166

CAPITOLUL 12



TRADUCTOARE CHIMICE



12.1 Traductoare pentru analiza gazelor

Traductoarele pentru analiza gazelor (analizoarele de gaze) sunt destinate, n
general, msurrii unui singur component dintr-un amestec de gaze. Funcionarea
lor se bazeaz pe msurarea unui parametru fizic sau electrochimic al amestecului
analizat.
n funcie de parametrul msurat, analizoarele de gaze sunt de mai multe tipuri:
- cu msurarea conductivitii termice;
- cu msurarea cldurii de reacie;
- cu msurarea absorbiei n infrarou;
- cu msurarea susceptibilitii magnetice;
- cu msurarea emisiei optice;
- cu msurarea masei atomice, etc.

a) Analizoare de gaze cu msurarea conductivitii termice
Conductivitatea termic a unui amestec de gaze este media aritmetic
ponderat a conductivitilor termice ale gazelor componente. Msurarea
conductivitii termice a unui amestec de dou gaze, cunoscnd conductivitile
termice ale gazelor componente, permite determinarea concentraiei procentuale a
componentelor.
Msurarea conductivitii termice se face prin determinarea puterii disipate de
un fir subire, metalic, n regim staionar. Aplicaiile tipice sunt: msurarea
coninutului de CO
2
n gazele de ardere, msurarea hidrogenului i SO
2
din aer.

b) Analizoare de gaze cu msurarea cldurii de reacie
Coninutul n componeni combustibili sau n oxigen al unui amestec gazos se
stabilete prin arderea lui catalitic. Cldura de reacie determin creterea
temperaturii catalizatorului, care este msurat pe cale electric (de exemplu
catalizatorul este din platin i i se msoar variaia de rezisten electric).

167
Microcalorimetrele sunt senzori de tip generator, n care se detecteaz cldura
unei reacii chimice. La ieire se obine o tensiune electric ce depinde de
concentraia substanei care se msoar.
Microcalorimetrele pot fi utilizate n medii gazoase i n medii lichide. n
ambele cazuri, substana de msurat este convertit ntr-o alt substan printr-o
reacie catalitic sau enzimatic care produce cldur. Catalizatorul sau enzima se
depune pe suprafaa sensibil de interaciune a senzorului termic.
Exist mai multe tipuri de microcalorimetre: bazate pe termistoare, straturi din
mylar cu termopile din bismut - antimoniu, termopile integrate din siliciu i
termopile integrate din polisiliciu cu membrane din nitruri.
Dispozitivele cu termopile integrate pentru lichide conin o membran nchis
din siliciu, pe spatele ei fiind depus o membran din enzim. Lichidul este separat
astfel de partea electronic.

c) Analizoare de gaze cu msurarea absorbiei n infrarou
Nivelul de absorbie al radiaiei infraroii (IR) de ctre molecule, la orice
frecven, este constant i independent de intensitatea radiaiei IR, acest nivel
oferind informaii cantitative despre compoziia gazului din mediul monitorizat.
Aceste dou proprieti ale spectroscopiei cu absorbie permit realizarea de senzori
care msoar nivelul absolut al unui component, cu o calibrare constant, ce este
transferat ntre instrumentele de msurare.
Dezavantajul spectrometrelor cu absorbie n IR este c nu pot msura
molecule simetrice (de exemplu N
2
, O
2
, H
2
) sau specii cu un singur atom, datorit
lipsei momentului de dipol.

d) Analizoare de gaze cu msurarea susceptibilitii magnetice
Se bazeaz pe diferena ntre componenii unui amestec de gaze n ceea ce
privete susceptibilitatea magnetic . Dintre gaze, cea mai mare susceptibilitate
magnetic specific ( / densitate) o are oxigenul, apoi dioxidul de azot
(aproximativ 0,43 din cea a O
2
) . Pentru restul gazelor de interes (N
2
, H
2
, C0
2
, NH
3
,
CH
4
, C
2
H
2
, etc.) sunt caracteristice valori negative, de 500 ... 1000 ori mai mici
dect la oxigen. Din acest motiv, analizoarele bazate pe msurarea susceptibilitii
magnetice se folosesc numai ca analizoare de oxigen, avnd gama de msurare cea
mai sensibil, de aproximativ 1 % O
2
.

