Explorați Cărți electronice
Categorii
Explorați Cărți audio
Categorii
Explorați Reviste
Categorii
Explorați Documente
Categorii
Referat MEMS
Modulatoare optice realizate n tehnologie
MEMS. Descriere, funcionare, tehnologii
de fabricaie, utilizri, aplicaii
piezorezistene,
Odat cu
dezvoltarea aceast soluie nu mai era viabil, datorit costului ridicat de a adapta aceste
comutatoare s moduleze doar anumite lungimi de und.
nitrat de silicon. Suprafaa oglinzii modulatoare este suspendat i izolata electric printr-un
material izolator(ancora) - o serie de elemente de suport de oxid de siliciu.
Prin aplicarea unei tensiuni (V) ntre suprafata modulatoare i substratul dispozitivului,
pe suprafata oglinzii se observa o deviatie ondulatorie. Procesul de fabricaie are scopul de a
produce modulatori optici la un cost rezonabil si eficient folosind tehnici comerciale de
prelucrare a semiconductoarelor. Fiecare pas de fabricatie este bazat pe procesul standard de
fabricatie a semiconductorilor, oferind capacitate mare de producie. Procesele de fabricaie
existente sunt capabile s produc o adncime a santului de modulatie maxim de ordinul de
1 m i o distanta minim de ordinul a 50 m. Exist un compromis ntre realizarea
modulatoarelor i rspunsul dinamic n proiectarea modulatorelor MEMS. O reducere a
distantei intre santuri (deschidere) duce la o crestere a rigiditatii i frecvenei de rezonan
care mbuntete viteza de comutare, dar pot reduce modularea maxima laser care poate fi
atinsa pentru o anumit lungime de und din cauza limitrilor pe tensiunea maxim de
antrenare. Modulatorii optici acoperind
Suprafata modulatorului este prezentata in figura de mai jos. Asa cum s-a discutat mai
sus dispozitivul este alcatuit folosind microprocesarea straturilor de silicon care produc o
suprafata oglinda cu asperitati mai mici de 2 nm.
Dup cum se arat, modulatorul este capabil de a realiza un contrast de modulaie mai
mare de 98% la o iluminare cu lungime de unda 1550nm la 45 grade pentru o tensiune de
aproximativ 110V.
Modulatorul optic prezinta asa cum se vede in figura de mai jos o tranzitie rapida intre
starile ON si OFF. Atunci cand primeste un impuls el ajunge la 50% din contrastul de
modulatie dupa doar 7 s si pana la 98% in aproximativ 40 s . Acest lucru se datoreaz n
mare parte unui fenomen de umezire a aerului, iar daca actuatorul se intinde pe o suprafata de
mai mult de 100 m s-au obtinut timpi mai buni de 7 s.
Aplicatii
Dispozitivul optic MRR este un retroreflector sub forma de cub care moduleaz i
returneaz pasiv raza laser de interogare ctre sursa acesteia. Doua dintre cei trei faete
oglind ale retroreflectorului reprezinta matrite din siliciu acoperite cu un strat de aur de
11mm pe o parte. A treia faet oglind este modulatorul optic in tehnologie MEMS, care are
dimensiuni similare i o deschidere acoperita cu un strat subtire de aur care msoar 9 mm n
diametru.Cele trei matrie sunt aliniate, mbinate cu ajutorul unui proces pentru a produce
retroreflectorul, care are paralelism sau fascicul de deviatie mai mare de 30 de secunde de
arc. Ansamblul este situat pe axa cilindric in spatele unui geam de protecie i un declansator
bi-stabil, care este nchis cnd sistemul este inactiv pentru a oferi protectie.
Sistemul utilizeaz o fotodiod cu infrarou (IR) extern montat care s simt atunci
cnd este interogat, pentru a deschide declansatorul i ncepe transferul de date. Deschiderea
9
carcasei MRR nu optureaza fascicolul incident sau fascicul reflectat, cu condiia ca campul
vizual (FOV) sa fie limitat doar de geometria sub forma de cub a dispozitivului, care este de
aproximativ 60 (full-widthhalf-max) aa cum se vede n Figura 6.
Sistemul retroreflector este prezentat doar cu o baterie, dar sistemul poate gzdui
dou baterii n paralel pentru a crete durata de via a sistemului.
Folosind o singur baterie de 9V, MRR a transmis continuu 24 ore. Consumul total
de energie pentru sistem n timpul acestor teste a fost mai sczut de 100mW. Sistemul
complet MRR a fost testat pe teren cu ajutorul unui laser 1550nm CW dezvoltat de Nova
Sol Inc, si prezintat n figura 7. A fost stabilita o legatura la o distanta de 2 km, extrapolarea
rezultatelor sugerand ca se poate extinde gama lor pana la aproximativ 5 km.
Sistemul BMC MRR are patru mari avantaje fata de alte tehnologii in are liber la
distan:
indicatoare i subsisteme de urmrire nu sunt necesare. Deoarece retroreflectorul
readuce automat fasciculul in sursa, sistemul nu are nevoie de indicatoare subsisteme de
urmrire ca stabileasc o legtur ntre sursa si destinatie.
semnal densitate de putere nalt i securitate sporit. MRR reintoarce semnal de-a
lungul unei ci nguste, si nu cu un unghi larg, mbuntind astfel semnalul densitate de
putere i de asemenea, reduce probabilitatea intercepei semnalului de un spargatori de
coduri.
Consum redus de energie. MRR funcioneaz ca o "surs pasiv", care nu emit
propria putere radiat. Aceast caracteristic mbuntete foarte mult timpul de via a
bateriei de la nod, care ar putea fi un soldat, un senzor pasiv sau o locaie de supraveghere.
Puterea fasciculului de retur este direct proporional cu puterea fascicului de interogare.
Singura bateria necesar la nodul remote sursa este cea uitlizat pentru operaiile senzorului,
producia de date i modulatia electrostatic.
multiple aplicatii de management. Spectrul de reflexie a MRR este larg, care
permite posibilitatea de a gestiona mai multe sisteme de operare la lungimi de und diferite.
De exemplu, MRR poate modula un fascicul de iluminare trimite de la un MIR (850nm) cu
laser i sa il returneze catre o pereche de ochelari cu vedere nocturna, n acelasi timp
moduland intermitent un fascicol laser de 1550nm cu datele codificate, cum ar fi locaia i
identificarea utilizatorului.
Sistemele concurente sunt limitate de lime de band ngust i nu ofer aceast
abilitate.
11
Bibliografie:
http://www.academia.edu/8846979/Microcomutatoare_RF_MEMS_Fiabilitate_moduri_%C8%99i_mecanisme_de_defe
ctare_MICROCOMUTATOARE_RF_MEMS_FIABILITATE_MODURI_%C8%98I_MEC
ANISME_DE_DEFECTARE
https://www.thorlabs.com/images/TabImages/MEMS_Optical_Modulator_Wh
itepaper.pdf
http://www.bostonmicromachines.com/mems-optical-modulator.htm
http://telecom.etti.tuiasi.ro/telecom/staff/dionescu/discipline%20predate/mems
_curs
12