Capitolul III

Obinerea vidului. Clasificarea pompelor

3.1. Introducere
3.2. Topologia pompelor de obinere a vidului
(pompe rotative cu sigiliu de ulei, pompele duble rotor, pompa turbomolecular, pompe cu jet
de abur, pompe zeolit, pompe magnitosarcine)
3.3. Avantajele i dezavantajele diferitelor tipuri de pompe de vid nalt
3.5. Metode de control al vidului
3.6. Particularitile crerii vidului supranalt
3.7. Concluzii

 3.1. Introducere
n baza cptrii vidului stau dou principii: primul nlturarea gazului din vasul pompat n
afara sistemului vidat, al doilea este legarea gazului n sistemul vidat. Primul principiu este
realizat de pompele deplasrii gazului.
Deplasarea masei de gaz poate fi produs periodic, n cantiti limitate sau continuu. Pentru
evacuarea unei porii de gaz este necesar de izolat n camera de lucru a pompei un volum
anumit de gaz, de-l deplasat de la conexiunea de intrare a pompei la conexiunea de ie ire a ei,
de comprimat n procesul deplasrii pn la o presiune mai mare dect presiunea n sec iunea
de ieire a pompei. Apoi de evacuat gazul n afara pompei. Pompele de vid, care pompeaz
gazul n porii aparte n rezultatul variaiei periodice a volumui i a pozi iei camerei de lucru
se numesc pompe de vid voluminoase. Pompe de vid voluminoase sunt doar pompe mecanice,
adic astfel de pompe, aciunea de pompare a crora se bazeaz pe deplasarea gazului n urma
micrii mecanice a componentei de lucru al pompei.
Pentru eliminarea continu a moleculelor neutre a gazului este necesar de avut un corp, care
continuu s extrag i s deplasze gazul. Un astfel de corp poate fi o suprafa solid n
micare continu sau un jet de lichid, vapori sau a unui gaz. La ciocnirea cu partea solid
dinamic i n rezultat al frecrii interioare moleculele gazului capt o direcie de benificiu al
micrii. Pompele mecanice, aciunea de evacuare al crora se bazeaz pe excluderea gazului
nlturat cu suprafee solide n micare continu, au cptat denumirea de moleculare,
deoarece parile mobile ale pompei acioneaz asupra moleculerlor n parte.
Pompele de vid, n care se realizeaz al doilea principiu de creare a vidului, au primit numirea
pompe de sorbie. Gazul n pompele de sorbie se leag de reproductor (reproductor
substana, ce se aplic pentru hemosorbia gaelor n sistemele vidate), de asemenea se
sorbeaz i condenseaz pe suprafaa rcit.
Parametrii de baz al pompelor de vid.
Viteza de aciune al pompei reprezint volumul gazului evacuat n unitate de timp prin
conexiunea de intrare al pompei:
S H =dV /dt ( l/s , m3 / h ) (3.1)
Viteza efectiv al evacurii pompei (Sef) reprezint volumul gazului, ce nimerete ntr-o
unitate de timp din volumul pompat n conduct. Ea depinde de rezistena conductei.
Performana pompei de vid caracterizeaz consumul gazului n seciunea de intrare al pompei
pentru presiunea dat i se exprim n m3Pa/s. Este simplu de artat, c performana pompei
este produsul vitezei de evacuare cu presiunea, la care ea a fost msurat:
Q= p S H (3.2)
S indicm legtura ntre cele trei caracteristici de baz a sistemului vidat: viteza de ac iune a
pompei SH, rapiditatea efectiv a evacurii Sef i conductibilitatea sistemul vidat ntre pomp i
obiectul pompat U:
Q U ( p 1 p2 )
SH = =
,
p2
p2
S ef =

Q U ( p1 p2 )
=
.(3.3)
p1
p1

Dac de transcris (3.3) n forma

p2
p1
1
1
=
, =
,
S H U ( p1 p 2 ) S ef U ( p 1 p2 )
atunci la scderea primei expresii din a doua, obinem

1
1
1
= .(3.4 )
S ef S H U
Ecuaia (3.4) se numete ecuaia de baz a tehnicii de vid, care poate fi redat n forma:
S ef =

U SH
.(3.5)
U +S H

Pentru condiia SH = U din (3.5) obinem, c Sef = 0,5SH.

Presiunea maxim a pornirii pompei de vid este valoarea maxim a presiunei n sec iunea ei
de intrare, pentru care pompa poate ncepe lucrul.
Presiunea maxim de lucru al pompei de vid este valoarea maxim a presiunei n sec iunea
de intrare, pentru care pompa n timp ndelungat pstreaz viteza de aciune.
Presiunea de limit remanent, presiune maxim de pornire, presiunea maxim de lucru i
presiunea maxim de ieire se exprim n unitile presiunii gazului Pa (pascali) i n alte
uniti derivate.
Presiunea maxim de ieire reprezint cea mai mare presiune n seciunea de ieire a
pompei, pentru care pompa nc este capabil s efectuieze evacuarea, adic s efectueze
transportul de mas a gazului din partea cu presiune joas n partea cu presiune mai nalt.
Aceast mrime este una din principalele caracteristici ale pompelor moleculare i de alte
tipuri, n care se efectuiaz deplasarea gazului, n particular ale pompelor ejectoare.
n capitolul dat sunt precutate tipurile de baz a pompelor, ce se utilizeaz la catedrele
specializate n vidul electronic. Unele tipuri n parte nu sunt reflectate n lucrarea dat, din
cauza volumului limitat, cu particularitile lor se poate de fcut cunotin n literatura citat.

3.2. Topologia pompelor de obinere a vidului

Pompe rotative cu sigiliu de ulei.

Pompa de vid rotativ cu sigiliu de ulei este un element obligatoriu al majorit ii sistemelor
vidate. Cu ajutorul ei se creaz depresiunea preventiv n sistemele vidate i presiunea
foreline la ieirea din pompele de vid nalt cu deplasarea gazului. Pompele de vid rotative cu
sigiliu de ulei se atribuie la pompele de vid cu aciune volumetric. O rspndire mai larg au
cptat trei tipuri de pompe rotative cu sigiliu de ulei: cu palete statice, cu palete rotative i

pompe cu piston. Pompe cu palete statice de obicei cu productivitate mic, cu palete rotative
cu productivitate medie i pompele cu piston de productivitate medie i nalt.

Figura 3.1. Pompa de vid cu palete statice

Pe fig. 3.1 schematic este indicat pompa de vid cu palete statice. n corpul static 1 pe axa 2
excentric este situat rotorul 3. Volumul efectiv a camerei de lucru al pompei, format din
suprafaa interioar a corpului statorului 7 i a suprafeei exterioare al roturului 3, paleta 4 se
divizeaz pe cavitatea de aspiraie I i cavitatea de comprimare II. Paleta 4, situat n
seciunea corpului pompei, cu ajutorul resortului 5 prin manivela 6 strmt se alipe te de
rotorul 3. La rotaia rotorului 3 n direcia indicat de sgeat, gazul din vasul de evacuare,
care nu este indicat pe desen, prin supapa de intrare 7 umple cavitatea ce se mre te n volum
I. n acest timp gazul n cavitatea II se comprim. Cnd presiunea gazul asupra supapei 8
depete presiunea atmosferic i efortul creat de resortul 9, supapa 8 se deschide, i gazul
din cavitatea II va fi evacaut n atmosfer. La rotirea n continuare a rotorului 3, trecnd de
palaeta 4 i ieirea supapei de intrare 7 la supapa de ieire 8, se comprim n cavitatea II i
este strmutat sub supapa 8 n atmosfer. La fiecare urmtoare rota ie por ia urmtoare de gaz
se disparte de volumul pompat, iar precedenta se strmut n atmosfer. n pompa cu palet
static timp de o turaie a rotorului se petrece un ciclu de pompare, adic se strmut de la
volumul pompat i se evacuiaz doar o porie de gaz.

Figura 3.2. Pompa de vid cu palete rotative

Pe fig. 3.2 schematic este indicat pompa cu palet rotativ. n camera de lucru cilindric 1
simetric fa de ax (nu este indicat pe figur) este situat rotorul 2, axa cruia O / este abtut
relativ axei camerei de lucru O//. n fanta de trecere a rotorului sunt situate plcile 3 / i 3//. Ele
sunt strnse cu resortul 4 de corpul pompei. n locaia rotorului, indicat pe fig. 3.2a, plcile 3/
i 3// i planul tangenei rotorului cu statorul volumul efectiv este divizat n trei cavit i: I
cavitatea de absorbie, II cavitatea de deplasre i a comprimrii par iale a gazului, III
cavitatea de evacuare a gazului. La rotaia rotorului n direcia indicat de sgeat, cavitatea I
se mrete i cantitatea adugtoare de gaz din vasul pompat prin supapa de intrare 5
nimerete n camera de lucru al pompei. Cavitate II se micoreaz n volum, n ea se petrece
comprimarea gazului. Cavitatea II se micoreaz i gazul din ea prin canaluol de ie ire sub
supapa 6 se evacuiaz din pomp. La poziia rotorului, indicat pe fig. 3.2b, se termin
evacuarea gazului din cavitatea III. La rotirea n continuare a rotorului cavitatea II trece n
cavitatea III, adic se ncepe momentul, cnd apare posibilitatea de a evacua urmtoarea
porie de gaz (fig. 3.2c). n poziia rotorului, idicat n fig. 3.2d, cavit ile I i II comunic
ntre ele. Doar cnd rotorul se va roti cu 180 0 de la poziia iniial i va ocupa poziia indicat
n fig. 3.2a, se petrece desparterea cavitilor I i II, i de la volumul pompat se evacueaz
urmtoarea porie de gaz. n acest moment cavitatea II are volumul maximal. n pompa
rotativ cu palete timp de o turaie a rotorului se petrec dou cicluri de evacuare, adic se
aspir din volumul pompat i se evacueaz din pomp dou porii de gaz.
n fig. 3.3 schematic este indicat pompa cu piston. n corpul pompei este o camer cilindric
de lucru, n care se rotete excentric rotorul 2 cu pistonul mbrcat pe el 1.

Fig. 3.3 Pompa de vid cu piston

a finisarea perioadei de evacuare i nceputul perioadei de absorbie
b stare intrermediar
1 piston; 2 rotor; 3 canal izolat; 4 supapa de ie ire invers deschis; 5 supapa de
ieire invers deschis; 6 apa, ce rcete statorul pompei; 7 balama.

Pistonul const din parte cilindric, ce cuprinde excentrilcul 2, i o parte dreptunghiular

goal 1, ce liber n canilura balamelei. La rotirea prii plane a pistonului canilura 7 liber se
rotete n cuibul corpului pompei. n aceast pomp pistonul are canalul 3, prin care gazul din
vasul pompat nimerete n camera pompei.
Posibilitatea nimerirei contracurentului de gaz la intrarea n pomp aici n mare msur se
limiteaz datorit nchederii mai alterioare a ieirei la micarea pistonului; spaiul parazit de
asemenea poate fi micorat. Etaneitatea contactului rotorului cu cilindru n pompele de
tripurile examinate este mai bun, dect n pana ntre rotor i cilindrul este un strat mai gros de
ulei; n plus, aceste pompe genereaz mai puin zgomot. Pompele mecanice produc pomparea
de volum, pornind de la presiunea atmosferic. Ei deplaseaz gazul pompat n atmosfer. De
aceea, n ceea ce privete pompele mecanice nu sunt acceptate pentru a utiliza caracteristici
precum presiunea maxim de lucru, presiunea maxim i au presiunea mare de ieire.
Principalele caracteristici ale pompe de vid mecanice cu sigiliu de ulei limiteaz presiunea
rezidual i viteza de aciune.
Viteza de aciune al pompelor mecanice cu sigiliu de ulei este practic independent de genul
gazului pompat.
Presiunea rezidual a pompelor cu sigiliu de ulei este determinat prin proiectarea pompei i
proprietile fluidului de lucru. n calitate de fluid de lucru a sigiului se utilizeaz uleiuri
utilizate n mod normal derivate din industria petrolului mineral. n afar de cerin ele
obinuite (viscozitatea aciditate sczut necesar, pentru proprieti bune de lubrifiere, i aa
mai departe) pentru uleiuri pentru pompe de vid cerine suplimentare: o presiune a vaporilor
sczut la intervalul de temperatur de funcionare a pompei, o valoare mic a absorb iei de
gaze i vapori, viscozitate stabil cu variaia temperaturei, de rezisten nalt subire (0.050.10 mm) pelicula de ulei din decalajul poat rezista la o diferen de presiune egal cu
presiunea atmosferic.
Gazul rezidual (gaz rmas n sistemul de vid, dup pompare) al pompei de vid mecanica cu un
sigiliu de ulei cuprinde gaze ale mediului pompat, de asemenea vapori i produse de
descompunere ale fluidului pompat. ntr-o pomp de vid mecanic, ca n orice pomp de
deplasare a gazului, mpreun cu direcia curentului principal exist un flux invers de
pomparea gazului de refulare al pompei n vasul evacuat. Gazele intr n seciunea de admisie
a pompei de ulei n circulaie i este, prin urmare, scurgerile se petrec prin golul din
mecanismul de pompare. Degradarea uleiului apare, ca rezultat al apariiei temperaturilor
locale ridicate n domeniul contactului direct dintre suprafeele metalice nm urma frecrii.
Formate n acest ulei soluii, hidrocarburi volatile determin n mare msur limita de
presiune pompa reziduale, deoarece acestea au o presiune de vapori semnificativ mai mare
dect fluidul de lucru. Caracteristicile de stabilitate ale pompei cu sigiliul de ulei sunt
determinate de mrimea diferenei dintre suprafeele muta fa de cellalt, cantitatea i
calitatea uleiului livrat n camera de lucru pentru lacune i lubrifierea suprafe elor frecare
etanare lor. Viteza maxim de aciune i presiune rezidual minim de realizat cu acest aflux
de ulei n camera de lucru, care asigur o etanare sigur i gol, i eliberarea rezervorul de ulei
la evacuare de stratul superior al uleiului cu dizolvarea n acesta gazului pompat.

Exploatarea i ntreinerea
Lucrul majoritii pompelor de ulei-sigilate este nsoit de o vibraie vizibil. De aceea,
comunicarea cu sistemul de conectare pompa de vid trebuie s includ un burduf sau
decuplare a tubului elastic flexibil, de exemplu, un furtun de cauciuc vid. Pompe mici cu
vitez de pn la 7,5 l / s sunt adesea instalate direct pe podea, plasarea lor pe foaia de cauciuc
pentru a reduce zgomotul i de a preveni deplasarea lor n timpul funcionrii.
Startul pompei de vid mecanice cu sigiliu de ulei este nso it de stropirea uleiului n
conductele de admisie i de evacuare. n plus, operarea pompei n presiunii de admisie de
presiunea rezidual de 10 Pa este nsoit de un flux de retur destul intensiv a hidrocarburilor
din intrarea vasul pompat. Fluxul de hidrocarburi revers variaz pentru diferite pompe, i
depinde de starea pompei, uleiul folosit i modul de funcionare a pompei i este n intervalul
de 1x10-7 - 2x10-7 g / (cm2 x min) la 5x10-5 - 1x10-4 g / (cm2 x min). Intensitatea maxim
observat cnd fluxul invers al pompei la o presiune rezidual. Pompe serie unic HV flux
invers de hidrocarburi se ridic la 510-7 - 1,310-6 g / (cm2 x min).
Un alt dezavantaj al pompelor de ulei-sigilate este formarea aa-numi ilor vapori de ulei care
iese duza de evacuare a pompei sub form de fum alb albstrui timpul func ionrii n
presiunea de intrare a pompei 1x102-3x104 Pa (0,7-200 mm col Hg). Astfel, un mecanism al
pompei de vid cu ulei sigilate, n unele cazuri, se dovedete a fi o surs major de poluare i
instalaiile de producie din vapori de hidrocarburi.
Prin urmare, pentru a proteja zona de producie de la contaminarea cu priza de vapori de ulei a
pompei cu ajutorul furtunului de cauciuc-pnz sau eav din metal pentru conectaterea la
eava de eapament.
Pentru a proteja volumul pompat de pulverizare petrol a utiliza o configura ie special a
conductei de intrare (fig. 3.4), sau stropi de paz.

Fig. 3.4. O conduct de admisie la o pomp mecanic de ulei sigilat

1 - sigiliu de ulei pompa de vid mecanica;
2 - conducta de racordare; 3 - expansiune burduf.

Aici, diametrul convenional (Dc) egal cu diametrul conductei de legtur seciunea de

admisie a pompei, o lungime dorit a prilor verticale i orizontale, exprimat n termeni de
diametrul evii prezentate n desene. O astfel de conduct de petrol elimin stropirea
volumului pompat i creeaz condiii pentru condensarea i revenirea la partea semnificativ
de vapori de ulei pompa.
Mai multe pompe cu sigiliu de ulei au un neajuns major. La oprirea uleiul pompei con inut n
rezervorul de ulei al pompei la presiunea atmosferic umple camera de lucru a pompei, n care
vidul este reinut, iar situat n admisie i uneori chiar n vasul evacuat, n cazul n care este
conectat la pompa conducta scurt. Dup aceea, lansarea ulterioar a pompei va fi dificil.
Admiterea aerului n conducta de admisie, imediat dup oprirea creterii de ulei elimin i
faciliteaz lansarea ulterioar. Pentru un timp n vasul de vid evacuat pentru a men ine n
eava conectarea pompei la volumul pompat, i setai supapa de mai jos l pe conducta - a doua
(simulat) valva. Conexiunea circuituilui ce unete pompa cu vasul pompat este prezentat n
fig. 3.5.

Fig. 3.5. Schema electric a vidului mecanice

pompa sigiliu de ulei:
1 - pompa; 2 - dispozitiv de ndeprtare a uleiului; 3 float al pompei; 4 - conducta de
legtur; 5 supape

Cel mai adesea pe pompa mecanica pentru comunicaii de urgen i de admisie a aerului
suprapunerea sczut vid a pompei supapele magnetice de serie instalate, care sunt activate
automat la pornirea i oprirea pompei. Un alt mod de a proteja impotriva ridicarea cantitatea
de ulei pompat - producia n conducta de admisie a supapei pompei plutitor, care este blocat
de ulei n cretere.

O mare parte a consumului de energie a pompei este cheltuit privind circula ia constant a
filmelor de petrol, care servesc pentru a sigila golurile. In timpul pornirii pomp la
temperatura camerei i vscozitatea, respectiv sarcina motorului este maxim. Prin urmare,
primul moment este s nu ncarce debitul de gaz pompa mare.
Dup activarea suprafeele de lucru nclzi rapid i vscozitatea uleiului i efectele sale
inhibitorii sunt reduse. Totui pomp ncepe cu uurin realizat la presiune atmosferic n
eava de aspiraie a pompei, chiar i atunci cnd camera de lucru nu este umplut cu ulei. Prin
urmare, includerea pompa urmtoarea succesiune. Cu supapa nchis (fig. 2.6) i presiunea
atmosferic n conducta include o pomp. Pomp 3apusk este mai bine pentru a produce
ocuri n cele dou sau trei tehnici, inclusiv i imediat oprirea motorului. Dup 1-2 minute
dup pornirea pompei de pompare vas evacuat. Pentru a evita eliberarea excesiv de ulei din
eava de evacuare a pompei, robinei pompa cu vas pompat deschide treptat. Lime de band
mic este uor supapa deschis restricioneaz fluxul de gaz la intrarea n pomp, iar acest
lucru impiedica eliberarea de ulei.
Atunci cnd funcioneaz pompa atenia ar trebui acordat pentru men inerea calit ii i
cantitii de ulei turnat n pomp. Astfel de solveni ca benzen, aceton, tricloretilen, etc., nu
este complet detaat de pe suprafeele de pompe ale prilor, dup ulei de splare contamina,
i degrada proprietile rmase creterea presiunii limit.
Un mod eficient de a preveni condensarea vaporilor n pomp este o aa-numitele gaze balast
ce se suprapun n cavitatea de comprimarea a camerei de lucru a pompei. Dispozitivul pentru
intrarea gazului balast la pomp, cum ar fi aerul, numit dispozitiv balast de gaz i o pomp
echipat cu un astfel de dispozitiv, - pompa balast de gaz. Acum pompele sunt disponibile cu
aparatul balast de gaz.
Admisia a gazului balast urmeaz s se fac atunci cnd este separat de por iunea de gazul
evacuat deja din vas, dar gradul de comprimare a gazului pompat este nc redus. Aceast
condiie corespunde cu amplasarea canalului de ieire pentru intrarea balast de gaz pe
suprafaa de capt a camerei de lucru. Pn n momentul de deschidere a dispozitivului supap
supap de evacuare este nchis i balastul de gaz abur necondensat, mpreun cu gazul de
balast este evacuat din camera de lucru a pompei prin supapa de evacuare.
Dac n timpul funcionrii a pompei de vid mecanic cu sigiliu de ulei nu asigur presiunea
rezidual este necesar, acest lucru poate fi explicat
1) lipsa de ulei n pomp;
2) calitatea sau contaminat cu vapori de ulei de condensare slab;
3) suprafeele cauciucate de lucru;
4) supape contaminate, coroziune sau canal de evacuare rupt;
5) defalcarea arcurilor, lamele de presare din paleta stator, i pompele cu palete rotative;

6) canale de contaminare de alimentare ulei n camera de lucru a pompei;

7) ruperea unor pri ale pompei.
Resursul mediu al pompei mecanice de vid cu revizia sigiliu de ulei de cel puin 12 - 15 de
mii ore, resursele pompelor mai mari sunt mai sczute fa de pompele mici i medii. Pe
parcursul duratei de via a pompei are loc la o medie de circa 10 eecuri.
Pompe cu dublu rotor

Diagrama pompei cu dou rotoare este prezentat n Fig. 3.6. Carcasa camerei oval lucreaz
1 rotirea sincron dou rotoare 2, n seciune transversal asemanatoare cu o cifra 8. Poziia
secvenial a rotorului n timpul rotaiei este prezentat schematic n fig. 3.7. Sincronicitate
este prevzut fixat pe conexiunea de viteze arborelui rotorului 3, a fcut n afara camerei de
lucru. Lubrifierea angrenajelor i lagrelor de sprijin realizate prin pulverizarea uleiului din
baia de ulei. Baia de ulei cavitate format de carcas i capacul 4 i 5, este sigilat. Arborele de
antrenare de ieire este sigilat manet. Pentru etanare sigur a arborelui i de a cre te
resursele maneta la ctuele 6 sfarcurile furnizate n mod constant de ulei. Pompele dublu
rotor utilizat pentru a pompa de ulei la simeringul.

Fig. 3.6. Schema pompei cu dublu-rotor

Fig. 3.7. Poziia succesiv a rotorului n timpul funcionrii sgeile indic direcia de curgere
a gazului pompat i rotaia a rotoarelor

Acesta dispune de pompe cu dublu-rotor prezena unor lacune destul de mare n mecanismul
rotativ. Dac pompele de gaz considerate anterior scurgerii de la n vigoare doar atunci cnd
presiunea de admisie, aproape de rezidual, iar alteori ele pot fi ignorate, pompa dublu rotor
este necesar pentru a le considera n mod constant ca acestea sunt comparabile cu flux
pompat. Debitul de rotoare deplaseaz gazul este constant i determin dimensiunile
geometrice ale camerei de lucru i viteza rotorului. Cantitatea de gaz, care curge prin golul
depinde de tipul de gaz i diferena de presiune la intrarea i ieirea pompei. Astfel, devine
evident dependenta de viteza de aciune i pentru a limita presiunea rezidual din tipul de gaz
pompat i presiunile de intrare i de ieire. n sistemul de vid, pompa de dou rotor este
ntotdeauna de lucru n serie cu o pomp suport (de obicei sczut vid pomp mecanic cu un
sigiliu de ulei). Pomp cu dou rotor, deoarece mbuntete pompa suport: reducerea
limitarea presiune rezidual, mrete viteza de aciune n domeniul presiunii de intrare relativ
sczut, reduce fluxul invers de hidrocarburi.
Exploatare i ntreinere
O mare parte din care se refer la pregtirea pentru funcionarea pompelor, sigiliu de ulei, i
se refer la pompele cu dou rotoare. n special, similar cu instalarea pompei. ntre pompa
rotativ dublu i pomp suport de expansiune necesar declaraia comun.
Creterea funcionarea presiuni reziduale pompa dou rotoare adesea explicat prin apariia
unei scurgeri n conexiunea flan. Acest lucru este uor de vzut din faptul c presiunea de
refulare este uor mai mare dect valoarea normal. Un alt motiv pentru cre terea presiunii
reziduale poate fi o pomp problem suport. Cnd gsirea motivele pentru creterea presiunii
rezidual de peste pompele cu dou rotoare trebuie mai nti convins de serviciu a pompei
suport, iar apoi a explora pompa twin-rotor. Caneluri superficiale i zgrieturi pe rotoarele nu
afecteaz caracteristicile pompelor cu dou rotoare.

Pompa turbomolecular

Pompa turbomolecular combina principiile tragerii moleculare i compresor axial. La acest

punct de pe circumferina rotorului au o vitez liniar de ordin molecular (430 m/s). Prin
urmare, astfel de arbore pompele trebuie s se nvrt cu o vitez de 10000-60000 rota ii/
minut, n funcie de diametrul pompei.

