S.D.

Anghel Fizica plasmei i aplicaii

Capitolul II

PROCESE FUNDAMENTALE N PLASM

2.1 Tipuri de procese fundamentale
Constituenii plasmei interacioneaz permanent att ntre ei ct i cu electrozii ntre care este meninut descrcarea (dac acetia se afl n incinta de descrcare) i cu cmpurile electrice, magnetice sau electromagnetice exterioare. Principalele procese elementare de interaciune care se pot manifesta ntr-o plasm sunt sintetizate n tabloul urmtor:

ciocniri elastice - E = 0 de volum directe - E 0 ciocniri neelastice inverse - E 0 Procese fundamentale n plasm de suprafa interacii cu cmpurile electrice i magnetice prezente n plasm
Cu E s-a notat variaia energiei interne totale a partenerilor de interaciune. n cazul ciocnirilor perfect elastice ea este nul. n cazul ciocnirilor neelastice directe energia intern a cel puin unuia dintre partenerii de interaciune crete (de exemplu excitarea unui atom sau molecule n urma ciocnirii cu un electron rapid), iar n cazul ciocnirilor neelastice inverse aceasta se micoreaz (este cazul dezexcitrii neradiative n urma ciocnirii unui atom aflat n stare excitat cu un electron). Procesele elastice determin n primul rnd proprietile macroscopice ale gazului ionizat, aa-numitele proprieti de transport, cum ar fi conductibilitatea electric i termic sau difuzia i ele pot fi descrise cu mijloacele puse la dipoziie de mecanica clasic. Procesele neelastice pot conduce la crearea sau anihilarea de purttori de sarcin net (electroni, ioni pozitivi sau negativi), ele fiind principalele "responsabile" ale mecanismelor de generare i ntreinere a plasmei i sunt guvernate de legile mecanicii cuantice. Interaciunile dintre constituenii plasmei pot fi cu raz scurt de aciune, de obicei interaciuni binare, probabilitatea apariiei unui al treilea partener de interacie fiind foarte mic pe distane mici i cu raz lung de aciune, aa21

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

numitele interaciuni colective n care fiecare constituent al plasmei interacionteaz cu toi (sau aproape cu toi) ceilali constitueni. Interaciunile binare pot fi tratate cu ajutorul teoriei clasice a ciocnirilor folosind conceptele de seciune eficace de ciocnire, drum liber mediu, frecven de ciocnire sau timp de interacie. n acest caz comportarea plasmei poate fi descris introducnd noiunea de particul medie i analizndu-i comportarea ntr-un context dat. n cazul interaciunilor colective, cum ar fi de exemplu cele de tip coulombian, conceptul de ciocnire practic nu mai are sens, plasma este tratat n ansamblul ei ca un fluid conductor cu toate proprietile care decurg din noiunea de fluid, la care se adaug i cele care decurg din conductibilitatea sa electric.

2.2 Procese elementare de volum

2.2.1 Ciocniri elastice Este cunoscut faptul c dac un fascicol de particule cu densitatea No este incident pe un gaz "int" cu densitatea n atunci, dup traversarea unui strat cu grosimea x, n urma proceselor de ciocnire elastic dintre particulele fascicolului incident i atomii gazului int, densitatea fascicolului incident va fi dat de expresia:
N ( x) = N oe
nx

(2.1)

n care este o mrime caracteristic procesului de interacie numit seciune eficace de ciocnire. Dac se noteaz cu drumul liber mediu prin gazul int al unei particule incidente, atunci ntre acesta i seciunea eficace de ciocnire exist relaia:

1 n

(2.2)

Ciocnirea electron-neutru este caracterizat de o seciune eficace de ciocnire egal cu aria suprafeei unui cerc cu raza egal cu suma razelor electronului i neutrului, considernd c electronul interacioneaz cu particula neutr numai la contactul lor fizic:

en

= ( re + rn ) rn

(2.3)

Aproximaia din relaia precedent se poate face datorit razei mult mai mari a particulei neutre n comparaie cu raza electronului. Dac timpul mediu dintre dou ciocniri este , atunci, inndu-se seama de relaiile (2.2) i (2.3), frecvena de ciocnire electron-neutru va fi dat de expresia:

en

= rn nn v e

(2.4)

22

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

n care nn este densitatea neutrilor i v e este viteza medie a electronilor. Aceasta din urm poate fi exprimat n funcie de temperatura cinetic a electronilor, Te:
ve = 3kTe me

(2.5)
3kTe me

astfel c pentru frecvena de ciocnire electron-neutru se obine expresia final:

en = rn2nn

(2.6)

Pentru a ne forma o imagine mai concret despre ordinul de mrime al frecvenei de ciocnire dintre electroni i particulele neutre s considerm o plasm mediu ionizat la presiune atmosferic i cu temperatura de 2500 K. Admind c raza i densitatea particulelor neutre sunt de ordinul 10-10 m, respectiv 1024 m-3 i nlocuind aceste valori mpreun cu valorile constantelor n relaia (2.6), se obine pentru frecvena de ciocnire o valoare de ordinul 1010 sec-1. n uniti de frecven aceasta nseamn 10 GHz, valoare important din punctul de vedere al plasmelor ntreinute n cmpuri electromagnetice de radiofrecven i microunde, lucru pe care-l vom nelege mai bine n capitolul urmtor. n cazul ciocnirii electron-ion, dei raza ionului este aproximativ egal cu raza neutrului din care provine, seciunea eficace de ciocnire este mai mare dect cea din cazul ciocnirii electron - neutru pentru c interaciunea lor ncepe s se manifeste de la o distan mai mare, prin intermediul forelor coulombiene. De aceea, n tratarea acestui proces de interaciune, ionul pozitiv poate fi nlocuit cu o particul cu raza fictiv egal cu lungimea Landau L, distan la care energia de agitaie termic este egal cu energia potenial de interaciune electrostatic. Aplicnd acelai raionament ca i n cazul ciocnirii electron-neutru i innd seama de expresia lungimii Landau (1.14), se obine pentru frecvena de ciocnire electron - ion relaia:
e2 ei = 6 kT o e 3kTe n i m e
2

(2.7)

n care ni este densitatea de ioni pozitivi din plasm. Dac gradul de ionizare al plasmei considerate anterior este de 10-4 ( ni 1020 m-3) atunci frecvena de ciocnire conform relaiei precedente este de ordinul 109 sec-1, adic cu aproximativ un ordin de mrime mai mic dect frecvena de ciocnire electron neutru. 2.2.2 Ciocniri neelastice
23

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

La procesele neelastice de interaciune care au loc n plasm particip toate particulele componente ale plasmei: r - electroni leni i rapizi: e, e ; - atomi i molecule n stare fundamental sau n stare excitat: A, A*, M, M*. Datorit faptului c moleculele au pe lng gradele de libertate de translaie i grade de libertate de rotaie i vibraie, ele pot fi excitate i pe nivele energetice corespunztoare acestor stri. - ioni pozitivi sau negativi, simplu sau multiplu ionizai: A+, A++, A-, A--. - molecule ionizate: M+, M-. 2.2.2.1 Procese de excitare i dezexcitare Pentru nelegerea mai uoar a ceea ce nseamn un proces de excitare sau dezexcitare a unui atom n Fig.2.1 este prezentat o diagram simplificat a funciei de potenial i a nivelelor energetice dintr-un atom.
E (energia intern) 0 r

Nivel metastabil Nivel de rezonan

V 1/ r
Ei Er Em

Nivel fundamental

Fig.2.1 - Nivele energetice n atom.

Exist trei tipuri de nivele energetice: a) - nivelul fundamental, corespunztor strii energetice celei mai coborte n care poate exista atomul; b) nivelele excitate aa-zis normale corespunztoare unor stri energetice superioare ale atomului, stri n care poate ajunge n urma absorbiei de energie din exterior ca urmare a unui proces dat. Atomul poate rmne ntr-o astfel de stare un interval -7 -8 de timp de ordinul 10 - 10 sec dup care revine n starea fundamental emind un foton cu energia egal cu diferena energetic a nivelelor ntre care are loc tranziia. Acest fenomen se numete emisie spontan. Nivelul excitat cel mai apropiat de nivelul fundamental se numete nivel de rezonan; c) - nivele metastabile corespunztoare unor stri excitate care au un timp de via mult mai -4 lung dect al nivelelor excitate normale, timp cuprins ntre 10 sec i cteva secunde. Excitarea cu electroni are loc conform reaciei:
24

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

A + e A* + e

(2.8)

n care o parte energia cinetic a electronului rapid este cedat unui electron din atom, acesta din urm trecnd din starea fundamental n stare excitat. Datorit faptului c masa electronului este mult mai mic dect masa atomului, electronul poate ceda atomului aproape ntreaga sa energie cinetic sub form de energie de excitare. Reacia (2.8) se poate desfura i n sens invers: A* + e A + e
r

(2.9)

Acest tip de ciocnire se numete ciocnire superelastic i, datorit faptului c energia de excitare a atomului se transform n energie cinetic a electronului i nu este emis sub form de radiaie electromagnetic, dezexcitarea se numete neradiativ. n general rata acestui proces (raportul dintre numrul total de -2 ciocniri i numrul de ciocniri care conduc la tranziia dorit) este de ordinul 10 , adic din 100 de ciocniri electron-atom doar una are drept consecin excitarea atomului. Excitarea unui atom poate avea loc i n urma unei ciocniri cu o particul grea (atom sau ion) conform uneia dintre reaciile urmtoare:

A + B r A + B A + B A + B
A + B + A* + B+
r

(2.10) (2.11)

Datorit maselor lor mult mai mari dect cea a electronilor, atomii i ionii sunt mai puin mobili, au viteze mai mici i, n consecin, procesele descrise de reaciile precedente au loc cu o rat mult mai mic dect procesele de excitare cu electroni. Fotoexcitarea este procesul prin care un foton avnd o energie egal cu energia de excitare pe un nivel normal a atomului este absorbit de ctre acesta, atomul trecnd din starea fundamental n starea excitat. Procesul are loc conform reaciei: A + h A*
-7 -8

(2.12)

Atomul poate exista n aceast stare aproximativ 10 - 10 sec dup care revine n starea fundamental spontan prin emisia unei cuante luminoase: A* A + h (2.13) Trebuie menionat faptul c prin fotoexcitare nu este posibil excitarea atomului pe un nivel metastabil. Excitarea din starea fundamental pe nivele metastabile poate fi realizat prin alte procese, cum ar fi de exemplu bombardarea cu un fascicol de electroni rapizi. Datorit acestui fapt nici revenirea n starea fundamental nu se poate face prin emisie spontan.
25

