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Pompes cintiques
par
Jean LECLERC
Ingnieur de lcole suprieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minrale et structurale
Consultant
1.
2.
2.1
2.2
2
2
2
2
3
5
6
6
6
7
7
8
9
9
10
12
12
2.3
3.
3.1
3.2
3.3
3.4
3.5
BM 4 272 - 2
ans larticle sur les pompes volumtriques paru dans les Techniques de
lIngnieur, on a pu remarquer que ces pompes avaient pour principe uniquement la compression par variation de volume. Ce nest pas le seul principe
physique permettant dvacuer ou de transfrer des gaz ou des vapeurs dune
enceinte pour la mettre sous vide .
Le second principe utilis consiste changer le vecteur vitesse des molcules
pour les entraner dans un autre milieu. Ce changement peut tre obtenu de plusieurs faons par voie mcanique, en imprimant aux molcules des composantes de vitesse pour les faire circuler o bon nous semble. Ces moyens diffrent
les uns des autres du macroscopique (ailettes de turbine...) au microscopique
(chocs de molcules dun fluide sur les molcules pomper...). Cela nous donnera les diffrents types de pompes :
pompes fluide moteur (jecteur...) ;
pompes entranement mcanique (pompe turbomolculaire, turbine
axiale et canal latral).
Pour de plus amples renseignements sur la production du vide et les pompes volumtriques,
on se reportera aux articles [BM 4 270] et [BM 4 271] de ce trait [1] [4].
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Techniques de lIngnieur, trait Gnie mcanique
BM 4272 1
1. Dfinition normative
Air
comprim
Clapet
Refoulement
Aspiration
Figure 1 jecteur (doc. PIAB)
2.2.1 Principe
Pour une tude dtaille sur les jecteurs, le lecteur se reportera
larticle [B 4 250] de ce trait [5].
Suivant la nature du fluide, nous aurons trois types de pompes :
la trompe vide : jecteur qui utilise un liquide (habituellement de leau) comme fluide dentranement ;
ljecteur gaz pour le vide : jecteur qui utilise un gaz non
condensable comme fluide dentranement ;
ljecteur vapeur pour le vide : jecteur qui utilise une
vapeur (deau, de mercure ou dhuile) comme fluide dentranement .
Remarque : lindustrie de la manutention a dvelopp des petits
jecteurs air comprim compacts plusieurs tages (figure 1).
Ces jecteurs peuvent aussi tre utiliss comme pompe primaire
pour amorcer des pompes molculaires et turbomolculaires hybrides (cf. 3.2) [1].
BM 4272 2
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Aspiration
(basse pression)
Fluide
de pompage
Molcules
de gaz
Dbit-volume
(units arbitraires)
H2
Rfrigrant
He
1er tage
Vapeur
de dcomposition
du fluide
N2
Ar
Refoulement
(haute pression)
2e tage
Vapeur du fluide
de pompage
Chicanes
3e tage
1013
Retour
des vapeurs
condenses
4e tage
(jecteur)
1011
109
107
105
103
101
Pression (hPa)
Bouilloire
Fluide
de pompage
Chauffage
lectrique
Figure 2 Pompe diffusion : mcanisme (doc. Varian)
2.2.2 Caractristiques
Taux de compression et dbit-volume
Comme toute pompe transfert (ou dextraction), une pompe
diffusion peut se caractriser par son taux de compression dbit
nul K0 et par son dbit-volume pour un taux de compression
unit S0 .
En gnral, dans la presque totalit des applications, le taux K0 ,
fort lev, nest pas pris en considration.
Quant au dbit-volume S0 , il est constant dans une trs large
gamme de pression et cest lui qui sert caractriser la pompe (cf.
article [BM 4 270, figure 11]). Il est fonction du diamtre de la pompe
et, thoriquement, proportionnel la surface dentre.
Le dbit-volume maximal thorique Smax est donn par (cf. article
[B 4 020] de ce trait) [6] :
Smax = 11,6 A
avec
Smax
H = S0 /Smax
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BM 4272 3
Entre et sortie
d'eau
Entre et sortie
d'eau
Pression limite
Cest, en premire analyse, la pression partielle du fluide moteur
qui dterminera la pression limite quon pourra atteindre.
La pression limite est donc dpendante des systmes de pigeage
de lhuile (baffles et piges diazote liquide) que lon aura associs
la pompe elle-mme. Le dgazage des parties internes de la
pompe, des baffles et des piges cre un flux parasite qui peut, lui
aussi, se rpercuter sur la pression limite.
Lhuile, par laction conjugue de la temprature et des gaz pomps, se dgrade en produisant des espces molculaires dont les
pressions partielles de vapeur seront plus ou moins leves. Ainsi,
des masses molaires comprises entre 300 et 600 peuvent exister
dans le rservoir de la pompe. La pression limite de la pompe sera
donne par lespce ayant la plus forte pression partielle. Aussi,
pour amoindrir ce phnomne, on a construit des pompes diffusion fractionnante.
