Sunteți pe pagina 1din 23

Lucrarea XXVIII

OBINEREA I MSURAREA VIDULUI


Noiunea de vid (vacuum)
Din teoria cinetico-molecular a gazelor se tie c moleculele unui gaz se
afl ntr-o continu micare (micare termic), care are un caracter haotic. Datorit
acestei micri haotice, moleculele se ciocnesc ntre ele sau cu pereii vasului n
care este nchis gazul. Drumul (traiectorie) parcurs de moleculele de gaz n
micarea lor termic este o linie frnt. Poriunile rectilinii ale acestei traiectorii
frnte corespund micrii libere a moleculei de gaz
(fr ciocniri) (fig. 1).
Punctele n care molecula i schimb direcia de
micare marcheaz locurile din spaiu n care se
ciocnete cu alte molecule ale gazului n diferite
momente. Deoarece micarea termic a moleculelor
este haotic, distanele parcurse de moleculele de gaz
ntre dou ciocniri succesive nu pot fi egale ntre ele.
Drumul liber (fr ciocniri) pe care-l parcurge
molecula ntre dou ciocniri i schimb valoarea dup
fiecare ciocnire. Valoarea medie a distanelor parcurse
de molecul ntre dou ciocniri succesive se numete
Fig. 1
drumul liber mediu.
Lungimea drumului liber mediu al moleculelor de gaz se noteaz, de obicei,
cu . Conform teoriei cinetico-moleculare, lungimea drumului liber mediu este
egal cu:
1
(1)

2n0 d
unde n0 este numrul de molecule pe unitatea de volum, d este diametrul
moleculei (se consider c moleculele au form sferic).
Cnd cantitatea de gaz din vas se micoreaz, scade i numrul de molecule din
unitatea de volum. Din formula (1) rezult c n acest caz, lungimea drumului
liber mediu va crete. Raportul dintre lungimea drumului mediu i dimensiunile
liniare D ale vasului n care se afl gazul poate servi drept criteriu pentru gradul
de rarefiere a gazului.

Starea de rarefiere a gazului n care + D se numete vid naintat. Starea n


care +D se numete vid mediu. n acest caz, lungimea drumului liber mediu al
moleculelor este comparabil cu dimensiunile liniare ale vasului. i, n sfrit,
starea gazului caracterizat prin / D se numete vid slab. Noiunea de vid
definit mai sus depinde, dup cum am vzut, de raportul dintre i D. De
exemplu, dac aerul ptrunde ntr-un spaiu cu dimensiunile liniare mai mici dect
0,06 , atunci n acest spaiu va fi vid naintat chiar la presiunea atmosferic.
6
Acest fenomen se ntmpl n porii corpurilor solide (D 5 10 mm) la
presiunea atmosferic.
Deoarece msurarea indirect a lungimii drumului liber al moleculelor este o
operaiune grea, pentru caracterizarea gradului de rarefiere a gazului se folosete o
alt mrime fizic presiunea. Acest lucru se poate face datorit dependenei
lungimii drumului liber mediu de presiune, dat de relaia:
kT
,
(2)

2
2 pd
obinut din (1), innd seama de:
p
,
kT
23
unde k este constanta lui Boltzmann (k = 1,38054.10 J/K), T temperatura n
scara Kelvin.
Din formula (2) reiese c lungimea drumului liber al moleculelor de gaz
crete cnd presiunea gazului descrete, adic, pe msur ce presiunea gazului
scade, rarefierea lui crete. Dependena dintre presiunea aerului i lungimea
drumului liber mediu al moleculelor de aer este redat n tabela de mai jos:
n0

Presiunea
Aerului
n torr
Valoarea medie
a drumului liber
n cm la 20C

760

10

6,2
6
10

4,7
3
10

10

4,7
2
10

10

4,7
1
10

10

4,7

10

4,7
10

10

4,7
102

10

4,7
103

10

4,7
104

10

4,7
105

10

4,7
106

n tiina i tehnica modern, vidul are un foarte mare rol. Vidul este folosit
n lmpile electronice, fotoelemente, acceleratori de particule, pentru depuneri
metalice, n multe instalaii de cercetare etc.
Agregate pentru obinerea i msurarea vidului
n lucrarea de fa va fi descris o instalaie simpl, realizabil cu mijloacele
unui laborator de fizic, pentru obinerea i meninerea vidului, ct i metodele
folosite n prezent pentru msurarea vidului.

Orice instalaie de vid cuprinde urmtoarele elemente:


a) pomp pentru obinerea vidului preliminar (previd);
b) pomp pentru obinerea vidului naintat;
c) capcane cu aer sau azot lichid pentru meninerea i mbuntirea
vidului;
d) aparate pentru control i msurarea vidului.
La baza procesului de evacuare a gazului din instalaie (pomparea gazului)
stau dou proprieti ale gazelor:
1. proprietatea gazelor de a ocupa ntregul volum pe care l au la dispoziie
(expansibilitatea).
2. proprietatea gazelor de a ptrunde unele n altele (difuziunea gazelor).
Prima proprietate st la baza funcionrii pompelor mecanice, a doua la
funcionarea pompelor de difuziune.

Fig. 2

a) Pompele mecanice pentru obinerea vidului preliminar sunt de diferite


tipuri i construcii. n ultimul timp, ns, cea mai larg rspndire au primit-o
pompele rotative cu palete. n figura 2 se d schema unei asemenea pompe.
Camera 1 a pompei este cufundat ntr-un rezervor 2 cu ulei, care formeaz corpul
pompei. Camera pompei are n interior forma unui cilindru n care ptrund dou

orificii prevzute cu supape de absorbie 3 i supapa de evacuare 7. n camera


pompei, acionat de un motor electric, se rotete rotorul cilindric 5. n rotor, pe
diametrul lui, sunt montate dou palete 6, care sunt forate de un resort puternic de
oel s apese tot timpul pe pereii camerei pompei. Paletele mpreun cu rotorul,
care este montat excentric n camera pompei, o mpart pe aceasta n dou pri.
Funcionarea pompei rotative se explic mai uor cu ajutorul figurii 3.