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

Pe lng emisia spontan, dezexcitarea unui atom excitat pe un nivel normal se poate face i sub aciunea unui foton cu energia egal cu diferena dintre energia nivelului excitat i energia unui nivel inferior. Procesul se numete emisie stimulat, avnd ca rezultat emisia a doi fotoni, cel primar i cel rezultat n urma procesului de dezexcitare: A* + h A + 2h (2.14)

n condiiile n care plasma este "bombardat" de un fascicol intens de electroni sau fotoni, datorit faptului c frecvena de ciocnire dintre particule este mare, pot avea loc procese de excitare cumulative (n trepte). n aceste procese, dac un atom deja excitat interacioneaz cu un foton sau un electron din fascicolul incident, el poate fi excitat pe un nivel superior sau poate fi chiar ionizat. n cmpuri electromagnetice intense i foarte bine focalizate (ndeosebi radiaii laser) este posibil excitarea atomului chiar dac energia fotonilor este mai mic dect energia necesar tranziiei cu condiia ca diferena energiilor nivelelor energetice ntre care are loc excitarea sa fie un numr ntreg de energii fotonice: A + nh A* (2.15)

Procesul se numete excitare prin absorbie multifotonic. n sistemele cu mai multe tipuri de atomi poate avea loc transferul de excitare. Presupunnd un amestec binar de atomi de tip A i B, dac de exemplu o parte din atomii de tip A sunt excitai, atunci, n urma interaciunii lor cu atomi de tip B ei pot trece n starea fundamental transfernd energia eliberat atomilor de tip B care vor trece ntr-o stare excitat. Dac energia eliberat de atomii de tip A este mai mare dect energia de excitare a atomilor de tip B atunci diferena celor dou energii se va regsi sub form de energia cinetic a partenerilor de interaciune. n caz contrar, diferena de energie necesar excitrii atomilor de tip B va fi "mprumutat" de la energiile cinetice ale partenerilor de interaciune. n cazul particular n care un atom excitat de tip A interacioneaz cu un atom n starea fundamental tot de tip A, procesul se numete transfer rezonant de excitare. Cu aceste precizri, reacia general care descrie transferul de excitare poate fi scris sub forma: A* + B A + B* + E (2.16)

n care E = EexcA - EexcB. O aplicaie clasic a transferului de excitare este cea a laserilor cu gaz. n Fig.2.2 este exemplificat cazul laserului cu heliu-neon. Atomii de heliu sunt excitai pe nivele metastabile prin "bombardarea" gazului cu un fascicol de electroni rapizi. Deoarece nivelele metastabile ale heliului sunt foarte apropiate de nivelele normale 2s i 3s ale neonului are loc transferul de excitare He - Ne, proces n urma cruia se realizeaz inversiunea de populaie n atomii de Ne, care
26

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

este una dintre condiiile pe care trebuie s le ndeplineasc un mediu pentru a fi activ laser. n urma proceselor de emisie spontan i stimulat atomii de heliu se dezexcit rezultnd radiaiile laser prezentate n figur.
2s
1

nivel metastabil

3s

2s

nivel metastabil

2s
2=1,15m

1=0,632m

2p

pompaj electronic ( e )

1s
ciocniri cu pereii

3=0,6m

1s

He

Ne

Fig.2.2 - O aplicaie a transferului de excitare - laserul cu He-Ne.

Toate aceste procese sunt sintetizate n urmtorul ansamblu de reacii: He + e He* + Ne Ne* Ne* + h

He* + e He + Ne* + E Ne + h Ne + 2h

(2.17)

2.2.2.2 Procese de ionizare i recombinare Dac un fascicol de electroni intr ntr-un gaz atunci, pe lng mprtierea electronilor datorat ciocnirilor elastice (proces determinat de seciunea eficace de ciocnire), poate avea loc i ionizarea atomilor (sau moleculelor) gazului. Ionizarea este procesul prin care un electron de pe o stare legat a unui atom primete energie suficient pentru a prsi atomul, trecnd n spectrul energetic continuu pe o stare nelegat cu energie pozitiv. Dac din atom este scos un singur electron atunci ionizarea este simpl iar dac sunt scoi doi sau mai muli electroni atunci ionizarea este multipl. n continuare vom trece n revist principalele procese care pot conduce la ionizarea unui gaz, cu precizarea c aceste procese sunt "responsabile" de trecerea unui ansamblu de particule din starea normal de gaz n starea de plasm. Din totalitatea proceselor de ionizare cel mai important din punctul de vedere al strii de plasm este ionizarea cu electroni. Dac un electron liber are o energie cinetic mai mare dect energia de ionizare (Ei) a unui atom, atunci este posibil o reacie de ionizare de tipul:
+ A+e A +e+e

(2.18)

Dac electronii sunt accelerai ntr-un cmp electric (s spunem cmpul electric din spaiul anod catod al unui tub de descrcare n curent continuu 27

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

Fig.2.3) atunci o parte din energia cinetic ctigat de un electron de la cmp poate fi cedat unui atom sub form de energie de ionizare. n urma procesului rezult un ion pozitiv i doi electroni: electronul primar i electronul rezultat n urma procesului de ionizare. Prin acelai mecanism cei doi electroni vor produce patru, opt, aisprezece etc. electroni.
E

catod

no

n(x)

n(x+dx) anod

x+dx

Fig.2.3 - Multiplicarea purttorilor de sarcin n gazul ionizat.

Astfel, se poate declana un mecanism de multiplicare n avalan a purtturilor de sarcin (electroni i ioni pozitivi) avnd ca rezultat final generarea strii de plasm. Este evident c electronii primari care produc declanarea mecanismului trebuie s fie generai ntr-un mod oarecare. Ei exist n orice gaz datorit factorilor ionizani naturali (radiaia cosmic, radioactivitatea Pmntului etc) i, dac nu sunt suficieni, pot fi generai artificial (emisie termoelectronic, emisie fotoelectronic, ionizare ntr-un cmp intens de radiofrecven etc.). Presupunnd acum c la catod sunt generai no electroni primari n unitatea de volum i c la distana x de catod densitatea lor este n(x), atunci, n urma proceselor de ionizare, ntr-un strat de gaz cu grosimea dx se va produce mrirea numrului de electroni din unitatea de volum cu cantitatea dn(x). Aceast cantitate este proporional cu numrul de electroni incideni pe stratul de gaz, cu grosimea acestuia i cu un coeficient de multiplicare , numit primul coeficient Townsend: dn(x) = n(x)dx Dup integrare rezult: n(x) = no e
x

(2.19) (2.20)

n cazul modelului unidimensional primul coeficient Townsend reprezint numrul de ionizri produse de un electron pe unitatea de lungime iar dac se va considera un model tridimensional atunci el va reprezenta numrul de ionizri produse de un electron n unitatea de volum. Simultan cu procesele de ionizare prin ciocniri electronice pot avea loc i procese de recombinare electron-ion pozitiv conform reaciei de ciocnire tripl:
28

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

+ A +e+e A+e

(2.21)

Din punctul de vedere al strii de plasm acesta este un proces nedorit, el determinnd tocmai dispariia componentelor de baz ale plasmei (electroni i ioni). Dar, cum probabilitatea ca ntr-un proces de interaciune s se ntlneasc simultan trei parteneri este mai mic dect probabilitatea s se ntlneasc numai doi (cazul reaciei directe de ionizare (2.18)), este evident c procesele de ionizare se vor desfura cu o rat mai mare dect cele de recombinare, deci starea de plasm se poate realiza. Exist ns procese de recombinare electron-ion care sunt rezultatul unei ciocniri binare. n aceste procese electronul este captat pe unul din nivelele excitate ale atomului conform reaciei:
+ A + e A* + Er

(2.22)

n care Er este energia eliberat n urma procesului de interaciune. Analiznd diagrama care ilustreaz acest proces (Fig.2.4), pentru expresia energiei eliberate rezult: Er = meve2/2 + Ei - Eexc (2.23)

e
0

E
me v e 2
2

r Ei Eexc

Fig.2.4 - Recombinarea electron-ion.

n funcie de ceea ce se ntmpl cu aceast energie se pot deosebi trei tipuri de recombinare electron-ion prin ciocnire dubl: recombinare radiativ, efect Auger, recombinare disociativ. n cazul recombinrii radiative energia rezultat se regsete ca energie a unei cuante luminoase:
+ A + e A* + h

( 2.24)

Spectrul radiaiilor emise n urma procesului de recombinare radiativ este unul continuu, limitat la frecvene mici, radiaia cu frecvena limit inferioar fiind emis atunci cnd electronul se afl n repaus ( meve2/2 = 0):

29

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

min =

Ei Eexc h

(2.25)

Dac energia eliberat la capturarea electronului de ctre atom se regsete sub form de energie de excitare a aceluiai atom, atunci acesta devine dublu excitat. Acest proces se numete efect Auger. Atomul dublu excitat se poate dezexcita prin emisia unei cuante luminoase sau elibernd un electron i trecnd n stare ionizat. Aceast succesiune de procese poate fi descris sintetic de reaciile:
A + h A+ + e A + A +e

(2.26)

Dac recombinarea are loc ntre un electron i un ion molecular atunci este posibil ca energia eliberat n urma procesului s fie folosit pentru ruperea moleculei n atomii componeni, n acest caz fiind vorba despre recombinarea disociativ. Ea poate avea loc direct, conform reaciei:
+ (AB) + e A* + B

(2.27)

sau mai nti molecula s treac printr-o stare intermediar excitat i abia apoi s se disocieze:
+ (AB) + e (AB)* A* + B*

(2.28)

Un alt proces de ionizare este cel care are loc la interaciunea foton-atom i care se numete fotoionizare. El poate avea loc numai dac energia fotonului este cel puin egal cu energia de ionizare a atomului cu care interacioneaz (h Ei). Procesul are loc conform reaciei:
+ A + h A + e + (E)

(2.29)

Eventualul exces de energie, E, al fotonului se va regsi sub form de energie cinetic a electronului rezultat. Procesul invers al fotoionizrii se numete recombinare radiativ i el a fost prezentat ntr-un paragraf anterior. Fotoionizarea poate fi produs i de cuante luminoase cu energii inferioare energiei de ionizare dac n prealabil atomul a fost excitat cu electroni sau cu fotoni. Se spune c procesul de ionizare se desfoar n trepte. Cele dou procese de ionizare n trepte sunt descrise de ecuaiile: A + e A* + e urmat de respectiv: A + h1 A* urmat de
+ A* + h2 A + e

+ A* + h A + e

(2.30)

(2.31)

30

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

Tot un proces de ionizare n trepte este i cel de ionizare asociativ n care doi atomi fotoexcitai interacioneaz, avnd ca rezultat ionizarea unuia dintre ei. Reaciile dup care se desfoar procesul sunt urmtoarele: A + h A* A + h A* + A* + A* A + e + A (2.32)

