PROIECT MATERIALE OPTICE

CRETU ALEXANDRA

FACULTATEA - DESIGN DE PRODUS SI MEDIU

SPECIALIZAREA- OPTOMETRIE
ANUL IV
GRUPA 171111
AN UNIVERSITAR 2014-2015

INTRODUCERE
Importana cercetrilor n domeniul opticii integrate
Odat cu demonstrarea funcionrii laserelor cu ioni de Nd i respectiv
Er 3 , iar mai trziu i n regim de cuplare a modurilor (mode-locking) i
respectiv declanat (Q-switched) n ghiduri optice avnd ca substrat LiNbO (la
nceputul anilor 1990 [1.8], [1.9], [1.10]) s-a creat posibilitatea integrrii
monolitice a dispozitivelor laser mpreun cu alte componente optice cum ar fi
de exemplu modulatoare electrooptice, convertoare de frecven . a. Aceste
componente pot fi utilizate i pentru fabricarea unor dispozitive planare
complexe care pot ndeplini mai multe funcii i au aplicaii n sistemul
telecomunicaiilor optice, procesarea optic a semnalelor, senzori cu fibre i
ghiduri optice de und etc.
n ultimii ani, sistemul de comunicaii prin fibre optice joac un rol tot mai
important n telecomunicaii. n sistemele optice de telecomunicaii, fibrele
optice se utilizeaz ca mediu de transmisie, nlocuind cablurile convenionale,
din cupru, fa de care prezint o serie de caracteristici net superioare:
imunitatea la interferenele electromagnetice, izolarea electric a
transmitorului fa de receptor, absena problemelor legate de scurtcircuitare
i strpungere, pierderi reduse, lrgimea de band extrem de ridicat,
reducerea volumului, a greutii i a preului de cost.
Cercetrile privind dispozitivele optoelectronice integrate n domeniul
infrarou al spectrului (1-2 m) prezint mare importan, mai ales datorit
aplicaiilor acestora n telecomunicaii, n procesarea semnalelor optice, n
fabricarea senzorilor optici . a.
Comunicaiile prin fibre optice prezint o serie de avantaje n comparaie
cu cele prin cablu coaxial clasic, acestea fiind prezentate n continuare. O bun
parte dintre aceste avantaje se ntlnesc i n cazul senzorilor cu fibre i
ghiduri optice de und, procesrii optice a semnalelor i altor dispozitive.
Lrgimea benzii. n general, lrgimea benzii unui sistem de comunicaii
poate fi mrit prin lrgirea benzii de transmisie i prin mrirea frecvenei
purttoarei. Viteza de transmisie a datelor prin fibrele optice este mai mare
dect prin cablul coaxial pentru c viteza semnalelor luminoase este mai mare
dect a celor electronice. De asemenea, dispersia semnalelor luminoase n
sticl este mai mic dect cea corespunztoare semnalelor electronice n
cablu.
Pierderi sczute ale puterii optice. n cazul sistemului de comunicaii
prin cablul coaxial atenuarea semnalului crete odat cu mrirea distanei pe
care se efectueaz transmisia, fiind necesar utilizarea unor dispozitive de
amplificare a semnalului n cazul unor transmisii la distant mare.
Din cauza pierderilor mici, n cazul comunicaiilor prin fibre optice este
posibil realizarea unor transmisii la distan mare fr s fie necesar
utilizarea amplificatoarelor. De exemplu, n cazul utilizrii unor surse (diode
laser) care emit n domeniul infrarou apropiat al spectrului optic ( 1300 nm)
i al unor fibre multimodale cu pierderi mici ( 0,7 dB/km) utilizarea
amplificatoarelor se impune numai pentru distane mai mari de 30 km.
Absena interferenelor. ntruct n cazul sistemelor de comunicaie

digital este necesar utilizarea unor semnale cu caliti deosebite, acestea pot
fi Afectate de interferenele electromagnetice sau de cele determinate de
zgomotul produs de motoare.
Securitate. n comparaie cu cablul de cupru, fibrele optice sau din plastic,
ntruct sunt izolatoare i nu radiaz energie la frecvene nalte, asigur o
securitate total comunicaiilor militare, comerciale i guvernamentale.
Greutate redus. Greutatea redus a fibrelor optice joac un rol deosebit
de important n cazul utilizrii lor, mai ales la construirea avioanelor i a altor
vehicule.
Sigurana. ntruct fibrele optice nu conduc electricitate, nu produc
scntei i nu ard uor, acestea sunt foarte des utilizate n uzinele chimice sau
n medii care conin vaporii unor substane uor inflamabile.
Dezvoltarea puternic a tehnologiei de producere a fibrelor optice
caracterizate prin pierderi sczute a creat posibilitatea amplificrii semnalelor
transmise prin acestea datorit ctigului rezultat ca urmare a doprii lor cu
atomi din grupa pmnturilor rare (Nd i Er) obinndu-se astfel suportul
material pentru transmisii i legturi la distane mari [1.11] i pentru
transmiterea impulsurilor de tip solitonic [1.19], [1.19].
n anul 1996 a fost realizat prima reea telefonic transatlantic cu
lungimea total de 12 239 km care conine 140 de repetori optici care leag
dou orae din Statele Unite ale Americii i alte dou din Europa n care
amplificarea semnalului avnd lungimea de und =1,55 m se face cu ajutorul
unor amplificatoare fabricate din fibre optice dopate cu Er [1.11], [1.19].
Prin doparea ghidurilor optice cu ionii pmnturilor rare s-au fabricat
dispozitive active i de asemenea componente cu pierderi zero, care pn
acum Erau n mod tradiional clasificate ca pasive (n care pierderile de inserie
i la propagare sunt compensate de ctigul rezultat ntr-o zon activ unde
semnalul este amplificat).
n ultimii ani, n telecomunicaii sunt utilizate tot mai mult fibrele i
ghidurile optice de und cu cristale fotonice, fibrele i ghidurile optice de und
cu reele Bragg. Cu ajutorul acestor dispozitive s-au putut transmite 40 Gbit/s
mbuntindu-se i caracteristicile transmisiei.
2. METODE DE PRODUCERE A FIBRELOR I GHIDURILOR OPTICE DE UND
2.1. Producerea fibrelor optice
n ultimii treizeci de ani s-au dezvoltat foarte mult dispozitivele
optoelectronice active i pasive ghidate datorit posibilitilor de miniaturizare
a circuitelor i de integrare monolitic pe acelai substrat a mai multor
componente, acestea fiind fabricate prin diferite metode.
Unul dintre cele mai cunoscute ghiduri optice este fibra optic, aceasta
avnd o seciune circular i fiind format dintr-un miez i o cma dispus la
exteriorul miezului. Indicele de refracie al miezului este mai mare dect cel al
cmii. Fibrele optice cel mai des utilizate sunt realizate dintr-un material
refractar acid (silica) care conine cel puin 93% SiO , fabricat din cuarite, cu
liant de var sau cu argil, n general i cu adaosuri mineralizate, arse la
1460 1530 oC timp de 24 de ore, pentru a transforma o fraciune ct mai mare
din cuar n trimidit (varietate a SiO ).

