Sunteți pe pagina 1din 37

Analize structurale pe nanopulberi i filme

subiri folosind microscopia electronic de


baleiaj i prin transmisie
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Partener 6 Universitatea POLITEHNICA din Bucureti
Director Proiect Prof.dr.ing. Ecaterina ANDRONESCU
Proiect PCCE-ID106 - Efectele dopajului i ale
dimensionalitii asupra proprietilor magnetice, structurale
i morfologice i dinamicii de spin n micro i nanostructuri
oxidice feromagnetice
Colectiv de lucru
Prof.dr.ing. Ecaterina ANDRONESCU
Conf.dr.ing. Cristina GHIULIC
Dr.ing. Elena DINU
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Dr.ing. Elena DINU
Dr.ing. Bogdan.tefan VASILE
Ing. Georgeta PALL
Drd. Otilia Ruxandra VASILE
Microscopul electronic
Microscop electronic prin transmisie
Tecnai
TM
G
2
F30 S-TWIN (FEI Olanda):
Spectrometru de raze X dispersiv n
energie EDX;
Detector STEM/HAADF;
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Detector STEM/HAADF;
Spectrometru de pierdere de energie
EELS;
Rezolutie liniar HRTEM de 1,02 ;
Rezoluie punctual HRTEM 2 ;
Rezoluie STEM-HAADF de 1,9 ;
Faza 2010: Nanopulberi de TiO
2
dopate cu Co, Fe, Mn.
HPTiCo
1
, HPTiCo
2
, HPTiCo
3
, HPTiCo
4
;

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;

Micoscopie electronic de baleiaj.


HPTiFe
1
, HPTiFe
2
, HPTiFe
3
, HPTiFe
4
;
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
HPTiFe
1
, HPTiFe
2
, HPTiFe
3
, HPTiFe
4
;

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;

Micoscopie electronic de baleiaj.


HPTiMn
1
, HPTiMn
2
, HPTiMn
3
, HPTiMn
4
;

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;

Micoscopie electronic de baleiaj.


HPTiCo
HPTiFe
HPTiMn
BFTEM
SAED
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
HRTEM
HPTiCo
HPTiFe
HPTiMn
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Cu ajutorul analizele microstructurale efectuate prin
microscopia electronic, pe nanpulberile de TiO
2
dopate cu Co,
Fe, Mn, s-a reuit evidenierea morfologiei nanopulberilor,
evaluarea distrubuiei dup dimensiune a nanopulberilor,
identificarea compoziiei fazale prin analize de difracie de
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
identificarea compoziiei fazale prin analize de difracie de
electroni pe arie selectat (SAED) precum i evaluarea
cristalinitii cu ajutorul microscopiei de nalt rezoluie, studiul
defectelor de reea, etc. De asemenea au fost efectuate
nano-analize EDAX calitative i cantitative.
Faza 2011: Nanopulberi de oxid de titan dopate cu oxid de Co.
2.5 CoTi250_T1, 2.5 CoTi250_T3 , 2.5 CoTi250_T4 , 2.5
CoTi250_T6 ;

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;.
5 CoTi250_T1 , 5 CoTi250_T3 , 5 CoTi250_T4 , 5
CoTi250_T6 ;

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;
Faza 2011:
Nanopulberi de oxid de zinc.
ZnO_S9, ZnO_S11, , ZnO_S27 , ZnO_P9,

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;

Micoscopie electronic de baleiaj.


4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca

Micoscopie electronic de baleiaj.


Nanopulberi de oxid de Ce nedopate si dopate cu Gd i Sm.
CeO2_99.99, CeO2_CP_C,CeO2_CP_F,
Ce09Gd01O2_CP_C,Ce09Gd01O2_CP_F, Ce09Sm01O2_CP_C,
Ce09Sm01O2_CP_F;

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;
Faza 2011: Filme subiri.
TCN001, TCN002, TCN003, HFT01 (studii preliminare);

4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ,
EELS;

Micoscopie electronic de baleiaj.