Este evident c procesul are loc n condiiile n care fotonii nu au energie suficient pentru ionizarea direct a atomilor. In cazul fascicolelor fotonice foarte intense i bine focalizate (fascicole laser) ionizarea se poate produce chiar dac energia fotonilor componeni este mai mic dect energia de ionizare a atomilor. Procesul se numete ionizare multifotonic i este descris de reacia:
+ A + nh A + e

(2.33)

n care n este un numr ntreg. Ionizarea este posibil i prin ceea ce se numete transferul de sarcin. n acest caz interaciunea are loc ntre un atom neutru i un ion:
+ + A + B A + B + E

(2.34)

Transferul de sarcin de la atom la ion poate avea loc numai dac E = EiA - EiB 0. Procesul are loc cu o seciune eficace maxim atunci cnd E = 0, adic particulele care interacioneaz sunt identice n stare neutr. n acest caz se vorbete despre un transfer rezonant de sarcin. Transferul de sarcin poate fi folosit pentru obinerea unor fascicule puternic monoenergetice de particule neutre. Prin bombardarea unui gaz int de atomi de tip B cu un fascicol de ioni rapizi de tip A accelerat ntr-un cmp electric, are loc reacia de transfer de sarcin: r r A + + B A + B+ + E (2.35) n urma creia se obine fascicolul rapid de atomi neutri. Este ns posibil ca un fascicol rapid de atomi neutri s ptrund ntr-un gaz ionizat i, n urma transferului de sarcin, s devin parte component purttoare de sarcin a acestuia. Reacia dup care are loc procesul este inversa reaciei precedente: r r + A + B A + + B + E (2.36) Acest proces poate fi o metod eficient de nclzire a plasmelor deoarece fascicolul incident, care este neutru i deci nu poate fi influenat de cmpurile din plasm, poate ptrunde fr dificultate n plasm unde, dup ionizarea prin transfer de sarcin, devine component energetic a acesteia. Un proces de ionizare mai interesant i care este folosit pentru amorsarea mai uoar a unor descrcri este ionizarea Penning. Considernd un amestec binar de gaze, A i B, dintre care atomii gazului de tip A au un nivel metastabil cu
31

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

energia mai mare dect energia de ionizare a atomilor de tip B, dac un atom de tip A este excitat pe nivelul metastabil atunci el poate interaciona cu un atom de tip B conform reaciei: A* + B A + B + e
+

(2.37)

Electronii rezultai n urma ionizrii atomilor de tip B sunt accelerai n cmpul electric pn la energii suficiente pentru producerea de noi ionizri. Un exemplu de folosire a acestui mecanism este amorsarea unei descrcri n neon n care se adug o cantitate mic de argon, argonul avnd energia de ionizare mai mic dect a neonului (Fig.2.5).

Fig.2.5 - Exemplu de ionizare Penning.

Pe lng ionii pozitivi, n descrcrile care au n componena lor atomi sau molecule cu ultima ptur electronic incomplet este posibil i formarea ionilor negativi prin acceptarea n aceasta a unui electron. Aceast proprietate se numete afinitate electronic. Dintre speciile atomice i moleculare care au afinitate electronic pot fi amintite halogenii, oxigenul, carbonul, hidrogenul, oxidul de azot, dioxidul de sulf. Pentru ca o reacie de formare a ionilor negativi s poat avea loc, este necesar ca electronul care va fi acceptat de atomul neutru sau molecula neutr s fie un electron lent (cu energia de aproximativ 1 eV), pentru ca el s poat rmne un interval de timp suficient de lung n cmpul electric al atomului sau moleculei. Acest proces are loc cu eliberare de energie i, n funcie de forma sub care se regsete ea, se poate vorbi de captur radiativ i captur disociativ. n cazul capturii radiative, n urma reaciei: A + e A + h este generat un foton cu energia h = meve /2 + eVa
2

(2.38) (2.39)

n care Va este potenialul de ataare definit conform diagramei energetice din Fig.2.6. n cazul capturii disociative o molecul capteaz un electron devenind un ion molecular. Acesta, avnd un timp de via scurt, se va disocia ntr-un atom neutru i un ion negativ:
32

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

AB + e (AB)* A + B grele:
+

(2.40)

Formarea de ioni negativi este posibil i prin ciocnirea a dou particule A+B A +B
-

(2.41)

cu condiia ca afinitatea electronic a atomului B s fie mai mare dect energia de ionizare a atomului A (eVaB > EiA).

Fig.2.6 - Formarea unui ion negativ.

Un proces de formare a ionilor negativi care se petrece mai rar deoarece este necesar prezena simultan a trei parteneri de interaciune, este ciocnirea tripl. n acest caz al treilea partener este un electron care poate fi lent sau rapid: A+B+e A +B r A + B + e A + B*
-

(2.42) (2.43)

Dup cum se poate observa energia eliberat n urma procesului de captur se regsete fie sub form de energie cinetic fie sub form de energie de excitare a partenerului care ramne n stare atomic. Intr-un gaz ionizat n care exist ioni pozitivi i negativi au loc i procese + de recombinare ion-ion. La recombinarea unui ion pozitiv A cu un ion negativ B se va elibera o cantitate de energie Erec, numit energie de recombinare, egal cu suma algebric a energiilor de formare ale celor doi ioni: Erec = eViA - eVaB (2.44)

La sfritul reaciei de recombinare aceast energie se poate regsi sub diferite forme, n funcie de tipul reaciei. Astfel, n cazul recombinrii radiative ea se regsete ca energie a unui foton: A +B
+ -

