IX .

Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

TEHNOLOGIE DE FABRICATIE PENTRU MEMS

PolyMUMPs
Tehnologia PolyMUMPs reprezint o tehnologie de microfabricaie ce se
caracterizeaz prin realizarea unor microstructuri de tip MEMS cu multiple
straturi de depunere dintre care trei sunt straturi de siliciu policristalin.
Se exemplific aceast tehnologie pentru realizarea unui micromotor electrostatic prezentat
schematic n fig. 1.1

Fig. 1.1
Succesiunea operaiilor de depunere, de formare a structurilor geometrice prin litografiere i de
ndeprtare a straturilor de sacrificiu este prezentat n fig. 1.2 1.16

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie

IX . Tehnologia PolyMUMPs - Aplicatie