Diametrul miezului este mult mai mare dect lungimea de und a radiaiei,
fiind cuprins ntre 5200 m. O valoare standard este de 50 m cu cma de
125 m. Pentru evitarea pierderilor luminoase parazite n cma, se adaug o
cma exterioar cu indice de refracie mai mare dect al cmii interioare.
Spre deosebire de fibra optic, ghidurile optice de und, folosite n
circuitele optice integrate au de cele mai multe ori o structur planar cum ar fi
de exemplu filmele plane sau panglicile (strips).
n general, realizarea ghidurilor optice de und prin diferite metode
(difuzie, schimb ionic etc.) se face pe baza unor tehnologii moderne care au n
vedere aa-numitele tehnici de fotolitografiere i de difuzie, similare celor
uutilizate n industria microelectronic.
Toate aceste procese tehnologice trebuie s se desfoare ntr-un mediu
perfect curat pentru a evita ca eventualele impuriti coninute n aer s
contamineze i s altereze ntr-o msur relevant structurile realizate. Din
aceast cauz se folosesc aa-numitele camere curate (albe) n care cantitatea
de impuriti este meninut sub un control strict, de exemplu ntr-un
centimetru cub de aer nu trebuie s existe mai mult de 100 particule cu
dimensiuni mai mari de 0,5m.
Tehnologiile utilizate pentru obinerea materialelor caracterizate printr-o
transparen ridicat din care sunt confecionate fibrele optice se mpart n
dou mari grupe: metoda creuzetului sau din faz lichid i respectiv metoda
de depunere din stare de vapori.
2.1.1. Metoda creuzetului
Metoda creuzetului este utilizat n general pentru obinerea fibrelor din
sticle care au punct de topire cobort (v. fig. 2. 1). Materialele componente pure
aflate n stare de pulbere sunt nclzite mpreun ntr-un creuzet de siliciu sau
de platin (v. fig. 2. 1 a)). Pentru nclzire se poate folosi radiaia emis de
pereii unui cuptor electric n care sunt introdui componenii, acetia nefiind
n contact cu pereii cuptorului. De asemenea, nclzirea se mai poate face prin
inducie cu un curent de radiofrecven [2.3]. n cazul utilizrii unui creuzet
metalic pentru nclzirea componenilor prin inducie cldura este transferat
prin conducie. Dac se folosete un creuzet de siliciu componenii n stare de
pulbere trebuie prenclzii i apoi nclzii prin inducie. Astfel, topitura
obinut este la o temperatur mai mare dect creuzetul fiind puin probabil s
se contamineze de la acesta. De obicei creuzetele din siliciu sunt folosite o
singur dat dac acestea nu sunt prevzute cu un stand de reciclare termic.
n mod tradiional miezul din sticl sub form de bar este introdus ntr-un tub
care constituie nveliul i apoi ansamblul celor dou este tras pentru a se
obine fibra nvelit. Cu ajutorul unui creuzet dublu prezentat n figura 2. 1 a) se
pot obine fibre care au un diametru mare i de asemenea o apertur numeric
mare (fig. v. 2. 1 b)).

Fig. 2. 1. a) Reprezentarea schematic a creuzetului dublu, b) fibra nvelit.

n cazul utilizrii unui creuzet dublu se pot obine fibre optice din sticl cu
borosilicat de sodiu sau din sticl cu borosilicat de sodiu i calciu, acestea
fiind caracterizate de atenuri mici pe un domeniu spectral larg din vizibil pn
n IR (fig. 2. 2).
2.1.2. Metoda de depunere din stare de vapori
ntruct temperatura de topire a sticlelor cu coninut mare de siliciu este
prea ridicat n cazul metodei creuzetului, pentru producerea fibrelor se
utilizeaz metoda de depunere din stare de vapori.
Exist mai multe configuraii experimentale, i anume: depunere intern
de vapori, (Inside Vapour Deposition-IVD) n care gazele reactante genereaz
straturi succesive n interiorul unui tub de cuar, depunere extern de vapori,
(Outside Vapour Deposition-OVD) n care straturile sunt depuse pe suprafaa
unei bare care apoi este ndeprtat, depunere axial de vapori, (Vapour Axial
Deposition-VAD) n care se genereaz mai nti o form cilindric axial etc.
Metode de producere a fibrelor i ghidurilor optice de und 17
Fibrele obinute prin aceste metode se caracterizeaz la lungimea de und
1550 nm prin atenuri de 0,20 0,22 dB/km.

Fig. 2. 2. Dependena atenurii unei fibre obinute cu ajutorul unui creuzet

dublu de lungimea de und n cazul utilizrii: sticlei din borosilicat de sodiu
(curba continu), sticlei din borosilicat de sodiu i calciu (curba punctat).
2.1.3. Metodele de depunere intern i extern din stare de vapori
n aceste cazuri, pentru sinteza particulelor fine de sticl din cloruri se
utilizeaz hidroliza n flacr, rezultnd o sticl poroas i opac. Reaciile
chimice tipice sunt:
SiCl4 + 2H2O = SiO2 + 2H2 + 2Cl2
GeCl4 + 2H2O = GeO2 + 2H2 + 2Cl2
2POCl3 + 3H2O = P2O5 + 3H2 + 3Cl2
2BBr3 + 3H2O = B2O3 + 3H2 + 3Br2 .
Excesul de vapori de ap este ndeprtat chimic din sticla rezultat n urma
reaciilor:
SOCl2 + H2O SO2 + H2 + Cl2
2SOCl + 2OH 2SO2 + H2 + 2Cl2
Cl + 2OH O2 + 2HCl .
n figura 2. 3 este prezentat schematic procesul de depunere extern de
vapori. Prin hidroliz n flacr sticla se depune de-a lungul unei bare de
aluminiu sub forma mai multor straturi. Apoi bara este uscat i urmeaz
procesul de obinere a fibrei optice.
Variind concentraia componenilor se pot obine fibre avnd profilul
indicelui de refracie fie de tip treapt fie de tip gradient. n urma ndeprtrii
barei de aluminiu se obine o sticl poroas avnd form cilindric goal n
interior.
Apoi, aceasta este nclzit pentru a fi uscat n atmosfer de clor i
sinterizat, pentru a se obine o bar de sticl solid i transparent, din care
n final rezult fibra optic avnd lungimea cuprins ntre 40 i 50 km.
Utiliznd acest procedeu se pot obine fibre omogene avnd atenuarea
mic i de asemenea se poate face un bun control asupra profilului indicelui de
refracie al fibrei.

