trimit/primesc semnale complexe la/de la un AP. Exemple de astfel de dispozitive sunt artate n tabelul 2. Tabelul 2. Dispozitive I/O continue. Dispozitive de intrare Traductoare de debit Dispozitive de ieire Echipamente de comand pentru acionrile cu maini Traductoare de presiune Traductoare de nivel Traductoare de presiune Poteniometre electrice Electroventile Servomotoare

Procesarea semnalelor n unitatea central este n acord cu cu programul stocat n memorie. Automatul programabil functioneaza doar daca are o secventa de instructiuni salvata in memorie. Aceasta secventa de instructiuni constituie programul. PLC-ul executa programul incepand de la prima linie pana la ultima si apoi se reia acest ciclu. Ciclul se numeste scanare (Fig. 3).

Fig. 3. Reprezentarea scanrii n AP. n timpul operrii sale, unitatea central (CPU) parcurge 3 procese: citete sau accept, datele de intrare de la dispozitivele de intrare din proces prin intermediul interfeei de intrare; execut, sau ndeplinete, programul de conducere stocat n memoria sistemului; i n final

69

scrie, sau actualizeaz ieirile, respectiv dispozitivele de ieire prin intermediul interfeei de ieire. Ciclul incepe prin citirea intrarilor si apoi urmeaz executarea programul. Se incheie prin modificarea iesirilor. Inainte de a se incheia un ciclu de scanare, PLC-ul mai realizeaza sarcini interne, cum ar fi diagnoza. Un ciclu complet de scanare se numete timp de scanare i este de circa o milisecund. Intrrile AP sunt citite la intervale bine stabilite de timp. Fiecare citire se face pe rnd dar, avnd n vedere c timpul dintre citirile a dou intrri diferite este foarte mic (de ordinul microsecundelor), se poate considera c citirile se fac simultan pentru toate intrrile. De asemenea, fiecare ieire este comandat pe rnd dar, avnd n vedere c timpul dintre comenzile a dou ieiri diferite este foarte mic (de ordinul microsecundelor), se poate considera c toate ieirile sunt comandate simultan. Programul principal contine subrutine si intreruperi de program. Spre exemplu, daca dorim ca instalatia sa realizeze o anumita sarcina la pornire, putem folosi o subrutina. Intreruperile de program sunt dictate de anumite evenimente ce au loc la anumite momente.

3. Module de intrare/iesire
Modulele de intrare/ieire realizeaz o adaptare cu izolare galvanic a semnalelor vehiculate de APe la canalele informaionale asociate procesului condus i sunt echipate, n general, cu elemente optoelectronice de vizualizare a strii acestor canale. Modulele de intrare/ieire accept, respectiv genereaz, semnale de curent continuu sau curent alternativ standardizate n funcie de, nivelul de tensiune (5, 24, 110 V n curent continuu sau 110 i 220 V n curent alternativ), curentul asociat fiecrui canal (treptele fiind de: 6 mA, 0,15 A, 0,5 A, 1 A, 2,5 A) i de numrul de canale de intrare sau ieire (8, 16, 24, 32). n structura acestor module pot exista i circuite specializate ce permit schimbri de formate de date, conversii serie-paralel, afiri alfa-numerice etc. Modulele de intrare transform semnalele referitoare la starea procesului condus i comenzile operatorului n semnale logice (nivele TTL), filtreaz aceste semnale i efectueaz, dac este cazul, conversii de tip serie-paralel sau paralel-serie. Modulele de ieire convertesc semnalele logice binare n nivele de tensiune cuprinse, n general, ntre 24-220 V i efectueaz, la rndul lor, dac este cazul, conversie de tip serieparalel.

70

Figura 1 ilustreaz componena general a unui sistem de interfa I/O din APe moderne, n care intr o gam variat de blocuri i module analogice i digitale specializate.

Fig. 1. Sistemul de interfa I/O al APe. Exist o mare varietate de module intrare/ieire ce pot intra n componena unui AP, ce pot fi grupate n dou mari categorii: 1. Module I/O analogice: semnalul pe care l transmit sau l recepioneaz are o valoare analogic; 2. Module I/O digitale: semnalul este de tip digital, avnd doar dou valori. 3.1. Module de intrare/iesire analogice Avnd n vedere c APe sunt dispozitive numerice, modulele analogice trebuie s realizeze o coresponden ntre mrimi analogice (cureni sau tensiuni) i valori numerice. Rezoluia (cea mai mic valoare de curent sau tensiune) este dat de numrul de bii utilizai pentru codificarea numeric. O alt caracteristic a unui astfel de modul este viteza de conversie. Module de intrare analogice Exist dou tipuri de module de intrare analogice:

71

Module de intrare analogice cu detecie de prag care realizeaz detectarea depirii unui prag de tensiune sau curent (Fig. 2); Module de intrare analogice de msur (Fig. 3).

