Sunteți pe pagina 1din 13

Universitatea Tehnic Gh.

Asachi din Iai


Facultatea de Electronic, Telecomunicaii i Tehnologia
Informaiei

Referat MEMS
Modulatoare optice realizate n tehnologie
MEMS. Descriere, funcionare, tehnologii
de fabricaie, utilizri, aplicaii

Masterand: Daniel ILIES


Specializarea: RC, anul II

Prezentarea general a tehnologiei

Conceptul MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) a luat natere n anii 1980 la


Berkley, ca o prelungire tehnologic a microelectronicii bazat pe siliciu; ideea era de a
completa tehnologiile pentru a trece de la circuitul electronic la microsisteme integrate.
MEMS integreaz pe un singur substrat semiconductor elemente electronice (circuite
integrate,

piezorezistene,

condensatoare), mecanice (cantilevere, micro-comutatoare),

optice (de exemplu, comutatoare optice sau micro-oglinzi), electromagnetice, termice i


fluidice (senzori de curgere), fiind n stare s msoare parametrii fizici din mediul ambiant
(presiune, acceleraie, gaz etc.), dar i s acioneze (avnd integrate dispozitive mecanice la
nivel micro: motoare, relee, prghii etc.). Sunt considerate dispozitive inteligente, pentru
c dispun de o capacitate de calcul ncorporat.
Micro-Electro-Mechanical Systems ( MEMS ) este o tehnologie care vizeaz realizarea
de componente de nalt calitate, pentru circuite superioare (capabila de operatii cu limi de
band de frecven mai mari i prezint pierderi mai reduse ) pentru sisteme de comunicaii
fr fir.
MEMS-urile sunt fabricate utiliznd tehnica de realizare a circuitelor integrate combinat
cu micro-prelucrri ale materialelor utilizate i a suportului. n timp ce circuitele integrate
sunt proiectate astfel nct s utilizeze proprietile electrice ale siliciului, la proiectarea
MEMS-urilor sunt exploatate att proprietile electrice ct i cele mecanice ale acestui
material semiconductor. MEMS-urile reprezint sisteme complexe, care pot fi privite ca
dispozitive mecanice de dimensiuni foarte mici, integrnd electronica aferent.
De asemenea, tipurile de dispozitive MEMS pot varia de la structuri relativ simple care
nu au elemente n micare, la sisteme electromecanice extrem de complexe, cu multiple
elemente n micare sub controlul microelectronicelor integrate. Caracteristica principal a
MEMS este c exist cel puin cteva elemente care au un fel de funcionalitate mecanic
chiar dac aceste elemente se pot deplasa sau nu.
Termenii folosii pentru a defini MEMS variaz n diferite pri ale lumii. n Statele
Unite, acestea sunt numite predominant MEMS, n timp ce n alte pri ale lumii sunt numite
"Microsystems Tehnologies" sau "dispozitive microprelucrate" (micromachined devices).
n timp ce elementele funcionale ale MEMS sunt structuri miniaturizate, senzori, actuatori, i
1

microelectronice, elementele cele mai importante (i probabil,cele mai interesante) sunt


microsenzorii i microactuatorii. Microsenzorii i microactuatorii sunt corect clasificai ca
"traductoare", care sunt definite ca dispozitive care transform energia dintr-o forma n alta.
n cazul microsenzorilor, dispozitivul transform de obicei, un semnal mecanic msurat ntr un semnal electric.
Diversitatea aplicaiilor i specificitatea lor, se reflecta att n proiectarea sistemelor
MEMS, ct i n realizarea i testarea lor, sesizndu-se unele elemente comune care
recomand standardizarea lor dar i elemente care satisfcnd doar unele cerine ale acestor
sisteme,sunt particularizate la specificul unui anumit MEMS.
Aceast constatare explic i motivul pentru care dispozitivele MEMS realizate sub form
de senzori i actuatori -dimensiunile acestora ncadrndu-se n gama 100 nm1000 microni- ,
sunt fabricate astzi utiliznd att procedee specifice tehnologiei circuitelor integrate ct i a
unora specifice MEMS, la realizarea unui MEMS ntlnindu-se tehnologii de natur optic,
mecanic, termic si fluidic(n special pentru actuatorii din medicin).
Din ce n ce mai multe dispozitive MEMS optice sunt necesare n telecomunicaii. Microcomutatoarele sunt din ce n ce mai folosite i n domeniul optic n zona de protecie, iar
Crossconecturile Optice (OXC) ofer acces i posibiliti de management la nivel de lungime
de und. Pe msur ce telecomunicaiile avanseaz, topologia mesh (plas) este din ce n
ce mai folosit i prin caracteristicile intrinseci ale acestei topologii Comutatoarele selective
n lungime de und (Wavelength-Selective Switches, WSS) i Crossconnecturile selective n
lungime de und (Wavelength Selective crossconnects WSXC) devin din ce n ce mai
importante. Compensatoarele de dispersie i egalizatoarele spectrale sunt eseniale n
mbuntirea perfomanelor legturilor, odat cu atingerea vitezelor de ordinul a zeci, chiar
sute de Gbps . Filtrele spectrale i LASER-ele acordabile cresc flexibilitatea nodurilor
DWDM (Dense Wavelenght Division Multiplexing).