Fig. 2. 3. Schema procesului de depunere extern de vapori: a) depunerea

stratului de sticl poroas pe o bar de aluminiu, b) uscarea i obinerea barei
de sticl transparent.
2.1.4. Metoda de depunere axial de vapori
n cazul metodei de depunere axial de vapori sticlele care formeaz
miezul i respectiv inveliul sunt depuse simultan la capetele unui germene
sub form de bar care mai nti este rotit pentru a se asigura omogenitatea
azimutal, iar apoi este tras n sus ntr-un cuptor electric cu viteza de 2,5
mm/min (fig. 2. 4).

Fig. 2. 4. Schema procesului de depunere axial de vapori i de obinere a

preformei. nclzirea se face la o temperatur cuprins ntre 1100 i 1200oC n
atmosfer de oxigen i clor pentru a ndeprta orice urme de ap precum i
ionii de hidroxil.
Metode de producere a fibrelor i ghidurilor optice de und 19
temperatura de 1500oC ntr-un alt cuptor de carbon, n care se obine preforma
desticl, transparent, cu un diametru de 20 mm.Utiliznd aceast metod se
poate obine prin doparea cu germaniu un control rezonabil al indiceluui de
refracie meninnd un profil corespunztor al temperaturii n jurul preformei
poroase. Se pot obine astfel fibre avnd atenuri mai mici de 0,5 dB/km pentru
radiaii avnd lungimea de und de 1,3 m, precum i dispersii temporale d

aproximativ 0,2 ns/km.

2.1.5. Fibre optice amplificatoare
n figura 2. 5 este prezentat schematic montajul experimental utilizat
pentru realizarea dopajului cu germaniu i ioni de Er (elementul activ). n timpul
depunerii miezului, camera de dopare este nclzit la aproximativ 1000oC
pentru a mri presiunea vaporilor din interiorul tubului. Vaporii sunt ncorporai
cu principalii reactani i sunt depui pe straturile miezului n fibr. Camera de
dopare conine un burete de siliciu impregnat cu pmnturi rare.
Partea nedopat a miezului este depus pe substratul interior tubului. Cnd
se atinge aceast parte a miezului care urmeaz a fi dopat, temperatura este
sczut pentru a preveni topirea total a sticlei. Aceast operaie produce un
burete alb i poros n interiorul tubului. Soluia de Er (sau a oricrui codopant
ce urmeaz a fi ncorporat) este introdus n tub ceea ce duce la umezirea
porilor, proces ce dureaz aproximativ o or. n acest fel se asigur o
reproductibilitate mai mare a vaporilor. Lichidul este ulterior refulat din tub, iar
straturile poroase sunt uscate.
Aceast operaie este urmat de deshidratarea preformei prin nclzirea
acesteia ntr-un gaz de injectat, timp de aproximativ o or. Straturile
poroase sunt topite cu atenie n atmosfer de lsnd un material complet
uscat i preforma este apoi nchis.

Fig. 2. 5. Schema procesului de depunere axial a Ge i a ionilor de Er . 3+

Fibrele optice amplificatoare amplific radiaia luminoas ce se propag
prin acestea. n general, aceste fibre nu modific polarizarea i pot fi conectate
cu orice tip de fibr. Fibrele optice amplificatoare tipice sunt fibre monomod
dopate cu Er pe suport de silicai. Dopajul cu ionii de Er din fibr determin
scderea pierderilor. n continuare, fibra este curat ntr-un cuptor. Pentru a fi
acoperit primar, fibra este trecut printr-o baie care conine soluia unui
polimer i apoi este uscat fie cu raze ultraviolete fie cu ajutorul unui cuptor cu
inducie. Aceeai operaie se repet n vederea acoperirii secundare. Aceste
operaii se efectueaz ntr-o atmosfer fr praf pentru a micora defectele de
suprafa.
Acoperirea fibrei cu un nveli de plastic se face cu ajutorul unui extruder
prevzut cu un melc care mpinge materialul plastic topit asupra fibrei (fig. 2.
6).

Fig. 2. 6. Schema procesului de acoperire a fibrei cu un nveli de plastic.

Utiliznd procedeele prezentate anterior se pot obine att fibre optice ct
i cabluri optice care conin una sau mai multe fibre optice (fig. 2. 7).

Fig. 2. 7. Fibr i cablu optic.

2.1.6. Fibre optice cu reele Bragg
n ultimii ani, n telecomunicaiile optice avnd vitez mare de transmisie
se utilizeaz tot mai mult pentru manipularea i multiplicarea pulsurilor optice
precum i pentru a compensa fenomenul de dispersie fibre optice care au
ncorporate reele de difracie Bragg.
Reelele Bragg n fibrele optice pot fi fabricate cu ajutorul unei mti de
faz cu perioad constant fie prin variaia indicelui de refracie al fibrei fie prin
modulaia perioadei figurii de interferen din spatele mtii [2.10].
Variaia indicelui de refracie al fibrei poate fi obinut supunnd fibra n
mod gradat unei deformaii sau unui gradient de temperatur. De exemplu, s-a
obinut o variaie liniar a indicelui de refracie al fibrei pe o anumit poriune
prin ncovoierea acesteia. Prin curbarea fibrei se induce un gradient liniar de
tensiune de-a lungul fibrei, perioada de variaie a indicelui de refracie fiind
proporional cu tensiunea mecanic aplicat fibrei pe acea poriune.
Reeaua Bragg n fibra optic poate fi fabricat i cu ajutorul unui laser cu Ar
ionizat a crui radiaie din domeniul UV este focalizat cu o lentil sferic pe
masca de faz
Metode de producere a fibrelor i ghidurilor optice de und 21
i apoi eantionat cu ajutorul unui modulator acustooptic a crui perioad
determin perioada reelei. Fibra este meninut n poziie nclinat n faa
mtii. Forma dorit a profilului reelei i perioada acesteia pot fi obinute prin
micarea i respectiv nclinarea fibrei n timp ce fasciculul laser baleiaz
masca de faz. Pentru a obine reele cu dimensiuni mari se deplaseaz fibra n
mod continuu i controlat n faa mtii n zona de interferen.
Printr-un control riguros al deplasrii fibrei i al modulatorului acustooptic se
pot obine reele cu variaii mici ale perioadei i o valoare exact a dispersiei.
n figura 2. 8 este prezentat reflectivitatea normalizat a i ntrzierea

temporal a pulsului n domeniul IR al spectrului n cazul unei fibre optice care

are ncorporat o reea Bragg i este obinut prin metoda prezentat anterior.

Fig. 2. 8. Reflectivitatea normalizat i ntrzierea temporal a unei fibre optice

cu reea Bragg n domeniul IR al spectrului.
2.1.7. Fibre optice cu cristale fotonice
Fibrele cu cristale fotonice au fost fabricate pentru prima dat n anul 1998
[2.11]. Conceptul de cristal fotonic a fost introdus n anul 1995 pe baza
analogiei optice dintre structura benzilor electronice interzise ale
semiconductoarelor i structurile dielectrice periodice [2.11], [2.12].
Fibrele cu cristale fotonice sunt caracterizate de o variaie mare a indicelui
de refracie al materialul din care este fabricat fibra i pot fi de dou feluri.
Exist fibre care conin un miez din Si solid, (care este izotrop) nconjurat de
un cristal fotonic bidimensional cu indice de refracie mai mic dect cel al
miezului care
formeaz cmaa, acestea conducnd lumina pe baza fenomenului de reflexie
intern total i asemnndu-se cu fibrele clasice. n ultimii ani s-au fabricat i
fibre care conin un cristal fotonic de tip fagure care are o structur de benzi
interzise i care contribuie la ghidarea luminii n regiunea miezului (fig. 2. 9 a)).
n acest caz miezul are un indice de refracie mai mic dect al cmii i
determin o distrugere a periodicitii cristalului fotonic rezultnd o
supercelul care se repet periodic n fibr (fig. 2. 9 b)).