Fig. 2. Schema bloc a cii de semnal pentru o intrare analogic cu detecie de prag

Fig. 3. Schema bloc a cii de semnal pentru o intrare analogic de msur Module de intrare analogice de msur au caracteristicele generale: Modulele sunt prevzute cu circuite de conversie analog numeric (A/N);

72

Modulele de intrare analogice de msur de tensiune pot fi: unipolare (primesc la intrare numai tensiuni pozitive n general010V) bipolare (primesc la intrare tensiuni negative i pozitive n general -10+10V). Modulele de curent sunt unipolare i primesc la intrare cureni n general n gama 420mA; Exist posibilitatea reglrii atenurii sau amplificrii semnalului de intrare ceea ce permite mrirea domeniului de msur; Un astfel de modul poate sau nu s efectueze o serie de operaiuni de liniarizare a semnalului. Modulele de ieire analogice

Fig. 4. Schema bloc a cii de semnal pentru o ieire analogic Modulele de iesire analogice se caracterizeaza prin: Fiecare ieire este imaginea analogic a valorilor numerice codificate pe un grup de bii (8 sau 12) definit de program. Modulele analogice de ieire permit conectarea AP la elemente de preacionare (variatoare de putere, variatoare de vitez,...) pentru a realiza funcii de comand i de reglare.

73

Fiecare ieire este definit prin natura semnalului furnizat i prin limitele sale (0-10V, 4-20 mA). 2. Module de intrare/ieire digitale Aceste module primesc, respectiv furnizeaz, semnale de tip logic, cu valorile tipice: - 0 logic = 0 V; - 1 logic = 5Vc.c.; 12Vc.c.; 24Vc.c.; 48Vc.c.; 12Vc.a.; 24Vc.a.; 120Vc.a.; 220Vc.a. Module de intrare digitale Permit unitii centrale a AP s efectueze o citire a strii logice a traductoarelor sau senzorilor care le sunt asociai; Modulele au n general 4, 8, 16 sau 32 de intrri; Fiecrei intrri i corespunde o cale care prelucreaz semnalul electric pentru a elabora o informaie binar, bitul de intrare care este memorat; Ansamblul de bii de intrare formeaz cuvntul de intrare. Periodic, procesorul automatului adreseaz (citete modulul), coninutul cuvntului de intrare este astfel copiat n zona de date ale automatului; Fiecare cale este filtrat mpotriva paraziilor i a contactelor imperfecte i izolate electric pentru a mri fiabilitatea i securitatea sistemului (izolare galvanic); Un modul de intrare este definit n principal prin numrul de intrri pe care le are i caracteristicile electrice acceptate (tensiune, tipul curentului etc.). Module de iesire digitale Un modul de ieire permite automatului programabil s acioneze asupra elementelor de executie si acionare din proves; Realizeaz corespondena: stare logic - semnal electric; Periodic, procesorul adreseaz modulul de ieire i realizeaz nscrierea biilor unui cuvnt de memorie pe cile de ieire ale modulului; Elementele de comutaie ale modulului sunt: electronice ( tranzistoare i triacuri)

74

electromecanice (contacte de relee interne modulului). Ieirile cu tranzistoare sunt utilizate n cazul comenzii dispozitivelor de c.c.; Ieirile cu triacuri sunt folosite pentru comanda dispozitivelor de c.a.; Ieirile cu relee pot fi utilizate att pentru comanda dispozitivelor de c.c. ct i a celor de c.a. Ieirile cele mai obinuite sunt cele cu relee (Fig. 5). Releele pot fi folosite att cu sarcin de curent continuu, ct i alternativ. Metoda standard de conectare a sarcinii la ieirile AP presupune folosirea unei surse de c.a., ns poate fi folosit i curentul continuu. Releele se afl n interiorul AP. Atunci cnd programul care ruleaz n automat indic ieirii s devin activ (adevrat), AP va aplica o tensiune bobinei releului, care va nchide contactul corespunztor. La nchiderea contactului ncepe s circule curent prin circuitul extern, activnd de exemplu un contactor sau un releu din procesul condus. Atunci cnd programul indic dezactivarea ieirii, AP va ntrerupe tensiune aplicat bobinei releului, iar circuitul extern va fi deschis, deci inactiv.

Fig. 5. Ieire digital electromecanic

75

Fig. 6. Ieiri digitale de tip static

4. Limbaje de programare
Standardul IEC 61131-3 prevede urmtoarele modele pentru programarea APe (limbaje de programare): 1. LD (Ladder Diagram) Diagrama scar, schem desfurat cu contacte i relee; 2. FBD (Function Block) Schema bloc; 3. IL (Instruction List) Lista de instruciuni, un program de tip asembler; 4. ST (Structured Text) Text structurat, program de tip Pascal; 5. SFC (Secquential Function Chart) Harta secvenial a funciilor, grafcet. La ora actual, majoritatea productorilor de AP dau utilizatorilor posibilitatea de a scrie programele de aplicaie pentru AP utiliznd diverse modele i limbaje de programare dinte cele standardizate mai sus. Unele limbaje sunt mai apropiate de schemele clasice cu relee, cum este diagrama scar, n timp ce altele sunt mai apropiate de limbajele de programare. Programarea const dintr-o scriere direct a unor secvene de instruciuni sau de ecuaii plecnd de la o diagram, digrame de stri, expresii logice, etc. Un AP poate fi programat prin intermediul unui calculator (calea uzual), dac exist softul respectiv de programare, dar i manual printr-o consol.

76

4.1. Limbajul LD bazat pe scheme cu contacte Schema sau diagrama scar (ladder diagram-LD) este un limbaj grafic bazat pe logica scar (logica n trepte sau treptat) a circuitelor electrice cu relee. Este cel mai utilizat limbaj de programare pentru comanda mainilor cu APe. Programarea APe a fost la nceput strict Booleean. Logica scar a releelor, reprezentat grafic prin schema sau diagrama scar, a fost gsit ca o exprimare ideal a funciilor logice Booleene. Cnd programatorul are nevoie de funcii speciale, cum sunt cele matematice, sau are nevoie de intrri i ieiri continue, se folosesc blocuri funcionale anume prevzute. Editorii de programe LD au creat o bibliotec de blocuri funcionale speciale pentru temporizatoare (timers), numrtoare (counters), matematic, transfer informaional i funcii de complexitate crescut, asemenea conducerii automate PID. Diagrama scar este constituit din linii orizontale plasate ntre liniile verticale ce simbolizeaz tensiunea de alimentare. Pe fiecare treapt orizontal regsim 3 tipuri de simboluri: - Contacte normal deschise i normal nchise; - Bobine de releu activate de conductivitatea treptei i circulaia curentului; - Casete ce pot reprezenta relee de timp sau relee numrtoare. Scrierea unui program n limbajul LD presupune desenarea unei diagrame (diagram LD) similare unei scheme electrice cu contacte. Elementele componente ale diagramei LD modeleaz funcionarea elementelor unei scheme cu contacte. Interpretarea funcionrii diagramei LD este similar interpretrii schemelor electrice cu contacte. Elementele de baz utilizate pentru scrierea unui program n limbaj LD sunt: contactele; bobinele; temporizatoarele; numrtoarele i blocurile funcionale (funciile). Contacte. Contactele sunt elemente de programare care modeleaz contactele aparatelor electrice de comutaie. Sunt cunoscute ca intrari. Fiecare intrare a unui modul de intrari este recunoscut de catre unitatea centrala in cazul folosirii diagramelor ladder ca un contact.

77

Adresele prin care prin care putem face deosebirea ntre diverse inrtrri sunt notate de obicei cu litera I urmat de dou sau 3 cifre. Contactele pot fi normal deschise sau normal inchise ca cele din figura:

Tipuri de contacte Prin aranjarea contactelor n serie sau n paralel pot fi realizate operaii logice asupra strii semnalelor. Cele normal deschise sunt testate pentru valoarea 1 a semnalului respectiv, iar cele nomal nchise pentru valoarea 0. n al treilea caz din figura sunt reprezentate contacte care nu sunt numai citite, asupra lor se execut i anumite modificri/reiniializri. Bobine. Bobinele sunt elemente de programare care modeleaz funcionarea bobinelor contactoarelor i releelor electromagnetice. Ele pot fi asociate ieirilor automatului dar i unor variabile interne modelnd astfel releele auxiliare din cadrul schemelor electrice cu contacte.. Ca i n cazul bobinelor din schemele electrice, bobinele din programele LD pot avea dou stri: alimentate sau nealimentate. Fiecrei ieiri i se asociaz o singur bobin i unul sau mai multe contacte ce pot fi utilizate n schem n mod asemntor contactelor auxiliare ale contactoarelor i releelor. La aceste ieiri pot fi conectate dispozitive care au dou stri de funcionare cum ar fi: bobinele contactoarelor sau releelor, elemente de semnalizare acustic sau luminoas, sarcini de putere mic, intrrile digitale ale unor aparate de msur, protecie sau comand, intrrile digitale ale altor AP sau sisteme de comand etc. Ca notaie, cea mai utilizat este litera Q. Ca i n cazul contactelor sunt folosite 2 sau 3 cifre pentru notarea unei anumite ieiri. nscrierea de litere sau simboluri indic o funcionare adiional (salt ntr-un anume loc n program, controlul timerului, funcii de numrare).