Prima aplicaie practic a MEMS-urilor n comunicaia optic a fost de modulator. Un


modulator de acest gen era practic un comutator 1x1 care opera fie n mod de transmisie fie
n mod de reflexie, asemntor unei modulaii n impulsuri. Un semnal informaional
acioneaz acest comutator prin intermendiul tensiunii aplicate acestuia.

Odat cu

dezvoltarea aceast soluie nu mai era viabil, datorit costului ridicat de a adapta aceste
comutatoare s moduleze doar anumite lungimi de und.

Modulatorul optic realizat in tehnologia microsistemelor electromagnetice(MEMS) ,


prezentat n figura 1 a fost proiectat pentru a fi utilizat n spaiu liber al sistemelor de
comunicaii optice. Modulatorul este reea de difracie reflectorizanta, cu modulatie mica si
cu adncimea canalului ajustabila. Variaia intensitatii cmpului unui fascicul laser reflectat
prin comutarea ntre starea de oglind nealimentat la o stare de difracie alimentata este
continua.

Figura 1 : Modulator optic MEMS

Tehnologia cu oglinzi deformabile utilizeaz actuatori electrostatici fara histeresis pentru


a deforma periodic o oglind .Eficiena de difracie a fasciculului reflectat este o funcie de
adncimea canalului modulator, care este controlata prin acionarea electrostatic a suprafeei
oglinzii. Acoperind suprafata reflectorizanta cu un strat de aluminiu sau aur, natura difractiva
a dispozitivului se modifica oferind o soluie de band larg pentru diferite aplicaii laser cu
modulare in amplitudine.
Modulatorul este fabricat pe un substrat de siliciu optic plat, conductor electric care
funcioneaz ca un electrod si o serie de elemente de acionare electrostatice alungite,
ilustrat n Figura 2. Suprafa oglind acioneaz ca cellalt electrod, care este fabricat
folosind MEMS, si consta intr-un strat subtire de aur sau aluminiu depus peste un strat de
3

nitrat de silicon. Suprafaa oglinzii modulatoare este suspendat i izolata electric printr-un
material izolator(ancora) - o serie de elemente de suport de oxid de siliciu.

Figura 2 : Sectiune transversal printr-un modulator optic MEMS

Prin aplicarea unei tensiuni (V) ntre suprafata modulatoare i substratul dispozitivului,
pe suprafata oglinzii se observa o deviatie ondulatorie. Procesul de fabricaie are scopul de a
produce modulatori optici la un cost rezonabil si eficient folosind tehnici comerciale de
prelucrare a semiconductoarelor. Fiecare pas de fabricatie este bazat pe procesul standard de
fabricatie a semiconductorilor, oferind capacitate mare de producie. Procesele de fabricaie
existente sunt capabile s produc o adncime a santului de modulatie maxim de ordinul de
1 m i o distanta minim de ordinul a 50 m. Exist un compromis ntre realizarea
modulatoarelor i rspunsul dinamic n proiectarea modulatorelor MEMS. O reducere a
distantei intre santuri (deschidere) duce la o crestere a rigiditatii i frecvenei de rezonan
care mbuntete viteza de comutare, dar pot reduce modularea maxima laser care poate fi
atinsa pentru o anumit lungime de und din cauza limitrilor pe tensiunea maxim de
antrenare. Modulatorii optici acoperind

o parte substanial a spatiului de proiectare,

performanele aparatului poate fi personalizat dupa specificatiile utilizatorului.