Fig. 2. 9. Fibr optic cu cristal fotonic: a) tip fagure, b) cu supercelul

care se repet periodic.
Se introduce astfel o regiune spaial (defect) cu proprieti optice diferite
dect ale cristalului fotonic i n care sunt excitate moduri cu frecvenele
distribuite printre cele ale cristalului fotonic, aceste moduri fiind puternic
confinate n defect dac supercelula are dimensiuni mai mari dect
dimensiunile modurilor ghidate n miez [2.12].
Pentru a fabrica o fibr optic cu cristal fotonic este necesar mai nti
crearea unei preforme care s conin la nivel macroscopic structura dorit.
O prim posibilitate const n formarea unui numr de goluri (de la cteva

zeci pn la cteva sute) dispuse periodic n preform. Alt posibilitate, mai

ieftin, rapid i flexibil prezentat n figura 2. 10 este legat de realizarea unui
mnunchi de tuburi capilare i bare din sticl (fig. 2. 10 a)) avnd un diametru
de 20 mm care s formeze structura aer-sticl dorit i respectiv profilul
corespunztor al indicelui de refracie (fig. 2. 10 b)).

Fig. 2. 10. Reprezentarea schematic a procesului de fabricare a

unei fibre cu cristale fotonice. n continuare structura (fig. 2. 10 c)) este
nclzit (topit) ntr-un cuptor la temperaturi cuprinse ntre 1900 oC i 2100
oC, iar apoi tras pn cnd diametrul acesteia devine 80 200 m (fig. 2. 10 d)).
Pentru a controla diametrul golurilor de aer din interiorul structurii n timpul
procesului de tragere n interiorul preformei se mrete presiunea n raport cu
mediul nconjurtor. Procesul de fabricare poate fi controlat printr-o alegere
adecvat a temperaturii preformei, a timpului de tragere a acesteia, dar i a
presiunii din interiorul ei. n final, fibra cu cristale fotonice este nvelit cu un
strat de protecie standard pentru a i se asigura robustee.
Pe baza celor prezentate anterior este posibil fabricarea fibrelor cu mai
multe miezuri, mai dificil de realizat n fibrele clasice. Fibrele cu mai multe
miezuri pot fi aplicate n telecomunicaiile optice cu mai multe canale, la
fabricarea senzorilor etc.
2.1.8. Fibre optice din plastic
n ultimii douzeci de ani s-au dezvoltat tot mai mult fibrele din plastic
(Plastic Optical Fiber-POF), acestea fiind foarte flexibile i avnd un pre redus
de fabricare. Miezul fibrei este fabricat dintr-un polimer, de exemplu:
polimetilmetacrilat (PMMA), polistiren, polimetilfenilsiloxanic etc., iar cmaa
Metode de producere a fibrelor i ghidurilor optice de und 23
dintr-o rin siliconic. Indicele de refracie al miezului este cuprins n
intervalul 1,49 1,59 [2.3].
Pentru fabricarea fibrelor din plastic se pot utiliza aceleai metode ca i n
cazul celor din bioxid de siliciu (cuar), temperatura preformei fiind de 200 C.
Miezul fibrei poate fi dopat cu colorani organici i cromofori, n acest caz fibra
fiind utilizat pentru fabricarea unor dispositive optoelectronice. Diametrul
fibrelor optice din plastic este de 0,25o1 mm, deci apertura numeric a
acestora poate atinge valori ridicate.
In ultimii ani au fost fabricate fibre optice microstructurate din polimeri
(mPOF), avnd o structur asemntoare cu cea a unei fibre cu cristale.
Din cauza atenurii mari fibrele optice din plastic nu sunt utilizate n

telecomunicaii pe distane mari ci numai pentru distane mai mici de 100 m i,

de asemenea, pentru fabricarea senzorilor optici i pentru iluminat.
2.2. Metode de producere a ghidurilor optice de und
2.2.1. Structura ghidurilor optice de und
Ghidurile optice de und, cunoscute i sub numele de ghiduri dielectrice,
sunt structuri de tip sandwich care se folosesc pentru confinarea i ghidarea
luminii ntr-un singur sau n mai multe moduri de oscilaie n dispozitivele i
circuitele optice integrate.
Spre deosebire de fibra optic, ghidurile folosite n circuitele optice
integrate au de cele mai multe ori o structur planar, cum ar fi de exemplu
filmele plane sau panglicile (strips). Cel mai simplu ghid dielectric de form
planar este prezentat n figura 2. 11 i este dispus sub forma unui sandwich
ntre un substrat i respectiv un superstrat.
Indicele de refracie corespunztor ghidului este mai mare dect cel al
substratului i respectiv al superstratului. Foarte des, materialul din care este
constituit superstratul este chiar aerul care are indicele de refracie egal cu
unitatea.