Rservoir
de diazote
liquide
Conduite
en cuivre
refroidie
Disque
refroidi
au diazote
liquide
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Ce rgime flux constant cesse pour une pression dite damorage p2 au-dessous de laquelle la vitesse de pompage est nulle. Les
pressions damorage se situent selon les constructeurs de pompes
entre 30 et 50 Pa. Il est intressant de disposer dune pompe diffusion pression damorage leve lorsque la pompe est destine
pomper des flux levs car cest elle qui conditionne le dbitvolume de la pompe primaire associer la pompe diffusion. Certains constructeurs ajoutent dailleurs un petit jecteur entre la tubulure de refoulement et le corps de pompe. Ce dispositif permet
dobtenir une pression damorage plus leve (de lordre de
100 Pa).
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102
Dgazage
de lenceinte
Huile
Joints
Baffles
Minrale
ou
Silicone
DC 704
Perbunan
eau
simple
Non
Non
2 105
Dgazage fort
Minrale
ou
Silicone
DC 704
Perbunan
eau double
Oui
avec ou sans
alimentation
automatique
Non
2 105
Dgazage faible
Silicone
DC 705
ou
Santovac 5
Viton
eau double
Oui
avec ou sans
alimentation
automatique
120
3 107
Dgazage faible
Silicone
DC 705
ou
Santovac 5
Mtal
eau double
Oui
avec ou sans
alimentation
automatique
500
3 109
Dgazage
moyen et faible
Dgazage faible
Rtrodiffusion
faible
105
106
107
jecteurs
Tubes
concentriques
Condenseur
tuvage
(C)
Pression
limite
(Pa)
Pige azote
liquide
103
104
Mise en uvre
Pression critique
damorage
(hPa)
Santovac 5
0,6
5 109
Silicone DC 702
1,2
7 106
Apiezon C
0,7
4 108
Silicone DC 705
0,6
7 109
Silicone DC 704 EU
0,8
6 108
jecteur
cran protecteur
Circulation du fluide
dans la bouilloire
Figure 6 Pompe diffusion fractionnante
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BM 4272 5
Manomtre
secondaire
Entre
Jets annulaires
(type pompe
diffusion)
Vanne
d'entre d'air
Enceinte
Manomtre
primaire
Condenseur
tage
d'jecteur
A
Manomtre
primaire
B
Pompe
diffusion
Retour d'huile
Pompe
primaire
Bouilloire
BM 4272 6
3. Pompes cintiques
entranement
mcanique
Ce groupe comporte divers types de pompes aux performances et
aux domaines dutilisation extrmement diffrents, puisque le vide
produit va de la dpression dune dizaine de milliers de pascals au
vide extrme (1010 Pa).
Ce sont des pompes utilises par le vide industriel qui ne ncessite pas des pressions limites faibles. Certains les classent plutt
dans les dpresseurs mais, ds que lon est au-dessous de la pression atmosphrique, on a affaire une pompe vide . Les caractristiques sont donnes de manire diffrente : on parle en
dpression de quelques dizaines quelques centaines de millibars
(50 300 hPa). Lexemple le plus rpandu est bien sr celui de laspirateur mnager (vacuum cleaner aux tats-Unis) qui est quelquefois
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Aspiration
Enceinte de travail
section circulaire
Roue
Canal latral
Sortie
Roue
Diffuseur
Interruption
du canal
latral
Palier
Arbre
Prise pour
pompe vide
Moteur
Refroidissement
Palier
Pompe
huile
CC
Aubes
Enceinte
de travail
Interruption
du canal latral
AA
Entre
Entre
Sortie
BB
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Sortie Entre
Entre
Sortie
Sortie
Sortie
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Aspiration
Aspiration
Arbre
tape
d'attaque
Rotor
Roulement
billes
Sillons
du stator
Joint
dynamique
Moteur
Stator
Holweck
Refoulement
Roulement
billes
Prise moteur
Refoulement
Figure 12 Pompe molculaire (principe Holweck) (doc. AlcatelVacuum Technology)
Figure 14 Pompe turbomolculaire (doc. Alcatel-Vacuum Technology)
Dbit-volume S (L /s)
10
applications, elles ont supplant celles-ci pour leur facilit dexploitation sauf dans les utilisations industrielles ncessitant de trs
grands dbits-volumes.
N2
6
He
H2
3.3.1 Principe
0
106
Plusieurs thories ont t labores et nous retiendrons celle tablie en 1960 par Krger et Shapiro du MIT [13]. On peut sen faire
une ide sommaire par le raisonnement suivant.
2
105
104
103
102
101
Pression (hPa)
= ,
= , = .