Comparativ cu multe alte pompe ultra-vid, pompe-turbo molecular au o serie de avantaje:

ntotdeauna gata de utilizare, rapid (10-15 min) ncepe, insensibilitate la o cretere brusc a
presiunii (pn la presiunea atmosferic), o gam larg de presiuni de funcionare (10 -7-10-1
Pa) este de aproximativ aceeai vitez de aciune pe majoritatea gazelor este rata de compresie
extrem de mare (1015) pentru gaze cu o greutate molecular mare (M 44). nalt compresie
asigur presiunea la intrarea de hidrocarburi pompei turbomoleculara nu mai mare de 10-15
Pa (10-3 torr), adic vid practic fr ulei la o presiune de cel forevid 1-13 Pa (7x10 -3 - 0,1
torr), corespunznd la o presiune rezidual de majoritatea pompe de ulei-sigilate. Mare
influen asupra caracteristicilor de proiectare pompei ofer uniti de sprijin: pentru rulmeni
lubrifiate, lagre magnetice sau pern de gaz.
Scheme pompe cu poziia orizontal i vertical a arborelui de rotor prezentat n Fig. 3.8.
Carcasa 2 este poziionat fix de roata stator 4, care se rotete ntre roata 3 montat pe rotorul
1. Discurile rotor fcute n form de discuri cu fante. Roile statorului sunt aranjate specularly
fante de aceeai form.
n poziia orizontal a rotorului din debitul de gaz pompei dup intrarea n ramurile eav de
aspiraie n dou fluxuri, care sunt conectate la eava de eapament.

Fig. 3.8. Schema pompelor turbomoleculare:

a) - cu arbore orizontal; b) - un arbore vertical

Datorit ratei de compresie sczut n fiecare etap a pompei turbo pot crete distan ele de
funcionare. Cnd axa rotorului cu diametru de 200 mm (intre roi) i radial (ntre carcas i
roata rotorului sau rotor i stator roata) autorizaii pot fi 1-1,2 mm, care pot mbunt i n mod
semnificativ fiabilitatea muncii lor. Distane Creterea, reducnd rata de compresie a pompei,
are un efect redus asupra vitezei sale de aciune. n cazul n care regimul de curgere molecular
pompat moleculele de gaz trecut prin fanta discului statorului din partea de sus sau de

reflectate de la el i a luat n canelura discului rotorului sunt mai multe sanse de a merge prin
ea, deoarece peretele lateral 5 a canalului a discului rotorului departe de calea moleculelor, iar
peretele vasta 6 cele mai multe cazuri nu sunt prins cu ei. n acele cazuri rare cnd peretele 6
al capturarea din molecule, cele mai multe dintre ele, dup coliziune devine direc ia rezultat
de micare n direcia pompei (n imagine de sus n jos). Invers, molecule care sunt incluse n
canelura discului rotorului de jos, mpotriva direciei de evacuare, este de natur s-i reflecta
napoi.
Raportul dintre probabilitatea moleculele de gaz oarecare din nainte i n direcie invers se
caracterizeaz printr-un grad de comprimare a pompei de gaz. Gazele uoare, a cror vitez
termic molecular ptrund mai uor prin pomp. Pentru ei, viteza mare de ac iune i gradul
de compresie este mai mic. Compresia pompe existente este 102-103 hidrogen, 107-1012
pentru azot, este mai mare sau egal cu 1015 i hidrocarburi crete cu viteza rotorului.
Creterea unghiul de nclinare al canalului conduce la scderea raporturi de compresie i
vitez crescut de aciune.
Pompa turbomoilecular poate ncepe pomparea cu presiune 102 Pa (~ 1 torr), dar viteza de
aciunile sale vor fi mici i consumul de energie este mare, ca urmare a efectului inhibitor al
gazelor; n plus, pompa va sta cantitate considerabil de cldur. Gama de funcionare a
pompei de admisie presiune turbo 10-7 - 1 Pa (10-9 - 10-2 Torr). La aceeai vitez de pompare
este constant. La o presiune sub 10-6 Pa (10-8 torr) devine flux de observat de hidrogen i alte
gaze uoare din pompa suport n vasul evacuat, presiunea parial a acestora devine o valoare
mai mare relativ care determin o scdere a vitezei de aciune al pompelor-turbo molecular.

Exploatare i ntreinere
Pompa turbo este montat pe o baz masiv. n pompei i suport necesare expansiune Declara ia
comun-turbo molecular. In-turbo molecular pomp si ale vaselor de aspira ie burduf
compensator nu este necesar, deoarece pompa nu vibreze. Aciune rapid pompa suport pomp de vid mecanica cu un sigiliu de ulei 20-50 ori mai puin dect viteza ac iunii pompei
turbo, care asigur c performanele lor la cel mai nalt pompa turbo presiune de intrare. Pe
baza pompelor mici turbo molecular cu vitez de pn la 500 l/s unitile disponibile,
circuitul de vid este prezentat n fig. 3.9.
Aa cum arat figura, n total nu obturatorului este de obicei plasat ntre pompa de vid i vasul
de aspiraie i linia de by-pass. n mod evident, prin urmare, de multe ori pompa molecular
este conectat direct la vasul de extractor, fr poarta care, de asemenea, v permite s ob ine i
viteza maxim de pompare a instalaiei camerei de lucru.
Dac n momentul de oprire a pompei turbo nu se las n aer, supapa 3 trebuie s fie nchise
imediat dup de-energizarea motorul. O cretere treptat a presiunii pompei va facilita
inhibarea rotorului. Pomparea off pompa suport turbopomp duce la contaminarea pompei
turbo pompate din vaporii de ulei vas. Prin urmare, evita prelungit de pompare a pompei de
suport n timpul pornirea i oprirea pompei turbo.

Fig. 3.9. Schema instalaiei cu pomp turbomolecular:

1 spompa forvid; 2,5 - supape de aerisire; 3 - supapa; 4 - pomp turbomolecular
Funcionare prelungit la mare (> 10 Pa) Presiune de intrare, deoarece duce la eec al
motoarelor.
Mare pericol este obtinerea in pompa particule relativ mari. Pentru a preveni acest lucru,
conexiunea de admisie a pompei trebuie s fie instalate cu celule cu ochiuri 1'1 mm, care,
totui, reduce viteza pompei cu 25%.
Pompe cu jet de abur
Diffusion aciune pompa de pompare se bazeaz pe pasiunii ndeprtat jetul de gaz de abur. n
funcie de viteza i densitatea jetului i presiunea gazului variaz ca mod de jetului de duz,
iar mecanismul de captare a gazelor de eapament.
Dimensiunile suprafeei etapei deschidere duza de abur III determin viteza de pompare a
pompei; caracteristicile etapei duzei determin pompa suport presiune. Prezentate ca valoare
aproximativ a vitezei de pompare S i presiunea p la diferite etape. Pomp de difuzie
polifazice este un fel de realizare a conexiunii serie a mai multor pompe de difuzie ntr-o
carcas comun. Aceast pomp este de obicei folosit evaporator comun i o linie de abur
comun pentru alimentarea duzelor ale etapelor individuale (Fig. 3.10). Viteza de pompare este
determinat de viteza de pompe de pompare prima etap pe partea din amonte a pompei Jet de
abur Umbrela captureaz i poart moleculele de gaz, iar apoi aburul condenseaz pe peretele
rcit al pompei, uleiul curge n jos, n cazan, elibereaz gazul aciunea unui jet. Apoi, fluidul
de lucru n cazan se evapor din nou, se ridic prin linia de abur, din nou prin formele duz un
jet de abur, i aa mai departe. E., a face un ciclu continuu.
Jet de abur separ sczut PBX intrare presiune i mai mare Pout presiune de ieire, dar o
cdere de presiune mare, nu poate rezista jetul, astfel nct ieirea de la o etap pompe de jet
de abur jet de abur trebuie s fie pompat o alt etap, i dup ce supeni I - o pomp mecanic.
Deoarece toate etapele unui flux de gaz pompat, parametrii lor trebuie s ndeplineasc
Sp (intrare) = S3p3 = S2p2 = S1P1 (ieire),

(3.7)

unde Si, viteza pompei, iar pi - presiune pentru etapa i din pompei. De exemplu, pompa de
difuzie cu o vitez de pompare S = 100 l/s la o presiune diferen ial este 10 -2 - 10-6 torr pentru
a utiliza pompa de ulei-rotativ, MN cu S = 0,1 l/s.
Mecanismul de antrenare gazului este diferit n pomp ejector (760 - 10 -1torr) amplificator
(10-1 - 10-4 Torr) i difuzia (10-4 - 10-7 torr). Gazul mare presiune la intrarea pompei, mai
densitatea vaporilor n jet. La debite mari de gaz abur antrenat este rezultatul turbulent
amestecare vscos vortex-abur cu particulele de gaz (pomp ejector). Cu o scdere a tensiunii
i o scdere a consumului de abur, rolul vscos jet de captare laminar (boostere). La presiuni
foarte sczute atunci cnd drumul liber mijlociu al moleculelor de gaz ale ordinul diametrului

pompei este singurul mecanism de difuzie a penetrarea moleculelor de gaz n abur; densitatea
jetului trebuie sa fie mici, iar viteza jetului - excelent pentru transmiterea eficient a
moleculelor de gaz puls (pompe de difuzie). Coliziuni accidentale de molecule de gaz cu
molecule pot jet aa cum este reflectat i difuzate n jetul datorit diferen ei de presiune de
intrare i presiunea parial a gazului n jet. Elemente de jetul de gaze abur saturat treptat pe
msur ce se ndeprteaz unul de duz la perete.