Suprafata unui modulator optic realizat cu tehmologie MEMS

Suprafata modulatorului este prezentata in figura de mai jos. Asa cum s-a discutat mai
sus dispozitivul este alcatuit folosind microprocesarea straturilor de silicon care produc o
suprafata oglinda cu asperitati mai mici de 2 nm.

Figura 3 : Suprafata unui modulator optic MEMS


Fiecare linie de acionare are o serie de guri cu dimensiuni de ordinul micronilor pe
suprafata oglind, necesare pentru procesul de fabricatie al dispozitivului, care produce un
factor de umplere 99,8%. Datorit naturii suprafaei de microprelucrare, unele caracteristici
periodice rmn pe modelul oglinzii, precum i guri de acces utilizate pentru procesele
MEMS. Suprafaa plata rezultata este de obicei mai mare 20nm. La o lungime de und
1550nm, pierderile totale reflectorizante datorit difraciei cauzate de aceste periodicitate i
factorului de umplere sunt mai mici de 4% din puterea fasciculului incident.
Performanta optica si electromagnetica pentru acest modulator se poate observa in
figura de mai jos. Contrastul de modulaie versus tensiunea aplicata este reprezentat pe axa
primar i deformarea versus tensiune aplicat este afiat pe axa secundara.
5

Dup cum se arat, modulatorul este capabil de a realiza un contrast de modulaie mai
mare de 98% la o iluminare cu lungime de unda 1550nm la 45 grade pentru o tensiune de
aproximativ 110V.

Figura 4: performanta optica si mecanica a modulatorului optic

Modulatorul optic prezinta asa cum se vede in figura de mai jos o tranzitie rapida intre
starile ON si OFF. Atunci cand primeste un impuls el ajunge la 50% din contrastul de
modulatie dupa doar 7 s si pana la 98% in aproximativ 40 s . Acest lucru se datoreaz n
mare parte unui fenomen de umezire a aerului, iar daca actuatorul se intinde pe o suprafata de
mai mult de 100 m s-au obtinut timpi mai buni de 7 s.

Figura 5 : Raspunsul dinamic al unui modulator optic de la 0 la 110 V

Aplicatii

Retroreflectori pentru comunicatii optice de putere mica cu


modulator optic MEMS

Atunci cnd este montat ca o fa a unui retroreflector ca in figura de mai jos,


modulatorul optic in tehnologie MEMS este capabil de a se ntoarce pasiv lumina de la o
surs laser de interogare simultan cu modularea intensitii sale de comunicare asimetric; un
astfel de sistem este cunoscut ca un retroreflector modulator.

Figura 6 : Comunicatii optice folosind modulator optic MEMS si retroreflector

In figura 7 este prezentat prototipul retroreflectorului modulator (modulating


retroreflector - MRR). Sistemul MRR este capabil s furnizeze comunicare optica asimetric
continuu in spaiul liber optic la 180kHz pe o perioad de 24 ore, folosind o singura baterie
de alimentare de 9V.
O component principal a sistemului MRR este un driver compact de nalt tensiune,
cu un consum redus de energie, utilizat pentru a controla modulatorul folosind o singur
baterie de 9V. Amplificatorul driver-ul imparte capacitatea intrinsec a modulatorului cu un
inductor pentru a produce impulsuri de tensiune rezonante de aproximativ 120V la viteze ce
depesc 180Khz. Acest circuit inductor-condensator (LC) este, de asemenea, capabil de a
recicla puterea, oferind o funcionare continu mai mare de 24 de ore i functionare de
interogare intermitente de aproximativ 6 luni.