e) Spectrometre cu emisie optic
Sunt folosite n aplicaii de producie de materiale semiconductoare. O condiie
necesar este ca eantionul s emit radiaie optic, uzual folosind descrcare
electric sau plasm.
Spectrometrele cu emisie optic fac analize calitative, prin detectarea
spectrului emis la una sau la mai multe lungimi de und. Nu pot face ns analize

168
cantitative corecte, datorit variaiilor plasmei, cmpului de vedere al
instrumentului i degradrii materialului ferestrei optice.

f) Spectrometre de mas
Permit determinarea exact a maselor atomice, pe baza diferenei ntre masele
atomilor individuali, cu ajutorul deviaiei ionilor substanelor n cmp electric
i/sau magnetic. Spectrometria de mas se bazeaz pe ionizarea atomilor sau
moleculelor, accelerarea ionilor, separarea lor n funcie de raportul mas/sarcin,
detectarea ionilor, amplificarea semnalului, nregistrarea i interpretarea spectrului.
Energia necesar pentru ionizarea moleculelor provine de la fascicole de
electroni, ioni sau atomi, cmpuri sau descrcri electrice, fascicole laser sau
energie termic. Ionii sunt accelerai folosind cmpuri electrice obinute cu tensiuni
de 400 ... 4000 V, aplicate ntre electrozi cu fante.
Separarea ionilor se face n cmpuri electrostatice, magnetice, pe baza timpului
de tranzit, prin focalizarea cicloidal sau n cmpuri de radiofrecven.
Detectoarele de ioni folosite cel mai frecvent sunt: plcile fotografice,
detectoare cu tub Faraday, multiplicatoare cu emisie secundar, etc.
Spectrul de mas este o amprent a unei molecule, deoarece doi compui nu se
fragmenteaz la fel. Aplicaiile spectrometriei de mas sunt n chimia organic i
biochimie, pentru determinri calitative, cantitative i de structur.

g) Analizor de oxigen cu diod laser i emisie de suprafa
Analizorul este proiectat pentru o lungime de und central de aproximativ 763
nm, unde absorbia datorat tranziiilor dipolilor magnetici din molecula de oxigen
este prezent fr interferenele de la alte gaze.
Dioda laser folosit este cu cavitate vertical i emisie de suprafa (VCSEL)
din GaAs/AlGaAs i trebuie s aib un singur mod transversal. Pentru funcionare,
limea spectral trebuie s fie ngust, mai mic dect 30 MHz, iar nivelul de
zgomot, sczut. Variaia de frecven optic pe termen lung, mai mic dect 1
GHz/lun, corespunde unei stabiliti a lungimii de und de 0,002 nm/lun.
Dioda laser are temperatura controlat, iar curentul provine de la o surs de
curent de zgomot sczut, modulat extern cu dou generatoare de funcii. Fascicolul
optic este trimis spre un despictor de fascicol, de la care o parte este focalizat
direct pe o fotodiod de Si, plasat la 3 cm de dioda laser. Cealalt parte a
fascicolului este transmis printr-o cale de 1 m de aer (concentraia de oxigen 20
%) spre a doua fotodiod de Si. Lungimea de und a diodei laser este variat n
jurul unui curent continuu de polarizare, cu un semnal sinusoidal suprapus, care
permite detecia la ieire a armonicii a doua. La creterea curentului prin dioda
laser, amplitudinea crete, datorit creterii absorbiei optice a liniilor cu lungimi
de und mai mari. Rezoluia analizorului de oxigen descris este de 0,2 % O
2
/m de
cale optic.

169
Creterea sensibilitii pentru aceeai lungime a cii optice se obine prin
reducerea gradienilor termici, a curenilor de aer i a zgomotului provenit de la
sursa de alimentare.


12.2 Cromatografe de gaze

Cromatografele de gaze realizeaz separarea componenilor unui amestec de
gaze, prin injecia sa ntr-o coloan prin care este vehiculat de un gaz purttor.
Durata de reinere de ctre coloan difer pentru fiecare component, astfel c, la
ieirea din coloan componenii apar succesiv. Concentraia fiecrui component se
determin folosind un traductor termoconductometric.


