1.

Tipuri de rez piezoelectrice cu unda de volum

n acest caz unda elastic de volum care se propag ntr-un cristal anizotrop este o und complex pentru care
direcia de propagare a undei difer de direcia de deplasare a punctelor materiale.
Ecuaia undei elastice este:
2
2
2
2
s
q
t c
c
=
c
c
(2.52)
unde este densitatea mediului de propagare iar q este mrimea care asigur soluii nebanale sistemului.
q
o | o = I + I + I
13 12 11
(2.53)
q
| | o = I + I + I
23 22 12

q
0 | o = I + I + I
33 23 13


Se poate considera c unda complex care se propag pe direcia s a cristalului anizotrop este format prin
suprapunerea a trei unde elementare avnd aceeai direcie de propagare dar direcii diferite de vibraie a punctelor
material.
Vitezele de propagare de faz ale celor trei unde este:

a
a
q
v =

Fiecreia dintre aceste trei unde elementare i corespunde o vitez de
faz i, pentru condiii la limit date, o frecven proprie de rezonan a plcii
piezoelectrice. Pentru oscilaii libere ale plcii cea mai mare dintre frecvenele
de rezonan, corespunznd primei soluii din setul anterior, are expresia
( )

66 1
2 2
c
h
m q
h
m
f
m
s
= = (2.55)
unde m reprezint ordinul armonicii pe care rezoneaz placa piezoelectric cu
extremitile libere.
Rezonatoarele cu und n grosime acoper pe fundamental domeniul de
la 500 kHz la 40 MHz, fiind posibile pe armonici frecvene pn la 200 MHz.
De remarcat faptul c spre deosebire de rezonatoarele cu und longitudinal
care au un spectru discret al frecvenelor proprii cu armonici relativ distanate
(expresia 2.51) rezonatoarele cu und complex n grosime au serii discrete de
frecvene permise foarte apropiate ntre ele. Distribuia relativ a frecvenelor
n serie depinde de rapoartele
h
b
i
h

fiind tabelat n funcie de acestea.

Spectrul prea bogat al rezonatoarelor cu und n grosime, deranjant ndeosebi n cazul filtrelor, poate fi redus
prin folosirea n locul feelor plane ale plcii rezonante a unor suprafee sub form de lentile ceea ce micoreaz
mult influena marginilor.
Frecvenele proprii de rezonan deduse mai ales cu formule empirice depind n acest caz i de dimensiunile
geometrice ale calotelor sferice










y
Fig. 2-13. Rezonator cu cuar cu
und complex n grosime.
x
z
b

0
h
2. Parametrii schemei echivalente dinamice a rezonatoarelor cu cuar:
Expresiile parametrilor schemei echivalente dinamice difer ns n funcie de tipul undei elastice care se
propag n cristal, de orientarea direciilor caracteristice ale undei fa de direciile cristaline ale cuarului.
Dependena reactanei de intrare n funcie de frecven (Fig. 2-20b) prezint dou frecvene caracteristice:
frecvena de rezonan serie:
1 1
2
1
C L
f
s
t
= ;
frecvena de rezonan paralel:
( )
0 1 0 1 1
/ 2
1
C C C C L
f
p
+
=
t


ntr-un rezonator real exist un spectru discret de frecvene de rezonan corespunznd diferitelor tipuri
de unde, diferitelor direcii de propagare i, n cadrul aceluiai tip de und, diferitelor armonici. Dac acest spectru
bogat nu este foarte deranjant ntr-un oscilator realizat pe dispozitivul respectiv ,n cazul utilizrii dispozitivului
ntr-un filtru spectrul posibil de frecvene reprezint un dezavantaj principal.
Valorile frecvenelor de rezonan serie acoper pe fundamental, n funcie de tipul de und i de
dimensiunile geometrice tehnic realizabile, un domeniu cuprins ntre 1 kHz i 40 MHz, dup cum urmeaz:

- ntre 1...300 kHz rezonatoarele cu und transversal;
- ntre 50...250 kHz rezonatoarele cu und longitudinal;
- ntre 100...800 kHz rezonatoarele cu und complex pe contur;
- ntre 500 kHz ... 40 MHz rezonatoarele cu und complex n grosime.