78

Tipuri de bobine Exemple: Scrierea unui program pentru comanda unui led cu ajutorul unui ntreruptor:
I0.0 Q0.0

Scrierea unui program pentru implementarea funciei SI:

I0.0 I0.1 Q0.0

Scrierea unui program pentru implementarea funciei SAU:

I0.0 Q0.0

I0.1

Scrierea unui program pentru urmtoarea relaie logic: Q0.0 = I0.0 +

I0.0 Q0.0

I0.1 I0.2

I0.1

I0.2

Timere (Temporizatoare, Relee de timp).

79

Elementele cele mai utilizate dup contacte i bobine, n cazul programrii folosind diagrama scar, sunt timerele respectiv temporizatoarele sau releele de timp. Situaia nu se schimb nici n cazul altor variante de programare, folosirea acestora fiind foarte important pentru programele de conducere cu APe. Temporizatoarele sunt elemente de programare care modeleaz funcionarea releelor de timp i a contactelor temporizate. Sunt utilizate pentru a realiza aciuni ntrziate sau care dureaz un anumit interval de timp. Un timer este utilizat de pild pentru a schimba durata de comutare sau timpul ct un contact este nchis sau deschis. Timpii de ntrziere pot fi reglai de obicei n intervalul 2 ms la 99 h 59 min., depinznd de tipul AP folosit. Timerele sunt localizate n memoria unitii centrale. Numrul acestora depinde de tipul de unitate central. Practic reprezint dispozitive care lucreaz cu uniti de timp. Tipurile de aplicaii care impun folsirea timerelor sunt destul de diverse i constau n necesitatea trecerii unui interval de timp pentru a fi schimbate anumite ieiri ale automatului. Unul dintre exemplele cele mai tipice este utilizarea unui timer pentru conducerea semaforului. Astfel, pe fiecare culoare se st un anumit interval de timp, dup care este activat urmtoarea i dezactivat cea care fusese aprins iniial. Temporizatoarele utilizate n programele LD au o flexibilitate i o funcionalitate mult mai mare dect temporizatoarele utilizate n schemele electrice. Temporizatoarele simple permit realizarea unei aciuni ntrziate cu un anumit interval de timp ce poate fi programat. Temporizatoarele complexe au n vedere obinerea unor temporizri variabile, funcie de anumite condiii care apar la un moment dat. Temporizatoarele au cel puin o intrare de iniializare, la activarea creia ncepe temporizarea i o ieire. n unele variante, temporizatoarele sunt prevzute i cu o intrare de validare i nc o ieire care reprezint negata primei ieiri (Fig. 1).

Fig. 1. Forma de principiu a unui timer.

80

Un timer este pornit pe frontul semnalului i poate fi apoi controlat prin intermediul unor semnale. Pentru o aplicaie foarte simpl realizat cu un automat S7-200 (Siemens) procesul este reprezentat n figura 2.a i este reprezentat de un ntreruptor i un bec. Becul este aprins la 15 secunde dup acionarea ntreruptorului. n figura 2..b este reprezentat programul n LD. La intrarea I0.3 este pus ntreruptorul, iar pentru valoarea timerului s-a ales 150 (incrementul este 0,1 secunde).

a)

b) Fig. 2. Numrtoare. Numaratoarele utilizate de catre automatele programabile au aceeasi functionare ca si cele cunoscute (numrtoarele integrate). Controlul aplicatiilor care utilizeaza numaratoare poate fi realizat prin incrementarea pana la o anumita valoare dupa care cauzeaza aparitia

81

unui eveniment sau provoaca aparitia evenimentului pana cand numaratorul atinge valoarea presetata. La numrtor se precizeaz valoarea prestabilit, aceasta reprezentnd valoarea maxim pe care o va numra numrtorul dup care va activa ieirea. Un numrtor are cel puin 2 intrri, una de numrare i una de iniializare (la activarea careia numrtorul ncepe s numere impulsurile sosite la intrarea de numrare) i o ieire. Alte variante de numrtoare sunt prevzute i cu o intrarea de validare i o ieire ce reprezint negata primei ieiri (Fig. 3).

Fig. 3. Numrtor cu 2 ieiri. Un numarator este setat sau resetat in functie de semnalele prezente la intrarile sale. Frecventa de numarare depinde de timpul de procesare al programului. Numararea se poate face crescator prin aplicarea unui impuls pe intrarea respectiva (Count up - CU) sau in sens descrescator pentru intrarea de Count down (CD). Diferenta intre numaratoare consta in tipul de numarare care poate fi efectuat: in sens crescator (CU), in sens descrescator (CD) si in ambele sensuri (CUD).

Fig. 4. Programarea unui numerator de tipul CUD.

82

Numaratorul prezent in aplicatia din figura 4. este unul care insumeaza ambele tipuri de numarare. Prin activarea intrarii I0.2 este setat, adica este inscrisa valoarea 20 data de formatul C#20, iar prin activarea intrarii I0.3 este resetat, aceasta valoare urmand sa fie stearsa. Pentru incrementare este folosita intrarea I0.0 iar pentru decrementare intrarea I0.1. Valoarea care se gaseste in numarator poate fi citita prin folosirea variabilei de memorie C1 sau direct pe cele doua iesiri in valoare binara sau in cod BCD. 4.2. Limbajul SFC (Secquential Function Chart) Utilizarea SFC - Harta secvenial a funciilor se refera la scrierea programelor pornind de la diagramele de functionare ale acestora numite diagrame de stari. Astfel, fiecare stare are caracteristic anumite iesiri iar intre stari se executa tranzitiile in momentul aparitiei anumitor intrari. Modul acesta de programare este oferit doar de anumite firme si este mult mai facil in cazul aplicatiilor care presupun o rezolvare rapida, fara interventia unui programator specializat, in acest caz fiind mai utila o persoana care cunoaste foarte bine procesul, a semnalelor care trebuie sa vina din process si respectiv a modului de raspuns al acestuia. Datorita faptului ca este un mod special de programare in general este livrat separat de pachetul principal de software furnizat pentru un anumit automat programabil (bineinteles numai daca firma producatoare a prevazut o astfel de posibilitate). O form particular de SFC este limbajul de automatizare GRAFCET. Limbajul de automatizare GRAFCET este un instrument util in descrierea functionarii unui sistem automat de productie(SAP). De asemenea putem proiecta mai usor un automat secvential si se poate transpune direct intr-un limbaj caracteristic unui automat programabil (PLC). Elementele grafice de baza sunt: - etapele - tranzitiile - legaturi orientate Fiecarei etape i se asociaza o actiune si fiecarei tranzitii i se asociaza o receptivitate. GRAFCET este o diagrama constituita din alternarea unor etape si tranzitii ce sunt conectate intre ele prin legaturi orientate (Fig. 1). Etapele caracterizeaza comportamentul invariant al unui sistem la un moment dat, tinand cont de intrarile si iesirile acestuia.

83

Fiecarei etape i se asociaza o actiune. Starile posibile ale unei etape sunt: - activa, adica actiunea poate fi executata - inactiva Putem sa asociem un punct unei etape active la un moment dat.

Fig. 1. Diagram GRAFCET In reprezentarea grafica exista doua tipuri de etape: - etapa initiala ce iese in evidenta printr-un dreptunghi dublu - etapa normala

Fiecare etapa, notata generic cu i, poseda o variabila de stare a etapei, notata cu Xi. Aceasta variabila este de tip boolean si poate lua valoarea 0 logic daca etapa este inactiva, sau 1 logic daca este activa.

Tranzitiile indica posibilitatea evolutiei de la o etapa la alta, sau succesiunea actiunilor desfasurate intr-un sistem automat de productie. Fiecare tranzitie are asociata o conditie

84

logica, numita receptivitate, ce exprima de fapt conditia ce trebuie indeplinita pentru a trece dintr-o etapa in alta.

Schimbarea starii intr-o diagrama GRAFCET se face prin parcurgerea unei tranzitii, ce implica desfasurarea unor evenimente in blocul operativ sau in blocul de comanda al unui sistem de automatizare.

Legaturile orientate(arce orientate) conecteaza etapele de tranzitii si tranzitiile de etape.

85

Ele arata caile de evolutie ale sistemului automat, prin conventie de sus in jos. Receptivitatile sunt conditiile asociate tranzitiilor. Ele sunt implementate cu ajutorul functiilor logice si poat lua doar doua valori: 1 sau 0. Functiile logice depind de: - variabile de intrare logice ce traduc starile senzorilor, ale butoanelor, ale limitatorilor de cursa etc.; - starea curenta a etapelor din diagrama; - timp (temporizari).