12.3 Traductoare electronice de umiditate

Umiditatea reprezint coninutul de ap dintr-un material solid, lichid sau
gazos. Umiditatea materialelor solide sau lichide se exprim ca umiditate relativ,
iar msurarea ei se realizeaz cu instrumente denumite umidimetre. Msurarea
umiditii gazelor se realizeaz cu instrumente denumite higrometre.
Umidimetrele electronice se pot grupa n:
- umidimetre bazate pe msurarea caracteristicilor electrice ale corpurilor, n
funcie de coninutul lor de ap: conductivitate, permitivitate, absorbia energiei la
frecven ultranalt, etc.;
- umidimetre n infrarou, bazate pe absorbia relativ a energiei infraroii
de ctre corpurile umede.
Variaia de rezistivitate a materialelor solide, care n stare uscat sunt izolante,
este de forma: p (umiditatea)
-n
, unde n = 8, ..., 16, n funcie de natura
materialului.
n cazul lichidelor sau pulberilor, permitivitatea dielectric depinde liniar de
concentraia volumetric a apei.
Umiditatea gazelor se determin prin msurarea permitivitii dielectrice (care
crete la creterea coninutului de ap), prin variaia de rezisten sau capacitate
electric a senzorului datorit absorbiei apei din gaz, etc.


12.3.1 Traductoare pentru msurarea umiditii gazelor

Pentru calibrarea instrumentelor de msurare a umiditii se folosesc
urmtoarele standarde: standarde primare, standarde de transfer i dispozitive
secundare.

170
1. Standardele primare de umiditate se bazeaz pe principii fundamentale i
uniti de msur de baz. Instrumentul standard folosit de laboratoarele de
calibrare naionale pentru msurarea umiditii este higrometrul gravimetric.
Principiul de msurare este urmtorul: o cantitate de gaz uscat este cntrit i
comparat cu greutatea gazului de test, de volum egal. Se determin mai nti
cantitatea de ap i apoi se calculeaz presiunea vaporilor. Precizia msurtorilor
este bun, dar metoda este dificil i scump.
La nivele sczute de umiditate, dispozitivul are nevoie de mai multe ore de
funcionare pentru a obine un eantion destul de mare, de aceea, nu este un sistem
practic pentru folosire zilnic. La nivele mai sczute de umiditate i acuratee mai
slab, se folosesc ca standarde primare: generatoare cu dou presiuni, generatoare
cu dou temperaturi, etc.
2. Standardele de transfer de umiditate se bazeaz de asemenea pe principii
fundamentale i au rezultate bune, stabile i repetabile, dac sunt folosite corect.
Ca standarde de transfer se folosesc: higrometrul cu oglind rcit, higrometrul
electrolitic i psihrometrul.

a) Higrometrul cu oglind rcit
Folosete o suprafa oglind, aflat n contact cu debitul de gaz care trebuie
monitorizat, care este rcit pn se formeaz condens. Temperatura la care se
formeaz condensul se numete punct de rou sau punct de ngheare al gazului i
depinde de presiunea vaporilor saturai de ap ai eantionului. Se poate calcula
orice parametru echivalent higrometric, cu condiia s fie cunoscute alte informaii
(de exemplu, presiunea i temperatura gazului). Oglinda este nclzit i rcit
electric cu o pomp de cldur termoelectric. Temperatura oglinzii se msoar cu
o termorezisten bobinat, legat ntr-o schem de msurare cu patru fire, fixat
sau inclus n oglind.
Punctul de rou este valoarea la care trebuie s scad temperatura, la presiune
constant, a unui gaz umed, pentru a satura vaporii de ap. Metoda punctului de
rou folosete relaia dintre presiunea de saturaie a vaporilor de ap, p
s
i
temperatur. Independent de temperatura ambiant T
a
, presiunea vaporilor p
v
este
exprimat de temperatura punctului de rou T
r
, pentru care: p
s
(T
r
) = p
v
(T
a
).
O alternativ la detectarea optic a picturilor este folosirea unui senzor
capacitiv pe un element Peltier i detectarea variaiei de capacitate ntre dou
perechi de electrozi cu structur interdigitat. Cnd are loc condensarea, impedana
dintre electrozi scade brusc, datorit creterii constantei dielectrice, care variaz
ntre 1 pentru aer umed i 80 pentru ap.
Avantajele deteciei electrice a picturilor de rou fa de detecia optic sunt
dimensiunile de gabarit mai mici, datorit structurii plate i construcia mai simpl,
deoarece nu necesit aliniere optic. Aceste proprieti faciliteaz construirea

171
traductoarelor de umiditate sub form de sonde, care pot fi introduse n conducte
sau vase care conin gazul umed ce trebuie msurat.
Traductoarele de umiditate tip sond nu necesit pomp de aer, ca n cazul
instrumentelor optice. Structurile capacitive plane sunt obinute n tehnologia
siliciului, permind integrarea unui senzor de temperatur n acelai ansamblu.

