Capitolul II.

MICROSENZORI CHIMICI, BIOLOGICI, FIZICI

Sunt dispozitive in miniatura utilizate pentru generarea semnalelor care transform informatia din mediul inconjurator n formatul electronic ce poate s fie citita cu ajutorul instrumentelor. Microsenzorii sunt utilizati ca interfata pentru un calculator ei indeplinind rolul de simt auditv, vizual, olfactiv si tactil pentru acesta. Firmele specializate in Tehnologia si Stiinta microsenzorilor au realizat diferita tripuri de senzori discreti cum ar fi: miscrosenzori piezoelectrici, ci fibre optice, cu fibre micro optice, electrochimici, biochimici si de microimpedanta.

1. Clasificarea microse !orilor

Microse sori C"imici Microse sori Biolo#ici Microse sori Fi!ici

S!" %uartz &esonator 'hemiresistor Fiber *ptic F#T (ased +,drogen 'ombustible -as )ol,chrometer .iffraction -rating /ntegrated S!" F)" /on Mobilit, Spectrometr, 0/MS1 $ano #lectrode !rra,s Micro 'hem 2ab

#lectro$eedles 'ell (ased )hotonic S+ S!"

FringeField F#T (ased &adiation

1.1. Microse !ori c"imici

S$%&Base' C"emical Se sors ( Microse !ori c"imici) .ispozitivele senzoriale ce au la baza o unda acustic de suprafat, dispozitivele sunt dezvoltate s detecteze zonele in care sunt degajate in aer chimicale. .ispozitivul S!" este un detector gravimetric foarte sensibil care poate s fie acoperit cu un film specific pentru a detecta o anumita specie chimic. (azat pe aceste dispozitive, s au dezvoltat sistemele ce pot s detecteze urma sau nivele de impuritti din aer.

34

Fig. Microsenzor chimic S!" microsenzor se bazeaza pe analizele pe grupuri dimensionale, av5nd capacitatea de a identifica si cuantifica modificarile chimice din productie. Folosind matricile noastre Si6 sa7, algoritmii de recunoastere )& au demonstrat identificarea a 89 compusi organici diferiti si 38 amestecuri chimice cu o concentie diversa si o acuratete de :;.

Co cept operatio al .ispozitivul este foarte sensibil la schimbrile multiple si imperceptibile de masa, detect5nd straturi cu 8<< pg=cm3 mai putin dec5t 8> a unui strat monomolecular de atomi de carbon. .ispozitivele noastre foloseasc cuartul microfonului piezoelectric ca substrate? functioneaz n regim de 8<< M+z, baz5nduse pe dou traductoarele interdigitale pentru a lansa si detecta o und care traverseaza dispozitiul de la un capat la altul. Fiecare traductor este cuprins de multe perechi de degete fine photolithografice, fiecare deget avind o largime numai de c5tiva micrometri. '5nd dispozitivul S!" este acoperit cu o pelicula foarte subtire de film chimic cu absorbtie selectiva,dispozitivul reactioneaza cu mare precizie la chimicalele care interactioneaz cu filmul. Figura arat schematic interactiunea ntre filmul senzorului si substanta chimica diisopropil metil fosfonat 0 ./M)1, care este unul dintre cei mai comuni agenti de simulare. @n general, sinteza sau selectarea unui perfect start de acoperire cu absorbtie selectiv pentru fiecare analizat de interes este nepractic, n special dac sunt implicate un mare numar de chimicale zilnic. Matricile Sa7, fiecare poarta un film diferit de precizie,

3:

care n combinatie cu analizele pe grupuri de substante a determinat formelor chimice specifice.

recunoasterea

Fig. /nteractiunea ireversibila dintre monofilmul senzorului is substanta chimica de simulare ./M) Se !ori 'e mo itori!are a flui'elor pe *a!a 'e cuart re!o ator Microsenzorii bazati pe rezonatoarele de cuart en gros sunt dezvoltate pentru a urmari proprietetile fluidelor cum ar fi densitatea si v5scozitatea si pentru a servi drept microsenzori in situ senzori chimici pentru lichide. .ispozitivul este electric e6citat n urma vibratiilor mecanice ale unui fluid. Fiind un mic dispozitiv el poate s fie functioneze nuntrul motoarelor sau conductelor, la accesoriile de monitorizare a lichidelelor lubrifiante, de e6emplu lubrifiantii.

