Sunteți pe pagina 1din 3

MICROSCOPIA ELECTRONICA DE BALEIAJ (SEM) Microscopul cu scanare de electroni (MSE) se bazeaz pe aceleai principii ca i microscopul optic, cu singura deosebire

c sursa de lumina este n acest caz un fascicule de electroni, iar lentilele nu sunt optice, ci electromagnetice. Microscopul electronic de baleiaj, dei dezvoltat mult mai trziu dect cel cu transmisie i primit, la nceput, cu mare reticen referitoare la posibilele sale aplicaii, este astzi cel mai folosit microscop electronic n fizica i ingineria materialelor. Avansul luat, de acest tip de microscop, se datoreaz unor certe avantaje, dintre care amintim: uurina n pregtirea probelor pentru examinare, diversitatea informaiilor obinute (de la topografia i compoziia fazic suprafeei examinate la informaii calitative i cantitative privind compoziia global sau punctual a probei), rezoluia bun asociat cu adncime de cmp mare, un domeniu ntins i continuu al mririi, etc. Fenomene produse la interactia unui fascicul de electroni cu substanta Un fascicul de electroni care cade pe suprafaa unei probe va produce la locul de impact un numr de interaciuni specifice cu atomii din prob. Aceste interaciuni se pot grupa n interaciuni elastice, date de interaciunea electronilor din fasciculul primar cu nucleele atomilor din prob, i interaciuni neelastice, date de interaciunea electronilor din fasciculul primar cu electronii atomilor din prob n urma interaciei electronilor din fasciculul primar cu proba se genereaz urmtoarele particule i unde electromagnetice, dup cum urmeaz: 1. electroni Auger - sunt produi cnd, n urma unor procese de ionizare intern a atomilor probei, are loc o rearanjare a electronilor din nveliul electronic, cu expulzarea unui electron de energie caracteristic speciei atomice care 1-a emis. 2. electroni secundari - sunt electroni expulzai din atomii probei n urma unor procese de interaciune neeleastic ntre acetia i electronii din fasicolul primar. 3. electroni retromprtiai - sunt electroni din fasciculul primar, care, n urma unei serii de ciocniri elastice cu atomii din prob, reuesc s prseasc proba prin suprafaa pe care a avut loc impactul fasciculului primar cu proba. 4. radiaie X caracteristic - este emis de atomii din prob, atunci cnd un atom excitat n urma interaciunii neelastice cu electronii primari revine la starea fundamental . Lungimea de und a radiaiei X emise, respectiv energia sa, depinde de specia atomic emitoare. Alturi de radiaia X caracteristic se emite i radiaie X alb (spectrul continuu) n urma proceselor de frnare a electronilor incideni n cmpurile coulombiene din prob. 5. electroni absorbii - o parte din electronii incideni sunt absorbii n prob n urma pierderii treptate de energie ca urmare a ciocnirilor neelastice cu atomii din prob . Dac proba este legat la mas, atunci prin prob apare un curent de electroni absorbii. 6. electroni transmii - sunt electroni din fasciculul primar, care n anumite condiii de grosime a probei pot s strbat proba. 7. catodoluminiscen - reprezint emisia de radiaie electromagnetic n domeniul vizibil n urma unor procese de recombinare electron-gol, n cazul materialelor semiconductoare.

