VIII.

Microactuatori

MICROACTUATORI Funcia de execuie ntr-un sistem ( microsistem) mecatronic const din iniierea contro!u! "i rea!i#area interaciunii ma"inii cu mediu! $e %a#a intruciuni!or $rimite de !a &uncia de cunoa"tere. Funcia de execuie se rea!i#ea# $rin intermediu! actuatori!or ( microactuatori!or). Acionarea are !a %a# n 'enera! trei ti$uri de interaciuni( interaciunea c)m$uri!or interaciunea mecanic "i de&ormaii !imitate a!e unor materia!e. *. Microactuatori &uncion)nd $e %a#a interaciunii c)m$uri!or se %a#ea# $e interaciuni a!e c)m$uri!or ma'netice a!e c)m$uri!or e!ectrice cu c)m$uri ma'netice a!e sarcini!or e!ectrice( micromotoare rotati+e de curent continuu de curent a!ternati+ asincrone "i sincrone micromotoare e!ectrostatice micromotoare !iniare de curent continuu microe!ectroma'nei microntreru$toare etc. ,. Microactuatorii care se %a#ea# $e de&ormaii !imitate a!e unor materia!e au n com$onena !or ca e!ement acti+ un materia! -inte!i'ent.- materia! care are ca$acitatea de a se de&orma contro!at ( !ame!e discuri mem%rane arcuri e!icoida!e "i s$ira!e etc.). /e&ormaii!e !imitate a!e acestor materia!e inte!i'ente $ot &i trans&ormate n mi"cri continue cu a0utoru! unor mecanisme ( mecanisme cu c!ic1et cu roi dinate "uru% - $iu!i etc.). 2n &ucie de semna!u! de intrare de&ormaii!e !imitate $ot &i rea!i#ate $rin mai mu!te $rocedee( - $rin &!ux termic n ca#u! %imeta!e!or "i a a!ia0e!or cu memoria &ormei3 - $rin comand e!ectric n ca#u! microactuatori!or $ie#oe!ectrici "i a microactuatori!or e!ectroreo!o'ici3 - $rin comand ma'netic n ca#u! microactuatori!or ma'netorestricti+i "i a microactuatori!or $e %a# de &ero&!uide3 - $rin comand o$tic n ca#u! microactuatori!or termo-e!ectro-&otore#isti+i "i a microactuatori!or $iro-$ie#oe!ectrici3 - $rin comand c1imic. 4. Microactuatorii &uncion)nd $e %a#a interaciuni!or mecanice au !a %a# transmiterea ener'iei $e %a#a unui &!uid sau 'a# care acionea# asu$ra unor e!emente mecanice ( $istona"e mem%rane tu%uri &!exi%i!e etc.) asi'ur)nd rea!i#area unui !ucru mecanic( micro$om$e micromotoare cu $a!ete microci!indri etc. 1.1. Micromotoare electrice

5rinci$iu! de &ucionare este ce! nt)!nit !a motoare!e e!ectrice c!asice cu circuit de curent e!ectric n c)m$ ma'netic. 6!emente!e com$onente ( rotor stator !a're $entru re#emare) sunt rea!i#ate din structuri $e %a# de si!iciu &a%ricate cu te1no!o'ii!e s$eci&ice. In &i'. * se $re#inta sc1ema de &a%ricatie a unui micromotor e!ectric iar in &i'. , si 4 se $re#inta doua sc1eme de micromotoare.
*

VIII. Microactuatori

Fi'. * 7c1ema de &a%ricaie $entru un micromotor e!ectric cu e!emente $e %a# de si!iciu

Fi'. , 7eciune $rintr-un micromotor

Fi'. 4 Micromotor cu ca$acitate +aria%i! cu e!emente $e %a# de si!iciu 5e !)n' micromotoare!e rotati+e exist o di+ersitate de microactuatori acionai $rin cmp magnetic care rea!i#ea# mi"cri !imitate. Un microactuator ma'netostatic este $re#entat n &i'.8.

VIII. Microactuatori

Fi'. 8 Microactuator ma'netostatic O a!t so!uie constructi+ de microactuator ma'netostatic este $re#entat n &i'. 9 cu de&ormarea e!astic a unei mem%rane.

Fi'. 9 Microactuator ma'netostatic cu mem%ran Un a!t exem$!u de microactuator ma'netic este motoru! !iniar din &i'ura :. Ma'netu! rm)ne n cana! e! &iind ridicat si miscat in &ata si in s$ate sc1im%ind directia curentu!ui $rin in&asurari!e rotoru!ui de aceeasi $arte in tim$ uti!.

Fi'. : Actuator !iniar cu c)m$ e!ectroma'netic

4

VIII. Microactuatori

;a dis$o#iti+u! din &i'ura : o $ro%!ema comuna care $oate sa a$ara in ca#u! actuatori!or ma'netici este &a$tu! ca in&asurari!e sunt su$radimensionate (este &oarte 'reu de miniaturi#at trei in&asurari considera%i!e ca dimensiuni). /e#a+anta0u! actuatori!or ma'netici este ace!a ca au dimensiuni mari si sunt mari consumatori de ener'ie. *.,. Microactuatori electrostatici. Au !a %a# &ore!e e!ectrostatice ce se de#+o!t ntre dou su$ra&ee a&!ate !a distan &oarte a$ro$iate una de a!ta &i'. <

Fi'. < Ast&e! ntre , $!aci cu dimensiuni!e axb a&!ate !a distana d una &a de cea!a!t "i su$use unei tensiuni e!ectrice U se de#+o!t o ener'ie $otenia! W dat de re!aia(
W= * a b , r = U , d

n care termenu! r =

a b re$re#int ca$acitatea e!ectric C dintre ce!e dou $!ci r este $ermiti+itatea d

re!ati+ a materia!u!ui dintre $!ci iar 0 este $ermiti+itatea e!ectric a +idu!ui ( = > ? ?98 *=-*, F@m). 5e direcia norma! !a ce!e dou su$ra&ee acionea# o &or de atra'ere F dat de re!aia(
F =

W * a b = r = , U , d , d

Exemplul 1 : a > % > , mm d > 9 Am U > *, V er > * Re#u!t o &or de atracie F > =.* mB. 5e direcia !atera! con&orm &i'. ? acionea# o &or F* dat de re!aia(
FC =

W * b = r = U , a , d

VIII. Microactuatori

Fi'. ? Exemplul 2: a > * mm % > , mm d > 9 Am U > *, V er > * Re#u!t o &or !atera! FC > =.4 AB 1.2.1 Microactuatori electrostatici interdigitali 5e $rinci$iu! &orei e!ectrostatice !atera!e &uncionea# microactuatorii e!ectrostatici ti$ $ie$tene sau microactuatori interdi'ita!i (Comb micro actuators). Acesti microactuatori cu$rind dou structuri de ti$ $ie$tene una staionar "i una mo%i! cu e!ectro#i ce se ntre$trund ca n &i'. D-a. 7tructura mo%i! este ancorat $rintr-un sistem de !ame!e e!astice care $ermit de$!asarea !atera! ( &i'. D-%).

a) Fi'. D

%)

2n ca#u! microactuatori!or ti$ $ie$tene cu N e!ectro#i &ora !atera! 'enerat de c)m$u! e!ectrostatic (F6) este dat de re!aia(

VIII. Microactuatori

FE = N r =

b , U d

n care b re$re#int !imea e!ectro#i!or iar d re$re#int distana dintre e!ectro#i.

Fi'. *= A"a cum este $re#entat n &i'. *= &ora e!ectrostatic tinde s atra' e!ectro#ii mo%i!i iar acestei &ore i se o$une &ora e!astic FM dat de re!aia(
FM = k X

unde k este constanta de e!asticitate a e!ementu!ui e!astic iar X re$re#int a$ro$ierea e!ectro#i!or. ;a ec1i!i%ru ce!e dou &ore de+in e'a!e "i din aceast e'a!itate se $oate determina de$!asarea re!ati+ a e!ectro#i!or $entru o 'eometrie dat "i $entru o tensiune e!ectric im$us(
X = N r = b U , d k

Fi'. ** In ca#u! unei structuri e!astice rea!i#at din dou !ame!e ncastrate ca n &i'. ** constanta de e!asticitate E este dat de re!aia(
:

VIII. Microactuatori

E b4 h L4 unde E este modu!u! de e!asticitate a! !ame!e!or e!astice b este !imea !ame!e!or h este 'rosimea !ame!e!or iar L este !un'imea !ame!e!or. k=

a)

%)

c)

Fi'. *, Microactuatorii e!ectrostatici de ti$ $ie$tene $ot &unciona uni- sau bidirecional u!timu! ca# &iind $re#entat s1ematic n &i'. *,. Ast&e! n &uncie de $o!aritatea a$!icat !a e!ectro#ii &ic"i ( $o#iti+ n st)n'a "i ne'ati+ n drea$ta) "i de $o!aritatea !a e!ectro#ii mo%i!i se $oate o%ine staionare ($o!aritate #ero $e e!ectro#ii mo%i!i &i'. *=-a deplasare la stnga &i'. *,-% ($o!aritate ne'ati+ !a e!ectro#ii mo%i!i) sau deplasare la dreapta &i'. *,-c ($o!aritate $o#iti+ $e e!ectro#ii mo%i!i).

Fi'. *4
<

VIII. Microactuatori

In &i'. *4 este $re#entat un microactuator e!ectrostatic ti$ $ie$tene %idireciona! rea!i#at de &irma Cronos Integrated Mikros stems Inc. cu urmtoare!e caracteristici te1nice( /e$!asarea maxim X = 8 *= , U , [ !"# Fora de#+o!tat F = 9= U , [pN"$ unde tensiunea U este dat n +o!i. 1.2.2. Micromotoare rotati!e electrostatice Micromotoru! rotati+ e!ectrostatic $re#entat n &i'. *8 are rotoru! cu diametru! de = *4 mm "i este $us n mi"care de rotaie de &ore!e de atracie e!ectrostatice de#+o!tate ntre rotor "i stator.

Fi'. *8 Micromotor rotati+ e!ectrostatic 1.2.". Micro#ntrerup$toare electrostatic. In &i'.*9 se $re#int sc1ema de $rinci$iu "i o ima'ine a a unui microntreru$tor e!ectrostatic iar n &i'. *: este $re#entat te1no!o'ia de &a%ricaie.

VIII. Microactuatori

Fi'. *9

Fi'. *: 1.2.%. Microactuator electrostatic cu &recare Con&orm sc1emei din &i'. *< su% aciunea c)m$u!ui e!ectrostatic e!ectrodu! mo%i! este atras s$re e!ectrodu! &ix si ca urmare a de&ormatii!or e!astice "i a &recrii a$are o microde$!asare x a e!ectrodu!ui mo%i!. O$eraia se re$et re#u!t)nd n &ina! o de$!asare sacadat cu $asu! x a e!ectrodu!ui mo%i!.

Fi'. *<
D

VIII. Microactuatori

1.2.'. (al!e micro-pneumatice )*+,-I*-). 7unt +a!+e miniaturi#ate din $o!isi!iciu ce au actionare e!ectrostatica uti!i#ate in +enti!atia aeru!ui. 2n &i'. *? este $re#entat o so!uie constructi+ rea!i#at de Fraun1o&er IFT- Fermania. Funcionarea se %a#ea# $e de&ormaia e!astic a dia&ra'mei su% aciunea &orei e!ectrostatice "i desc1iderea +enti!u!ui de intrare a &!uidu!ui in microcamer. 7c1im%area $o!aritii !a e!ectro#i conduce !a nde$rtarea mem%ranei "i crearea unei $resiuni n microcamer cu desc1iderea +enti!u!ui de ie"ire. *raun+o&er I*G.a+r:1//' GMedium: *l0ssigkeit G1 stemgr23e: 45452 mm" G6etriebsspannung:277 ( G*re8uen9:1..1777 :9 G;ruckau&bau:"1 k<a Fi'. *? In &i'. *D se $re#int un micro+enti! de 'a# acionat e!ectrostatic "i rea!i#at de &irma :one =ell Inc.

>.a+r: 1/// >Medium: ,as >1 stemgr23e: ".?5".? mm2 >Membrangr23e: "'75"/7 @m2 >6etriebsspannung:"7 (

Fi'. *D 1.2.? Microsisteme cu oglin9i mobile )1patial Aig+t Modulator B 1AM)

Fi'. ,=
*=

VIII. Microactuatori

In &i'. ,= este $re#entat un sistem 7$atia! ;i'1t Modu!ator n care micro$!cue!e cu ro! de o'!in#i sunt articu!ate e!astic ast&e! nc)t se $ot nc!ina cu un anumit un'1i &uncie de &ore!e e!ectrostatice care se de#+o!t. In &uncie de $o!aritatea rea!i#at $!cue!e sunt $ot &i orientate di&ereniat re&!ect)nd ra#e!e !uminoase (!aser) n direcii $resta%i!ite ca n &i'. ,*.

Fi'. ,* 2. Microactuatori termici. 7e %a#ea# $e ex$ansiunea termica !iniara @ ex$ansiunea +o!umu!ui sau sc1im%area de &a#a. Actuatorii termici %imor&i uti!i#ea#a di&erente!e dintre coe&icientii de di!atare termica a materia!e!or din care sunt rea!i#ati. 2.1. Microactuatori tip Cilia 7unt de ti$ %imor& rea!i#ai n sisteme de c)te 8 !ame!e de &orma ce!ei $re#entate n &i'.,,-a. Fiecare !ame! este com$us din dou straturi de $o!iamid cu coe&icieni di&erii de di!atare termic ( ;oH I CT6 $o!Jmide "i Ki'1 I CT6 5o!Jmide). Ce!e dou straturi sunt de$use $e o $!cu e!ectrostatic din a!uminiu "i o microre#isten e!ectric TiL &i'. ,,-%.

a)

%)

Fi'. ,, Acionarea ce!or 8 !ame!e a"e#ate orto'ona! se &ace at)t $rin e&ect e!ectrostatic c)t "i $rin e&ect termic I $rin nc!#irea microre#istenei e!ectrice ce!e dou straturi de $o!iamid se di!at di&ereniat re#u!t)nd modi&icarea $o#iiei !ame!e!or.
**

VIII. Microactuatori

Constructi+ exist mai mu!te structuri cu c)te 8 !ame!e ca n &i'. ,4 "i ,8. Modi&icarea contro!at a $ac1ete!or de 8 $!cue ( notate sim%o!ic B 6 L 7 sau n e H s du$ cum sunt ridicate sau cu!cate) $ermite de$!asarea unei micro-$iese n di+erse direcii. Ast&e! n &i'.,4 este $re#entat sc1ema de mi"care a !ame!e!or $entru o de$!asare de !a st)n'a !a drea$ta. Iniia! $!cue!e sunt de ti$ ne=s ( adic toate sunt cu!cate). In &a#a a II-a se ridic doar $!cue!e din direcia +est "i se o%ine con&i'uraia neCs cu de$!asarea s$re drea$ta . Urmea# ridicarea !ame!e!or din drea$ta (nECsD co%or)rea !ame!e!or din st)n'a :nE=s "i n &ina! co%or)rea !ame!e!or din drea$ta ne=sD cu o nou de$!asare s$re drea$ta.

