Sunteți pe pagina 1din 8

1

Microscopia cu electroni
Avantaje: avantajul cel mai important este magnificarea mult crescuta fata de
microscoape optice,de la 300.000 pana la 2.000.000 de ori,si nu in cele din urma moduri
multiple de investigare de pe urma carora se poate obtine o gama vasta de informatii.
Dezavantaje: costul ridicat al aparaturii,sensibilitatea ridicata la diversi factori externi
(campuri electromagnetice,vibratii) si faptul ca unele probe ( de exemplu tesuturile vii)
trebuiesc preparare in prealabil sau au nevoie de conditii speciale in timpul examinarii la
microscop si,in unele cazuri,chiar nu pot fi studiate eficient cu ajutorul unui microscop cu
electroni.
Exemple de microscopie cu electroni
Microscopia cu electroni poate fi impartita in doua mari categorii:de transmisie,in cazul
specimenelor aproape bidimensionale (cu grosimi mai mici sau comparabile cu drumul
liber mediu al electronilor accelerate-zeci de nm) sau de investigare a suprafetei in cazul
celor tridimensionale (cand dimensiunile depasesc drumul liber mediu pe toate axele)In
prima categorie se incadreaza :Microscopul electronic cu transmisie (TEM- Transmission
Electron Microscope) si Microscopul electronic cu Transmisie de Inalta Rezolutie
(HRTEM-High-Resolutin Transmission Electron Microscopy),iar cea de-a doua
:Microscopul electronic cu Scanare (SEM-Scanning Electron Microscope) ,Microscopul
electronic cu Scanare in mediu (ESEM),microscopul electronic cu reflexive
(REM),microscopul cu electroni de energie joasa (LEEM) si microscopul electronic de
energie joasa cu polarizare a spinului (SPLEEM).
O diferenta majora intre cele doua metode este rezolutia care ar putea fi teoretic atinsa :
0,5 A in cazul unui TEM la o marire de 50 de milioane de ori si cu o corectie de
sfericitate suficienta fata de 0,4 nm in cazul unui SEM la o marire de 2 milioane de ori.

TEM.Foloseste un fascilul cu electroni accelerati (la energii de 40-400 keV) ,focalizat


cu o serie de lentile magnetice care este transmis prin specimen.La iesirea din
acesta,fascilulul de electroni care contine informatii legate de materialul analizat este
magnificat de lentila obiectiv si este proiectat pe un ecran fluorescent.Imaginea formata

poate fi direct inregistrata pe un film fotografic sau poate fi captata printr-un sistem optic
de catre o camera digitale si transmisa mai departe pe ecranul unui computer. Rezoluia
unui microscop electronic cu transmisie este limitat n principal de aberaia de
sfericitate, dar o nou generaie de sisteme de corecie a aberaiilor a avut ca efect
depirea parial a aberaiilor sferice i creterea rezoluiilor. Coreciile din software ale
aberaiei de sfericitate pentru microscoapele electronice cu transmisie de nalt rezoluie a
permis producerea unor imagini cu rezoluie suficient de bun pentru a evidenia atomi de
carbon n diamante, aflai la distane de doar 0.89 ngstrmi (89 picometri) unii de alii i
atomi din silicon la distane de 0.78 ngstrmi (78 picometri), mrind de 50 de milioane
de ori. Capacitatea de a determina poziiile atomilor n cadrul materialelor a fcut din
acest tip de microscop o unealt important pentru cercetarea i dezvoltarea din domeniul
nanotehnologiilor.
Modurile principale de formare a imaginii in cazul TEM-ului sunt:diferenta de
luminozitate (se bazeaza pe diferenta de numar atomic si densitate intre diferitele portiuni
ale probei care va duce la un comportament modelat de legea lui Beer,adica unele
portiuni vor permite o transmisie mai ridicata decat altele si vor aparea mai
luminoase),contrast dat de difractie (cristalinitatea poate fi investigata prin difractia
electronilor pe planele cristaline),pierdere de energie a electronilor si contrast de faza
(informatia este extrasa din imaginea de interferenta a fascilulului produs de trecerea prin
reteaua cristalina a materialelor analizate si imaginea finala care poate fi produsa doar
dupa o prelucrare a datelor obtinute-in cazul HRTEM-ului.
ntr-o perspectiv foarte general, microscopul electronic de transmisie (fig.1,2) este similar
microscopului optic. Sursa de iluminare este nlocuit cu un filament de tungsten sau catod care are rolul
de a emite fasciculul de electroni. Catodul este localizat n partea superioar a unei coloane cilindrice
de aprox 2m. Pentru a se evita dispersia electronilor din fascicul prin
coliziunea cu moleculele aerului, n coloan se creeaz vid prin pomparea n afar a
aerului.Electronii produsi de filamentul supranclzit (aflat la tensiune inalta)
sunt accelerati fat de un anod, cruia i se aplic o tensiune negativ ce smulge
electronii si i accelereaz. Fasciculul trece printr-o deschidere ngust a anodului si
strbate n ntregime coloana.De