b) Higrometrul electrolitic
Folosete principiile legii electrolizei lui Faraday pentru a determina cantitatea
de umezeal dintr-un debit de gaz. Vaporii de ap din gaz trec prin celula de
msurare a instrumentului i, n urma electrolizei, sunt separai n H
2
i O
2
.
Curentul consumat n acest proces depinde de cantitatea de ap supus electrolizei.
Presupunnd c celula convertete toat apa din debitul de gaz n prile sale
componente, msurarea curentului reprezint o msur absolut a coninutului de
umezeal. Instrumentul se folosete n instalaii automatizate.
La msurarea electrolitic a umezelii din gazele naturale, senzorul electrolitic
const din dou fire (electrozi) bobinate pe un suport izolator. Spaiul dintre fire
este umplut de un electrolit ntr-un strat subire, de exemplu oxid fosforic, P
4
O
10
,
care adsoarbe vaporii de ap din gaz.
Msurarea umiditii gazelor naturale se poate realiza i prin alte tehnici:
punctul de rou (dew), tehnici capacitive, conductivitate, titrare, absorbie n
infrarou i cromatografie.
Deoarece doar senzorul necesit calibrare, electroliza este una din cele mai
precise metode de msurare a umiditii gazelor. Frecvena de calibrare este
determinat de eficiena senzorului, sistemul de manipulare a eantionului de gaz,
compoziia gazului, condiiile mediului ambiant i specificaiile gazului.

c) Psihrometrul
Diferena de temperatur psihrometric se msoar cu doi senzori de
temperatur: unul uscat i unul umed, expui simultan la un jet de gaz umed.
ntr-un psihrometru cu balon uscat sau umed se evapor apa pur dintr-un
tampon care nconjoar sonda de temperatur, plasat n curentul de gaz care trece
peste tampon la o anumit vitez. Dup evaporare, temperatura balonului umed
scade direct proporional cu umiditatea relativ a gazului (umiditatea relativ a
unui gaz se msoar la temperatura predominant a gazului, cu un termometru cu
balon uscat).
Deoarece diferena de temperatur depinde de cldura de evaporare a apei,
dac toi parametrii de msurare sunt cunoscui, se poate determina presiunea
absolut a vaporilor de ap.
Tehnica este folosit destul de rar, datorit numrului mare de variabile care
influeneaz rezultatele msurtorilor i care trebuie controlate cu acuratee.

172
3. Standardele secundare de umiditate nu sunt instrumente fundamentale i
trebuie calibrate frecvent, folosind un standard de transfer sau un alt sistem
fundamental. Sistemele secundare sunt rar folosite pentru calibrri de laborator, dar
au aplicaii n industrie i monitorizarea cldirilor (de exemplu, condiionarea
aerului).
Un senzor secundar msoar variaiile din propriile caracteristici, ca rezultat al
expunerii la un fenomen sau proprietate. Senzorii secundari rspund fie la
umiditatea relativ, fie la cea absolut, prin detectarea:
- variaiei de lungime a unui material (principiul higrometrului cu extensie);
- variaiei de greutate (principiul higrometrului cu absorbie);
- variaiei de impedan sau capacitate (higrometre electronice).
Umiditatea relativ (RH) este raportul dintre presiunea vaporilor de ap, p
a
i
presiunea vaporilor saturai, p
s
la temperatura predominant a balonului uscat:

s
a
p
p
RH 100 % =

Msurnd temperatura balonului uscat, se poate calcula presiunea vaporilor
saturai n funcie de temperatur, cu relaia:

( )
( ) [ ] T T
as
p p
+
+ =
97 , 240 / 502 , 17 6
112 , 6 10 46 , 3 0007 , 1

Aceeai formul se folosete i pentru a calcula numrtonul, prin
introducerea temperaturii punctului de rou, T
d
. Se spune c un gaz este saturat
atunci cnd este la temperatura punctului de rou.
Notaiile folosite sunt: p
a
= presiunea vaporilor, [milibari]; p
as
= presiunea
vaporilor saturai n raport cu apa, [milibari] la T
d
; p = presiunea total [milibari]; T
= temperatura [C]; T
d
= temperatura punctului de rou [C].
Exemple de senzori secundari sunt higrometrele cu variaia impedanei i
senzorii pentru umiditate relativ cu strat de polimer.
Higrometrele cu variaia impedanei sunt realizate n trei variante: ceramice, cu
oxid de aluminiu i cu oxid de siliciu i se bazeaz pe variaia unei mrimi electrice
(capacitate, rezisten sau impedan) a unui strat poros. Calibrate i folosite corect,
aceste dispozitive asigur funcionare continu bun. Acurateea este ns slab,
fiind nevoie de o calibrare regulat i ajustri dese.
Senzorii pentru umiditate relativ cu strat din polimer sunt construii din
polimer cu dielectric higroscopic i au rspuns electric corespunztor umiditii
relative (RH). Au pre sczut, dar aplicaii limitate datorit variabilelor multiple
(temperatura, presiunea, debitul, factorii contaminani, etc.).