Fig. 3.10. Schema pompei de difuzie cu trei trepte:

I - etapa ejector; II, III - etapa difuzie
Presiunea gazului (Pie) sub jet de presiune mai jet P int de asupra jetului, mai P ie presiunea mai
mare de gaze n jet. De aceea, simultan cu difuzia gazului din vrf n fluxul are loc difuzia
nociv a gazului din fundul ntr-un jet. Gazul s difuzeze n fluxul din partea de jos a
cmpului de presiune de ieire mai mare nu se va aplica n sus i n jos, iar jetul este interesat
de condensarea aburului este eliberat napoi la P ie. Prin urmare, unghi mic de important
pentru jet de perete.
Viteza de pompare a pompei de difuzie tinde la limita superioar
Av
1
Av
S=
=
Z (3.8)
4
1 v
4
1+
4 v jet
unde A - zona jetului; v - viteza de gaz; viteza jetului vjet.
Aceast limit este mai mare, cu att mai mare viteza jetului de abur, dar deja la vpage = 2v
pompare viteza atinge 89% din valoarea maxim, astfel nct nu are nevoie de jet viteza foarte
mare. Cnd vpage >> 2v atins viteza maxim de pompare a unei pompe ideale difuzie, care
este egal cu S = Av0 / 4. Este uor s vedem c acelai rezultat se ob ine n ipoteza c pompa
evacueaz toate moleculele fr a se lovi cu reflectarea suprafata de jet sa. Pe un jet de
picturi pe unitate de molecule timp Av unde v = nv0 / 4 pe unitatea de volum nchis n
molecule; De aceea, moleculele incidente corespunztoare volumului de Av / n, adic, Av0 / 4.
De fapt, viteza de pompare a pompei este mai mic dect maximul. De obicei, Z (3.8) este de
ordinul a 0,3-0,4. Aceast valoare este determinat de reflexia moleculelor de gaz din jetul,
capacitatea limitat a aspiraia pompei, difuzia invers i alii. D.

Caracteristica principal este dependena vitezei pompei de difuzie de actiune asupra presiunii
la intrarea pompei (fig. 3.11a). n mijlocul vitezei presiune de funcionare domeniu de ac iune
este constant i egal cu Smax. Atunci cnd se apropie limitarea PPR presiune de lucru tinde
la zero, din cauza fluxului invers de gaze i vapori evacuai de la pompa la obiect. Prin
creterea presiunii de funcionare a limitei superioare a modului moleculare de ac iune a
vitezei de curgere este redus ca urmare a reducerii ratei de difuzie a moleculelor de gaz n
aburul i o presiune de intrare maxim pz tinde la zero.
Final pompa Pie presiune la presiune joas la merluciu conexiune de ieire (Fig. 3.11b)
depinde slab pe evoluiile recente. Perturbarea apare atunci cnd caracteristicile presiunea de
refulare a pompei i egal jetul de abur sub presiune n conformitate cu Pint presiune.

Fig. 3.11. Caracteristicile ale pompei de difuzie

Odat cu creterea de nclzire a pompei de alimentare N prin creterea vitezei de viteza jet de
abur de aciune primelor crete (Fig. 3.11c), atinge valoarea sa maxim atunci cnd nopt i
apoi scade din cauza creterii densitii de jet de abur. Presiunea maxim de refulare a pompei
Pint cu creterea puterii de nclzire este n continu cretere.
Pentru jetul de vapori fluidului de lucru Pompe ndeplineasc urmtoarele cerine:
1) Presiunea de vapori minim la temperatura camerei i maxim - la temperatura de
funcionare n cazan;
2) rezistenta la descompunere cnd este nclzit;
3) capacitatea minim a dizolva gaze;
4) rezisten chimic a gazelor pompat i la materialele pompei;
5) la foc mic de vaporizare.
Presiunea minim de vapori la temperatura camerei este obligat s obin cel mai mic pompa
de presiune limit. Presiunea maxim a vaporilor la temperatura de func ionare a cazanului
crete presiunea de refulare a pompei i reduce puterea necesar de nclzire. Rezisten a la
degradarea fluidului de lucru n timpul nclzirii afecteaz durata de via a fluidului de lucru
i presiunea maxim de ieire. Solubilitatea gazelor n fluidul de lucru cre te fluxul invers al
gazelor prin duza cu jet de abur. Rezisten chimic determin durata de via a fluidului de
lucru, i impune restricii cu privire la alegerea materialelor structurale pompe. La foc mic de
vaporizare necesit mai puin pomp de nclzire de putere.
Fluidul de lucru vapori pompe jet folosi mercur, uleiuri minerale, esteri, alcooli i acizi
organici, compuii organic. Mercur (P-1, P-2), ca un fluid pomp cu jet de vapori de lucru are
urmtoarele avantaje: nu oxidat de aer, este omogen n compoziia i nu se descompune la
temperaturi de funcionare a pompei, se dizolv o cantitate mic de gaz i are o presiune de
vapori ridicat, la temperatura de funcionare n cazan. Dezavantaje de mercur: toxicitate,
reactivitate cu privire la metale neferoase, de nalt presiune de vapori la temperatura camerei
(10-1 Pa).
Mineral pomp de difuzie ulei (BM-1, BM-5) a fost obinut prin distilarea n vid a
produselor petroliere de rafinare. Ele sunt caracterizate de o presiune de vapori sczut la
temperatura ambiant (10-6 Pa), o rezisten satisfctoare cldur, dar au o rezisten sczut
i la oxidare la temperaturi ridicate, pentru a forma depuneri cleios pe componentele interne
ale pompei.

Esterii utilizai ca un lucru fluid vapori pompe cu jet sunt produse de sintez a ftalic i acid
sebacic cu alcooli superiori i compus polifenilovye constnd dintr-un radical benzen legat
lanul de atomi de oxigen. Polifenilovye esteri PPE au o presiune de vapori foarte sczut la
temperatura ambiant (10-9 Pa) i rezisten ridicat oxidativ.
Organosiliciu fluid pomp de difuzie (VKZH-94 PFMS-2) - un compus polisiloxan polimer
constituit din gruprile funcionale (CH3) 2SiO. Ei au o stabilitate oxidativ ridicat i o
presiune de vapori suficient de sczut, la temperatura camerei (10-5 Pa).
Cel mai des utilizat n pompe uleiuri minerale ieftine. Fluide organosilicon utilizate n sisteme
cu aer suprapunere frecvente. Esteri care costul este nc ridicat, sunt utilizate pentru aplica ii
care necesit ultra-vid pentru a obine. Toxicitatea Mercur datorit pompei de difuzie este
utilizat numai pentru pomparea sistemele mercur astfel redresoare mercur.
Exploatare i ntreinere
Pompa de difuzie este un design simplu i cu ntreinerea corespunztoare este foarte de
incredere in funciune.
Un sistem tipic de vid cu pompa de difuzie este prezentat n Fig. 3.12.