a lungul coloanei sunt plasati mai muli e1ectromagnei (lentile electromagnetice) sau
lentile electrostatice, care pot concentra sau focaliza fasciculul ndeplinind un rol similar
cu acela al lentilelor de sticl din microscopia optic.
Un sistem de diafragme cu diametrul de 30-100 m opresc trecerea
electronilor m r g i n a s i , m b untindu-se claritatea si contrastul imaginilor.
Specimenul partial transparent pentru electroni este situat n coloana vidat, pe direcia
fasciculului de electroni. n urma coliziunii electronilor fasciculului primar cu specimenul, rezult
mai multe tipuri de
electroni sau radiaii, majoritatea fiind utilizate n diverse microscoape electronice(fig. 3). Ca si n
microscopia optic, specimenul este colorat (contrastat) cu substane electrocondense
adic substante capabile s disperseze cea mai mare parte a electronilor
incideni pe suprafata ocupat de ele. Electronii care au strbtut
p r e p a r a t u l sunt focalizati pentru a forma o imagine pe un ecran fluorescent ,pentru a fi
detectata de un senzor de lumin cum ar fi un senzor CCD sau pentru a impresiona o
plac fotografic . Imaginea detectat de CCD poate fi afiat n timp real pe un monitor
sau transmis pe loc unui
calculator. Deoarece regiunile dense ale preparatului vor dispersa majoritatea electronilor,
aceste zone vor arta pe ecran sau n fotografie ca zone mai negre, mai nchise si se vor numi zone
electron-dense.

SEM Microscopul electronic de baleiaj (termen derivat din lb. francez) sau
microscopul electronic scanning (termen derivat din lb. englez) (fig. 4) permite
obinerea unor imagini tridimensionale ale specimenului. Spre deosebire de TEM unde
fasciculul de electroni emergent contine intreaga imagine a specimenului analizat,in cazul
SEM-ului,la un anumit moment de timp,fasciculul emergent poate sa contina doar o
informatie locala ( un pixel) din imagine.Pentru a putea reproduce imaginea

intreaga,este nevoie ca fasciculul de electroni sa baleieze pe intreaga suprafata a


specimenului.
Microscopia electronic de scanare se bazeaz pe scanarea suprafeei cu un fascicul de
electroni i msurarea intensitii fasciculului de electroni retromprtiai sau a
electronilor secundari emii din banda de conducie de ctre corpul solid.
PRINCIPIUL MICROSCOPIEI ELECTRONICE DE SCANARE
Un fascicul incident de electroni cu energia de 20 50 eV este fin focalizat pe suprafaa
solidului (diametrul fascicului 5 nm). Se msoar intensitatea fasciculului de electroni
retromprtiai sau de electronii secundari emii.
Scanarea suprafeei este similar cu cea utilizat n televiziune sau tubul de raze catodice
(CRT).
Fasciculul incident de electroni este deplasat pe suprafaa solid n linie n direcia x, prin
deviere ntr-un cmp electromagnetic.
Fascicul este rentors la poziia iniial de start i deplasat apoi prin deviere n direcia y
cu un anumit increment. Se reia deplasarea n direcia x.
Procesul de deplasare x-y este repetat pn cnd se scaneaz suprafaa dorit a fi
analizat.
In timpul scanrii este obinut un set de semnale datorat electronilor retromprtiai sau
electronilor secundari emii de suprafaa corpului. Semnalele sunt stocate ntr-un
computer i apoi prelucrate cu obinerea unei hri x-y a naturii fizice a suprafeei.
Instrumentul utilizat n microscopia electronic de scanare poart denumirea de
microscop electronic de scanare (SEM).
Elementele componente ale unui microscop SEM : sursa de inalta tensiune variabila
pentru alimentarea unui tun de electroni , tunul de electroni , lentile magnetice
condensator , lentile magnetice obiectiv , doua seturi de bobine electromagnetice cu
scanare x-y , sistem semnal electric control bobine de scanare , tub de raze catodice
(CRT) , camera si suport pentru proba , detectorul de electroni.
Lentilele magnetice condensator preiau fascicul de elctroni emii de tunul de electroni, pe
care l focalizeaz asupra lentilelor obiectiv.