Expresia inductivitii dinamice este specific fiecrui tip de und depinznd de constantele elastice i
piezoelectrice ale cuarului i de dimensiunile geometrice ale rezonatorului. Pentru acelai tip de rezonator cu
creterea frecvenei de rezonan inductivitatea dinamic scade.

Din schema echivalent dinamic rezult
0
1
0
1
2
1 1
C
C
C
C
f
f f
s
s p
~ + =

unde raportul
s
s p
f
f f
este pentru fundamental o proprietate de material el fiind egal cu
2
2
1 k
k

unde k
este coeficientul piezoelectric de cuplaj specific tipului undei i direciei sale de propagare.


Fig. 2-20. a) Schema echivalent dinamic a rezonatoarelor cu cuar; b)
Dependena reactanei de intrare n funcie de frecven pentru un rezonator
ideal, cu pierderi de energie nule.
R1

L1
C1
R0
C0

X
f
fp fs
b a
3. Pierderi de energie n rezonatoarele cu cuar:
a) Pierderi de natur electric
Cuarul prezint polarizare de deplasare electronic i ionic, mecanisme de polarizare care nu sunt
nsoite de pierderi. Pierderile prin conducie electric sunt n general mici datorit valorilor mari ale rezistivitii
volumetrice ( ) cm cm
z y x
O = O = =
15 17
10 118 , 0 ; 10 33 , 0 .
Corespunztor acestor valori rezult
0 0
1
R C
tg
e
o
c
= de ordinul 10
-4
.

b) Pierderi de natur mecanic
Majoritatea rezonatoarelor pe cuar funcionnd n apropierea frecvenei de rezonan serie fs au factorul
de calitate dictat de pierderile de natur mecanic. Exist cinci mecanisme, care duc la apariia unor pierderi de
energie mecanic ntr-un cristal resonant:

- Pierderi datorit energiei radiate
Rezonatorul cu cuar se manifest, n aer sau n alt mediu gazos cu care este n contact, ca o anten de
emisie radiind unde elastice pe seama unor pierderi din energia proprie.
- Pierderi prin frecare n suport
n fiecare cristal n care se excit la frecvena de rezonan unde staionare exist puncte sau linii n repaus
(nodurile undei). n mod ideal fixarea cristalului ar trebui s se realizeze n aceste puncte, situaie n care suportul
nu ar influena existena undei n cristal. n realitate elementul de fixare, un material cu mare modul de elasticitate,
nu poate fi perfect punctual suprapunndu-se i peste puncte materiale care n cristalul liber ar fi n regim de
oscilaie.
- Pierderi interne
Prin pierderi interne n cristalele rezonante se nelege ansamblul proceselor care transform energia
undelor elastice n energie termic.
- Pierderi n stratul superficial i n electrozi
Atenuarea undelor elastice n stratul superficial se datoreaz neomogenitilor i deformaiilor pe care
acesta le conine comparativ cu ansamblul cristalului.
- Pierderi n modurile cuplate

Un rezonator pe cuar este un sistem cu un numr de grade de libertate egal cu numrul undelor de diverse
tipuri i pe diverse direcii care se pot excita. Dintre toate aceste unde una singur este util ndeplinirii funciunii
rezonatorului, toate celelalte consumnd energie n mod inutil. Deci i din punctul de vedere al pierderilor de
energie proiectarea constructiv trebuie s conduc, pe ct posibil, la un rezonator monomod i
monofrecven.








4. Caracteristica frecven-temperatur a rezonatoarelor cu cuar
Folosirea rezonatoarelor cu cuar n oscilatoare i filtre se datoreaz att factorilor de calitate foarte mari ai
acestora ct i posibilitilor de a asigura stabilitatea frecvenei de rezonan cu temperatura, definit prin
coeficientul de temperatur al frecvenei de rezonan
dT
df
f
s
s
f
1
= o
Fie un rezonator bar cu und longitudinal n lungime lucrnd pe fundamental :
E
s
s
f
11
1
2
1
'
=

Logaritmnd i derivnd n funcie de temperatur relaia anterioar rezult
dT
s d
s dT
d
dT
d
dT
df
f
E
E
s
s
11
11
1
2
1 1
2
1 1 1 '
'
=

, adic
E
s
f
11
2
1
2
1
'
= o o o o

,
unde:

o este coeficientul de temperatur al lungimii barei;

o - coeficientul de temperatur al densitii cuarului;