Figura 7 : Prototip MRR asamblat si functional

Dispozitivul optic MRR este un retroreflector sub forma de cub care moduleaz i
returneaz pasiv raza laser de interogare ctre sursa acesteia. Doua dintre cei trei faete
oglind ale retroreflectorului reprezinta matrite din siliciu acoperite cu un strat de aur de
11mm pe o parte. A treia faet oglind este modulatorul optic in tehnologie MEMS, care are
dimensiuni similare i o deschidere acoperita cu un strat subtire de aur care msoar 9 mm n
diametru.Cele trei matrie sunt aliniate, mbinate cu ajutorul unui proces pentru a produce
retroreflectorul, care are paralelism sau fascicul de deviatie mai mare de 30 de secunde de
arc. Ansamblul este situat pe axa cilindric in spatele unui geam de protecie i un declansator
bi-stabil, care este nchis cnd sistemul este inactiv pentru a oferi protectie.
Sistemul utilizeaz o fotodiod cu infrarou (IR) extern montat care s simt atunci
cnd este interogat, pentru a deschide declansatorul i ncepe transferul de date. Deschiderea
9

carcasei MRR nu optureaza fascicolul incident sau fascicul reflectat, cu condiia ca campul
vizual (FOV) sa fie limitat doar de geometria sub forma de cub a dispozitivului, care este de
aproximativ 60 (full-widthhalf-max) aa cum se vede n Figura 6.

Figura 6 : Dispozitivul retroreflector sub forma de cub in tehnologie MEMS (stanga)


si campul vizual al retroreflectorului FOV (dreapta)

Sistemul retroreflector este prezentat doar cu o baterie, dar sistemul poate gzdui
dou baterii n paralel pentru a crete durata de via a sistemului.
Folosind o singur baterie de 9V, MRR a transmis continuu 24 ore. Consumul total
de energie pentru sistem n timpul acestor teste a fost mai sczut de 100mW. Sistemul
complet MRR a fost testat pe teren cu ajutorul unui laser 1550nm CW dezvoltat de Nova
Sol Inc, si prezintat n figura 7. A fost stabilita o legatura la o distanta de 2 km, extrapolarea
rezultatelor sugerand ca se poate extinde gama lor pana la aproximativ 5 km.

Figura 7 : Implementarea MRR (modulating retroreflector) pe teren pentru culegerea


datelor
10

Sistemul BMC MRR are patru mari avantaje fata de alte tehnologii in are liber la
distan:
indicatoare i subsisteme de urmrire nu sunt necesare. Deoarece retroreflectorul
readuce automat fasciculul in sursa, sistemul nu are nevoie de indicatoare subsisteme de
urmrire ca stabileasc o legtur ntre sursa si destinatie.
semnal densitate de putere nalt i securitate sporit. MRR reintoarce semnal de-a
lungul unei ci nguste, si nu cu un unghi larg, mbuntind astfel semnalul densitate de
putere i de asemenea, reduce probabilitatea intercepei semnalului de un spargatori de
coduri.
Consum redus de energie. MRR funcioneaz ca o "surs pasiv", care nu emit
propria putere radiat. Aceast caracteristic mbuntete foarte mult timpul de via a
bateriei de la nod, care ar putea fi un soldat, un senzor pasiv sau o locaie de supraveghere.
Puterea fasciculului de retur este direct proporional cu puterea fascicului de interogare.
Singura bateria necesar la nodul remote sursa este cea uitlizat pentru operaiile senzorului,
producia de date i modulatia electrostatic.
multiple aplicatii de management. Spectrul de reflexie a MRR este larg, care
permite posibilitatea de a gestiona mai multe sisteme de operare la lungimi de und diferite.
De exemplu, MRR poate modula un fascicul de iluminare trimite de la un MIR (850nm) cu
laser i sa il returneze catre o pereche de ochelari cu vedere nocturna, n acelasi timp
moduland intermitent un fascicol laser de 1550nm cu datele codificate, cum ar fi locaia i
identificarea utilizatorului.
Sistemele concurente sunt limitate de lime de band ngust i nu ofer aceast
abilitate.

11

Bibliografie:

http://www.academia.edu/8846979/Microcomutatoare_RF_MEMS_Fiabilitate_moduri_%C8%99i_mecanisme_de_defe
ctare_MICROCOMUTATOARE_RF_MEMS_FIABILITATE_MODURI_%C8%98I_MEC
ANISME_DE_DEFECTARE

https://www.thorlabs.com/images/TabImages/MEMS_Optical_Modulator_Wh
itepaper.pdf

http://www.bostonmicromachines.com/mems-optical-modulator.htm

http://telecom.etti.tuiasi.ro/telecom/staff/dionescu/discipline%20predate/mems
_curs

12