AB + h

(2.45)
33

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

Dac recombinarea are loc prin transfer de sarcin atunci energia de recombinare este preluat sub form de energie de excitare de cei doi atomi rezultai: A +B
+ -

A* + B *

(2.46)

Trebuie menionat faptul c reaciile (2.44) i (2.45) au loc cu o probabilitate mai mare la presiuni sczute, presiuni la care predomin ciocnirile binare. La presiuni mai mari este posibil i recombinarea prin ciocnire tripl n care energia de recombinare este preluat de partenerul al treilea sub form de energie de cinetic sau energie de excitare: A + B + C AB + C sau (C *)
+ -

(2.47)

2.3 Procese elementare de suprafa

In descrcrile electrice un rol important n ceea ce privete nelegerea comportrii lor l au procesele care au loc la limita de separare dintre plasm i suprafeele solide cu care particulele componente ale plasmei vin n contact (electrozii descrcrii, pereii incintei de descrcare etc.). Interaciunea plasmsolid are ca efecte emisia de electroni i atomi neutri, precum i formarea aanumitelor nveliuri (teci) n vecintatea electrozilor. Aceste efecte sunt importante la catozii descrcrilor, tipul lor fiind n mare msur dictat de procesele catodice. 2.3.1 Mecanismele de emisie electronic O suprafa metalic aflat n contact cu plasma poate emite electroni i, dac suprafaa n discuie este a catodului, atunci aceti electroni pot avea un rol esenial n ntreinerea descrcrii. Pentru a nelege diversele mecanisme de emisie a electronilor trebuie mai nti cunoscut natura suprafeei metalului. Un volum metalic finit poate fi modelat ca o groap de potenial. Electronii din ea se comport conform statisticii Fermi-Dirac, avnd funcia de distribuie dup energii dat de:
2 E 1 / 2 dE 2 h f ( E )dE = E EF exp +1 kT

8m e

3/ 2

(2.48) Cnd temperatura este 0 K, electronii populeaz nivelele de energie mai 2 mici dect nivelul Fermi EF, unde EF = (h /2me)(3ne/8)2/3. Distana dintre nivelul Fermi i vrful gropii de potenial este numit energie de extracie (notat cu n Fig.2.7a). Pentru T > 0 K sunt populate i strile superioare nivelului Fermi n conformitate cu funcia de distribuie (Fig.2.7b). Deoarece potenialul de extracie V = /e este de ordinul ctorva voli i temperatura de topire Tm a celor mai multe metale nu este mai mare de cteva sute de oC, deci kTm/e < 0.4 eV, se
34

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

poate observa c strile din vecintatea superioar a nivelului Fermi sunt mult mai populate dect strile apropiate de vrful gropii de potenial. Emisia de electroni din metal poate avea loc fie prin escaladarea barierei de potenial, fie prin strpungerea prin efect tunel, atunci cnd grosimea ei este finit.

Fig.2.7 - Modelul gazului electronic ntr-un metal la: (a) T = 0 K ; (b) T > 0 K.

n cazul emisiei fotoelectronice un foton cu energia hc/ este trimis pe suprafaa metalului. Dac (hc/) > eV, exist o probabilitate finit ca fotonul s poat transfera energia sa unui electron de pe nivelul Fermi sau de sub el i astfel acesta va putea escalada bariera de potenial. Dac temperatura unui metal crete, numrul mic dar finit de electroni cu energia mai mare dect bariera de potenial va crete. Cnd un astfel de electron se apropie de bariera de potenial, n conformitate cu teoria clasic, el va escalada bariera de potenial devenind un electron emis. Densitatea de curent datorat emisiei termoelectronice poate fi calculat transformnd funcia de distribuie Fermi-Dirac ntr-o funcie de distribuie dup viteze i calculnd numrul total de particule cu energia necesar escaladrii barierei, avnd viteza normal la suprafa. Pentru energii apropiate sau mai mari dect bariera de potenial, distribuia Fermi-Dirac poate fi bine aproximat cu o distribuie MaxwellBoltzmann, rezultnd ecuaia Richardson-Dushman:
j = AT 2 exp kT

(2.49)

unde A= [4emek2]/h3 = 1.2x106 A.m-2K-2. nlimea barierei de potenial se micoreaz cu dac n apropierea suprafeei metalice exist un cmp electric E (Fig.2.8). Aceasta trebuie sczut din din ecuaia Richardson-Dushman, iar efectul se numete efect Schottky.
35

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

Expresia lui poate fi calculat dac se ine seama de faptul c potenialul electric n vecintatea suprafeei metalului are dou componente; (a) potenialul datorat cmpului propriu-zis:

Fig.2.8 - Modificarea barierei de potenial prin efect Schotky.

V(x) = -xE(x) i (b) potenialul datorat sarcinii imagine induse n metal: Vim(x) = -e/16ox Expresia analitic a potenialului total va fi: V(x) = -xE(x) - e/16ox Ea are un maxim pentru xm = (e/16oE)
1/2

(2.50) (2.51) (2.52) (2.53)

iar expresia valorii maxime a potenialului va avea forma: V(xm) = -(eE/4o) = (e E/4o)
3 1/2

(2.54) (2.55)

Astfel, energia de extracie a electronilor din metal se va micora cu:

1/2

i nu va mai fi o barier infinit ci una de grosime finit. n teoria cuantic se demonstreaz c un electron care se apropie de o barier de potenial cu grosime finit are o probabilitate finit s o strpung, fie c are o energie mai mare dect bariera de potenial, fie c are o energie mai mic. Aceast probabilitate crete cu creterea energiei dar nu este niciodat egal cu unitatea, astfel c rezultatele teoriei Richardson-Dushman trebuie privite ca o limit superioar a teoriei cuantice. Grosimea barierei de potenial poate fi fcut s aib o valoare finit prin aplicarea unui cmp electric exterior, aa cum este artat n Fig.2.8. n conformitate cu teoria cuantic, chiar i electronii de pe strile mai puin populate
36

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

din vecintatea nivelului Fermi au o probabilitate finit de strpungere a barierei de potenial. Ecuaia Fowler-Nordheim prezice expresia intensitii curentului de emisie datorat cmpului prin integrarea vitezei din funcia de distribuie FermiDirac la 0K, ponderat pe viteza normal la suprafa. De asemenea, ea d probabilitatea de strpungere a barierei de potenial: J = CE2e-D/E unde E este intensitatea cmpului electric,
C= 2h(E F + ) 1 / 2
1/ 2 1/ 2 e 3 EF

(2.56)

(2.57) (2.58)

8 (2me ) 3 / 2 D= 3he

Combinnd o temperatur ridicat cu un cmp electric intens se produce o combinaie a emisiei termoelectronice cu emisia de cmp, emisie care poate avea un rol important n unele descrcri electrice. La temperatura camerei (300 K) emisia termoelectronic este neglijabil i, pentru eliberarea unui electron din metal numai sub aciunea unui cmp electric exterior, ar fi necesar ca intensitatea acestuia s fie de ordinul 1010-1011 V/m. Experimental s-a constatat c emisia electronic la temperatura mediului ambiant, numit i emisie la rece, poate avea loc i pentru intensiti ale unui cmp exterior de ordinul 107-109 V/m. Acest lucru poate fi explicat numai prin modificarea formei barierei de potenial n prezena cmpului electric exterior i, n consecin, a existenei posibilitii ca unii electroni s o strpung prin efect tunel. Electronii din solide pot fi eliberai i ca urmare a ciocnirii suprafeelor acestora de ctre particule componete ale plasmei: electroni, ioni i atomi. Eliberarea unui electron n urma unui astfel de proces este cunoscut sub denumirea de emisie electronic secundar. La ciocnirea electronilor din plasm cu suprafeele electrozilor sau incintei de descrcare ei pot fi reflectai elastic de ctre acestea, pot fi reflectai neelastic (o parte din energia lor cinetic fiind cedat solidului contribuind la mrirea energiei lui interne) sau pot produce noi electroni (numii electroni secundari). Condiia necesar pentru producerea fenomenului de emisie electronic secundar la impact electronic este ca energia cinetic a electronilor incideni s fie cteva sute de eV. Numrul mediu de electroni secundari generai de un electron primar (coeficientul de emisie secundar la impact electronic - e) este cuprins ntre 0,5 i 2 pentru metale i semiconductori i ntre 1 i 10 pentru dielectrici. Dac suprafaa solidului este ciocnit de un ion pozitiv atunci trebuie s se in seama att de energia cinetic transportat de acesta ct i de energia potenial datorat interaciunii lui cu microcmpurile reelei cristaline a solidului.
37

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

n analiza procesului de emisie secundar la impact ionic se va avea n vedere i faptul c, pe lng electronul secundar mai trebuie scos nc un electron din solid, electron care va neutraliza ionul pozitiv, deci: Ecin + Epot 2 (2.59) n cazul n care ionii incideni au energii mai mari dect 103 eV predomin emisia cinetic fie prin scoaterea unui electron liber sau legat dintr-un atom superficial, fie prin nclzirea local a suprafeei solidului. n acest caz coeficientul de emisie secundar este cuprins ntre 1 i 15 electroni/ion. Dac ionii incideni sunt mai leni, avnd energii mai mici dect 103 eV, atunci predomin emisia secundar potenial. Un ion cu potenialul de ionizare Vi 2V, poate transfera energia sa de ionizare unui electron din atom, acesta devenind un electron liber. Procesul se numete emisie Auger. Coeficientul de emisie secundar potenial la impact ionic, i, este funcie de energia de ionizare. De exemplu, pentru He+ i He++ el este aproximativ 0,2, respectiv 0,8 att pentru suprafee de molibden ct i pentru suprafee de tantal. Emisia secundar potenial poate fi explicat pe baza schemei din Fig.2.9 considernd c ionul, fiind mai lent, are un timp de reziden n apropierea suprafeei metalului suficient de lung pentru a forma, pentru un scurt interval de timp, un sistem unic cu acesta.

Fig. 2.9 - Emisia electronic secundar potenial.

Prezena ionului determin modificarea formei barierei de potenial n mod asemntor cu ceea ce se ntmpl n cazul efectului Schottky. Un electron e1 al metalului avnd energia , poate strpunge bariera prin efect tunel i s se "aeze" pe nivelul fundamental al ionului, transformndu-l n atom neutru. Energia E1 eliberat n acest proces poate fi preluat de un al doilea electron e2 al metalului avnd energia . Dac energia E1 este suficient de mare, atunci el poate prsi metalul devenind un electron secundar. Aceast condiie se poate scrie: E1 = + Ec2
38

(2.60)

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

Pe de alt parte: E1 = Eion - Din ultimele dou relaii se poate scrie c: (2.61) (2.62)

Eion = Ec2 + ( + )

Deoarece att ct i sunt mai mari dect , condiia minimal pe care trebuie s o ndeplineasc ionul este obinut din relaia (2.62) n care se consider situaia cea mai favorabil (electronul secundar s fie n repaus):