Fig. Microsenzori de monitorizare a fluidelor pe baza de cuart resonator !ceste dispozitive senzoriale initial au fost construite numai pentru detectia modificarilor din aer acum si au crescut performantele ele putind detecta modificarile chimice din lichidele cu care vin in contact. * alternativa mult mai versatila a acestui tip

A<

de senzor este utilizarea unei suprafete cu diferite straturi cu selectivitate partiala si pentru a raspunde la un numar cit mai mare de compusi. Se !ori 'e #a! c"emire!isti+i * mare diversitate de dispozitive senzoriale ale caror rspunsuri sunt interpretate folosind un model de algoritm de recunoastere care s poat s discrimineze o varietate mare de chimicale. 'hemiresistorii, care isi modifica resistenta c5nd e e6pus la gaz sau abur, sunt dispozitive ieftine care pot s fie puse cu usurint n aplicare ntr o matrice a microsenzorului. !ceste dispozitive sunt compuse dintr un strat pe care sunt dispusi electrozi interdigitati metalici acoperiti prin litografiere cu un film polimeric conductiv. /nalta lor sensibilitate este o consecinta a usurintei cu care se adapteaza structura chemirezistiva. !ceste structuri sunt capabile sa masoare filme de fluid atit de fine de ordinul ohmmetrilor. 'apacitatea inalt rezistiva presupune utilizarea de filme fine ce au o grosime de de 8< nm aceasta minimizind totodata is timpul de raspuns. !ceste filme sunt de natura polimerica o multitudine de tipuri polimerice fiind caracterizate de afinitatea lor crescuta pentru diferite clase de materiale. Filmele polimerice sunt depuse prin intinderea pe suprafata electrozilor adaugind la amestecul polimeric citeva procente de particule de argint coloidal sau grafit care se vor distribui in mod uniform crescind astfel rezistanta filmului.

Fig. Microsenzori de gaz Se !ori c"imici *a!ati pe fi*re optice Sunt microsenzori BmicromirrorC dispozitive construite prin acoperirea capatului unei fibre optice cu un film chimic pur sensibil care sa si schimbe refle6ia la contactul cu substanta chimica de interes. !cest dispozitiv activeaz telecontrolul de concentrare chimic, functioneaz in medii electrice, si nu prezinta nici un risc de aprindere. !plicatiile includ monitorizarea nivelelor hidrogenului n uleiul pentru transformatoare

A8

pentru a indica pana n functionare si detect5nd compusii o6idanti n solul si atmosfera Martiana.

Fig. Microsenzor chimici bazati pe fibre optice FE,&Se !or 'e "i'ro#e Senzorul de hidrogen const dintr un F#T si un chemiresistor, ambii folosind metalizarea cu )d $i, care masoara mpreun concentrrile de hidrogen de la 8 la 8<<> in conditii de temperatura cuprinse intr un interval de 0 8<<D' la 89<D'1 is lucrind in diferite medii cum ar fi: vacuum, spatii neo6igenate, in conditii ostile cu vibratii si radiatii mari. !cesti microsenzori sunt caracterizati de o mare reproductibilitate is reversibilitate, au o buna stabilitate pe termen lung. !ceste dispozitivele sunt integrate in circuite electronice pentru procesarea semnalelor prelucr5nd si controlind variatiile de temperatur. !plicatiile includ detectia scaparilor de hidrogen prin microfiurile motoarelor de rachet si la rafinrii, si monitorizarea coroziunii echipamentului de valoare.

Fig. F#T Microsenzor de hidrogen Micromasi - filame t pe tru com*usti*ili #a!osi .ispozitivul pentru detectarea semnalelor combustibililor gazosi se compune dintr un filament conductiv, acoperit cu un strat catalitic, care este nclzit cu electric

A3

curent. Tehnologiea masinii permite filamentului sa fie foarte mic si suspendat mai sus de substratul pentru izolare termica, av5nd drept rezultat functionarea la putere joasa. 'ombustibilii gazosi actioneaz asupra suprafetei catalitice, eliber5nd cldur care schimb rezistenta filamentului. !cest dispozitiv este propus pentru folosirea n analizele gazelor de esapament si pentru a indica nocivitatea combustibililor gazosi.

