Sunteți pe pagina 1din 18

Microscopia electronica

Indrumator:Munteanu Daniel
Masterand:Riciu Roxana Adelina

Cuprins
1 Notiuni generale
2 Tipuri de semnale
3 Microscopia TEM(Transmission Electron
Microscopy )
4 Microscopia SEM (Scanning electron
microscope)
5 Microscopia ESEM

Un microscop este un instrument optic de


mare precizie, care foloseste o lentila sau
o combinatie de lentile, pentru a produce
imagini mult marite ale unor specimene
sau obiecte mici in special atunci cand
sunt prea mici pentru a le observa cu
ochiul liber.
Prin microscopie se intelege folosirea unui
microscop sau investigarea cu ajutorul
microscopului
n microscopia electronic fasciculul de
lumin este nlocuit cu un fascicul de
electroni accelerai

Figura 1.1. Semnalele rezultate n urma interaciei dintre fasciculul


de electroni i corpul solid

Electroni retroimparstiati
(reflectati elastic)

Fascicul electronic
incident

Electroni secundari
(emisi)

Radiatii X
Radiatii infrarosii
Radiatii luminoase
(fotoni optici)

Microscopie
electronica cu
baleiaj sau de
tip analitic

PROBA

Electroni
absorbiti

Curent indus

Imprastiere elastica
necoerenta
Imprastiere neelastica

Imprastiere elastica
coerenta
Fascicul nedeviat
de electroni transmisi

Microscopie
electronica prin
transmisie,
microsopie
electronica cu
baleiaj prin
transmisie,
analiza
dispersiva in
energie

2. Tipuri de semnale
Tipul semnalului, compoziia probei i
tensiunea de accelerare au un efect
asupra rezoluiei microscopului, prin
modificarea mrimii i formei
volumului de interacie. n cele mai
multe cazuri volumul de interacie
este semnificativ mai mare dect
mrimea spot-ului, iar acest volum
va deveni limita actual a rezoluiei.

2.1. Electronii secundari


Electronii secundari (SE) sunt electronii
atomilor din prob care sunt ejectai n
mediu datorit interaciei cu electronii
primari din fascicul. n general, ei au
energii foarte mici (prin convenie mai mici
de 50 eV).
Datorit faptului c au energii foarte
mici, acest tip de electroni poate scpa din
suprafaa probei doar dintr-o regiune de
foarte mic adncime.
Prin urmare, electronii secundari ofer
imagini de cea mai bun rezoluie

2.2. Electronii retrodifuzai


Electronii retrodifuzai (BSE), sunt
electronii primari care au fost mprtiai
n afara suprafeei probei, datorit
ciocnirilor elastice cu nucleele din atomii
probei.
Aceti electroni posed energii mari,
cuprinse (prin convenie ntre 50eV i
tensiunea de accelerare a fasciculului).
Acest tip de electroni provin dintr-un
volum mai mare de interacie cu
substana, ceea ce contribuie la pierderea
rezoluiei n imaginile de electroni
retrodifuzai

2.3. Recombinarea i
catodoluminiscena
Prin interaciunea unui fascicul incident
cu o prob, muli electroni secundari
produi nu pot prsi proba i sunt
anihilai, n urma mprtierilor, prin
procese de recombinare electron-gol.
Dac procesul de recombinare este nsoit
de emisia de fotoni optici, apare
fenomenul de catodoluminiscen.
Mecanismul acestei fotoemisii este similar
cu luminiscena n sensul c este stimulat
de o serie de elemente active, aflate n
cantiti foarte mici n aria probei
bombardate cu fasciculul de electroni

2.4. Emisia de radiaii X i electroni


Auger
Emisia de radiaii X se produce dac un
electron de pe un nivel energetic inferior este
excitat de fasciculul primar de electroni i trece
pe un nivel energetic superior, sau prsete
complet atomul (fotoelectron).
Locul vacant este ulterior ocupat de un alt
electron care cade de pe un nivel energetic
superior i emite un foton de radiaie X, de
energie h egal cu diferena dintre energiile
corespunztoare celor dou niveluri energetice
ntre care a avut loc tranziia.

Microscopia cu electroni poate fi


impartita in doua mari categorii:

-de transmisie, in cazul specimenelor


aproape bidimensionale sau de
investigare a suprafetei in cazul celor
tridimensionale
-de scanare, Microscopul Electronic cu
Scanare (SEM - Scanning Electron
Microscope), Microscopul Electronic cu
Scanare in Mediu (ESEM Environmental SEM) , Microscopul
Electronic cu Reflexie (REMReflection Electron Microscope),

3.Microscopia TEM (Transmission Electron


Microscopy )
Foloseste un fascicul de electroni
accelerati si focalizat de o serie de
lentile magnetice care sunt transmise
prin specimen.
Rezolutia TEM-ului are o limita
fundamentala data de aberatiile de
sfericitate, dar in noile generatii de
microscoape aceasta aproape a fost
eliminata.

Fig.2 Coloana TEM

4. Microscopia SEM (Scanning electron


microscope)
Spre deosebire de TEM unde fasciculul
de electroni emergent contine intreaga
imagine a specimenului analizat, in cazul
SEM-ului, la un anumit moment de timp,
fasciculul emergent poate sa contina doar
o informatie locala (un 'pixel' ) din
imagine.
Pentru a putea reproduce imaginea
intreaga, este nevoie ca fasciculul de
electroni sa baleieze pe intreaga suprafata
a specimenului.

Fig.3 Compunentele principale ale SEM-ului: coloana,


camera, sistemul de vidare

Fig.4 Microscop electronic de baleiaj


(SEM/ESEM EDAX) QUANTA 200

Domeniu de utilizare:
probe conductoare sau/si probe care se
examineaza pregatite conventional(metalizate);
probe neconductoare posibilitatea analizarii
fara pregatire (nemetalizate);
probe incompatibile cu vidul: functionare in
mod ESEM (presiunea mediului) (probe cu
continut de apa, de exemplu hidrogeluri);

Putere de rezolutie:
3,0 nm pt imagini cu electroni secundari ( SE
Imagini in toate cele trei moduri de
functionare);
4,5 nm pt imagini cu electroni retrodifuzati;

Tensiune de accelerare: 200 V 30 kV;


Marire: maxim 1 000 000X.

5.Microscopia ESEM
Importanta sa deriva din faptul ca este
singurul tip de microscop cu electroni care
nu este limitat la functionarea in vid.
Din acest motiv se poate folosi pentru
examinarea celulelor vii in mediul lor
natural sau in aerul atmosferic. Marea
inovatia a acestui dispozitiv consta in
sistemul de pompare diferentiala: intre
sursa de electroni si specimen exista mai
multe niveluri diferite de pompare.
. Cu cateva diferente, in cazul ESEM-ului
imaginea se formeaza ca in cazul SEMului.

Va multumesc!