Lentilele magnetice obiectiv sunt responsabile de diametrul fascicului de electroni


focalizat sub form de spot pe suprafaa probei. Aceste lentile servesc la reducerea
mrimii imaginii spotului final pe suprafa probei la 5 200 nm
Setul de bobine x-Deviaz fasciculul de electroni n direcia x
Setul de bobine v- Deviaz fascicul de electroni n direcia y
OBTINEREA IMAGINII CU MICROSCOPUL SEM
Fascicul incident de electroni este deplasat prin deviere n direcia x prin aplicarea unui
semnal electric variabil n timp pe setul de bobine de deviere x. Fasciculul este focalizat
pe suprafaa probei n diferite spoturi pe direcia x.
Dup deplasarea pe linia x, fascicul de electroni este deplasat n direcia y prin aplicarea
unui semnal electric pe setul de bobine de deviere y i se repet devierea pe direcia x.
Astfel prin deplasarea rapid x-y a fasciculului de electroni se scaneaz suprafaa probei.
Simultan cu devierea x-y a fasciculului de electroni, pe suprafaa probei se deviaz
electronii pe direacia x-y pe ecranul CRT-ului. Exist astfel o concordan ntre
coordonatele x-y a fascicului de electroni pe suprafaa probei i coordonatele x-y a
punctelor pe ecranul CRT.
Semnalele electronilor retromprtiai sau a electronilor secundari de la suprafaa probei
sunt stocate i apoi prelucrate ntr-o reprezentare grafic digital n funcie de
coordonatele x-y a fasciculului de electroni pe suprafaa probei. Coordonatele x-y a
spoturilor se identific prin curenii electrici pe bobinele x i y. Imaginea apare pe ecranul
CRT cu puncte de luminozitate diferit n funcie de semnalul detectorului de electroni,
care depinde de fluxul de electroni retromprtiai sau secundari ntr-un anumit punct de
coordonate x-y.
Mrirea imaginii probei cu microscopul SEM (M) este de 10x 100.000x. Mrirea
imaginii este raportul dintre limea ecranului CRT (W) i limea probei (w), M = W/w.
Cu ct zona studiat este mai mic cu att mrirea imaginii este mai mare.
CAMERA PROBEI
Camera probei este legat la o pomp de vid care realizeaz un vid de 10-4 torr.
Suportul pentru prob poate fi deplasat n direciile x-y-z i poate fi rotit n jurul tuturor
axelor. In felul acesta pot fi selectate diferite zone de pe suprafaa probei i pot fi
analizate mai multe suprafee ale probei.

PROBELE
Probele cel mai uor de analizat sunt cele conductoare electric, deoarece electronii intrai
n prob sunt eliminai prin pmntarea camerei. Probele conductoare electric sunt de
asemenea bune conductoare termic, astfel este evitat nclzirea i degradarea termic a
lor n timpul analizei.
Probele din materiale biologice i cel minerale care nu sunt conductoare, se mbrac ntrun strat fin de material conductor cu grosime uniform.
Detectarea de electroni din microscopul SEM este de doua tipuri:cu scintilatie si
semiconductor.
In cadrul celei cu scintilatie : Au n construcia lor o sticl scintilator i un
fotomultiplicator. Scintilatorul absoarbe energia electronilor care cad pe suprafaa sa i
emite fotoni n vizibil. Fotonii sunt condui la fotomultiplicator printr-o fibr optic.
Fotomultiplicatorul genereaz un semnal electric direct proporional cu intensitatea
fluxului de fotoni, care este direct proporional cu fluxul de electroni care a atins
scintilatorul. Amplificarea semnalului este de 105 106 ori.
In cadrul celei semiconductor: Detectorul are n construcia sa un material
semiconductor, care i modific conductibilitatea cnd un fascicul de electroni de mare
energie cade pe suprafaa sa. Crete energia electronilor din banda de valen a
semiconductorului, care salt n banda de conducie. Fluxul de fotoni transferai i
implicit conductibilitatea semiconductorului sunt funcie de intensitatea fluxului de fotoni
care a atins detectorul. Amplificarea este de 103 104 ori.
Tipuri de semnale :1.electroni retroimprastiati 2. electroni secundari.
1. Electronii retromprtiai sunt electronii incideni care se rentorc din solid n urma
ciocnirilor elastice cu atomii. Ciocnirile elastice sunt acele interacinui ale electronilor cu
atomii din solid prin care se schimb ntmpltor traiectoria electronilor, fr s fie
alterat energia cinetic. Electronii retromprtiai se ntorc de la o adncime de 1.5 m.
Dac diametrul fascicului incident este de 5 nm, diametrul fisciculului electronilor
retromprtiai este de cva m, i limiteaz rezoluia SEM.
2. Electronii secundari apar n urma ciocniriulor inelastice a electronilor incideni cu
atomii din solid, cnd electronii i pierd energia lor. Crete energia electronilor din banda
de conducie. Astfel sunt expulzai electroni din banda de conducie ca electroni