173

12.3.2 Generatoare de umiditate

Generatoarele de mediu cu umiditate cunoscut sunt folosite pentru analiza
performanelor senzorilor de umiditate. Sunt de mai multe tipuri: bi cu sare
saturat, generatoare de umiditate cu debit divizat, generatoare cu dou presiuni i
dou temperaturi, etc.
Bile cu sare saturat sunt printre cele mai vechi metode de generare de
umiditate cunoscut, la diferite nivele. Valoarea real a umiditii este funcie de
proprietile chimice ale srii. Cu toate c o implementare bun a unei bi cu sare
este un mediu adecvat pentru testarea senzorilor de umiditate relativ, aceste bi
sunt ns, grele i lente. Bile nu pot fi automatizate iar senzorii trebuie mutai fizic
de la o baie la alta, cnd se dorete o schimbare a nivelului umiditii.
Generatoarele de umiditate cu debit divizat sunt realizate n dou variante.
Variantele vechi divid debitul, mixnd aer saturat i uscat i reglnd debitul
ambelor jeturi. Variantele noi divid debitul n domeniul timp, printr-o simpl
deschidere a unei supape, alternnd debitul de aer uscat i aer saturat cu un ciclu de
ncrcare corespunztor. Avantajul dispozitivelor cu funcionare n domeniul timp
este preul sczut. Generatoarele de umiditate cu debit divizat nu sunt
fundamentale i necesit un higrometru cu oglind rcit cu msurarea punctului
de rou pentru verificarea mediului ambiant al camerei.
Generatoarele cu dou presiuni i dou temperaturi funcioneaz prin
saturarea unui jet de gaz la temperatur i presiune cunoscute.
Temperatura i presiunea gazului pot fi modificate, pentru a obine un gaz cu
punct de rou i / sau umiditate relativ, cunoscute. Tehnologia este precis i se
folosete n laboratoarele naionale de calibrare. Dispozitivele sunt fundamentale i
nu necesit msurarea umiditii pentru verificare. Au nevoie ns de o calibrare
periodic a tuturor componentelor de msurare a temperaturii i presiunii.


12.3.3 Senzori multifuncionali de umiditate, temperatur i presiune

Un astfel de senzor are elementul sensibil construit dintr-un amestec polimeric
special, semiconductor, cu rezistena electric n gama 100 1 M.
Caracteristica de transfer este aceeai ca tip de curb i pant, indiferent de
proprietatea detectat: variaie pozitiv a rezistenei la o variaie pozitiv a
umiditii, variaia presiunii i / sau temperaturii.
Senzorii pot fi proiectai i s dea o variaie negativ a rezistenei, ca rspuns la
o variaie pozitiv a mrimii msurate, fig. 12.1.

174

n fig. 12.1, n abscis, mrimea msurat poate fi: umiditate relativ (% RH)
la 25 C, temperatur n C sau presiune (x 10
5
Pa) la 25 C.
Senzorii cu caracteristic de rspuns liniar se folosesc pentru circuite simple
de condiionare a semnalului. Senzorii cu caracteristic de transfer parabolic au
pant mai mare i se folosesc n circuitele de control.
Gama de variaie a umiditii relative este 0 % ... 100 %, a presiunii este (10 %
90 %) x 10
5
Pa i a temperaturii (- 40 C ... +80 C).
Senzorul este realizat n mai multe variante, i anume:
- senzor nchis ntr-o carcas de plastic prevzut cu guri, pini de legtur
i elemente de montare pe plac de circuit imprimat; se pot monta unul pn la
patru senzori pe acelai substrat, ntr-o singur carcas;
- ansamblu de circuit n carcas, cu comutator cu trei poziii: ON, Automatic
i OFF; se monteaz pe perete i poate comanda un dispozitiv (de exemplu, un
ventilator);
- sond cilindric din oel inoxidabil cu substrat intern, cu pn la patru
senzori. Curentul de excitaie este de aproximativ 1 mA pentru un senzor. Se pot
folosi trei senzori pe acelai substrat (de exemplu, doi n fa i unul n spate).
Senzorii multifuncionali se folosesc n circuite de comutare, pentru aplicaii de
control, n mai multe variante:
- cu prag fix (un punct fix pentru umiditate, presiune i / sau temperatur);
- cu prag reglabil (trei puncte prestabilite pentru umiditate, presiune i/sau
temperatur);
- alte variante combinate.


R [k]
RH [%], T [
0
C] sau p [x 10
5
Pa]
1000
100
10
0
20 40 60 80 100
Caracteristic parabolic
Caracteristic liniar
Fig. 12.1

175

12.4 Traductoare electrometrice de pH

Msura gradului de aciditate sau alcalinitate al unei soluii este dat de
concentraia ionilor de hidrogen, exprimat prin pH.
Potenialul de hidrogen este:

pH = - log(a
H+
), unde a
H+
este activitatea ionilor de hidrogen.

Apa pur, la temperatura de 25 C, are pH = 7.
Gama de valori pentru pH este 1 ... 14, valorile 1, ... 6,9 corespunznd
soluiilor acide, iar valorile 7,1... 14 corespund soluiilor bazice.
Metodele electrometrice de msurare a pH-ului se bazeaz pe diferena de
potenial care apare ntre un electrod metalic cufundat ntr-o soluie care conine
ionii si, dependent de concentraia acestor ioni i de temperatur, i soluie.
Potenialul unui electrod fa de o soluie nu se poate msura fr un al doilea
electrod, care realizeaz contactul la electrolit.
Primul electrod al crui potenial depinde de concentraia ionilor de hidrogen
se numete electrod de msurare. Ca electrozi de msurare se utilizeaz electrodul
de hidrogen i electrodul de sticl. Electrodul de hidrogen se compune dintr-o
plcu sau fir de platin cufundat n soluie, peste el barbotndu-se continuu
hidrogen. Electrodul de sticl este o membran sferic de sticl; n interiorul sferei
se introduce o soluie tampon cu un pH constant i un electrod de contact.
Al doilea electrod, al crui potenial trebuie s fie independent de concentraia
de ioni de hidrogen din soluie, se numete electrod de referin. Ca electrod de
referin se folosete electrodul de calomel, Hg
2
Cl
2
, saturat. Electrodul de msurare
i electrodul de referin se nchid n acelai ansamblu, formnd o sond de
msurare.
Rezistena intern a traductorului de pH este foarte mare, de 1 ... 1000 M, de
asemenea, preamplificatorul de tensiune are rezistena de intrare foarte mare, n
gama 1 ... 10 G.


12.5 Senzori cu TECMOS pentru detecia gazelor i a ionilor

12.5.1 Principiul senzorilor cu TECMOS pentru detecia gazelor i a
ionilor

Tranzistoarele TECMOS sunt sensibile la anumite gaze sau ioni dac se
expune grila. Structura unui asemenea TECMOS este dat n fig.12.2.

176

La aplicarea unei tensiuni pozitive pe poart, la suprafaa canalului (Si p) se
creeaz un strat de inversiune i se induce o sarcin proporional cu capacitatea:
U C Q = . Dac tensiunea porii este mare i pozitiv, anumite sarcini electrice
apar ca electroni n stratul de inversiune. Se msoar continuu curentul dren -
surs, I
DS
. Izolatorul folosit este SiO
2
.
Strile de interfa sunt nivele de energie localizate, datorit nemperecherii
reelelor cristaline, impuritilor sau altor defecte. Dac exist multe stri de
interfa, sarcina indus de potenialul de gril V
G
i care trebuie s fie n canal,
este prins n strile de interfa. Ca urmare, conductivitatea nu se modific.
Prin canal trece curentul I
DS
, deoarece regiunile n
+
fac un contact bun cu
electronii din canalul indus. Pentru msurarea curentului se aplic o tensiune
pozitiv V
D
la dren. La creterea tensiunii V
D
, tranzistorul se satureaz.
Pentru a funciona ca senzor, potenialul de gril V
G
este meninut constant i
adsorbia gazului sau ionului de msurat determin un mic cmp electric, care
schimb potenialul de poart, deci i curentul dren-surs.