2.5 CoTi250
5 CoTi250
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
ZnO_S Imagini TEM
ZnO_S Imagini SEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
ZnO_P Imagini TEM
ZnO_P Imagini SEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
CeO2_99.99
CeO2_CP_F
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire TCN 001
TEM/HRTEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire TCN 001 STEM cu imagini de distribuie elemental
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
TCN_001
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
Ti-K
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
Co-K
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
10 nm 10 nm 10 nm 10 nm 10 nm
Sr-K
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
TCN_001
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
Co-K
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
Ti-K
20 nm 20 nm 20 nm 20 nm 20 nm
Sr-K
Film subire TCN 001 - SEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire TCN 002
TEM/HRTEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire TCN 002 - STEM cu imagini de distribuie elemental
SrTiO3//Ti(90%)Co(5%)Nb(5%)O2 C-K
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
1
Energy (keV)
C
o
u
n
t
s
20 15 10 5
150
100
50
O
Co
Co
Co
Sr
Sr
Sr
Sr
Sr
Sr
Nb Nb
Nb
Nb
Nb
Nb
Ti
Ti
C
EDXDriftcorrected spectrum image
Co-K Nb-K
Ti-K Sr-K
Film subire TCN 002 - EELS
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire TCN 002 - SEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire TCN 003 - SEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire HFT 001
TEM/HRTEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire HFT01 STEM cu EDAX
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Cu ajutorul analizele microstructurale efectuate prin
microscopia electronic, pe nanpulberile de TiO
2
dopate cu Co,
Oxid de Zinc, Oxid de Ce dopat cu Sm i Gd, tratate termic la
diferite temperaturi precum i varierea cantitii de adaos, s-a
realizat evidenierea morfologiei nanopulberilor, evaluarea
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
realizat evidenierea morfologiei nanopulberilor, evaluarea
distrubuiei dup dimensiune a nanopulberilor, identificarea
compoziiei fazale prin analize de difracie de electroni pe arie
selectat (SAED) precum i evaluarea cristalinitii cu ajutorul
microscopiei de nalt rezoluie, studiul defecelor de reea,
etc. De asemenea au fost efectuate nano-analize de
spectroscopie EDAX calitative i cantitative.
Microscopia electronic prin transmisie, efectuat n
seciune pe filmele subiri analizate, a pus n eviden
caracteristici microstructurale eseniale, care au condus la o
mai bun explicare a proprietilor filmelor. Astfel a fost
determinat modul de cretere a filmului, epitaxial sau nu,
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
determinat modul de cretere a filmului, epitaxial sau nu,
calitatea graniei dintre substrat i film cu evidenierea clar a
faptului c nu exist defecte la interfa. De asemenea filmul
a fost analizat pentru a se evidenia dac filmul prezint
defecte de structur.
Pe filmele analizate au fost efectuate hri de
distribuie dup elemente, astfel determinndu-se distribuia
dopantului n film i dac sau nu dopantul se aglomereaz cu
formare de clusteri. Au fost efectuate i analize EDAX
punctuale pe straturi foarte subiri (aproximativ 2 nm) cu
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
punctuale pe straturi foarte subiri (aproximativ 2 nm) cu
identificarea elementelor constituente.
Analizele de spectroscopie de pierdere de energie
(EELS) au fost efectuate pentru o mai bun determinare a
compoiiei elementare.
Faza 2012:
Nanopulberi de oxid de zinc.
ZnO_S16, ZnO_S18, ZnO_S19, ZnO_S21, ZnO_S22, ZnO_S23,
ZnO_S24, ZnO_S25, ZnO_S26, ZnO_P11, ZnO_P27

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ;

Micoscopie electronic de baleiaj.


Filme subiri.
HTC 01 (analize EELS), YBCO, HTC 05 (studii preliminare);

Microscopie electronic prin transmisie: Imagini n cmp luminos, imagini de nalt


rezoluie, difracie de electroni pe arie selectat, EDAX calitativ i cantitativ, EELS;
ZnO_S TEM
ZnO_P
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
ZnO_S SEM
ZnO_P
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire HFT01 STEM
cu EELS
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire HFT01 STEM
cu EELS
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire YBCO TEM/HRTEM/STEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire HTC05 TEM/HRTEM
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Film subire HTC05 STEM/EELS
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Analizele de spectroscopie de pierdere de energie
(EELS) au fost efectuate pentru o mai bun determinare a
compoiiei elementare, astfel pentru filmul de Co2FeAl a fost
evideniat faptul c, n procesul de depunere filmul nu a oxidat,
Oxigenul nefiind identificat.
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
Oxigenul nefiind identificat.
Microscopia electronic, prin transmisie i de baleiaj,
este o metod absolut necesar pentru investigarea
nanopulbrilor i a filmelor suiri care ajut la o mai
bun nelegere a proprietilor materialelor i o
mai bun interpretare a rezultatelor.
4 Aprilie 2012 Cluj-Napoca
V mulumesc
pentru atenie !

S-ar putea să vă placă și