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Actuador MEMS magntico.

Una forma de interruptor MEMS magntico se ilustra en la Figura 6.4.2. Una corriente I2 de control
desva un haz de llevar corriente I1. Cuando el haz se tira hacia abajo hacia el sustrato, el interruptor (no
mostrado) se cerrar, y cuando el haz es repelido hacia arriba el interruptor se abrir. La ley de la fuerza
de Lorentz (1.2.1) establece que la fuerza f magntico sobre una carga q es qv oH, y por lo tanto la
longitud de la densidad de fuerza por unidad de F [N m-1] en una corriente I1 = Nqv inducida por el
campo magntico H12 en la posicin 1 producido por I2 es:

N es el nmero de cargas por metro de longitud del conductor que se mueve, y suponemos que todas
las fuerzas sobre estos cargos se enven directamente al cuerpo del conductor.

campo magntico inducido que afecta I2 Si la separacin de las placas d << W, los campos a
continuacin, que bordean puede descuidarse y el I1 es H12, que se puede encontrar a partir de la ley
de Ampere (1.4.1) calculado para un contorno C rodeando I2 en un derecho sentido de mano:

As H12 zi2 / 2W. La presin al alza sobre la viga superior se encuentra a partir de (6.4.11) y (6.4.12) es
entonces:

Si I1 = -I2 entonces el campo magntico entre las dos corrientes estrechamente espaciados es Ho '= I1 /
W y (6.4.13) se convierte en p = xo H'o2 / 2 *N m-2]; esta expresin para la presin magntica se deriva
de manera diferente en (6.4.15).
Esta presin en la parte superior es hacia abajo si ambas corrientes fluyen en la misma direccin, hacia
arriba si son opuestas, y cero si bien es cero. Por tanto, este dispositivo puede realizar una variedad de
funciones lgicas. Por ejemplo, si un interruptor est dispuesto de manera que sus contactos estn
cerrados en el estado "1" cuando el haz es forzado hacia arriba por tanto I1 e I2 ser positivo (estas
corrientes se definieron en la figura como fluye en direcciones opuestas), y no de otra manera, se trata
de una "y" puerta.
Una forma alternativa para derivar la presin magntica (6.4.13) es tener en cuenta que si las dos
corrientes I1 e I2 son anti-paralelo, igual, y muy juntos (d << W), entonces H = 0 fuera de los dos
I
2

conductores y Ho 'se duplica en la brecha entre ellos as que quin' = I1. Es decir, si los crculos de
contorno C de integracin, ya sea solo, entonces actual (6.4.12) se convierte en:

Pero no todos los electrones que comprenden estas corrientes ven el mismo campo magntico debido a
las corrientes ms cerca de las dos superficies conductoras ms ntimos pantalla de las corrientes
exteriores, haciendo que el magntica campo para acercarse a cero dentro de los conductores, como se
sugiere en la figura 6.4.3.

Por lo tanto el electrn media mvil ve un campo magntico Ho '/ 2, que media en la superficie. As, la
presin magntico total al alza sobre la viga superior dado por (6.4.13) y (6.4.14) es:

donde Ho 'es la magnitud total del campo magntico entre los dos conductores, y no hay campo
magntico en la parte superior de la viga superior para presionar en la direccin opuesta. Esta presin
magntica [N m-2] es igual a la densidad de energa magntica [J m-3] almacenada en el campo
magntico adyacente al conductor (2.7.8).

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