E
s
11
'
o - coeficientul de temperatur al coeficientului de elasticitate
E
s
11
' .
Pentru ca frecvena de rezonan serie s nu depind de temperatur ( ) 0 =
f
o este necesar ca:
E
s
11
2
'
= o o o


n Fig. 2-23b i 2-23c sunt reprezentate grafic dependenele de unghiul de rotaie ale coeficienilor de
temperatur ai frecvenelor de rezonan pentru rezonatoarele cu und complex n grosime i respectiv cu und
complex pe contur. Din graficele respective rezult pentru rezonatoarele cu und complex n grosime dou
seciuni cu coeficient de temperatur nul (seciunile notate cu AT i BT), iar pentru rezonatoarele cu und
complex pe contur de asemenea dou seciuni (notate CT i DT) cu coeficient de temperatur nul.
n jurul temperaturilor u0 pentru care coeficientul de temperatur al frecvenei de rezonan este nul
abaterea relativ de la frecvena de rezonan fso poate fi dezvoltat n serie
( ) ( ) ( )
3
0
2
0 0
u u u u u u + + =

d c b
f
f f
so
so s

Pentru seciunile AT i IT este necesar s se ia n consideraie n dezvoltarea n serie i termenul de gradul
3 : ( ) ( )
3
0
2
0
u u u u + =

d c
f
f f
so
so s

Ca ordine de mrime coeficienii de temperatur ai frecvenei de rezonan pot atinge valori, pentru
tieturile prezentate, de la 10
-8
...10
-9
K
-1
pe domeniul de temperatur -7 ... +45C, valori care pot scdea prin
termostatare la 10
-10
K
-1
sau chiar mai puin. Din acest punct de vedere rezonatoarele cu cuar sunt rezonatoarele
cele mai stabile termic care se realizeaz n prezent.



Fig. 2-23. a-Seciune Y rotit; b-Dependena coeficientului de temperatur
al frecvenei de rezonan pentru rezonatoare cu und complex n
grosime; c-Dependena coeficientului de temperatur al frecvenei de
rezonan pentru rezonatoare cu und complex pe contur.
y
z
x
a
|
of
BT
b
|
AT
+ -
0
|
of
DT
c
|
CT

0 +|
5. Tehnologia rezonatoarelor discrete cu cuar

Proiectarea constructiv a rezonatoarelor cu cuar const n determinarea, n funcie de frecvena proprie de
rezonan, coeficientul de temperatur al acesteia, rezistena dinamic de pierderi etc, a formei rezonatorului i a
orientrii fa de axele cristaline, a tipului de und care se excit i, n ultim instan a dimensiunilor geometrice
ale rezonatorului. Acestea fiind cunoscute, prima operaie tehnologic este tierea cu discuri diamantate a formei
dintr-un monocristal de cuar orientat n prealabil.
Suprafeele care prin distana dintre ele determin frecvena proprie util de rezonan trebuie s fie prelucrate
astfel nct aceast distan s fie ct mai exact posibil. Acele suprafee care prin atenuarea produs undei cresc
valoarea rezistenei dinamice trebuie s fie prelucrate asimptotic
Prelucrarea mecanic a suprafeelor este mult ngreunat datorit fragilitii plachetelor atunci cnd se doresc
frecvene proprii pe fundamental mai mari dect 40 MHz.
Asemenea dimensiuni se obin prin corodare n jet de ioni de argon accelerai la tensiuni peste 7 kV.Viteza de
corodare este de circa 1 m/h obinndu-se, prin controlul timpului, o foarte bun precizie a dimensiunilor.
Dup prelucrarea suprafeelor se depun electrozii rezonatorului prin evaporare n vid sau pulverizare
catodic. Omogenitatea i aderena acestora au influen puternic asupra stabilitii n timp a frecvenei de
rezonan i asupra coeficientului de temperatur a rezistenei dinamice. Cele mai bune performane se
realizeaz cu electrozi din nichel.
Apoi depunerea electrozilor continu citind permanent frecvena de rezonan pn cnd se obine
rezonatorul cu frecvena proprie dorit
Dup depunerea electrozilor rezonatorul se fixeaz i se contacteaz n nodurile undei elastice care se va
excita n timpul funcionrii.
Pentru stabilizarea performanelor n timp rezonatorul ncapsulat este supus unui tratament termic final la
temperaturi n gama 100...300C.
Rezonatoarele discrete cu cuar se utilizeaz fie pentru realizarea oscilatoarelor cu mare stabilitate a
frecvenei cu temperatura, fie pentru filtre trece band cu benzi foarte nguste i atenuri mari n banda de
oprire.

