Sunteți pe pagina 1din 6

73

CAPITOLUL 4



TRADUCTOARE CU ULTRASUNETE



4.1 Generaliti

Ultrasunetele, ca i sunetele, sunt oscilaii elastice care se datoreaz
vibraiilor mecanice ale particulelor mediului, n jurul unor poziii de echilibru.
Domeniul de frecven al ultrasunetelor este 16 kHz ... 100 GHz.
n gaze i lichide se propag un singur tip de unde elastice, undele
longitudinale. Acestea se gsesc i n solidele ale cror dimensiuni depesc
foarte mult lungimea de und a oscilaiilor elastice.
Generatoarele i receptoarele de ultrasunete se bazeaz pe efectul
piezoelectric i efectul piezomagnetic.
Unii dielectrici formai din dipoli permaneni care nu au centru de
simetrie (de exemplu substanele feroelectrice) au efect piezoelectric direct.
Dac un astfel de cristal este supus unei deformri elastice de ntindere,
compresiune sau torsiune, atunci dipolii si moleculari se rotesc i cristalul se
polarizeaz. Ca urmare, pe feele opuse ale cristalului apar sarcini legate care
creeaz un cmp electric i o diferen de potenial ntre aceste fee. Mrimea
polarizrii este proporional cu deformaia mecanic. La schimbarea sensului
deformaiei, se schimb i semnul polarizrii. Cristalele piezoelectrice sunt
cristale naturale (cuarul, sarea Seignette - tartrat dublu de sodiu i potasiu) i
cristale artificiale (metatitanatul de bariu).
Efectul piezoelectric invers apare dac se aplic o diferen de potenial
cristalului. Ca urmare a rotirii dipolilor, apare o deformaie de ntindere,
comprimare sau torsiune. Cristalele pot fi tiate astfel nct cmpul electric i
deformaia s fie reciproc perpendiculare (efect piezoelectric transversal) sau
cmpul electric i deformaia s fie paralele (efect piezoelectric longitudinal).
Efectul piezoelectrie invers nu rebuie confundat cu fenomenul de
electrostriciune, care apare la dielectricii cu legturi ionice (de exemplu NaCl).
Reelele ionilor pozitivi i ale celor negativi din dielectricul situat ntr-un cmp
electric, se deplaseaz n direcii opuse, producnd o deformare. Datorit
deplasrii reciproce a particulelor ncrcate cu sarcini electrice de semne
contrare, electrostriciunea, spre deosebire de efectul piezoelectric, nu depinde

74
de sensul cmpului aplicat: deformaia prin electrostriciune depinde ptratic
de cmp, n timp ce efectul piezoelectric depinde liniar de cmp.
Efectul magnetostrictiv const n deformarea unui material feromagnetic
sub aciunea cmpului magnetic, independent de sensul acestuia i depinznd
doar de mrimea cmpului i de natura materialului. Efectul este reversibil.
Materialele magnetostrictive sunt metalele feromagnetice (Ni, Co, Fe) i
unele aliaje ale acestora: (permendur (75 % Co, 25 % Fe), alifer (13 % Al, 87
% Fe), hipert (50 % Ni, 50 % Fe), permalloy (40 % Ni, 60 % Fe) precum i
unele ferite. Proprietile piezoelectrice i piezomagnetice dispar cnd
materialele respective sunt nclzite peste temperatura Curie a acestora.


4.2 Tehnici de defectoscopie ultrasonor

n practic se ntlnesc urmtoarele metode de defectoscopie ultrasonor:
1. Metoda vizualizrii. Imaginea obinut prin examinarea obiectului cu
ajutorul ultrasunetelor se transform n imagine optic; dup strbaterea
obiectului, fasciculul ultrasonic nu mai are intensitate uniform n toate
punctele i se folosete un convertor acustico-optic pentru a obine zone
luminoase sau ntunecate.
Convertorul acustico-optic se bazeaz pe unul din urmtoarele efecte:
- reliefarea suprafeei unui lichid sub aciunea combinat a presiunii
ultrasonice i a gravitaiei,
- modificarea indicelui de refracie a luminii n lichidele supuse aciunii
ultrasunetelor,
- orientarea unor suspensii metalice n lichide, datorit ultrasunetelor i
examinarea acestor orientri la iluminare oblic;
2. Metoda rezonanei ultrasonice se bazeaz pe formarea undelor
staionare, n cazul existenei unui anumit raport ntre lungimea de und a
fasciculului ultrasonor i grosimea piesei examinate.
3. Metoda umbrei are la baz analogia dintre propagarea ultrasunetelor n
spatele unui defect i propagarea luminii n spatele unui corp opac.
4. Metoda impulsului reflectat. Ultrasunetele emise sunt trenuri de
oscilaii, a cror propagare n material poate fi urmrit cu precizie. Emitorul
i receptorul de ultrasunete se fixeaz de o parte i de alta a piesei examinate sau
ambele pe aceeai parte.