Interactiunea electron / substanta - sursa de informatii Fiecare din procesele fizice amintite mai sus poate constitui o surs de semnal electric exploatabil, oferind anumite informaii despre prob, de la o anumit adncime din prob i cu o anumit rezoluie. Astfel: 1. electronii Auger sunt electroni de joas energie, care sunt absorbii n prob, atunci cnd ei sunt emii de straturile interne din prob. Ca urmare numai electronii Auger din stratul superficial (2 - 10 ) pot s prseasc proba. Semnalul de electroni Auger, analizat n spectrometrele Auger, ofer informaii despre natura atomilor din stratul superficial. 2. electronii secundari au energii de pn la 50 eV i pot prsi proba numai dac sunt produi la o adncime de cel mult 500 A. Ei ofer informaii despre topografia suprafeei probei, despre distribuia cmpurilor electrice i despre domeniile magnetice, cu o rezoluie tipic de 100 . 3. electronii retromprtiai au energii mari, ntre 50 eV i energia electronilor incidenti. Ei pot s emearg din prob de la o adncime de pn la 1000 i ofer informaii despre topografia suprafeei i n special despre natura chimic a diferitelor zone din prob. Rezoluia tipic obinut cu electronii reflectai este de 1000 . 4. radiaia X caracteristic ofer informaii calitative i cantitative despre compoziia chimic aprobei. Analiza poate fi fcut global sau pe microarii. Adncimea de la care se poate obine informaiile este de maxim 5 m. 5. electronii absorbii pot produce un current de electroni absorbii, dac proba este legat la mas. Intensitatea acestui current depinde de natura atomilor din prob, de grosimea probei i de orientarea ei fa de axa fasciculului incident. Curentul de electroni absorbii ofer informaii despre topografia suprafeei i despre compoziia chimic a probei cu o rezoluie tipic de 500 . 6. electronii transmii prin prob, mai rar utilizai n SEM, pot oferi informaii despre structura cristalin a probei i despre compoziia chimic prin faptul c pierderea de energie a acestor electroni are maxime caracteristice speciilor atomice pe care a avut loc mprtierea neelastic a electronilor. 7. catodoluminiscena poate da informaii asupra distribuiei unor elemente favorizante fenomenului n prob. De asemenea permite studiul strilor de suprafa cu obinerea de informaii privind timpul de via al purttorilor majoritari de sarcin i al adncimii de difuzie a elementelor active din materialele semiconductoare. Detectarea i procesarea semnalului de radiatie X emisa de proba Detecia radiaiei X emise de prob se poate face cu dou tipuri de spectrometre: spectrometrul WDS (n englez Wavelength Dispersive Spectrometer) cu dispersie dup lungimea de und a radiaiei X i spectrometrul EDS (n englez Energy Dispersive Spectrometer) cu dispersie dup energie. Utilizarea unuia sau altuia dintre aceste spectrometre presupune avantaje i dezavantaje. n spectrometrul WDS radiaia X captat de la prob este receptat de un cristal analizor, unde pe baza fenomenului de difracie este separat dup lungimile de und coninute n fascicul. Astfel la un anumit unghi de incidena al fasciculului de raze X provenit de la prob cu suprafaa cristalului analizor, radiaia cu o anumit lungime de und este difractat pe cristal sub un unghi 2, conform legii lui Bragg, Dac detectorul este poziionat cu cristalul analizor sub unghiul fa de fasciculul incident, atunci pot ajunge n analizorul de impulsuri numai fotonii X care au unghi de 34.

Aceast condiie este ndeplinit dac punctul emisiv de pe prob, cristalul analizor i detectorul de radiaii X sunt aezate pe un cerc, numit cerc Rowland. n practic exist dou tipuri de spectrometre WDS, cu cerc Rowland vertical i cu cerc Rowland ntr-un plan oblic. Poziionarea cristalului analizor pentru detectarea peak-ului fiecrei linii caracteristice este fcut automat de un calculator, care face parte integrant din microscopul electronic [Pumnea C., 1985]. Spectrometrele cu dispersie dup energie (EDS) utilizeaz ca separator al fotonilor X dup energie un analizor multicanal aezat dup detectorul de raze X. n prealabil impulsurile provenite de la detector trec printr-un preamplificator. Ca detector de semnal se utilizeaz un detector cu semiconductor (diod de Si dopat cu Li, notat simplu detector Si (Li). Energia fotonilor X produce tranziii ale electronilor cristalului de Si din banda de valena n banda de conducie ntr-o jonciune de Si polarizat invers. Semnalul preluat de la spectrometrul WDS sau EDS este prelucrat de unitatea de calcul a microscopului, care face o serie de corecii specifice de fond, de autoabsorbie, de timp mort, etc, determin intensitile relative ale peak-urilor i pe baza unui program de calcul complex afieaz rezultatele. Spectrometrele WDS i EDS utilizate n analiza radiaiei X caracteristice emis de prob prezint urmtoarele faciliti de analiz: Spectrometrul WDS este mai performant n analiza elementelor uoare dect spectrometrul EDS. Cele mai performante spectrometre EDS pot s analizeze elementele chimice de la B (Z=5) la U (Z=92), eventual chiar i de la Be (Z=4) la U. detecia radiaiei X se face n WDS cu o eficien de 30%, iar n EDS cu o eficen de 100%; unghiul de colectare a radiaiei este n WDS de 0,001 steradiani, iar n EDS de 0,1 steradiani; spectrometrul WDS are o rezoluie mult mai bun dect spectrometrul EDS, reuind s rezolve majoritatea suprapunerilor de peak-uri [Ochin P., 2002].