6. Traductoare cu unda elastic de suprafata( dim, carac, unda Reyleigh)

Undele elastice de suprafa se propag la suprafaa mediilor solide elastice ntr-un strat cu grosimea egal cu
cteva lungimi de und.
Principalele avantaje ale acestora, comparativ cu dispozitivele piezoelectrice cu und de volum, sunt
urmtoarele:
- vitez foarte mic de propagare n cristale a undelor elastice de suprafa (ntre 1500 i 6200 m/s);
- generarea, propagarea i recepionarea undelor pe o singur suprafa a cristalului adic o structur
planar a dispozitivelor pentru realizarea crora s-a mprumutat, n faz iniial, tehnica fotolitografic
utilizat n circuitele integrate;
- accesibilitatea undei elastice n orice punct al propagrii pentru procesare sau extragere, fiind astfel
posibil realizarea unei multitudini de funciuni de circuit;
- performanele dispozitivelor cu und de suprafa depind ntr-o mare msur de geometria unor
structuri conductoare realizate pe suprafaa substratului piezoelectric;
- undele elastice de suprafa sunt foarte stabile, practic neafectate de cmpuri electrice sau magnetice;








7. Undele Rayleigh:
Undele Rayleigh sunt unde de suprafa polarizate eliptic, puternic atenuate n adncime. Punctele
materiale au deplasri att longitudinale ct i transversal.
Viteza de propagare a undelor Rayleigh este mai mic n cristale dect vitezele de propagare ale undelor
de volum n cristalele respective,iar propagarea undelor Rayleigh este nedispersiv (viteza de propagare nu
depinde de frecven).
n cristalele piezoelectrice propagarea undelor Rayleigh este nsoit prin efect piezoelectric direct de un
cmp electric care se propag odat cu unda att n exteriorul cristalului ct i n interiorul su.
Undele Rayleigh sunt cele mai folosite pentru realizarea dispozitivelor datorit generrii i recepionrii
lor comode la suprafaa cristalelor piezoelectrice precum i datorit posibilitilor de prelucrare n timpul
propagrii

8. Tehnologia dispozitivelor cu und elastic de suprafa
Proiectarea constructiv a dispozitivelor cu und elastic de suprafa const n determinarea naturii i
orientrii substratului piezoelectric (paragraful 4.5) precum i a formei, dimensiunilor i poziiilor relative ale
structurilor conductoare (respectiv ale structurilor corodate) care folosesc pentru generarea, prelucrarea i
recepionarea undelor elastice de suprafa.
Ca atare prima operaie tehnologic este orientarea cristalului i tierea acestuia cu discuri diamantate la
dimensiunile dorite. Suprafaa pe care se vor propaga undele elastice trebuie prelucrat astfel nct stratul
superficial rezultat, n care se vor propaga undele elastice, s fie complet lipsit de defecte.
n etapa urmtoare pe aceast suprafa se realizeaz structurile conductoare sau structurile corodate care
genereaz, prelucreaz i recepioneaz undele elastice. Structurile conductoare se contacteaz prin
termocompresie i ntregul dispozitiv se introduce n capsul (la frecvene peste 500 MHz capsula se videaz sau
se umple cu un gaz cu mas atomic mic pentru micorarea atenurii care apare prin excitarea unor unde de
volum n ambian).

9. Structuri interdigitale pentru generarea undelor elastice de suprafata
Undele elastice de suprafa se propag la suprafaa mediilor solide elastice ntr-un strat cu grosimea
egal cu cteva lungimi de und.
Dei originea acestor traductoare este controversat att ca prini ct i ca dat, din anul 1974,
producerea i comercializarea dispozitivelor piezoelectrice cu und de suprafa a devenit uzual. Principalele
avantaje ale acestora, comparativ cu dispozitivele piezoelectrice cu und de volum, sunt urmtoarele:
vitez foarte mic de propagare n cristale a undelor elastice de suprafa (ntre 1500 i 6200 m/s) deci
lungimi de und mici, adic dimensiuni mici ale dispozitivelor la rezonan (o foarte mare capacitate de
informaie nmagazinat ntr-un volum mic);
generarea, propagarea i recepionarea undelor pe o singur suprafa a cristalului adic o structur
planar a dispozitivelor pentru realizarea crora s-a mprumutat, n faz iniial, tehnica fotolitografic utilizat
n circuitele integrate; necesitile mbuntirii rezoluiei datorit creterii frecvenelor de lucru n domeniul
sutelor de megaheri i gigaherilor au impus n prezent utilizarea tehnicilor electronolitografice i i X-litografice;
accesibilitatea undei elastice n orice punct al propagrii pentru procesare sau extragere, fiind astfel
posibil realizarea unei multitudini de funciuni de circuit (de menionat c undele de volum pot fi generate i
detectate n structuri masive cu dimensiuni de mai multe lungimi de und, raportndu-se utilizarea unor unde de
volum la frecvene pn la 114 GHz ns aceste unde nu sunt accesibile dect la intrare i ieire);
performanele dispozitivelor cu und de suprafa depind ntr-o mare msur de geometria unor
structuri conductoare realizate pe suprafaa substratului piezoelectric; din acest motiv dispozitive cu funciuni
complicate pot fi uor realizate prin tehnici litografice folosind mti corespunztoare i asigurnd o foarte bun
reproductivitate a performanelor pe lot;
undele elastice de suprafa sunt foarte stabile, practic neafectate de cmpuri electrice sau magnetice,
puin dependente de temperatur; din aceast cauz dispozitivele nu necesit ecranri sau protejri deosebite.


10. Principii de generare i recepionare a undelor elastice de suprafa
Introducerea ca intermediar a unui traductor cu und de volum conduce la o atenuare de conversie
semnal electric -und de suprafa de ordinul 34 dB. innd seama de faptul c un dispozitiv folosete dou
astfel de traductoare, unul pentru generarea undelor de suprafa, cel de al doilea pentru recepionarea lor i
transformarea n semnal electric, atenuarea dispozitivului devine prea mare pentru folosirea sa n circuite.
Adaptrile elastice ncercate ntre traductorul cu und de volum i substrat introduc complicaii tehnologice fr
a micora satisfctor atenuarea de conversie.
Atenuri de conversie acceptabile pentru utilizare practic prezint numai traductoarele care
transform direct semnalul electric n und elastic de suprafa. Prima variant recomand aplicarea
semnalului electric ntre o reea periodic de segmente conductoare scurtcircuitate depuse pe suprafaa
substratului i un electrod de pe a doua suprafa .Cmpul electric alternativ genereaz prin efect piezoelectric
und de suprafa cu o lungime de und 0 egal cu perioada reelei.
Atenuarea de conversie este de 15 dB existnd n plus dezavantajul electrodului depus pe a doua
suprafa a substratului.
Cmpul electric din substrat conduce la deplasri ale punctelor materiale prin efect piezoelectric invers
n conformitate cu ecuaia piezoelectric
| | | || | | || | E d T s S
t
E
+ =
unde | | S este matricea reprezentrii n complex simplificat a deformaiei relative;
| | T -matricea reprezentrii n complex simplificat a tensiunii mecanice;
| | E -matricea reprezentrii n complex simplificat a intensitii cmpului electric;
| |
E
s -matricea coeficienilor de complian la cmp constant;
| |
t
d -transpusa matricei coeficienilor piezoelectrici.
In funcie de simetria cristalin a substratului i de structura i poziia traductorului sunt posibile pe
anumite direcii generri de unde de volum de amplitudini suficient de mari care, dac nu se iau msuri
suplimentare, perturb funcionarea dispozitivelor cu und de suprafa.
Atenuarea de conversie a traductoarelor interdigitale este teoretic de 3 dB, incomparabil mai mic
dect a oricror altor tipuri cunoscute. n acest fel un dispozitiv cu und de suprafa necesitnd dou
traductoare, unul de generare i unul de recepionare a undelor elastice poate ndeplini funciuni de circuit
avnd o atenuare global de cel mult 10 dB.