75
4.3. Traductoare semiconductoare cu ultrasunete

4.3.1 Unde ultrasonore n materiale solide

Cea mai important proprietate a undelor ultrasonore este viteza sczut
n comparaie cu viteza undelor electromagnetice. Viteza ultrasunetelor n
solide este de 1,5.10
5
... 12.10
5
cm/s iar viteza ultrasunetelor n cazul senzorilor
cu unde ultrasonore de suprafa (SAW Surface Acoustic Waves) este de
3,8.10
5
... 4,2.10
5
cm/s. Se observ c viteza ultrasunetelor este cu cinci ordine
de mrime mai mic dect viteza undelor electromagnetice, rezultnd astfel
senzori de dimensiuni foarte mici.
Frecvenele fundamentale ale senzorilor cu unde ultrasonore de suprafa
sunt de aproximativ 5 GHz, au suprafee de civa mm
2
i pot fi fabricai
monolitic pe acelai substrat mpreun cu circuitele electronice necesare.
Undele elastice care se propag n materiale solide sunt de patru tipuri:
- unde longitudinale de volum, cu viteza de faz v = 4000 12000 m/s,
- unde transversale de volum, v = 2000 ... 6000 m/s,
- unde de suprafa (Rayleigh), v = 2000 6000 m/s i
- unde plate (Lamb) n dou variante: simetrice, v = 2000 ... 12000 m/s i
antisimetrice, v = 100 ... 4000m/s.


4.3.2 Senzori semiconductori cu ultrasunete

4.3.2.1 Clasificarea senzorilor semiconductori cu ultrasunete

Exist mai multe tipuri de senzori microelectromecanici cu ultrasunete din
materiale semiconductoare i anume:
- cu torsionarea grosimii (TSM - thickness shear mode), fig. 4.1.a,
- cu unde ultrasonore de suprafa (SAW), fig. 4 1 b,
- cu unde plate de flexiune (FPW- flexural plate waves), fig. 4.1.c,
- cu mod plat ultrasonor (APM - acoustic plate mode) i tip suprafa de
microtobe, fig 4 1 d.
n cazul senzorilor cu torsionarea grosimii, TSM, frecvena de rezonan
depinde de numrul de molecule absorbite n stratul activ de deasupra.
La senzorii cu mod plat ultrasonor, APM, undele sar cu un unghi ascuit
ntre planele vecine ale plcii. Din punct de vedere constructiv, arat la fel ca
senzorii SAW.




76

4.3.2.2 Senzori cu unde ultrasonore de suprafa (SAW)

Se obin prin fotolitografie, pe straturi subiri din materiale piezoelectrice
depuse pe materiale semiconductoare (ZnO pe Si sau AlN pe GaAs).
Se realizeaz sub form de linii de ntrziere, filtre, spirale, rezonatoare sau
oscilatoare, ca senzori de gaze, acceleraie, presiune, etc.
Materialele piezoelectrice folosite pentru senzorii SAW sunt: cuar cristalin
SiO
2
, cristal feroelectric artificial i straturi subiri depuse de ZnO. Senzorii
SAW din ZnO pe Si au latura de 2,5 mm i genereaz ultrasunete n gama 100
... 500 MHz.
Deplasarea particulelor aproape de suprafaa unui solid prin care se propag
o und Rayleigh de suprafa are dou componente: una longitudinal
(nainte i napoi, paralel cu suprafaa) i una vertical de torsiune (n sus i n
jos). Suprapunerea celor dou componente determin traiectorii eliptice ale
particulelor suprafeei, n jurul poziiilor de echilibru.
Undele de suprafa au cea mai mare parte a energiei localizat n una sau
dou lungimi de und, ceea ce permite o interaciune puternic i uoar cu
mediul adiacent suprafeei.
Undele Rayleigh se genereaz uor, ntr-o mare varietate de substraturi
piezoelectrice, folosind un senzor interdigitat (IDT, interdigitate transducer).
Acesta este fabricat microlitografic, dintr-un strat subire de metal, cu grosime
100...200 nm prin evaporare n vid, pe un substrat piezoelectric lustruit. La
aplicarea unei tensiuni de radiofrecven, senzorul generez o und Rayleigh
de suprafa n substratul piezoelectric. Lungimea de und a undei Rayleigh
depinde de distana dintre electrozii senzorului. Impedana electric a senzorului
depinde de numrul electrozilor i de lungimea lor de suprapunere. Lungimea
de suprapunere a electrozilor determin i adncimea undei ultrasonore

Fig. 4.1
a b c d

77
generate. Limitele frecvenelor de lucru ale senzorilor cu unde ultrasonore de
suprafa sunt de 10 MHz. 3 GHz..
Din punct de vedere electric, senzorul interdigitat este o ncrcare
capacitiv pentru sursa de tensiune de radiofrecven i pentru a mbunti
transferul de putere este nevoie de o inductan serie de cuplaj.
Senzorii cu und ultrasonor de suprafa tip linie de ntrziere au
cte un senzor interdigitat la fiecare capt al substratului.
Un senzor interdigitat acioneaz ca emitor i cellalt ca receptor al
energiei ultrasonore. Unda Rayleigh care se propag interacioneaz cu materia
de la suprafaa liniei de ntrziere i modific caracteristicilor undelor
(amplitudine, faz, vitez, coninutul n armonici, etc).
Senzorii interdigitai sunt bidirecionali, o cantitate mare de energie fiind
reflectat de muchia substratului de lng senzor. Acest lucru provoac un efect
cunoscut sub numele de ecou de trecere tripl, ce se poate elimina prin
aplicarea absorbanilor de energie ultrasonor (de exemplu adeziv siliconic) la
capetele liniei de ntrziere, sau prin tierea oblic a capetelor, astfel ca undele
ultrasonore s fie reflectate n afara axei.
O alt problem apare cnd o cantitate mic de energie a undei ultrasonore de
suprafa este mprtiat n substrat i convertit n unde ultrasonore de volum,
care apoi se reflect de suprafaa de jos a substratului i interfer cu unda de
suprafa de sus. Acest efect se reduce uor prin realizarea unor striaiuni sau se
folosete material absorbant pe partea inferioar a substratului, pentru a distruge
coerena de faz a undelor ultrasonore de volum.
Senzorii cu unde ultrasonore de suprafa tip linie de ntrziere sunt folosii la
monitorizarea variaiilor de amplitudine sau variaiilor de vitez a undelor
ultrasonore.
- msurrile de amplitudine: unda Rayleigh este excitat cu o surs de putere
de radiofrecven i se msoar puterea undelor ultrasonore la captul
receptor al liniei de ntrziere.
- msurrile de vitez: se fac indirect, cu o precizie mult mai bun dac se
utilizeaz linia de ntrziere ca element rezonant.
n fig. 4.2 este prezentat schema de msurare a variaiilor de vitez pentru
undele ultrasonore, folosind linia de ntrziere.
Schema conine un amplificator de putere de RF legat n bucl cu senzorul
SAW tip linie de ntrziere. Sistemul oscileaz pe frecvena de rezonan a
senzorului interdigitat, oscilaiile avnd loc doar cnd ctigul amplificatorului este
mai mare dect pierderile liniei de ntrziere.
Frecvena de rezonan a traductorului se modific datorit variaiilor vitezei
undelor Rayleigh i se poate msura cu acuratee cu un frecvenmetru numeric.



78



4.3.2.3 Senzori cu unde ultrasonore plate de flexiune (FPW)

Senzorii de acest tip au o membran nepiezoelectric din Si mbogit i nitrat
de Si pe care se depune ZnO, fig. 4.l.c. Dac grosimea membranei este mult mai
mic dect lungimea de und, modul de flexiune cu ordinul cel mai sczut se va
propaga n membran cu o vitez de faz de sute de m/s, mai mic dect viteza
ultrasunetelor n majoritatea lichidelor (viteza ultrasunetelor n ap la 25C este
1480 m/s).
Cnd membrana intr n contact cu un fluid nevscos ideal, unda de flexiune
produce doar o perturbaie n fluid la suprafaa membranei i nu se radiaz energie
din membran n fluid.
Senzorii cu unde ultrasonore plate de flexiune (FPW) se folosesc n
urmtoarele tipuri de aplicaii:
- ca senzori gravimetrici (variaia masei datorit absorbiei unor vapori);
- ca senzori de vscozitate;
- ca senzori pentru microdebit;
- n micropompe, micromixere, etc.



Fig. 4.2
50
50
1H 1H
Acoperire
sensibila
Frecvenmetru
numeric
ieire