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BM 4272 9
'
1011
1010
'
'
Taux de compression K
109
'
108
'
'
Ar
N2
CH4
107
V
V
106
II
M'
II
I, II
M, M' molcules
M'
105
rgions de l'espace
vitesse des aubages
principe
He
104
H2
103
102
10
1
105
104
103
102
101
1
10
Pression p (hPa)
Les pompes disponibles sur le march ont toutes un taux de compression dbit-volume nul K0 lev (1012 pour le diazote est une
valeur courante).
Le dbit-volume des pompes est pratiquement constant sur un
trs large domaine de pression. Il est fonction du diamtre de la
pompe et sensiblement proportionnel la surface dentre (rgime
molculaire).
b
aubage
et
, et
la
> et >
3.3.2 Caractristiques
La caractristique dbit-volume/pression dune pompe turbomolculaire suit la loi gnrale valable pour les pompes transfert de
gaz.
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La thorie, trs bien vrifie par lexprience, prvoit que le logarithme du taux de compression K0 dune pompe turbomolculaire
est proportionnel la racine carre de la masse molaire du gaz
pomp.
Il rsulte immdiatement de cette loi deux consquences importantes pour lutilisation pratique de ces pompes :
le taux de compression pour les gaz lgers, notamment le
dihydrogne que lon rencontre principalement dans les enceintes
du type ultravide, est relativement faible ; ainsi, une pompe qui a
un taux de compression lev pour le diazote (valeur courante 1012)
na, pour le dihydrogne, quun taux de compression de 103,2 ;
le taux de compression pour les gaz lourds, notamment les
vapeurs dhuile, est trs vite considrable ; ainsi la pompe mentionne ci-dessus aurait pour une huile de masse molaire 250 un taux de
compression de 1036.
La pompe turbomolculaire offre donc un barrage trs efficace
la rtrodiffusion des vapeurs dhuile vers lenceinte [3]. Cela constitue un des avantages majeurs de ce type de pompe que lon qualifie
alors de pompe sche.
Il faut noter toutefois que ce barrage nest efficace quautant que
la pompe est en rotation. Des prcautions doivent tre prises,
notamment au moment des rentres de gaz dans lenceinte, pour
viter de venir polluer la structure de la pompe par un entranement
intempestif de vapeur dhuile.
En ce qui concerne le dbit-volume S0 pour un taux de compression unit, la thorie laisse prvoir que celui-ci est indpendant de la
nature du gaz pomp pour autant que tous les tages de la pompe
aient la mme structure daubages. Ce nest jamais le cas en
pratique ; les pompes sont en effet constitues avec des aubages de
structure variable (figure 17).
Les tages vers laspiration (nous sommes en rgime molculaire) sont conus pour avoir de forts dbits-volumes avec de faibles taux de compression, alors que cest linverse pour les tages
voisins du refoulement. Il sensuit que les pompes disponibles sur le
march ont des dbits-volumes diffrents selon la nature des gaz
pomps et cela en fonction de leur construction. Lutilisateur ne peut
rien prvoir si le constructeur ne lui fournit pas les caractristiques
dbit-volume/pression pour les gaz considrs. Nanmoins, les diffrences sont, en gnral, faibles et le plus souvent avantagent les
gaz lgers.
Vide pouss
tages
basse
pression
R
tages
moyenne
pression
R
R
tages
haute
pression
R
R
R
Vide primaire
R
rotor
Rotor
Stator
Roulement
de scurit
Moteur
Selon les modles, les paliers magntiques sont contrls et pilots suivant trois ou cinq axes (figure 18).
Certains modles de pompes comportent des dispositifs de purge
dont le but est de diminuer la corrosion et/ou la formation de dpt
et aussi, parfois, de refroidir paliers et moteur.
Sortie
des gaz
Capteur
radial
Bobine
radiale
Aimant
lectromagntique
(bobine axiale)
Aimant
permanent
Capteur
axial
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BM 4272 11
Sortie
cile. Leau (M = 18) nchappe pas cette rgle. Or il est bien connu
que la pression partielle de la vapeur deau est prpondrante dans
une enceinte en rgime intermdiaire. Il est aussi connu que les piges cryogniques sont trs efficaces pour le pompage de la vapeur
deau (cf. article [B 2 382] dans le trait Gnie nergtique) [7]. Aussi
lide dassocier les deux tait vidente. La solution dutiliser un
cryognrateur a t retenue et a donn naissance de nouvelles
gnrations de pompes (figure 21).
Domaine dutilisation : pompe secondaire sche pour vide
pouss et extrme.
Pression : 100 Pa 107 Pa.
Ces pompes sont le rsultat de lassemblage dune pompe turbomolculaire classique avec un pige cryognique lentre. On a vu
que le pompage des molcules de masse molaire faible tait diffi-
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