Eion 2

(2.63)

adic, energia de ionizare a atomului din care a provenit ionul pozitiv trebuie s fie cel puin egal cu dublul energiei de extracie a electronului din metal. Procesul de emisie electronic secundar poate avea loc i n cazul ciocnirii suprafeelor solide de atomi neutri. Spre deosebire de emisia secundar la impact ionic, n cazul emisiei electronice secundare la impact atomic se are n vedere doar emisia cinetic, atomul nefiind purttor de sarcin n exces. Ca urmare, coeficientul de emise secundar la impact atomic va fi mult mai mic dect cel la impact ionic. Dac atomul incident este ntr-o stare excitat i Vexc V, atunci energia de excitare poate fi transferat unui electron din metal care va deveni electron liber. n acest caz emisia se numete rezonan, coeficientul de emisie secundar la impact atomic fiind funcie de energia de excitare disponibil. 2.3.2 Emisia atomic Plasma descrcrilor electrice poate interaciona cu suprafeele solide pe care le acoper (pereii incintei de descrcare, suprafeele electrozilor) provocnd, pe lng emisia de electroni i emisia de atomi de pe acestea. n multe descrcri acesta poate fi un efect secundar, mai mult sau mai puin important. Dar n unele descrcri, cum ar fi de exemplu arcul n vid, emisia atomic joac un rol esenial n existena acestora, atomii emii putnd fi ionizai i astfel s devin mediul conductor dintre electrozi. Evaporarea i sublimarea sunt procese prin care atomi individuali prsesc suprafaa unui corp solid sau lichid datorit energiei termice. ntr-un corp cald atomii au o anumit distribuie statistic a energiilor. Acei atomi de la suprafaa corpului care au o energie mai mare dect energia de legtur i au viteza orientat ctre suprafaa lui, vor rupe legtura i vor prsi corpul. n unele privine, emisia termic a electronilor este asemntoare cu evaporarea i lucrul mecanic de extracie poate fi privit ca energia de legtur a electronilor de conducie. O estimare a ratei procesului de evapoarare sau sublimare poate fi fcut folosind modelul simplu al lui Langmuir care consider corpul condensat n echilibru cu vaporii lui. n starea de echilibru fluxul de atomi evaporai sau sublimai dinspre suprafaa corpului este egal cu fluxul atomilor din starea de
39

Capitolul II Procese fundamentale n plasm

vapori care se ndreapt spre suprafa. Dac atomii de gaz respect o distribuie statistic de tip Maxwell, fluxul de atomi condensai este dat de:
= Na Pv kT = 2m 2mkT

(2.64)

unde Pv este presiunea de echilibru a vaporilor n cauz. Dac sistemul este n echilibru, atunci poate fi i fluxul de atomi dinspre suprafa. Langmuir susine c, deoarece procesele de emisie atomic sunt influenate n primul rnd de temperatura suprafeei i mai puin de condiiile n care se afl gazul, trebuie s reprezinte fluxul de atomi dinspre suprafaa corpului indiferent dac sistemul este n echilibru sau nu. Dac sistemul este n echilibru atunci fluxul net este zero, existnd un flux egal de atomi de gaz care se ntorc spre suprafaa corpului. 2.3.3 Ionizarea superficial Pulverizarea catodic este procesul n care o particul incident grea provoac eliberarea unui atom dintr-un corp condensat (de regul, solid). Corpul solid poate fi modelat ca o reea de "sfere grele" atomice, legate ntre ele printr-un sistem de resorturi care reprezint forele interatomice. O particul incident se ciocnete cu una din suprafeele atomice punnd n micare un sistem cuplat de vibraii atomice care sunt interconectate prin resorturi. Dac micarea iniial a atomului ciocnit este nspre interior el poate ricoa nspre exterior. Dac are o vitez suficient de mare, el poate "rupe resorturile" i, dac energia lui este mai mare dect lucrul mecanic de extracie din metal, el poate prsi metalul. Coeficientul de pulverizare, adic numrul de atomi emii de ctre o particul incident, depinde de viteza i masa particulei incidente, de suprafaa intei i de direcia de impact cu suprafaa ei i cu planele cristaline de sub aceasta. Coeficientul de pulverizare crete odat cu creterea masei i vitezei particulei incidente i are o valoare maxim atunci cnd direcia de impact este paralel cu direcia de densitate liniar maxim a atomilor din metal, adic cu direcia n care distana atom-atom este minim. La impactul unui atom neutru cu o suprafa metalic el poate pierde sau ataa un electron, vorbindu-se n acest caz de ionizare superficial pozitiv sau negativ. Ca i n cazul emisiei electronice secundare la impact ionic, atomul lent i metalul pot forma pentru un scurt timp un sistem unic, bariera de potenial micorndu-se i devenind finit. Dac energia de ionizare a atomului este mai mic dect energia de extracie a electronilor din metal, atunci exist o probabilitate diferit de zero ca un electron din atom s o strpung i s treac n metal iar atomul s devin ion pozitiv (Fig. 2.10). Un exemplu de ionizare superficial pozitiv este cel al sistemului wolfram-cesiu. Energia de ionizare a cesiului este de 3,9 eV iar energia de extracie a electronilor din wolfram este de 4,5 eV. Ionizarea superficial negativ se produce dup un mecanism asemntor.
40

S.D.Anghel Fizica plasmei i aplicaii

Fig. 2.10 - Ionizarea superficial pozitiv.

41