Fig. 3.12. Instalaia pompei de difuzie:

1 - sprijinirea pompei; 2 - supapa machet; 3 - supapa; 4 - pomp de difuzie; 5 - capcan; 6 poart; 7 - eav de vacuare; 8 - convertoare barometrice; 9 - pompare by-pass valve
Elementele obligatorii ale sistemului sunt suport pompa (pompa de vid mecanica de ulei
sigilate); supap machete 2; 3 supap conectarea pompei suport cu o pomp de difuzie 4;
declanare 6 i 8 barometrice emitoare instalate pe foreline i instalarea camerei de lucru,
evacuat nav 7. n cele mai multe cazuri, nainte ca declanatorul este o capcan 5 i ntre
poarta i capcana (de multe ori n nchiderea mpreun baz fungice) - convertizoare
barometrice. Pompat vas este asociat cu un nivel sczut linie by-pass pomp de vid cu o
supap de 9.
Rularea funcionarea pompei este realizat n urmtoarea succesiune. nchidei declanatorul
pe pompa, supapa de reinere conectarea pompei la pompa suport. Includ o pomp mecanic,
asigurai-v c acesta este de lucru. Deschidei supapa de legtur cu o pomp de difuzie. In
cunoscut limitnd presiunea rezidual a pompei mecanice i presiunea obinut n ansamblul
pompei de testare a evaluat etaneitatea ntregului sistem. Dac este necesar, gsi i elimina
scurgerile.
Dup atingerea apa pre-diluie dorit este furnizat pentru a rci carcasa pompei permeabilitate
i pompa include un nclzitor. Pentru a pstra n funciune vid performan a pompei de difuzie
este important i s adere la. Regulile de baz de funcionare a pompelor cu jet de aburi
respect pentru o secven pe i n afara pompei; meninerea unui interval predeterminat de rata
puterii nclzitor, temperatur i debit de ap de rcire, precum i alegerea corect a
parametrilor pompei suport.

La debitul nominal i temperatura apei care intr sistemul de rcire pentru aproximativ 20 C
temperatura apei la ieirea din sistemul de rcire la 2-3 C peste temperatura la admisie.
Aceast diferen de temperatur este aproape liniar creste cu scderea debitului. Cnd
temperatura apei la intrarea 20 C, pompa va funciona n continuare, reducnd consumul de
ap cu 2-3 ori. Totui, s-a modificat n mod semnificativ caracteristicile de vid. Prin cre terea
temperaturii apei de rcire la 20 la 30 C, limitnd presiunea rezidual este crescut de 2 ori.
In funcionarea pompei de difuzie poate fi diferite urgene. n cazul n care timp pentru a lua
msurile necesare, se elimin n mare parte inevitabilitatea lucrrilor de restaurare la
facilitatea. De exemplu, atunci cnd etaneitate pompat obiect trebuie s se nchid poarta i
apoi a elimina scurgerile. Cnd scurgerea este fix, dup camer pompa de lucru pre-pass
redeschide poarta i s continue s lucreze la facilitatea. A obturatorului de nchidere elimina
de multe ori camera extraordinara de lucru a pompei de splare i instalarea i n acest caz, n
aerul era n cantiti mari. Cnd supapa conectai pompa cu jet de abur cu pre-vacuum, lsa i
deschis i oprirea alimentarea puterea de ap i de nclzire de rcire. Dup restaurarea
modul normal de funcionare i o jumtate de or de pompa de difuzie lucru "pe" continua s
lucreze la instalaia. La terminarea supapei de ap de rcire este nchis i de-energiza
nclzitorul. Dac pompa este instalat deasupra capcana rece, este necesar s se dezghee.
Pn capcana complet dezgheare i se rcete pompa nu poate fi oprit pompare foreline.
Cnd te opreti suport pompa nchidei robinetul de conectare pompa jet de abur cu un
obturator mecanic, i apoi oprii sistemul de nclzire a pompei de difuzie. Se recomand
creterea alimentarea cu ap pentru a rci pompa jet de abur.
Pompe zeolit
Pompe de vid zeolitice sunt pompe de adsorbie. Principiul lor de funcionare se bazeaz pe
absorbia fizic de gaz prin cristaline poroase alumino-silicai, numite site moleculare sau
zeolii sintetici. Zeolitul este un mic margele poros de aproximativ aceeai mrime. Diametrul
porilor este constant pentru un anumit tip de zeolit, dar variaz de la tipul de tip. Comercial
zeolii disponibile pentru tipurile 4A, 5A, 10X i 13X. Dintre acestea, gradul zeolit 5A are cea
mai mare capacitate de adsorbie fa de aer. Diametrul su porilor este de 0,5 nm, iar
suprafaa interioar a aproximativ 40 000 de ori mai mare dect suprafa a exterioar a
granulei.
Cele mai frecvente Pompa WHC-1-2 prezentat schematic n fig. 3.13. Pompa este un balon
umplut cu zeolit i adaptat pentru rcirea cu azot lichid. Cilindrul format de cilindrul metalic
exterior 7, cilindrul interior 2 i inelare inferioar nchis fund 3 i dou funduri sferice
superioare 4 i 5, marginea superioar a cilindrului interior zeolitul umplut de obicei marcai
5A. Pomp CMM-1-2 este pus 1 kg de zeolit. Duza 6 este conectat la flan a cilindrului 7,
care este ataat la un sistem de pompe de vid. Pentru a reduce transmiterea cldurii ctre
partea inferioar a lungimii duzei 30-40 mm la 0,3-0,5 mm mai subire. In mijlocul ie ire
duzei 8 se afl, nchis cu un dop de cauciuc 9. Cilindrul pompei este plasat n vasul Dewar 10.
Vasul Dewar umplut cu azot lichid i rcire l zeolitul adsoarbe gaz din vasul evacuat. Prin
conducta 11 previne formarea tubului de gaz n cavitatea interioar, care contribuie la o rcire
eficient a zeolitului.

Fig. 3.13. Pomp de vid cu zeolit WHC-1-2:

1 - cilindrul exterior; 2 - cilindrul interior; 3 - jos; 4.5 - fund superior; 6,8,11 - pipe; 7 flan; 8 - conduct; 9 - fia; 10 vasul Dewar
Pomp zeolit echipat cu un cuptor (nereprezentat) care este instalat n locul unui vas Dewar a
zeolitului timpul de regenerare a pompei. Cuptor este o sticl cu perei dubli, care se afl ntre
pereii firului de nclzire. Pompa este ataat la un sistem de vid prin supapa de vid.
Ciclul pompei zeolit urmtor. Cnd supapa este nchis, conectarea la sistemul de vid,
Producem regenerare, t. E. restabilirea activitii sorbie a zeolitului. Regenerarea zeolitului
are loc n timpul nclzirii la temperatura de 500 C timp de 3 ore. Dup cuptor regenerare
nlocuit vas Dewar si pompa este rcit la o temperatur de minus 196 C Dup rcire, pompa
poate produce zeolit pompare. Cnd saturaia gaz pompat de zeolit produc re-regenerare,
pentru care ventil pre-pomp este separat de vasul evacuat.
Pompele de vid zeolit sunt proiectate pentru producia de mas de evacuare preliminare
introdus de sisteme de presiune atmosferic magnitorazryadnymi sau getter-ion pomp de
vid naintat i joas vid pentru sisteme de auto-pompare, care nu sunt permise vapori de lucru
pompe fluide.
Frecvent, aa cum este prezentat n Fig. 3.14, nava evacuat este echipat cu dou pompe zeolit.
Acest lucru asigur continuitate de pompare: n timp ce o pomp evacua un volum n alt
regenerarea zeolit produs. Prezena a trei valve permite orice pompe zeolit conexiune. Supape
vacuum 3 i 4 pot fi incalzirea si nenclzite, supapa 5 este aproape ntotdeauna nclzit.
Pentru a caracteriza zeolitul pompe noiunea inacceptabil de viteza de aciune. Ele sunt
caracterizate printr-o capacitate de sorbie. Pomp Zeolitul, ca orice pompe de adsorbie, tind
s saturaie, adic. E. posibilitatea absorbiei unei cantiti bine definit de gaz la o presiune
dat. De aceea, pentru a obine un volum predeterminat pompat vasului de presiune nu poate
depi valorile bine determinate. Astfel, de exemplu, cu ajutorul unei pompe WHC-1-2 vas
100 litri dup evacuarea din presiunea atmosferic se creeaz o presiune rezidual de
maximum 6,6 Pa. Ca parte a gazului rezidual este dominat de gaze inerte i hidrocarburile
sunt complet absente. Pomparea timp la 30 de minute nainte de rcirea pompei s nu
depeasc 1 or.