12.5.2 Senzori cu TECMOS pentru detecia gazelor (GazFET)

n cazul senzorului de H
2
cu TECMOS cu poart de paladiu, hidrogenul
dizolvat n Pd (la aprox. 150 C) se mut la interfaa Pd / SiO
2
i formeaz un strat
dipol. Dipolul modific diferena funciilor de lucru ntre metal i SiO
2
, rezultnd o
variaie a potenialului de poart.
Acest tip de senzor de H
2
cu TECMOS cu poart de Pd, poate detecta i alte
gaze, de exemplu H
2
S i NH
3
, deoarece moleculele ce trebuie detectate disociaz i
produc hidrogen.

Oxid Surs
Dren
Poart metalic
V
G

-V
SS
Canal
n
+
n
+
L
V
D

Fig. 12.2

177
n cazul senzorului cu TECMOS sensibil la CO, cu poart din Pd / PdO,
monoxidul de carbon trece prin pori i interacioneaz mai mult cu PdO dect cu
Pd, care va fi doar puin oxidat.
La senzorul cu TECMOS cu absorbie, cu strat de oxid izolator subire,
absorbia moleculelor polare din faza de gaz, ntr-un strat foarte subire de oxid (5
nm), are ca efect crearea unui cmp electric care afecteaz sarcina din canal. Se pot
detecta astfel: H
2
O, NH
3,
HC1, CO, NO, NO
2
i SO
2
.


12.5.3 Senzori cu TECMOS pentru detecia ionilor (ISFET)

Pentru detecia pH-ului sau a ionilor din soluie, tranzistorul cu efect de cmp
TECMOS este pregtit fr poarta din metal, fig. 12.3.

Pentru realizarea canalului, se aplic tensiunea V la electrodul de referin din
soluia conductiv ionic, electrod care este plasat deasupra fostei pori. Electrodul
de referin reflect cu acuratee potenialul n soluie, independent de variaiile
substanelor chimice dizolvate sau de valoarea pH- ului soluiei.
La interfaa oxid - soluie sunt adsorbii ioni. Pentru valori sczute ale pH-ului
sunt adsorbii protoni iar pentru valori mari ale pH-ului sunt adsorbii ionii OH
-
.
Sarcinile adsorbite sunt atrase apoi i neutralizate de ionii de semn contrar din
soluie. Se formeaz astfel un strat dublu, denumit strat Helmholtz. La interfa
apare o diferen de potenial a stratului dublu. De exemplu, n cazul acidului
azotic HNO
3
, care are un pH mic (soluie puternic acid), protonii H
+
sunt adsorbii
la suprafa formnd o fa a stratului dublu, iar ionii negativi NO
3
-
din soluie sunt
atrai aproape de regiunea de suprafa, formnd cealalt fa a stratului dublu.

Fig. 12.3
V
Electrod de referint
Substrat Si p
n
+
Surs
Capsul
Dren
SiO
2


178
Dezavantajele acestor dispozitive sunt lipsa stabilitii i dificultatea realizrii
unui electrod de referin fiabil. Problema stabilitii este legat de stratul izolator,
SiO
2
. De aceea SiO
2
nu se folosete singur; se aplic procese de hidrare care
schimb grosimea sau constanta dielectric a izolatorului. O alternativ este
acoperirea stratului de SiO
2
cu Si
3
N
4
sau Al
2
O
3
.


12.5.4 Exploatarea senzorilor chimici din semiconductoare

Senzorii chimici din semiconductoare au o mare problem. Pentru a detecta
specia chimic de interes, senzorii trebuie expui neprotejai n soluie sau gaz.
Este dificil ca senzorii s fie reversibil reactivi la gazele de interes i nereactivi fa
de toate celelalte specii chimice din atmosfer sau din lichid.
Din fericire, n multe cazuri este cunoscut modul de interferen i nu este
nevoie de un senzor ideal. De exemplu, efectul degradant al H
2
S sau Cl
2
asupra
unor senzori nu este o problem, dac utilizatorul este sigur c aceste specii nu vor
fi prezente.
Senzorii din metal - oxid semiconductor au cost sczut, sensibilitate bun i
rspuns bun (variaie de rezisten). Au ns probleme de reproductibilitate,
stabilitate i selectivitate.
Senzorii GasFET au deriva mai sczut pentru c nu sunt folosii n mediu prea
reactiv i au mai puine probleme cu hidrarea. Sunt ns limitai la reaciile
catalitice posibile, deoarece trebuie s funcioneze la temperatur mai sczut dect
senzorii metal-oxid.


12.6 Microsisteme de detecie chimic

Pentru a trece mai uor de la variantele de detecie convenionale cu senzori
chimici singulari la noile variante controlate de calculator, senzorii sunt combinai
cu alte elemente de detecie, ntr-un microsistem de detecie chimic, care poate fi
nlocuit ca un bloc dintr-un sistem de detecie complex.
Problemele realizrii unui microsistem practic de msurri chimice sunt:
- partiionarea sistemului;
- proiectarea carcasei senzorului n acelai timp cu proiectarea senzorului;
- optimizarea procesului: microsistemul trebuie s aib abilitatea de a
exploata materialul i caracteristicile termice ale stratului senzor, n scopul
optimizrii rspunsului pentru un anumit gaz. Variaia treptat a tensiunii
de nclzire este folosit pentru a obine un rspuns tranzitoriu dependent
de gaz. Rspunsul senzorului trebuie optimizat pentru un anumit gaz
specific, din gazele din mediul ambiant ce interfer sau chiar se poate ca

179
un senzor de gaz singular s fie folosit la caracterizarea un amestec de
gaze, de exemplu: H
2
, CO i CH
4
(metan).
Exist, de asemenea, microsisteme de detecie chimic sub form de platform
sistem, utile n numeroase aplicaii specifice de detecie prin modificri simple ale
blocurilor constructive, de exemplu:
- algoritmi de control diferii, cu schimbri simple n pachetele de programe;
- algoritmi de control combinat care pot reconfigura automat senzorul, pentru a
detecta secvenial mai multe gaze diferite sau pot pune senzorul ntr-un
mod de lucru de ateptare sigur, care s-l protejeze de condiii neadecvate;
- utilizatorul poate selecta diferite filtre chimice, pentru a nltura anumite
amestecuri chimice specifice (pentru protecia senzorului);
- combinaia de filtre chimice i partea analogic, pn la algoritmii de control,
pot fi specificate de beneficiar i instalate de firma constructoare;
- diferite straturi de oxid de metal depuse pe acelai substrat de Si pot creea
platforme de traductoare chimice integrate.
Pentru variantele viitoare, se vor dezvolta tehnici avansate de procesare a
semnalelor, tehnici chemometrice, logic fuzzy i reele neurale, obinute prin
introducerea n aceeai capsul a unui microcontroler.


12.7 Biosenzori

Biosenzorii sunt o clas special de senzori chimici, ce folosesc avantajele
marilor sensibiliti i selectiviti ale materialelor biologic active. Comunicarea
ntre organismele biologice se bazeaz pe semnale chimice. Aceste procese de
comunicate pot fi considerate procese de biorecunoatere, ce pot fi folosite ca
intrri pentru senzori.
Exist o mare varietate de biosenzori, datont faptului c exist organisme,
esuturi, celule, organe i compui chimici biologici ce reacioneaz cu o gam
mare de compui, de la molecule anorganice mici ca O
2
, pn la proteine mari i
complicate i diveri carbohidrai.
Biosenzorul este un dispozitiv ce ncorporeaz un element sensibil biologic i
un convertor intermediar tradiional, fizic sau chimic. Elementul sensibil biologic
recunoate selectiv o molecul biologic particular, printr-o reacie tip adsorbie
sau alt proces fizic sau chimic, iar convertorul intermediar convertete rezultatul
acestei recunoateri ntr-un semnal utilizabil, de obicei electric sau optic.
Dup metoda de detecie, exist dou procese de biorecunoatere:
- procese cu bioafinitate i
- procese biometabolice.
Ambele procese implic legarea unei specii chimice cu alta, cu structur
complementar. Elementul de recunoatere biologic este imobilizat ntr-o

180
membran, la suprafaa convertorului intermediar tradiional. Astfel, elementul de
biorecunoatere este un bioreactor deasupra convertorului intermediar, rspunsul
biosenzorului fiind determinat de difuzia elementelor analitice, produselor de
reacie, coreactanilor i speciilor de interferen i de cinetica procesului de
recunoatere.
Primul biosenzor realizat a fost electrodul cu enzim glucoz oxidaz,
imobilizat pe un electrod de oxigen electrochimic.
Biosenzorii se bazeaz pe dispozitive semiconductoare sensibile chimic, fibre
optice, termistoare, unde ultrasonore de suprafa, electrozi chimici, microbalane
piezoelectrice, etc.