Fig. 3

Considerm ca poziie iniial poziia I a rotorului. n poziia II, paleta A


care se mic n jos (sensul micrii este indicat de sgeat) a mrit cu V1 volumul
pe care l ocup gazul cnd rotorul 2 se afl n poziia I. Gazul din instalaie va
ocupa acum volumul V + V : V este volumul instalaiei din care vrem s evacum
gazul. Paleta B a produs o comprimare a gazului spre supapa de evacuare 4. n
poziia III, n spatele paletei A continu s se ,,absoarb" gazul din instalaie, iar
paleta B a evacuat gazul comprimat din pomp prin supapa de evacuare. Poziia
IV este identic cu poziia iniial numai c paletele i-au schimbat locul. Procesul
se continu n felul artat mai sus, periodic, dup fiecare jumtate de rotaie a
rotorului. Pompele rotative cu palete dau posibilitatea evacurii gazului din
3
instalaie pn la o presiune de ordinul a 10 orr (n ultimul timp au fost
4
construite pompe rotative care produc un vid de ordinul a 10 orr).
Numai cu ajutorul pompelor rotative nu se pot atinge presiuni mai mici.
Aceasta se explic simplu: datorit diferenei mari dintre presiunea aerului de
la
supapa de evacuare (presiunea atmosferic) i cea de la supapa de absorbie
3
(presiunea de ordinul a 10 orr), gazul ptrunde prin spaiul de civa microni
dintre rotor i peretele 9 (Fig. 2) a camerei pompei napoi n instalaie. Din aceast
cauz, pompele mecanice se folosesc pentru obinerea vidului preliminar (previd)
i
se mai numesc pompe de vid preliminar sau previd.
b) Pentru obinerea vidului mai naintat se
folosesc pompele de difuziune. Funcionarea lor
se bazeaz pe urmtoarele: dac vaporii unui
lichid ies cu vitez mare prin duza 1 (Fig. 4),
atunci ei antreneaz moleculele gazului de
evacuat care difuzeaz n aceti vapori. Pentru a
mpiedica formarea unui flux invers de gaz, spre
instalaie, difuzarea trebuie s aib loc ctre o
Fig. 4

regiune cu presiune sczut (n raport cu cea atmosferic). Aceast presiune mai


sczut se realizeaz cu ajutorul pompelor de vid preliminar. Din aceast cauz,
pompele de difuziune pot funciona numai n cuplaj cu pompele de vid preliminar,
amorsarea (nceputul funcionrii pompei de difuziune) fcndu-se la presiunea
limit pe care o dau pompele de vid preliminar.
Pompele de difuziune permit rarefierea
7
gazului pn la o presiune de ordinul a 10
orr. Cele mai rspndite pompe de difuziune
pn n ultimii ani au fost cele cu mercur (din
sticl sau metalice). n figura 5 este redat o
pomp cu mercur de sticl. Cu ajutorul
nclzitorului 1, mercurul, care se gsete n
vasul 2, se nclzete i vaporii de mercur ies
cu vitez suficient de mare prin duza 3.
Fig. 5
Moleculele gazului de evacuat sunt antrenate
de vaporii de mercur i duse spre pompa de vid preliminar. n continuare, vaporii
de mercur sunt rcii de apa din refrigerentul 4 i se condenseaz, iar moleculele
de gaz sunt evacuate n atmosfer de ctre pompa de vid preliminar. Pompele de
difuziune cu mercur sunt destul de simple i pot funciona un interval de timp
relativ mare. Datorit acestor caliti, aceste pompe au fost mult timp folosite n
laboratoare i n industrie. ns, din cauza unor neajunsuri, locul pompelor de
difuziune cu mercur a fost luat, n ultimul timp, de pompele de difuziune cu ulei.
Dintre aceste neajunsuri enumerm:
- presiunea vaporilor saturani de mercur, chiar la temperatura apei cu care
3
se face rcirea, este de ordinul a 10 Torr. Prin urmare, pentru a obine un vid
maxim n instalaie, vaporii de mercur trebuie captai cu ajutorul capoanelor;
- o parte din vaporii de mercur sunt evacuai de pompa de vid preliminar n
atmosfera din camer. Datorit toxicitii lor, ei pun n pericol securitatea
personalului care lucreaz la instalaia de vid.
Aceste neajunsuri, n parte, sunt nlturate prin folosirea pompelor de
difuziune cu ulei. Principiul de funcionare al acestor pompe este acelai cu al
pompelor de difuziune cu mercur. Un rol foarte mare n buna funcionare a acestor
pompe l are uleiul ales drept substan de lucru. Uleiul folosit n pompele de
difuziune trebuie s aib urmtoarele caliti:
- presiunea vaporilor saturai s fie ct mai mic.
Exist uleiuri pentru pompe de difuziune cu presiunea vaporilor saturai att
de mic nct nu mai este nevoie de capcane pentru captarea lor;
- s conin ct mai puine fracii volatile care au presiunea vaporilor
saturai mare;
- s absoarb foarte puin gazele.
c) Pompele de vid, rotative i de difuziune, sunt cele mai bune mijloace
pentru a evacua dintr-o instalaie de vid un gaz oarecare (n majoritatea cazurilor,

acest gen este aerul). Ele ns nu sunt eficiente la evacuarea vaporilor, n plus,
nsi pompele sunt surse de vapori n instalaia de evacuat (vapori de ulei sau de
mercur). Din aceast cauz, pentru a obine i menine n instalaia de vid un vid
naintat este necesar o condensare intens (o ngheare) a vaporilor din instalaie.
Aceasta se realizeaz n capcanele pentru vapori rcite cu un lichid refrigerent.
n figura 6 sunt redate cele mai rspndite tipuri de capcane. Ele sunt construite
din sticl (acelai fel de sticl din care este fcut ntreaga instalaie de vid) i cu
ajutorul tuburilor de legtur 1 i 2 se conecteaz la instalaia de vid. Dintre
lichidele refrigerente enumerm urmtoarele:
- bioxid de carbon solid amestecat, sub form de past, cu alcool, eter sau cu
aceton.
- gazele lichefiate, n special aer i azot lichid. Amestecurile refrigerente cu
bioxid de carbon solid pot da o rcire de aproximativ 80C, aerul i azotul lichid
pn la = 183 196C.
n tabela urmtoare se arat ct se poate micora, folosind capcane,
presiunea vaporilor saturai de ap i de mercur, vaporii care ntlnesc cel mai des
n tehnica vidului.
Temperatura Presiunea vaporilor saturai n Torr
C
Vapori de ap
Vapori de mercur
750

100
3
17,5
1,2 10
20
4
4,6
2 10
0
4
10
4 10
1 10
80
10
27
1 10
1 10
183

Deoarece amestecurile i lichidele refrigerente s-ar evapora foarte repede la


temperatura camerei, ele trebuie pstrate n vase speciale (vase Dower) care au
pereii dubli, iar n interior vid. Capcanele din figura 6.a i 6.b nu mai au nevoie
de vas Dower; lichidul refrigerent este introdus n rezervorul a, iar ntre perei va
fi vidul din instalaie. Capcana (Fig. 6.c) are nevoie de vas Dower pentru lichidul
refrigerent.
n tehnica modern a vidului exist metode mai perfecioniste de obinere a
16
vidului (presiuni de ordinul 10 Torr i mai mic),
dar descrierea lor depete cadrul acestei lucrri.
Domeniul de presiune n care funcioneaz
sistemele descrise mai sus este dat n figura 7.
e) Instrumente
pentru
controlul
i
msurarea vidului. O problem foarte important
n experienele de laborator i n tehnica vidului
este msurarea presiunilor joase. Intervalul larg al
Fig. 6
presiunilor cu care ne ntlnim aici (de la presiuni

de 10 pn la presiuni de 10 Torr) nu poate fi cuprins cu ajutorul unui singur


manometru. Din aceast cauz, n funcie de intervalul presiunilor de msurat, se
folosesc diferite tipuri de manometre al cror principiu de funcionare este bazat
pe dependena de presiune a diferitelor fenomene fizice.
101

102 10 101
Pompe relative

102

103

104

105

106

107 108

109

1010

1011Torr

Pompe de difuziune
Capcane absorbani

Manometru n form de U
Manometru Mac-Leod
Manometru termic

Manometru de ionizare

Fig. 7

n lucrarea de fa se vor folosi urmtoarele tipuri de manometre:


- manometrul cu mercur n form de U;
- manometrul Mac-Leod;
- manometrul termic;
- manometrul de ionizare.
Fiecare din aceste manometre acoper un interval de presiune conform figurii 7.
Manometrul cu mercur n form de U (fig. 8). Ramura
stng a manometrului este nchis, i la presiunea
atmosferic este n ntregime umplut cu mercur. ramura
dreapt 1 se racordeaz la instalaia de msurat presiunea.
Dac aerul (gazul) din instalaie se evacueaz, mercurul n
ramura dreapt se ridic. Diferena de nivel h dintre nivelele
coloanelor de mercur din ramurile manomerului este
numeric egal cu diferena presiunilor n ramuri, msurat
Fig. 8
n torr. h = p p1, p1 este presiunea vaporilor saturani
de mercur. Deoarece p1 / p putem considera aproximativ c
p = h.
Manomerul Mac-Leod. Am vzut n partea introductiv a lucrrii c putem
caracteriza starea de rarefiere a gazului nchis ntr-o incint msurnd presiunea
3
lui. n cazul rarefierilor puternice, cnd presiunea gazului este de ordinul a 10
torr sau mai mic, apar dificulti mari la msurarea presiunii, deci la stabilirea

gradului de rarefiere a gazului. Pentru rezolvarea acestei probleme au fost


concepute diferite dispozitive de msurare a presiunilor mici i foarte mici, dintre
care cel mai rspndit este manometrul absolut Mac-Leod (se numete absolut
deoarece cunoscnd anumite constante ale aparatului care pot fi msurate direct,
indicaiile lui ne dau presiunea, fr a fi nevoie de o etalonare prealabil a lui n
raport cu alt dispozitiv de msurare a presiunii). Principiul de funcionare al
manometrului se bazeaz pe legea Boyle-Mariotte, care se aplic n felul urmtor:
gazul din starea rarefiat, caracterizat de parametrii de stare p (presiunea), V
(volumul), m (masa) i temperatura T, stare n care este foarte greu de msurat
presiune, printr-o transformare simpl (comprimare) este trecut ntr-o alt stare,
caracterizat de parametrii de stare p1, V1, m i T, n care p1 [ p, i V1 / V, m i
T au rmas constani. n aceast stare, presiunea gazului fiind mult mai mare,
ea poate fi msurat uor. Transformarea fiind izoterm, cunoscnd pe p1, V1 i
V putem afla presiunea p, deci i gradul de rarefiere a gazului, folosind legea
Boyle- Mariotte. Manometrul (Fig. 9) const din balonul de sticl 7 cu
capilarul de msurare 8, a crui capt este nchis. Balonul 7 se continu n jos
cu tubul de sticl 2, care are o bifurcaie 6, cu ajutorul creia, partea de
msurare a manometrului se racordeaz la instalaia de vid. La rndul lui, tubul
de sticl 6 este bifurcat prin capilarul 9, care are acelai diametru interior cu
capilarul 8. Capilarul 9 se numete capilar de comparaie. captul interior al
tubului 2 comunic cu un rezervor 1 care conine mercur i cu un dispozitiv
345 care permite ridicarea mercurului n manometru pn la nlimea dorit.

Fig. 9

Cel mai rspndit dispozitiv folosit n acest scop este robinetul triplu, a crui
construcie este foarte simpl i manevrare uoar. Tubul 2 (Fig. 9) se continu n
balconul 1 pn la 35 mm de fundul balonului. Prin intermediul tubului 3,
balonul 1 comunic cu robinetul triplu: cu ajutorul lui se poate face comunicarea

ntre tuburile 3 i 4, 3 i 5 sau ntrerupe comunicarea dintre ele. Tubul 4 comunic


cu atmosfera, iar tubul 5 este pus n legtur cu o pomp de vid preliminar
(legtura se face la aceeai pomp cu ajutorul creia se videaz instalaia).
Presupunem, n plus, c presiunea n instalaia la care este racordat manometrul
este mai mic dect cea atmosferic (n caz contrar nu mai este justificat
folosirea manometrului Mac-Leod). Dac stabilim comunicarea ntre tuburile 3 i
4, mercurul se va ridica n tubul 2 la un nivel care depinde de presiunea din
instalaie. Dac presiunea din instalaia de vid este mult mai mic dect presiunea
atmosferic, mercurul se va ridica n manometru pn cnd se va atinge nlimea
de 76 cm. Din aceast cauz, lungimea tubului 2 trebuie aleas mai mic dect 76
cm pentru ca, datorit presiunii atmosferice mercurul s poat fi adus pn la orice
nivel dorim n manometru. ncetarea ridicrii mercurului n manometru se poate
face ntrerupnd comunicarea ntre tuburile 3 i 4.
Dup msurarea unei presiuni, mercurul din manometru trebuie cobort din
nou n balonul 1 pentru a fi posibil de efectuat alte msurtori. Pentru aceasta se
face comunicarea ntre tuburile 3 i 5. Presiunea deasupra mercurului din balonul
1 va scdea (aerul de deasupra mercurului este continuu evacuat de pompa de
previd), iar mercurul va cobor napoi n balcon. Cnd nivelul mercurului n tubul
2 i n tubul 1 va fi acelai se ntrerupe comunicarea ntre tuburile 3 i 5.
Funcionarea manometrului. Cu ajutorul robinetului triplu, cu mare atenie,
ncepem s ridicm mercurul n tubul 2. La un moment dat, mercurul va acoperi
(va ntrerupe) comunicarea dintre partea de msurare a manometrului i tubul 6
(Fig. 9.b). ncepnd cu acest moment, n partea de msurare a manometrului
rmne o cantitate dat de gaz, care, n momentul ntreruperii comunicrii cu
tubul 6, ocup volumul V1, format din volumul balonului 7, volumul capilarului 8
i volumul poriunii de tub dintre balcon i bifurcaie. Presiunea gazului, nchis n
partea de msurare a manometrului, n acest moment este, evident, egal cu
presiunea de msurat p din instalaia de vid. n aceast stare a gazului, produsul
dintre presiune i volum este pV1. Dac se continu ridicarea mercurului n
manometru (Fig. 9.c), volumul i presiunea gazului nchis n partea de msurare a
manometrului se vor schimba: volumul se va micora, iar presiunea va crete.
Presupunem c ncetm ridicarea mercurului n manometru (ntrerupem
comunicarea ntre tuburile 3 i 4), iar mercurul n capilarul de msurare s-a oprit
la nivelul AA' situat la distana h' de captul capilarului. Din cauz c n capilarul
de comparaie 9 avem presiunea p, care vrem s-o msurm, nivelul mercurului n
acest capilar va fi mai ridicat dect capilarul de msurare 8. Notm cu h" distana
de la nivelul BB' al mercurului din capilarul 9 la captul capilarului de msurare 8.
Expresia (h' h" + p) reprezint presiunea la care este comprimat gazul n partea
de msurare a manometrului. Notm cu V2 volumul ocupat de gaz n starea
de comprimare. Produsul dintre presiune i volum n aceast stare a gazului este
(h' h" + p)V2. Deoarece masa gazului nchis n partea de msurare este constant

i temperatura la fel (comprimarea se face foarte ncet) putem aplica legea BoyleMariotte:
pV1 = (h' h" + p) V2
sau
V
V
p 1 2 h h 2
V1
V1

ns, V2 fiind mult mai mic dect V1, avem V 2 / 1, deci pentru presiunea cutat
V1
avem expresia:
V
p h h 2 .
V1
Diferena h' h" o putem determina prin citiri la manometru. Rmne de
V2
V2 exist dou
determinat raportul
. Dup modul de determinare a raportului
V1
V1
metode de msurare a presiunilor cu aceste manometre:
- metoda scrii liniare;
- metoda scrii ptratice.
Metoda scrii liniare (Fig. 10). Determinarea
V2 se rezum la msurarea volumului V1
raportului
V1
(volumul se msoar cnd se construiete manometrul), a
2
d
seciunii transversale a capilarului
(d este diametrul
4
interior al capilarului) i determinarea unei distane h' n
2
d

Fig. 10

aa fel nct volumul V2 =

h' s fie o fracie bine


4
determinat, ct mai mic, a volumului V1. Gravm pe partea exterioar a
capilarului la nivelul corespunztor distanei h' un reper n dreptul creia notm
V
valoarea constantei c = 2 . Dac nivelul AA' al mercurului din tubul 2 va fi adus
V1
totdeauna n dreptul reperului gravat, atunci putem scrie:
p = c (h' h").
4

De exemplu, c = 2 10 i, corespunztoare acestui reper, distana dintre


nivelele mercurului n ambele capilare (h' h") = 3 mm; presiunea cutat va fi:
4

p = 2 10 3 = 6 10 Torr.

Deoarece pentru un reper ales este o constant, presiunea de msurat este


direct proporional cu diferena (h' h"), de aici i denumirea de metoda scrii
liniare.
V2 se rezum la
Metoda scrii ptratice. Determinarea raportului
V1
2
d
msurarea volumului V1 i calcularea seciunii transversale a capilarului
. n
4
acest caz avem:
2
V
d

p 2 h h
h h h .
V1
4V1
2

d
Mrimea c = 4V1 depinde numai de dimensiunile manometrului i se
numete constanta manometrului. Cunoscnd constanta c a manometrului cu care
lucrm avem pentru p expresia:
p = ch' (h' h").
Dac la fiecare msurtoare vom opri nivelul mercurului n aa fel nct
h" = 0, adic nivelul mercurului din capilarul de comparaie BB' s fie n dreptul
captului capilarului de msurare, putem scrie:
h' h" = h' = h ,
2
i pentru p vom avea:
p = ch .
Presiunea este proporional cu ptratul diferenei dintre nivelul mercurului
n capilarul de comparaie i n capilarul de msurare, de aici denumirea de
metoda scrii ptratice.
Manometrul termic. La baza principiului de funcionare al acestui
manometru st dependena coeficientului de conductivitate termic a gazelor de
gradul lor de rarefiere la presiuni mici.
Din teoria cinetico-molecular se tie c n condiii normale, coeficientul de
conductivitate termic nu depinde de presiune:
1
n0 c v v
(3)
3
unde, n0 numrul de molecule n unitatea de volum: cv cldura specific la
volum constant; v viteza medie a moleculelor, drumul liber mediu.
nlocuind pe din formula (3) cu valoarea din formula (1) ne putem convinge c
nu depinde de n0, deci nici de presiune. n condiiile unui vid mediu, lungimea
drumului liber mediu al moleculelor este o mrime constant, practic egal cu
dimensiunile liniare D ale vasului n care afl gazul. n acest caz putem scrie.

1
n 0 c v vD
3
De aici rezult dependena dintre i presiune; coeficientul de
conductivitate termic este proporional cu presiunea n condiiile vidului mediu.
Introducem ntr-un balon cu gaz rarefiat o spiral pe care o nclzim, trecnd
prin ea curent electric.
Dac continum rarefierea, conductivitatea
termic a gazului se va micora, adic se va micora
cantitatea de cldur pe care o cedeaz spirala
gazului, deci spirala se va nclzi. Crescnd
temperatura spiralei, va crete i rezistena electric
a ei, lucru ce poate fi pus n eviden cu ajutorul
unor aparate sensibile. n figura 11 este redat
schematic una dintre cele mai rspndite construcii;
ea const din dou pri: manometrul propriu-zis i
puntea electric de msur. Manometrul const
dintr-un balon de sticl n interiorul creia se
Fig. 11
gsete un fir de metal (de obicei din platin). Acest
fir poate fi nclzit cu ajutorul curentului electric. Puntea electric pentru
msurarea rezistenelor este format din patru rezistene: rezistena r1 a firului
metalic al manometrului, o rezisten variabil i dou rezistene fixe r3 i r4.
Pentru ca manometrul s fie ct mai sensibil la variaia presiunii, rezistena
electric a filamentului manometrului trebuie s depind puternic de temperatur.
Din aceast cauz pentru confecionarea filamentului se folosesc metale cu
coeficientul termic al rezistenei electrice mare, cum sunt: platina, nichelul,
wolframul. Valorile rezistenelor r2, r3 i r4, dimpotriv trebuie s depind foarte
slab de temperatur pentru ca fluctuaiile de temperatur din camer s nu
influeneze asupra msurtorilor. Aceste rezistene electrice sunt confecionate din
fire de metal cu coeficientul termic al rezistenei electrice ct mai mic, de
exemplu, constant. Alimentarea punii se face de la o surs de curent continuu,
intensitatea curentului putnd fi reglat cu ajutorul reostatului 1 i msurat cu
ajutorul miliampermetrului mA1. Curentul care circul prin punte poate fi msurat
cu ajutorul miliampermetrului mA2 .
Msurarea presiunii se poate face n felul urmtor: se alege rezistena r2 n
aa fel nct prin miliampermetrul mA2 s nu treac curent electric (rezistenele r3
i r4 se aleg egale ntre ele). Cnd ncepe rarefierea gazelor, dar presiunea este
nc ridicat ( / D), putea continua s rmn n echilibru. n continuare,
rezistena filamentului crete (schimbul de cldur dintre filament i aer se
micoreaz) i indicatorul miliampermetrului ncepe s devieze cu att mai mult
cu ct presiunea este mai mic.

Trebuie subliniat c miliampermetrul mA2 nu msoar presiunea. Pentru a


msura presiunea cu manometrul termic este nevoie de o etalonare a lui.
Etalonarea const n stabilirea dependenei dintre indicaiile miliampermetrului
mA2 i presiunea din instalaie msurat cu un alt manometru (cu manometrul
absolut MacLeod). Cu ajutorul manometrelor termice se poate msura presiunea
3
ntr-un interval de la 10 la 10 Torr.
Manometrul cu termocuplu. n ultimul timp a
primit o larg rspndire acest tip de manometre.
Manometrul propriu-zis este un balon de sticl cu
armtur metalic, prevzut cu un tub pentru racordarea
la instalaia de vid. n balon sunt montate nclzitorul 3
i termocuplul 4, capetele crora ies din balon (trecerile
prin sticl aa' i bb', Fig. 12). Sudura termocuplului este
lipit prin topire pe nclzitor n punctul A.
Partea de msurare a manometrului const din
sursa de curent 1, respectiv 2, milivoltmetrul mV i
miliampermetrul mA. Curentul prin nclzitor se poate
regla cu ajutorul reostatului i este msurat de
miliampermetru. Sudura termocuplului care va avea
Fig. 12
totdeauna temperatura nclzitorului este sursa de
tensiune termoelectromotoare, valoarea creia este
indicat de milivoltmetru. Curentul prin nclzitor tot timpul msurtorilor trebuie
meninut constant.
Principiul de msurare a presiunii cu acest manometru este urmtorul:
valoarea tensiunii termoelectromotoare depinde de temperatura la care se afl
sudura A (ea depinde numai de aceast temperatur, deoarece variaiile de
temperatur ale sudurii reci sunt neglijate). Temperatura sudurii A depinde numai de
schimbul de cldur dintre nclzitor i gazul din instalaie. Dup cum am vzut, n
condiiile vidului mediu, acest schimb depinde de presiune. Msurnd, deci,
tensiunea electric generat de termocuplu putem afla presiunea din instalaie,
folosind curba de etalonare a manometrului (dependena dintre indicaiile
milivoltmetrului i presiunea din instalaie, msurat cu un manometru Mac-Leod).
Manometrul de ionizare (Fig. 13 i 14). Funcionarea manometrului de
ionizare se bazeaz pe fenomenul de ionizare al moleculelor de gaz, cu ajutorul
electronilor care se mic foarte repede de la catol la anod. Manometrul de
ionizare este un tub electronic cu trei electrozi conectat la instalaia de vid.
Electronii emii de catodul 1 sunt accelerai de cmpul electric spre grila 2 (Fig.
13) i formeaz curentul de gril I1, msurat cu ajutorul miliampermetrului mA.
Grila 2 are potenialul pozitiv n raport cu catodul de ordinul a 200-250 V,
colectorul de ioni 3 are potenialul negativ de ordinul a 20 V. dac potenialul
grilei este mare, atunci electronii emii de catod vor fi accelerai pn la o energie
suficient pentru a ioniza moleculele de aer care se afl n spaiul dintre catod i

gril. Ionii pozitivi formai vor fi atrai de colectorul negativ i i vor transmite
acestuia sarcina. n circuitul colectorului va lua natere curentul ionic I2 care
msoar cu ajutorul galvanometrului G. La o presiune suficient de mic (de
3
ordinul a 10 Torr), raportul dintre curentul ionic i cel electronic este direct
proporional cu presiunea din balonul 4 (fig. 14):
I 2 Kp .
I1

Fig. 13

Fig. 14

Balonul lmpii fiind racordat la instalaia de vid (cu ajutorul tubului 5, Fig.
14), prin msurarea curenilor I1 i I2 se poate determina presiunea din instalaie.
n prealabil, ns, trebuie determinat mrimea K, constant pentru
manometrul dat, numit sensibilitatea manometrului de ionizare. n practic se
menine de obicei constant curentul electronic. Atunci pentru presiune avem
urmtoarea expresie:
1
p I2
c
Mrimea c = KI1 se numete constanta manometrului de ionizare. Ea se
poate determina dac cunoatem curentul I1 i presiunea pe care putem s-o
msurm cu manometrul Mac-Leod.
2
Manometrul de ionizare ncepe s funcioneze la o presiune de ordinul a 10
9
Torr i se pot msura cu el presiuni de ordinul a 10 Torr.
O apreciere geosolan a gradului de rarefiere a unui gaz se poate face
folosind fenomenul de descrcri electrice n gaze. Dac la instalaia de vidat se
conecteaz un tub de descrcri n gaze, alimentat cu tensiune nalt, atunci n
funcia de gradul de rarefiere a gazului se schimb luminiscena descrcrii.
Pentru aer aceast dependen este dat n tabela de mai jos:

Luminiscena descrcri
Nu apare luminiscena. Dac se mrete tensiunea apar
scntei.
Luminiscen violet sub forma unui fir subire ntre
electrolizi
Luminiscen roz ntre electrozi
Luminiscena se subiaz mult la mijloc, se retrage ctre
electrozi..
Luminiscen numai la electrozi
Luminiscena gazului dispare, apare luminiscena sticlei
Dispare orice luminiscen

Presiunea n Torr
..... 760 50
... 50 10
..... 10 1
1
... 1 10
1

....... 10 10
3
4
... 10 10
4
...... sub 10

Descrierea instalaiei
n cele ce urmeaz sunt prezentate instruciunile privind obinerea i
msurarea vidului cu ajutorul unei instalaii de vid produs la I.F.A.:
AGREGAT DE VID AV 100 (100 1/s)
1. Descrierea agregatului
6

Vidul nalt de 6 10 Torri se obine cu pompa de difuzie 1 (Fig. 15 i 16)


3
de 100 1/s. Vidul preliminar se realizeaz de pompa de vid preliminar 4 de 4 m /h.
Funcionarea independent a pompei de difuzie n timpul ct pompa de vid
preliminar videaz incinta de lucru, se asigur de rezervorul tampon 3 aflat
1
2
permanent la o presiune de 10 10 Torri.
Robinetul de vid 11 tip Dn 80 izoleaz incinta vidat de pompa de difuzie.
Robineii 6 i 7 sunt de tip Dn i separ pompa de vid preliminar de
rezervorul tampon i de incinta vidat.
n partea superioar a agregatului se afl cutia cu ,,grupul electric" i lng
ea vacuumetrul tip VTI 664 sau VTI 669. La vacuumetru sunt conectate dou
joje. Pirani 10 pentru msurarea vidului preliminar i o joj de ionizare 8 pentru
3
6
vid de 10 10 Torri.
Ptrunderea vaporilor de ulei din pompa de difuzie n incinta vidat este
mpiedicat de trapa de rcire 11. Aparatul, poate fi dotat fie cu o trap rcit cu
ap T80 tip 1967 (Fig. 15) fie cu o trap cu circulaie continu cu azot lichid T
80N tip 1967.
n Fig. 17 este reprezentat schema electric a instalaiei.

Fig. 15

Fig. 16

Fig. 17

Dup legarea la reeaua de alimentare a prizei tripolare P, ntreruptorul I1


nchide circuitul de alimentare a grupului electric. Pentru pornirea pompei de vid
preliminar acionat de electromotorul M se apas pe butonul dublu de sancionare
Bc nchizndu-se contractul normal deschis. Releul intermediar IR nchide
contractele IR1 ... IR8.
Pentru nclzirea reoului pompei de difuzie RE se nchide ntreruptorul
monopolar basculant I2. Dac este necesar o funcionare a pompei de difuzie
independent de pompa de vid preliminar, se va nchide ntreruptorul I3.
Curentul de nclzire din RE se ntrerupe imediat dac nceteaz circulaia apei de
rcire n serpentina pompei de difuzie.
Acest lucru se realizeaz prin ntreruperea contactelor 2R1 i 2R2 ale releului
intermediar 2R, ntreruperea condiionat de releul de presiune RP nseriat n
circuitul apei de rcire.
Becul verde IS1 semnaleaz funcionarea pompei de vid preliminar.
Becul rou IS2 semnaleaz poziia ,,oprit" a electromotorului M.
Becul verde IS3 marcheaz funcionarea reoului RE al pompei de difuzie.

Becul verde IS4 prin stingerea sa condiionat de releul RP' semnaleaz


defeciuni la rcirea pompei de difuzie.
Acelai incident este semnalat acustic de soneria SB ce poate fi deconectat
prin ntreruptorul monopolar I4.
Protecia instalaiei electrice este asigurat de blocul releelor termice RT i
siguranelor fuzibile S1; S2; S3; S4; S5.

Punerea n funciune i modul de lucru


a. Realizarea vidului preliminar
ntreruptorul de la reea se pune n poziia I. Se nchid robineii 5, 6, 7 i se
apas pe butonul 1 de pe panoul frontal al grupului electric (Fig. 18). Aprinderea
becului verde 5 semnaleaz pornirea motorului. Se citete la vacuumetru vidul
msurat de joja 8 (Fig. 16) montat deasupra pompei de vid preliminar. Cnd se
2
nregistreaz un vid de 10 torri, se verific dac robinetul 11 este nchis i se
deschide robinetul 6 (Fig. 15 i 16). Se videaz preliminar pompa de difuzie i
2
vasul tampon pn cnd aceeai joj de mai sus nregistreaz din nou 10 torri. Se
nchide robinetul 6 i se deschide 7 pentru vidarea preliminar a incintei de lucru.
Simultan se poate face amorsarea pompei de difuzie. Se d drumul apei de rcire a
pompei de difuzie. Intreruptorul 7 se va pune pe poziia I: becul 5 se va aprinde.
n tot timpul acestor operaiuni becul 8 (Fig. 18) trebuie s fie aprins indicnd o
funcionare normal a sistemului de rcire. ntreruptorul 10 trebuie s fie pe
poziia I. Vidul din incinta de lucru se va msura prin intermediul jojelor 8 i 10
montate la racordul intermediar 9 (Fig. 16). n figura 16 jojele Pirani pentru vid de
1
3
10 10 torri s-au notat ambele cu acelai numr 8.
b. Realizarea vidului nalt
2

Cnd vidul msurat cu joja 8 de la racordul 9 devine cca. 2 10 torri, se


6
nchide robinetul 7 i se deschid robinetele 6 i 11. Vidul pn la 10 torri se
msoar cu joja de ionizare 10 tip M2. Dac este necesar s se opreasc motorul
fr a ntrerupe funcionarea pompei de difuzie, se va deschide robinetul 6, iar
ntreruptorul 6 se va pune pe poziia ,,independent.
c. Manevre necesitate de procesul tehnologic
Adeseori este necesar s se deschid incinta vidat pentru nlocuirea materialului
din interior. n aceast situaie se nchid robinetele 11 i 7 fr a ntrerupe
funcionarea pompelor. Dac obiectele din incint au fost nclzite n vid, se va
atepta pn temperatura lor va deveni egal cu cea a mediului nconjurtor.
Deschiderea volumului de lucru (scoaterea capacului, deurubarea flanelor etc.)

poate fi fcut numai dup introducerea de aer sau alt gaz pn la o presiune egal
cu cea atmosferic. Dac incinta nu este prevzut cu aceast posibilitate,
introducerea se face dup cum urmeaz:

Fig. 18

Se deschid robinetele 6 i 7 (Fig. 15), iar pompa de vid preliminar se oprete


prin apsarea butonului 2 (Fig. 18). Se introduce nti aer n pomp prin
deschiderea robinetului 5, iar apoi n incint deschiznd robinetul 7. Se va evita s
se lase n timp ndelungat deschis volumul de lucru. Dup ncrcarea unui nou lot
de materiale, se va nchide robinetul 5 i se va vida preliminar volumul de lucru
cu ajutorul pompei mecanice. Dup obinerea vidului preliminar, citit prin
intermediul jojei 8 de la racordul 9 (Fig. 15) se va nchide robinetul 7, iar
robinetele 5 i 11 se vor deschide.
d. Oprirea agregatului
a) Se nchid robinetele 7 i 11 (Fig. 15 i 16) i se ntrerupe funcionarea
vacuumetrului.
b) Se scoate din funciune reeul pompei de difuzie prin aezarea n poziia
0 a ntreruptorului 6 (Fig. 18).
c) Dup rcirea pompei de difuzie se nchide robinetul 6.
d) Se oprete pompa de vid preliminar prin apsarea butonului 2 (Fig. 18).
e) Se introduce aer n pompa de vid preliminar prin deschiderea robinetului
5.

f) Comutatorul de reea 9 (Fig. 18) se va aeza pe poziia ,,oprit .


g) Se nchide robinetul circulaiei apei de rcire, (numai dup ce s-a
verificat nc odat c pompa de difuziune s-a rcit complet).
3. Instruciuni de exploatare
Este n primul rnd necesar s se respecte: curenia vidului, s se controleze
ermeticitatea utilajului, s se controleze starea uleiului din pompe, s se schimbe
dac este necesar garniturile deteriorate, s se urmreasc buna funcionare a
traductorilor manometrici etc.
nainte de a ncepe operaia de vidare, incinta vidat i piesele care se
introduc nuntru se vor spla cu spirt, aceton, eter etc.
Nu se va porni instalaia pn acestea nu vor fi complet uscate.
Gura de absorbie a agregatului este prevzut cu o flan de cuplare,
etanarea fcndu-se prin strngere cu uruburi pe o garnitur de cauciuc. Se
recomand o strngere ct mai uniform a uruburilor periferice, n care scop se
pot folosi chei manometrice.
Dac se urmrete obinerea unor performane superioare, se va nlocui
uleiul din pompa de vid preliminar cu ulei VM4 (GOST 790356). Pompa de
3
difuziune se va umple numai cu 60 cm de ulei D1 marca (GOST 740456). La
folosirea acestor uleiuri se va avea n vedere c este inadmisibil contactul uleiului
fierbinte cu aerul atmosferic. Ca urmare a unui asemenea incident, vor scdea
considerabil nsuirile de ,,vid ale uleiului. Este de asemenea inadmisibil
ptrunderea n interiorul pompei de difuziune sau a fluidelor strine (inclusiv a
uleiului marca VM4 folosit n pompele mecanice).
Impurificarea uleiului i formarea reziduurilor de ulei ars pe piesele pompei
nrutesc vidul limit creat de agregat. n acest caz este necesar s se demonteze
pompa de difuziune i s se goleasc de ulei. Interiorul pompei se va spla cu
solveni pn cnd diluatul consumat va rmne curat dup utilizare.
Pompa se va usca prin suflarea unui jet de aer cald pn la dispariia total a
mirosului solventului folosit. Numai dup efectuarea acestor operaii se va turna
n pomp cantitatea necesar de ulei proaspt.
Dac schimbarea uleiului nu duce la o mbuntire radical a
performanelor agregatului, se va trece la demontarea complet a pompei de
difuziune, cu splarea n solveni a fiecrei piese n parte.
Pentru ca piesele pompei s nu fie supuse coroziunii, se recomand ca
imediat dup asamblare s se treac la vidarea preliminar (dup ce s-a adugat n
prealabil cantitatea necesar de ulei). n procesul formrii vidului preliminar i se
asemenea dup punerea n funciune a reoului, piesele pompei i uleiul turnat n
interior se degradeaz treptat, ceea ce are ca urmare o mbuntire relativ nceat
a vidului limitat. Drept solveni pentru splarea pompei recomandm: benzol,
aceton, tetraclorur de carbon, eter, spirt etc.

4. Detectarea scurgerilor
Scurgerile pot fi descoperite numai folosind manometrele montate pe
instalaii. Aceast metod de detectare se bazeaz pe faptul c sensibilitatea
manometrelor depinde de natura gazului. Pe locul unde se presupune existena
unei scurgeri, se sufl un gaz de prob sau se pulverizeaz un lichid. Variaia
indicaiilor manometrice indic prezena scurgerii. Drept lichide de prob se
recomand eterul, spirtul (mai puin eficace). Dac se folosete benzina, se obine
o sensibilitate mare a ncercrilor, dar apare inconvenientul c fluidul de prob se
evapor relativ ncet dup depistarea scurgerii. Variaia indicaiilor manometrelor
dup prezena lichidului la locul scurgerii are loc n felul urmtor. La nceput,
accesul aerului, n instalaie este oprit, iar lichidul nc nu a ptruns n instalaie,
deci indicaiile manometrelor vor arta o mbuntire a vidului. Urmeaz o
cretere brusc a presiunii care indic ptrunderea lichidului n interior. Lichidele
au dezavantajul c uneori scurgerea este astupat de diferite impuriti antrenate
de fluid. De aceea, dei sensibilitatea este mai mic, este uneori preferabil s se
foloseasc gazul (heliu, hidrogen, butan etc.).
VACUUMETRU VIT 3,6 69
Generaliti
1

Vacuumetru VTI 3,6 69 msoar presiuni ntre 10 i 10 torri. Dup


domeniul de presiune explorat, aparatul folosete dou tipuri de traductori i
anume:
1
3
- joj termic n domeniul 10 10 torr
3
6
- joj de ionizare n domeniul 10 10 torr
Aparatul este dotat cu dou joje termice i o joj de ionizare, iar comutarea
funcionrii cu o joj sau alta se face prin claviatur.
1. PRINCIPIUL DE FUNCIONARE AL VACUUMETRULUI
CE LUCREAZ CU JOJA TERMIC
Partea de vacuumetru ce lucreaz cu joja termic se bazeaz pe principiul
conductibilitii termice a gazului din incinta de msurat. Traductorul este
constituit dintr-o rezisten de nichel pur care-i modific valoarea cu temperatura
i deci cu modificarea din incint. Traductorul se afl montat n braul unei puni
rezistente. Puntea este alimentat n curent continuu (U = 1,5 V) i echilibrat
automat prin reacie invers. Cu variaia presiunii variaz pierderile de cldur i
deci curentul necesar pentru meninerea echilibrului punii. Acest curent ne d
indicaia asupra presiunii i este msurat de instrumentul 1 etalonat direct n Torri.

2. DESCRIEREA PRILOR COMPONENTE ALE VACUUMETRULUI


CU JOJA TERMIC
Corpul jojei este un ansamblu executat din metal. Joja se ataeaz la
instalaia de vid printr-un racord special,
Partea ce vine n direct legtur cu incinta vidat este tubul jojei care
conine elementul traductor RT. Traductorul de presiune este o rezisten prin
spiralizarea unui fir de nichel pur cu 0 = 0,005 i care la temperatura de 25C are
valoarea de 3,4 ohmi.
Solidar cu tubul, dar comunicnd numai din punct de vedere electric,
printr-o trecere n sticl, este o cartel ce conine dou rezistene de manganin R1,
R2 (cte 40 ohmi) i un poteniometru bobinat (50 ohmi). Legtura jojei cu
aparatul se face printr-un cordon cu patru fire terminat cu un conector.
3. PRINCIPIUL DE FUNCIONARE AL VACUUMETRULUI
CU JOJE DE IONIZARE
Avnd un emitor de electroni ntr-o incint cu gaz rarefiat numrul ionilor
formai prin ciocnirea moleculelor gazului cu electroni va fi cu att mai mare cu
ct presiunea gazului este mai mare. ntre numrul de electroni, numrul ionilor
formai i presiunea din incint exist relaia Ii/I0 = K p unde K este o constant ce
depinde de natura gazului i de geometria detectorului.
Dac se menine constant curentul electronic, msurnd curentul ionic, se
obine o indicaie proporional cu presiunea, instrumentul putnd fi etalonat
direct n Torr.
4. DESCRIEREA PRILOR COMPONENTE
Partea de vacuumetru ce lucreaz cu joja de ionizare se compune din:
4.1. Joja de ionizare (traductorul de presiune)
4.2. Circuitele de intr n lanul de stabilizare al curentului electronic.
4.3. Circuite necesare pentru amplificarea curentului ionic.
4.3.1. Joja de ionizare. Este dispozitivul folosit ca traductor de presiune n
3
6
domeniul 10 10 i conine un catod cald emitor de electroni n faa cruia
se gsesc grila colectoare de electroni (pus la potenialul pozitiv de 200 V) i
anoda colectoare de ioni (pus la potenialul negativ de 20 V). Tipul jojei este
LM-2.
La aparatul de fa valoarea curentului electronic la care se lucreaz este de
5 mA.

5. CIRCUITUL DE PROTECIE AL JOJEI DE IONIZARE


Tensiunea continu de la ieirea jojei termice servete i la comanda
3
circuitului de protecie al jojei de ionizare. Cnd presiunea atinge valoarea de 10
torr se nchide releul R, comandat de cartela AMD1 i T7. Din acest moment joja
de ionizare va putea lucra, circuitul su de nclzire fiind nchis. nainte ca
3
presiunea s fi ajuns la valoarea 10 , joja de ionizare nu poate lucra.
6. MODUL DE LUCRU CU VACUUMETRU
Se cupleaz jojele de instalaia de vid. Se acioneaz clapa pornit. Dac se
aprinde becul rou de reea aparatul este alimentat. Acionnd clapa JT1 se va citi
1
3
pe scala corespunztoare a instrumentului (10 10 ) presiunea n punctul unde
este montat joja T1.
Acionnd clapa TJ2 se va citi presiunea n cel de al doilea loc de msur a
vidului preliminar. Pentru msurarea presiunii cu joja de ionizare, deci dup ce
releul R a fost acionat, trebuie efectuate urmtoarele operaii:
1. Degazarea grilei prin acionarea clapei de mare care se las n aceast
poziie timp de 5 minute
2. Verificarea curentului electronic prin acionarea clapei I0 i citirea pe
instrument. n situaia n care acul nu este n dreptul reperului de pe scal,
corespunztor valorii de 5 mA se regleaz din poteniometru de pe panou.
Valoarea presiunii msurat cu Joaja de ionizare se poate citi de acum prin
acionarea clapei JI.