Fig. 3.14. Sistemul de circuit al pompei de vid cu zeolit:

Pompe Zeolite - 1.2; 3,4 i 5 - supape; 6 - un traductor ecartament
Exploatare i ntreinere
Timpul de pompa sistemul de vid i momentul utilizrii sale pentru nav pomparea poate
partaja o cantitate semnificativ de timp. De aceea, nainte de a ncepe pompei este util s re
trei ore de regenerare a zeolitului. Regenerarea este realizat cu supapa nchis, conecta i-l la
sistemul de vid, n absena plut n conducta 5 (a se vedea. Fig. 3.13). nainte de a opri
cuptorul (sau imediat dup oprirea) tub 8 este nchis etan cu un dop de cauciuc 9. Apoi,
cuptorul este oprit i scos.
Dup rcirea pompei la o temperatur apropiat de temperatura camerei, acesta este alimentat
sub Dewar, astfel nct cilindrul pompei este complet n Dewar. Dewar turnat azot lichid.
Dup ncetarea azot fierbere rapid, indicnd faptul c balon i zeolitul acesta se rce te la o
temperatur apropiat de -196 C (punctul de fierbere a azotului lichid), deschide supapa de
vacuum 3 (sau 4) sau 5 (vezi. Fig. 3.14 ) t. e. ncepe evacuarea navei.
n pompa iniial de rcire consum aproximativ 6 litri de azot lichid. n viitor, consumul de
azot lichid este 0,5-0,6 l/h. Nivelul de azot lichid trebuie s fie meninut la nlimea marginii
superioare a recipientului, permindu-i s renune la 15-20 mm. Scdere mare n nivelul
provoac desorbie de gaz din straturile superioare ale zeolit i de a crete presiunea. Rezultate
mai bune n creterea fluxului de azot.
tampila zeolit 5A permite s se obin o presiune rezidual nu mai 0,9 Pa (7 10 -3 Torr) timp
de 1 g de zeolit absorbie 20 cm3 de aer umed, la temperatura camerei i nu mai ru dect 13
Pa (10-1 torr) n absorbia 100 cm3. Pentru a realiza o reducere semnificativ a presiunii
reziduale necesare pentru a menine nava n serie de pompare dou pompe.
Atunci cnd re-pompat din vasul de presiune atmosferic, fr regenerare a presiunii reziduale
constant zeolit va fi mai mare (de aproximativ de un ordin). Numrul admisibil de regenerri
cteva sute.
nclzire cu toate acestea, chiar i scurt zeolitul la temperaturi de peste 550 C duce la
distrugerea acesteia, n special n cazul n care zeolitul preadsorbit cantitate mare de
umiditate. Cu distrugerea zeolit, care pot fi vzute pentru a reduce capacitatea de sorb ie,
acesta trebuie nlocuit.
Pompe cu sarcini magnetice
Popmpele cu sarcini magnetice sunt rspnditedatorita performantelor lor mare, uurin a de
operare i ntreinere, de nalt fiabilitate i durat lung de via. De pompare principal activ
pompa de magnitorazryadnymi gaz este un rezultat al chemisorpie a gazelor de film titan
constant regenerabile. O condiie indispensabil pentru pompe eficiente i durabile de
funcionare magnitorazryadnyh sunt cantitate pulverizate numr adecvat de titan a gazului de
intrare. La aplicarea diferena de potenial dintre electrozii aparatului de evacuare situat n

pompa vid celula o descrcare electric. Pentru apariia de descrcare accidental este
suficient prezent n decalajul de descrcare de mai multe electroni. Sub influen a cmpurilor
magnetice i electrice puternice, electronii mutai ntr-o spiral n jurul axei a celulei de
descrcare. Pe drum electronii produc ionizare a gazului. Rezultate ionii pozitivi bombardeaz
catodul este pulverizat din plci catod de titan.

Fig. 3.15. Conducerea pompei de vid ce sarcin magnetic:

1 - dou elemente ale catodului din titan; 2 - anod cilindric; B - inducie magnetic
Ca majoritatea particulelor improscate de titan este un atomi neutri electric i molecule care
sunt depuse pe toate suprafeele electrozilor, dar mai ales pe anod. Gaze active, care se
ncadreaz n film titan continuu regenerabile, a adsorbit chimic. Catozi sunt absorbi, de
asemenea, gaze, dar din cauza constantei pulverizare majoritatea suprafeei lor contribuie
catod n timpul evacurii gazelor reactive este neglijabil.
Cantitatea de metal pulverizat este aproximativ proporional cu curentul (i deci presiunea
gazului); acest lucru nseamn c metalul pulverizare se ajusteaz n funcie de starea de vid.
Magnitudinea curentului de descrcare este ntr-o oarecare msur, o msur a presiunii n
sistemul de pompat.
Pentru o vitez mai mare de pompare este conectat n paralel un numr mare de eflux pompe
elemente. De obicei, anodul are o structur de tip fagure (-fagure ca ceara), iar catodul este
format din dou plci de titan dispuse pe ambele pri ale anodului.
Introducerea de gaze inerte n materialul catodului este nsoit immurement pulverizat ioni
de titan. Un astfel de aranjament, dei nu crea mare vitez de aciune este principala gaz inert
n timpul de pompare a pompei magnitorazryadnym.
Deoarece reactivitatea diferite gaze i eficiena pulverizare a ionilor de titan sunt diferite,
viteza aciunii pompei magnitorazryadnyh depinde n mod esenial de tipul de gaz pompat.
Viteza relativ de aciune magnitorazryadnyh pompe de gaze diferite, exprimat ca procent
din viteza de aciune n aer, este prezentat n tabelul. 3.1.
Dezavantajul diode magnitorazryadnyh pompe este o aciune mic de vitez pe gaze inerte.
Acest dezavantaj este inerent pompe-o mai mic msur magnitorazryadnym triod schem a
dispozitivului care este prezentat n Fig. 3.16.
Tabelul 3.1
Viteza relativ de aciune al pompei de vid cu sarcin magnetic pentru gaze diferite
Viteza de
Gazul
aciune, %

Viteza de
aciune, %

Hidrogen

250350

Azot

100

Metan

300

Bioxid
carbon

Gazul

de 85

Amiac

Ozigen

55

Alcool etilic 135

Heliu

1020

Vapori
ap

Argon

Aer

170

de 130

14
100

Fig. 3.16. Conducerea pompei cu triod de sarcin magnetic:

1 - anod; 2 - catozi; 3 - colector (carcasa pompei); B vectorul induciei cmpului magnetic
Formnd un ansamblu electrod anod, situat n mijlocul, i dou catozi. Colector este o carcas
pomp. Catozi pomp triod au o structur de tip fagure, prin care ionii pozitivi genera i n
descrcarea n timpul funcionrii pompei triod bombarda catod n unghi drept, la fel ca n
pomp diod i sub un unghi ascuit, ceea ce crete n mod semnificativ eficien a de
pulverizare de titan, care este uniform depus pe carcasa pompa. Circuit triod Graie i
structura celular a ionilor catodice se deplaseaz de anod ajunge colectorul (carcasa pompei).
Jonah care ajunge la colector, au puin energie, i nu poate provoca secundar colectorul
pulverizare titan n absorbia lor. Astfel, ca urmare a pompa circuitului odnopotentsialnoy
triod a crescut viteza de aciune pe gaze inerte. De exemplu, argon, este 1/3 din viteza de
aciune prin aer.
Exploatare i ntreinere
nainte de conectare, verificai rezistena scurgere ntre anod i catod, care nu trebuie s fie
mai mic de 1 GOhm.
Dup verificarea pompa de vid este instalat n sistemul cu un mijloc de pre-pompare i
montate magnei. Magneii sunt aranjate n pomp n aa fel (vezi. Fig. 3.17), c liniile de
cmp magnetic sunt nchise, trecnd prin toate magnei i miezurile magnetice. Magnei
laterale montate pe prile laterale ale pompei, sunt lipite n fabric pentru a foii de tabl, este
jugul. Magneii centrale sunt introduse n canelurile carcasei pompei, sunt lipite mpreun n
perechi. Mai uor de instalat magnei n ordine. Initial fixat pe magnei pomp de locuin e.
Schimbarea locului atunci cnd instalai placa cu magneti laterale nu conteaz pentru c, n
orice caz, vectorul cmp magnetic n pompa va men ine direcia sa. Apoi, magnetul central
stabilit. Interaciunea cmpurilor magnetice ale magneilor laterale i stabilete acesta trebuie
s fie ntocmit n canelura carcasei pompei. Dac instalai un magnet este setat, iar dup
instalare este mpins napoi, este necesar s se transforme magnet. Apoi pompele de rcire

conectate la sistemul de alimentare cu ap i canalizare. Conectai sursa de alimentare. Crea i

un pre-vid i produce un test de a comuta pompa.
Durata pompa pornire magnitorazryadnyh depinde puritatea suprafeelor interioare ale vasului
i pompa este pompat, precum gradul de pre-dilatare. Rularea ca magnitorazryadnogo
presiune pomp fr rcire mai mare de 10 Pa (0,1 torr), dar n acest caz durata de lansare
poate depi 03:00. Dac nu se poate crea o mai bun pre-vacuum, pompa ncepe s produc
fr oprire pre-gol. nseamn decupla pre-gol cu nava pompat i pompa dup ncepe s scad
n mod constant presiune.

