Microscopul electronic cu transmisie

Forma original a microscopiei electronice, microscopia electronic cu transmisie

implica o raz de electroni la tensiune nalt emis de un catod, de regul filament
de tungsten, i focalizat de lentile electrostatice i electromagnetice. Raza de electroni care a
fost transmis printr-un specimen parial transparent pentru electroni transport informaie
despre structura intern a specimenului n raza care ajunge la sistemul de formare a imaginii.
Variaia spaial a acestei informaii ("imaginea") este apoi mrit de o serie de lentile
electromagnetice pn cnd este nregistrat la coliziunea cu un ecran fluorescent, plac
fotografic, sau senzor de lumin cum ar fi un senzor CCD. Imaginea detectat de CCD poate
fi afiat n timp real pe un monitor sau transmis pe loc unui calculator.
Rezoluia unui microscop electronic cu transmisie este limitat n principal de aberaia
de sfericitate, dar o nou generaie de sisteme de corecie a aberaiilor a avut ca efect
depirea parial a aberaiilor sferice i creterea rezoluiilor. Coreciile din software ale
aberaiei de sfericitate pentru microscoapele electronice cu transmisie de nalt rezoluie a
permis producerea unor imagini cu rezoluie suficient de bun pentru a evidenia atomi
de carbon n diamante, aflai la distane de doar 0.89 ngstrmi (89 picometri) unii de alii i
atomi din silicon la distane de 0.78 ngstrmi (78 picometri), mrind de 50 de milioane de
ori. Capacitatea de a determina poziiile atomilor n cadrul materialelor a fcut din acest tip de
microscop o unealt important pentru cercetarea i dezvoltarea din domeniul
nanotehnologiilor.

Microscopul electronic cu baleiaj

Microscopia electronica de baleiaj, cunoscuta si sub denumirea de SEM - Scanning
Electron Microscopy - este o tehnica speciala care permite observarea si caracterizarea la
scara
micro si nanometrica a materialelor solide anorganice sau organice.
In interiorul SEM-ului, aria ce urmeaza a fi anlizata sau microvolumul analizat sunt
iradiate
cu un fascicul de electroni fin focalizat si scanat intr-un rastru pe suprafata. Interactiunea
fasciculului de electroni cu materialul iradiat produce o varietate de semnale: electroni
secundari, electroni retroamprastiati, raze X, lumina, etc., semnale a caror analiza ofera un
mare
volum de informatii despre topografia si compozitia chimica a probei.

Cele mai importante semnale sunt electronii secundari, al caror numar (tradus in
intensitate a semnalului) este strans legat de diferentele topografice si electronii
retroamprastiati a caror rata
de emisie este dependenta de numerele atomice (Z) ale elementelor chimice care alcatuiesc
probele supuse analizei. In SEM sunt emise de asemenea raze X caracteristice, a caror analiza
ofera informatii calitative si cantitative despre compozitia chimica a probei examinate.
Un punct forte al SEM-ului este rezolutia inalta ce poate fi obtinuta valori ale rezolutiei
de 1-5 nm au devenit uzuale pentru instrumentele contemporane.
O alta trasatura importanta a microscopului electronic, si de asemenea un avantaj
major
fata de microscopia optica, este cel al unei apreciabile profunzimii de camp, acesta fiind unul
dintre motivele aparentei tridimensionale a fotografiilor SEM.
SEM-urile moderne au in marea lor majoritate o structura ca cea prezentata in figura.
In partea superioara a coloanei electronice se afla amplasat tunul electronic care produce un
fascicul de electroni cu energii cuprinse in gama 0,1-30 keV.

Bobinele de deflexie a fascicolului pe proba controleaza marirea microscopului

aceasta fiind definita ca raportul dintre lungimea rastrului afisat pe monitorul de control al
SEM-ului si
lungimea rastrului scanat pe proba.
Detectorii radiatiilor emise in urma interatiunii dintre electroni si materialul analizat
determina prin intermediul amplificatorului video luminozitatea si contrastul imaginii
achizitionate.
Tunul electronic are rolul de a produce un fascicol de electroni cu energie ajustabila.
In
mod uzual sint folosite doua clase majore de tunuri electronice, care difera intre ele prin
diametrul fasciculului produs, stabilitatea curentului, densitatea de curent, durata de viata a
sursei etc. Cele mai multe SEM-uri inca utilizeaza ca sursa de electroni filamentul de wolfram
sau LaB6, dar in mod progresiv tot mai multe SEM-uri sint dotate cu surse cu emisie in camp:
calde, reci sau Shottky. Sursa de electroni cea mai comuna consta intr-un fir (filament) de
wolfram incalzit prin parcurgerea sa de catre un curent electric.. Electronii sunt ejectati din
filament in vid prin emisie termoionica. Pentru aceasta, electronii din vecinatatea nivelului

Fermi al wolframului trebuie sa primeasca prin excitatie termica o energie mai mare decat
lucrul
de iesire.
Pregatirea probelor: acestea se fixeaza pe suport metalic cu un adeziv special (pasta de
Argint coloidal, scoci de grafit) apoi se acopera cu 1-2 straturi de aur, prin metalizare la un
aparat de pulverizare catodica, utilizandu-se metalizarea conica. Acest proces de incarcare
electronica dureaza intre 2 min si 15 min. Ca principiu, imaginile obtinute sunt in electroni
secundari si creaza imaginea suprafetelor (rezolutia baleiata a aparatului - consta in
transformarea acestor imagini in pixeli).
In urma analizarii la microscopul cu baleiaj, firele de par au putut fi grupate astfel:

Fig.1 :

Fig. 2:

Fig. 3:

Fig. 4:

Fig. 5: