1

Metode optice de nanostructurare

Seminar Metamateriale, 4 Decembrie - Academia Romn
INFLPR - Bucuresti, Sectia Laseri
Atomistilor 409, 077125 Magurele
E-mail: marian.zamfirescu@inflpr.ro
Dr. Marian ZAMFIRESCU
2
Sumarul prezentarii
Limita de difractie - Fascicul Gaussian

Nanostructurare sub limita de difractie:
- Focalizarea fasciculelor Bessel-Gauss
- Fascicule Laguerre-Gauss - polarizare radiala
- Focalizare pe varfuri metalice
- Lentila perfecta
- Nanostructurare indusa cu laserul femtosecunde

Sistemul de inscriere directa cu laserul
femtosecunde, rezultate preliminare.
3
Limita de difractie
Focalizarea fasciculelor laser cu profil
Gaussian este limitata de conditia Abbe:

> =
sin n
d
Dimensiunea structurilor generate de un fascicul laser gaussian poate
fi redusa folosind:
- obiective de microscop cu apertura numerica mare.
- obiective de microscop cu imersie (indice de refractie n mare)
- radiatie optica cu lungime de unda scurta (UV - laseri cu excimeri)
NIR C-UV B-UV A-UV
: 1m 0.4m 0.2m 0.3m
NA n = o sin
d
4
Focalizare sub limita de difractie
- Fascicule non-difractive :
] exp[ ) ( ] exp[ ) , , ( in r k J z ik z r E
r n z

J.Durnin, Exact solutions for

nondiffracting beams. I. The scalar
theory, JOSA A 4, 651 (1987).
Laser
f z
Lentila
Masca
Microfascicul
Bessel
Intensitate
J
0
: d
min
0.75
z
max
= 2t Rr/
0 ) (
2 2
= + V E k
D
Apertura inelara:
R=2.5mm, Ar=10m
f=300mm, D=7mm
=0.633m
d
min
= 0.475 m
z
max
= 85cm

5
Lumina polarizata radial
In cazul luminii polarizate radial
dimensiunea spotului focal este
mai mic decat in cazul luminii
polarizate liniar. (C.C. Sun, C.K.Liu
Optics Letters 28, 99 (2003)).
Polarizare
radiala
Obtinerea luminii polarizate radial:
(Y.Kozawa, S.Sato Opt. Lett., 30, 3063 (2005))
Mediu activ
Con la unghi
Brewster
Oglinda
Oglinda
de iesire
R-TEM
01*

Polarizare z
Lentila
A) Intracavitate: O suprafata conica taiata la unghi Brewster plasata in
cavitatea laser determina polarizarea radiala a luminii.
6
B) Extracavitate:

Convertor de polarizare (PC) - 4 cadrane continand 4 lame /4 cu axa optica
dispusa astfel incat directia de oscilatie a campului electromagnetic sa fie orientata
radial.
Dimensiunea spotului este mai redusa in
cazul polarizarii radiale:
- polarizare liniara: d = 0.57

- polarizare circulara: d = 0.53

- polarizare radiala: d = 0.45

R. Dorn, et al. Sharper Focus for a Radially
Polarized Light Beam, Phys. Rev. Lett. 91,
233901 (2003)
Obtinerea luminii polarizate radial
7
R-TEM
21*

TEM
01

Obtinerea luminii polarizate radial
Polarizarea radiala se poate obtine
interferometric (interferometru Sagnac).

TEM
01*

8
Focalizarea luminii pe varfuri metalice
S. M. Huang,et al. Pulsed-laser assisted nanopatterning of metallic layers combined
with atomic force microscopy. J. Appl. Phys. 91, 3268 (2002).
Focalizarea laserului pe vartul metalic al unui microscop SPM produce pe
suprafata probei structuri cu dimensiune laterala de pana la 10nm.
Proba: film 350 de Al pe substrat de Si.
Laser: 7ns , 532nm, 10MW/cm
2
.
9
Lentila perfecta (lentila Veselago)
10
Absorbtia neliniara de 2 fotoni in medii transparante
laser fsec
focalizat
direcia de deplasare
Structura generata
Materiale:
- fotopolimeri (fotopolimerizare) cristale fotonice, microcavitati optice, etc.
- sticle dopate ghiduri de unda, cuploare optice, etc.
Pragul de absorbtie
bifotonica
11
Marius Dumitru,
Diploma work - 2005, University of Kassel.
Cuar topit
Energia pe puls: E=140nJ
Durata pulsului : 50fsec
Nanostructuri induse cu laserul femtosecunde
proba
Putere
de prag
Durata pulsului fsec este mult mai scurta decat timpul de difuzie termica in
materiale solide. Intreaga energie a pulsului laser este transferata materialului
expulzat din proba.
Structuri cu dimensine minima se
obtin prin ajustare intensitatii radiatiei
putin peste puterea de prag.
12
Proiectarea sistemului pentru nanostructurare
cu laserul femtosecunde
LASER
775nm
200 fsec
2KHz
Translatii XYZ
OBIECTIV DE
MICROSCOP
Marire si apertura
numerica mare
FILTRU SPATIAL
ATENUARE
VARIABILA
CCD
OGLINDA
DICROICA
Translatii XYZ:
Motoare pas cu pas
- gama de deplasari 4x4x4 mm
- pasul de 50nm
- precizie 500nm
Piezo + senzori
- 20x20x20m
- precizie 5nm
/2
Polarizor
Glan
13
Sistemul de microprelucrare cu laserul
Translatii XYZ
Obiectiv 100X
Oglinda dicroica
Camera Video
14
Energia pe puls E=50nJ (P = 100W) - densitate de energie 3 J/cm
2
Durata pulsului 200 fsec
Frecventa de repetitie v
rep
= 2KHz
Viteza de scriere: v = 2mm/s (1puls / m)
Primele teste de microprelucrare
cu laserul femtosecunde
Proba : film de 100nm Au depus pe substrat de Si
15
0,5J
5J
Dependenta calitatii structurilor de conditiile de scriere
Energia pe puls, viteza de scriere, conditiile de focalizare etc. determina
calitatea si geometria structurilor.
Pentru a obtine structuri cu dimensiuni minime se determina pragul de
inducere a efectelor neliniare pentru fiecare material in parte.
16
Concluzii
Rezultatele preliminare demostreaza obtinerea de structuri cu
dimensiuni de pana la 1m, induse cu laserul femtosecunde.

Optimizarea sistemului de microprelucrare si studiul amanuntit al
materialelor folosite vor conduce la imbunatatirea calitatii structurilor.

Metode de focalizare neconventionale pot fi folosite pentru a cobora
rezolutia de scriere a structurilor sub limita de difractie (sute de nm).

Laserul femtosecunde reprezinta un instrument eficient in fabricarea
structurilor cu dimensiuni submicronice (microsenzori, ghiduri de unda
optice, cristale fotonice, metamateriale - pentru NIR)
17