Fi'. ,4

Fi'. ,8 In &i'. ,8 sunt $re#entate ce!e 8 &a#e $entru o de$!asare n dia'ona!: ne=sD neC1D EEC1D Ee=s. 2.2 Microactuatori care se ba9ea9a pe sc+imbarea de &a9a
*,

VIII. Microactuatori

7unt cei mai ras$anditi si sunt actuatorii %a#ati $e a!ia0e cu memora &ormei ce uti!i#ea#a a!ia0e care-si $ot modi&ica dimensiuni!e $rin tran#itia materia!u!ui de !a o &orma a unei &a#e crista!ine !a a!ta. A!ia0e cu aceste $ro$rietati sunt ( Bi@Ti Au@Cu In@Ti. In &i'. ,9 este $re#entat un microactuator cu memoria &ormei. ;a trecerea curentu!ui $rin !ame!e!e rea!i#ate din a!ia0e cu memoria &ormei ca urmare a cre"terii tem$eraturii n !ame!e a$ar tensiuni care !e de&ormea# ntr-o$o#iie $resta%i!it iniia!.

Fi'. ,9 7o!uia constructi+ a acestor microactuatori cu memoria &ormei este $re#entat n &i'. ,: a!ia0u! uti!i#at &iind BiTi de$us $e strat de si!iciu $o!icrista!in.

Fi'. ,: ". Microactuatori pie9oelectrici 6&ectu! $ie#oe!ectric este &o!osit n dis$o#iti+e!e $entru 'enerarea semna!e!or de &ortM. /acM o tensiune este a$!icata asu$ra unui &i!m de materia! $ie#oe!ectric se 'enerea#a o &ortM . In &i'. ,< se $re#int sc1ematic $rinci$iu! de &uncionare a unui microactuator $ie#oe!ectric. 2n &i'ura ,<a un strat a!
*4

VIII. Microactuatori

materia!u!ui $ie#oe!ectric se de$une $e o mem%rana e!astic. A$!ic)nd tensiune e!ectric $e stratu! $ie#oe!ectric se de#+o!t o &or care de&ormea# mem%rana e!astic.

Fi'. ,< Actuator $ie#oe!ectric.a) materia! $ie#oe!ectric de$us $e o !ame!a e!astica 3%) indoirea &i!mu!ui $i#oe!ectric ca urmare a tensiunii a$!icate 3c) mem%rana de si!iciu 3d) de&ormarea mem%ranei de si!iciu

Mem%rane cu strat de materia! $ie#oe!ectric stau !a %a#a rea!i#rii unor micro+a!+e ce sunt &o!osite $entru a $om$a &!uide in sisteme micro&!uidice( Micro-Pompa piezoelectrica (FhG-IFT) rea!i#at !a Institutu! FestEoer$ertec1niE (IFT) din Munic1 &i'.,?. O $iesa din materia! $ie#oe!ectric este atasata mem%ranei &ine de si!iciu ce constituiea mecanismu! de actionare a $om$ei. /e%itu! micro$om$ei $oate &i a0ustat de &rec+enta is am$!itudinea tensiunii a$!icate stratu!ui de materia! $ie#oe!ectric.

a)

%)

Fi'.,? (a) Micro$om$a $ie#oe!ectrica (7ursa( F1F-IFT). (%) 5rinci$iu de &unctionare( o $iesa din materia! $ie#oe!ectric ce actionea#a asu$ra dia&ra'mei $om$ei de si!icon

Micro$om$a este &o!osita $entru di&erite !ic1ide ($e %a#a de a$a or'anice) si 'a#e. Are o mare a$!ica%i!itate in domeniu! medica! in s$ecia! !a do#area medicamente!or din sin'e. 5rototi$u! are o dimensiune de < mm x < mm x * mm is $oate $om$a mai %ine de * m!@min de !ic1id sau 4 m!@min de 'a#. '. Microactuatori +idraulici Microactuatorii 1idrau!ici sunt micromotoare actionate 1idrau!ic au ca$acitatea de a 'enera o $utere destu! de mare din exterior in interioru! tu%uri!or cu dimetre mici. Acesti actuatori 1idrau!ici sunt &o!ositi in ca#u! catetere!or microc1irur'ica!e &i'. ,D.

Fi' ,D.Microactuator 1idrau!ic

*8