secundari. Electronii secundari vin de la o adncime de 50 500 , iar numrul lor este
ntre1/5 din numrul electronilor retromprtiai. Diametrul fasciculului electronilor
secundari este cu puin mai mare dect cel incident.
TRAIECTORIA ELECTRONILOR RETRIMPRTIAI DIN SOLID
Traiectoria electronilor i volumul de mprtiere pentru un fascicul de electroni incideni
cu energia de 20 keV. Simulare traiectorii pentru 5 i 100 de electroni.
APLICAII ALE MICROSCOPIEI ELECTRONICE DE SCANARE
Microscopia electronic de scanare este prima etap n studiul morfologiei i topografiei
suprafeelor (de exemplu a suprafeelor obiectelor biologice) fr a se obine ns informaii despre
modul de organizare n profunzime (referitoare la structurile lor interne).
Microscoapele electronice de scanare sunt integrate cu microsonda electronic. In
micrsocopia electronic se msoar semnalul electronilor retromprtiai sau a
electronilor secundari emii de prob. In microsonda laser se msoar semnalele de
emisie a razelor X caracteristice atomilor elementelor din prob .
PROBELE ANALIZATE PRIN SEM
Probe metalice (aliaje, oeluri), pentru identificarea incluziunilor i ruperii acestor
materiale
Materiale silicatice, incluziuni metalice n zguri
Analiza probelor geologice

Microscopia electronic de baleiaj (SEM)


n timp ce n microscopia electronic de transmisie (TEM) imaginea se formeaz datorit
electronilor transmii (care pot trece prin preparat), n microscopia electronic scanning
(SEM) imaginea se obine prin detectarea i msurarea fluxurilor electronice
dispersate sau emise (electroni secundari) de pe suprafaa specimenului. Deci
, cu ct suprafaa specimenului va dispersa (reflecta) n mai mare msur electronii fasciculului cu
att imaginea obinut va fi mai bun. Proprietile reflectorizante ale suprafe
elor specimenelor sunt amplificate prin acoperirea lor cu un strat subire de metal greu
(aur, platin, aliaj aur-platina etc.). Pe suprafaa specimenului este proiectat un fasicicul f
oarte ngust de electroni care parcurge ntr-

un mod ordonat ntreaga sa suprafa (baleiere,scanare). Detectorul de electroni


dispersai (reflectai) sau secundari (emii din specimen n
urma coliziunii cu electronii fasciculului primar) msoar punctiform proprietile acestora traducndu-le
ntr-un semnal luminos pe ecranul unui monitor. Imaginea specimenului pe ecran se reconstituie pe
baza semnalelor ( imaginilor) punctiforme datorate electronilor dispersai sau secundari
detectai.Microscoapele de baleiaj permit diferene mari ntre planurile de focalizare, deci
faciliteaz examinarea suprafeelor unor obiecte relativ mari. Deoare
ce cantitatea
electronilor dispersai este dependent i de unghiul dintre suprafaa specime
nului ifasciculul de electroni, imaginea obinut va fi mai luminat sau mai umbrit. Se amplific
astfel aparena de tridimensionalitate -spaialitate.Microscoapele electronice de baleiaj sunt mai
mici i mai puin costisitoare n
comparaie cu microscoapele electronice de transmisie. Microscoapele de baleiaj(cele uzuale) nu au
o rezoluie foarte mare ci doar de aproximativ 10nm; mrirea efectiv( obinut n aparat) este de
pan la 20.000 de ori.n concluzie, microscopia electronic de baleiaj poate fi utilizat n
mod curent pentru ivestigarea celulelor ntregi, a esuturilor, a fragmentelor de organe
( de exemplu, afragmentelor de frunze, rdcini etc.) sau chiar a unor organisme de
dimensiuni adecvate(unele insecte, de exemplu).n ultimul timp, sa reuit o mbuntire substanial a rezoluiei n
microscopia electronic de baleiaj reducndu-se mult diferena fa de
TEM. Au fost produse instrumente care permit o rezoluie de 0,5-1 nm, deci, o vizualizare
direct,tridimensional, a unor detalii de nivel molecular. Acest nou domeniu al

Bibliografie : http://www.mdeo.eu/mdeo/AD/docs/SEM_seminar_2012.pdf
https://www.scribd.com/doc/98303871/Microscopia-electronica
itee.elth.pub.ro/~cirstcon/prezentare%20microscop%20(1).doc
xa.yimg.com/kq/groups/19519294/224258406/name/Curs+7.ppt