Fig. Micromasin filament pentru combustibili gazosi .olicrometru pro#rama*il cu retea 'e 'ifractie (.ol/c"rometer

.ro#ramma*le 0iffractio Grati #) Speciile chimice pot fi detectate din punct de vedere optic folosind spectroscopia de corelare optic:o band luminoas e6tinsa traverseaza o mostr de gaz necunoscut inregistrind un simplu picE spectral care corelat cu spectrul luminos standard poate identifica specia necunoscuta a mostrei.!cest policrometru cu rete de difractie poate s sintetizeze spectrele moleculare pentru folosire ntr un spectrometrul de corelare optic. !cesta este compus din elementele de difractie ale unei masinicu greutate variabila. '5nd spectrul de band luminoas este incident pe matrice, lumina reflectat de la elementele individuale interfereaza producind spectrul dorit.

Fig. )olicrometru programabil cu retea de difractie

AA

Microse !or cu S$% i te#rat ce utili!ea!a Ga$s )ornind de la ideea de a realiza un sistem senzorial miniaturizat cu cost redus s a realizat un senzor acustic sub forma de microcip care presupune o inalta sensibilitate gravimetrica si combina aceasta sensibilitate cu un cip electronic de control. )roprietatile piezoelectrice si semiconductive ale substratului de fosfoarseniura de galiu 0-a!s1 activeaz dispozitivele pentru generarea semnalelor undei acustice de suprafata senzorului pentru a fi construite cu cip electronic de control. .ispozitivele construite functioneaz ntre 8<< si 9;< Mhz.

Fig. Microsenzor cu S!" integrat ce utilizeaza -a!s Microse !or acustico&c"imic * masin cu platforma fle6ibila0 F)"1 si un film senzitiv chimic serveste ca idee de platforma chimico sensibila. .e uz general chimic aceste dispozitive sunt analoge cu dispozitivul S!", dar poate fi fabricat din silicon si integrat intr un sistem microelectronic. !plicatiile potentiale include detectarea compusilor organici volatili, e6plozivi, droguri si agenti chimici nocivi omului.

Fig. Microsenzor acustico chimic

A9

Spectrometria cu io i mo*ili /on Mobilit, Spectrometr,0 /MS1 au la baza constructiei lor tuburi plutitoare pentru joasa temperatura, materiale ceramice arse 02T''1 si structuri de control 2/-!, materiale ieftine care fac acesti microsenzori mai putin scumpi. ! creat un microsistem, ce poate fi tinut in mina, de detectare a e6plozivililor bazat pe aceste tuburi plutitoare de miniatur.

Fig. Spectrometria cu ioni mobili Microse !ori electroc"imici Microsenzorii electrochimici sunt dispozitive sensibile la reactiile electrochimice dezvoltate s detecteze chimicalele deversate n ap. !ceste dispozitive pentru generarea semnalelor se compun din matrici nanometrice foarte ordonate, cu electroziaranjati dup mrime care detecteaz urmele sau nivele de contaminanti din apa. Matricile sunt proiectate avind pe suprafata lor zeci de milioane de electrozi foarte fini si au avantajul fenomenelor de difuzie la suprafata datorita distibutiei fine a cestor microelectrozi, proprietate ina6istenta la matricile cu electrozi de dimensiuni mari. !plicatiile includ monitorizarea mediilor ambientale, industriale, si a instalatiilor casnice pentru siguranta surselor de ap.

A;

Fig. Microsenzorii electrochimici Microse !ori&la*orator c"imic pe u cip )uterea de discriminare a tehnicilor chimiei nanalitice era mai de mult realizata cu sisteme micro analitice, sisteme care combina senzorii cu medii pentru str5ngere mostre, preconcetr5nd, si separand specia constitutiv pentru identificare si cuantificarea speciilor. !ctualmente aceste sisteme includ pompe, supape, coloane de concentrare, benzine chromatograph, si senzori.

Fig. Microsenzori laborator chimic pe un cip

1.1 Microse !ori Biolo#ici

Electro&ace #lectro acele sunt utilizate n diagnoza medical, rapid, e6act, si cu acuratetea rezultatelor sunt utilizate pentru serilitatea investigatiilor. Sandia $ational 2aboratoriesF #lectroneedles0 &1 a realizat o platforma capabila sa detecteze p5n la ;< analize individuale in timp real si in vivo, fara perceptia durerii de catre pacient.

AG

Fig. #lectro ace Sunt utilizate pentru analiza: glucozei din singe, enzimelor, protetinelor, anticorpilor, a tuturor celulelor organismului uman si a to6inelor . Microse !ori pe *a!a 'e celule Scopul de acest proiect este dezvoltarea n mod genetic a unor grupuri celulare bio compatibile cu tesuturile din jur , microsenzori celularisensibile la modificari celulare biologice si chimice. 'ombin5nd genetica si tehnicile de biologie moleculare, s au proiectat : un promotor direct n cromozomul drojdiei care produce proteine verzi, mov si rosu fluarescent prin e6punerea la to6ina holerica.
&aspunsul celulelor 0albastru fluorescent1 la stimulii inconjuratori in cazul unui canal de fluid

Fluorescenta celulelor modificate genetic 0proteine verde fluaorescent, -F)1 ca raspuns la cotactul cu to6ina holerica .

arii celulare in gel biocompatibil ce e6prima -F)

!ditional s a obtinut o imagine hiperspectrala care a fost utilizata pentru a determina daca putem cuantifica spectral raspunsul fluorescent pentru mai multe dintre aceste linii celulare. Trei fractiuni din din aceste linii celulare modificate genetic au fost mi6ate si au e6prima proteine verzi,violet, si galben fluarescent. !ceste imagini arata abilitatea analizei cu mai multe variante de date de a autogenera imagini fluorescente a celulelor vii si s interogheze specia de protein dupa fluorescenta multicolora utilizata ca proba, putind identifica o seam de inscriptionari chemo, bio sau nucleare.

AH

Fig. Microsenzori pe baza de celule Biose !ori foto ici Microsenzori care combina tehnologia bioprobelor cu tehnologia fotonica, pentru a dezvolta un sistem compact, plan, matriceal, din punct de vedere optic senzorul are o sensibilitate fr precedent. .ispozitivele microsenzoriale de acest tip implica structuri de ghidare imbunatatite cu rezonatoare tip sonerie. Sensibilitatea lor este accentuata prin folosirea nanoparticulelor de aur ca atasati optici pentru a amplifica rspunsul optic, cu scopul de a detecta structuri la fel de mici precum un fragment de .$!.

Fig. (iosenzori fotonici SH&S$% Biose sors !cesti microsenzori sunt o clas special de dispozitive acustice orizontale si sunt utilizati pentru detectarea agentilor biologici in mediile lichide. !ceste dispozitive au avantajul dublu de sensibilitatea nalt,mai mica de un picogram=cm3, si nalt

A4

specificitate, conferit de receptoarele biologice ca de e6emplu anticorpii, peptidele, si acizii nucleici. S a demonstrat detectarea de bacterii, particule virale, si proteine cu acesti microsenzori.

1.2 Microse !ori fi!ici Se !ori tactili cu mar#i e 'e cimp

!cesti microsenzori foloseasc c5mpurile electrice generate ntre electrozii de suprafaI pentru a e6amina atent accesoriile unei piesa de prelucrat alturat. Scan5nd dispozitivul pentru generarea semnalelor se creeaz o imagine a suprafetei bazata pe variatiile de topografie, conductibilitate, sau permitivitate ale suprafetei. !ceast imagine poate s fi ntrebuintata pentru inspectia de suprafat sau pentru a controla masinile automatizate sau sudura .

Fig. Senzori tactili cu margine de cimp FE,& Microse !or *a!at pe ra'iatii 'impul de radiatie sensibila are efect de tranzistor 0&adF#T1 si utilizeaza un strat de nitrur de o6id pentru a capta n permanent. &adiatiile ionizate. !cest are drept rezultat o schimbare n voltajul pragului de sensibilitate care indic doza de radiatii primita. Jn spectrometru de radiatie este construit pornind de la dispozitive matriciale tip 0&adF#T1 cu filtre de metal care permite trecerea diferitelor tipuri de energie. !plicatiile includ monitoarele pentru materiale speciale nucleare, dozimetria personala, si terapia cu radiatie in cancer.

A:

Fig. F#T microsenzor bazat pe radiatii

9<