Fig. 3.17. Locaia magneilor pompei cu sarcin magnetic

. , . ,. .
/ . . . . , . . .
, 1977. . 1. 664 . 20 000 .
. . , . . . : ,
/ . . . . . .
. , 1997. 57 . ISBN 5-7882-0022-9.
.. : . .:
, 2001. 124 .
http://www.techeiscatel.ru/index.php/library/lection/131-poluchenie-vakuuma
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9C%D0%B5%D1%82%D0%BE
%D0%B4%D1%8B_%D1%81%D0%BE%D0%B7%D0%B4%D0%B0%D0%BD

%D0%B8%D1%8F_%D0%B2%D1%8B%D1%81%D0%BE%D0%BA%D0%BE
%D0%B3%D0%BE_%D0%B2%D0%B0%D0%BA%D1%83%D1%83%D0%BC
%D0%B0

.. : . .: , 2001.
124 .
:
,
.

.
,
.
,
, ,
, ,
. ,

, .
, . .
,
.

,
.
,
.

. ,

, ,

.
, ,
.
( ,
),

.
.
2.1.

. 2.1.

.

:
(/,
3/)
(2.1)
(S)
,
.

.

3/. ,

, :
Q = p S.

(2.2)

: S,
S

U:
S =
Q/p2
=
U
(p1 p2)
/
p2,
S = Q/p1 = U (p1 p2) / p1.
(2.3)

(2.3)
,

(2.4)

(2.4) ,
:
.

(2.5)

S = U
(2.5)
,

S
=
0,5
S.

, .

,

.
, ,

()

.

, , ..

.
,

.
,
.
- ,
.
2.1.

.

.

.
:
-, - .
- ,
- ,

.
. 2.2 -
. 1 2
3. ,
- 7 3,
4 I II. 4,
, 5 6
3. 3 ,
, ,
, 7
I. II .

 8
9, 8 , II .
3, 4
7,
. ,
, 7
8, II 8
.
,
. -
, . .

. 2.3

- .

1 (
) 2, '
". 3' ".

.
2.2.

. 2.3. -
4 . ,
. 2.3, 3' 3"
: I
, II , III
. ,
, I
5
. II , .
III , 6
. , . 2.3,
III.
II III, ., ,
(. 2.3).
, . 2.3, I II

. 180
, (. 2.3),
I II, .
II . -
, ..
.
. 2.4 .
,
2 1.

. 2.4. :

1 ; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 ,
; 7
, 2,
1, 7.
7

.
3,

.


; .

,
; , .
,
. .

, ,
.

.


.
, , ,
.
( , ,
. .),
:
, ,
, (0,050,10 )
, ,

.
(, )
,
,
. ,
,
.

.

. ,

,

.

,
, , ,
.

,
,
.

. ,
,
, , .
57 /
,

.
,
10
.

,
1107 2107 /(2) 5105 1104 /(2).

.

 5107 1,3106 /(2).

,
-
1102 3104 (0,7200 . .). ,

(.
2.5)

.
2.5.

1 ;
2 ; 3 .

()
, a
, ,
.

.

. ,

, ,
,
. .

.
, ,
,
() .

.
2.6.

.
2.6.

:
1 ; 2 ; 3
; 4 ; 5

.

, .

, .

.

.

.
,
.
.
(. 2.6) .
3 - ,
. 12
.
, ,
, .

.

. ,
, , .,
, ,

.


. , ,
, ,
, , .

.
,

 ,
.
.


.

,

1)

;
2) ;
3)

;
4)
,

;
5) , -
-
;
6) ;
7)

.

1215 . ,
,
.
10 .
2.2.
. 2.7.
1 2,
8.
. 2.8.
3,
.
. ,
4 5, .
.
6 .
.

. 2.7.

.
2.8.

.
,
, ,
,
.

. , ,
.


.
(
).
:
,
, .

,
, . ,
.

.

.
,
.
.

,
.
.

2.3.

.
(430 /).
10 00060 000 /
.


:
, (1015 ) ,
( ),
(107 101 )
, (1015)
( 44).
1015
(103 ), .. ,
113 (7103 0,1 ),
.
:
, .

. 2.9. 2
4, 3, 1.
.

.

,

.

.
200 ( ) (
)
11,2 ,
. , ,
.
,
,
, 5
, 6
. , 6 ,

(
). , , ,
, .

.
2.9.

) ; )


.
, ,
. , .
102 103 , 107 1012
, 1015
.

.
102 (~1 ),
,
;
.
107 1 (109 102 ).
. 106 (10-8)

,
,
.

,
.
2050
,

.
500 / ,

.
2.10.
, ,
, .
,
,

.

, 3
.

.

.

.
2.10.

;
2,5

3 ; 4

:
;

(>10 )
, .

.
11 , ,
, 25%.
2.4.

.
,

.
III
; I
. S
.

.

(. 2.11).

.
,
, , ,
.
, ,

.
.,

.

,
,
, I

.
,

Sp() = S3p3 = S2p2 = S1p1(),

(2.6)

 Si, , pi i- . ,
S = 100 /
102 106 -

S ..=
0,1
/.
(760 101),
(101 104 ) (104 107 ).
,
.
-
( ).
(
). ,
,
; ,

( ).
, , -
.
.

.
2.11.

I ; II, III

() ,
.

. ,
, ,
.

(2.7)
; v ; v .
, , v
= 2v 89% ,
. v>>2v
, S = Av0/4. ,
,
, .
Av , v = nv0/4,
n ; ,
Av/n, .. Av0/4.
.
Z (. 2.7) 0,30,4.
,
, . .

(. 2.12).
Smax.
p -
.


p

.
p
p (. 2.12) .

p.

. 2.12.
N
(. 2.12),
N, -
. p

.

:
1)

;
2)

;
3)

;
4)

;
5)


.

.

.

.

.

.
,
, ,
. (-1, -2)
: ,
,

. : ,
,

(10-1
).
(-1, -5)
.
(106 ),

.
, ,

, ,
, .

(109 ) .
(-94, -2)
,
(CH3)2SiO.
(105 ).
.

. , ,
, . -

, .

.

. 2.13.

.
2.13.

:
1 ; 2 ; 3 ;
4 ; 5 ; 6 ; 7 ;
8 ; 9

( ); 2;
3, 4;
6 8,
, 7.
5
( )
.

9.
.
, ,
. ,
. ,
.
, ,
.

.


.

.
;
,
,

.

20 23
.
. ,
20 ,
23 .
. 20 30

2
.

 . ,

. ,
.
,
.

,
. ,
,
.
"
.
.

.
,
, ,
.
.
2.5.

.

,
.
.
, .
, 4, 5, 10 13. 5
.
0,5 , 40 000

.
-1-2, . 2.14.
,
. ,
7, 2
3 4 5,
, 5.
-1-2 1 . 6
7, .
3040
0,30,5 . 8,
9. 10.

, . 11
,
.

.
2.14.

-1-2:
1 ; 2 ; 3 ;
4,5 ; 6,8,11 ; 7 ; 8 ;
9

;
10

( ),
.
,
.

.
. ,
, , . .
, .
500 3- .

196 .
.
,

- ,
,

.
, . 2.15,
. :
,
.
. 3 4 ,

.

. . ,
, , . .

.
.
, , -1-2 100
6,6

.
. 30-
1 .

. 2.15.
1,2

;
3,4
6

:
;

.

.
,
5 (. . 2.14). (
) 8 9.

.
, ,
,
. .
, ,
, 196 (
), 3 ( 4) 5 (. . 2.15), . .

.
6 .
0,50,6 /.
,
1520 .
.

.
5 0,9
( 7103 ) 1 20 3
13 (101 )
100 3.
.

(
). .
550
,
. ,
, .

2.6.

,
, .

.

,
.
, ,
.
.

.
. , ,
.

.
2.16.

:
1 ; 2 ;

,
, . ,
, .
, -
.
(,
, ); ,
.
.

.
( ), ,

.

.
,

.

,
.
,

 , . 2.1.

.
,
. 2.17.

2.1

, %

,
%

250350

100

300

85

170

55

135

1020

130

,
,
14

100

.
2.17.

;
2

;
3

:
);

 , , .
.
, ,
, ,
, ,
,
.
, , ( ).
, ,
.
,
. ,
1/3 .


, 1 .
,
, .
(. . 2.18),
, .
, , , .
, ,
. .
.
,

. .

.
, ,
.
. .

.

,

10 (0,1 ),
3 .
, ,
.
,
.

. 2.18.
.
. 2.19,
-250. 102 (104 )
103 102 (105 104 )
.
, ,
.

, ,
. , ,
,
.