Fig. 2. 11. Seciune printr-un ghid optic planar.

De obicei, ghidurile au dimensiuni de ordinul micronilor, iar diferenele
dintre indicii de refracie corespunztori ghidului i respectiv substratului sunt
cuprinse n intervalul 0,1 0,001. Ghidurile pentru care diferena dintre indicii de
refracie corespunztori superstratului i respectiv substratului este cuprins
n intervalul 0,01 0,001 sunt obinute prin difuzie ionic sau schimb ionic, iar
cele pentru care aceast diferen este aproximativ 0,1 sunt heterostructuri
semiconductoare sau au fost obinute prin schimb protonic.
Fraciunea din puterea undelor luminoase care este confinat n regiunea
de ghidare depinde att de indicele de refracie al acesteia ct i de
dimensiunile ei.
De obicei, mai mult de 80% din putere este confinat n ghid.
Efectul de confinare n cazul ghidurilor planare este obinut numai dup o
direcie, n planul filmului putnd s se manifeste fenomenul de difracie. Cu
toate acestea, fenomenele cele mai interesante care pot aprea n ghid se pot
manifesta numai n planul care conine direcia de confinare.
n funcie de forma seciunii transversale se pot fabrica i alte tipuri de
ghiduri (fig. 2. 12).

Fig. 2. 12. Tipuri de ghiduri canal: a) general, b) ngropat n substrat, c)

panglic (situat la suprafaa substratului), d) nervur (situat la suprafaa
substratului), e) ncastrat n substrat, f) creast (situat la suprafaa
substratului).
Ghidurile canal sunt de mai multe feluri, n funcie de poziia relativ a
ghidului propriu-zis fa de substrat i respectiv superstrat, i anume: general
(fig.2. 12 a)), ngropat n substrat (buried) (fig. 2. 12 b)), situat la suprafaa
substratului i avnd forma unei panglici (raised strip) (fig. 2. 12 c)), situat la
suprafaa substratului i avnd forma unei nervuri (rib) (fig. 2. 12 d)), ncastrat
n substrat (embedded) (fig. 2. 12 e)), situat la suprafaa substratului i avnd
forma unei creste (ridge) (fig. 2. 12 f)).
n cazul ghidurilor de tip canal fasciculele luminoase se propag fr a
suferi fenomenul de difracie pe distane (de ordinul centimetrilor) care sunt
limitate practic numai de absorbia i mprtierea acestora n ghid.
Metodele cel mai des utilizate pentru fabricarea ghidurilor optice de und
sunt: difuzia (de exemplu, n cazul titaniului n niobatul de litiu (LiNbO 3 )) i
depunerea din stare de vapori (de exemplu, n cazul SiO2 ).
Pentru a fabrica un ghid optic de und este necesar ca n substrat (sticla,
niobatul de litiu etc.) s fie modificat local indicele de refracie. Utiliznd
materiale anorganice, ghidurile optice de und se pot obine prin mai multe
metode dintre care cele mai importante sunt:
a) doparea unui material, de exemplu, LiNbO , cu atomii unui element
mai greu (de exemplu, Ti) prin difuzia acestuia, utiliznd tehnica
microlitografierii [2.1], [2.2];
b) metoda schimbului ionic dintre ionii unui material gazd (de exemplu,
ionii de Na din sticl) i ali ioni avnd aproximativ aceleai dimensiuni care n
urma procesului de difuzie produc o variaie local a indicelui de refracie (de
exemplu, ionii de Ag) [2.2];
c) metoda schimbului protonic, care are loc de exemplu ntre ionii de litiu
aparinnd unui substrat de LiNbO 3 i acidul benzoic sau benzoatul de litiu
[2.2].
n general, realizarea ghidurilor optice de und prin diferite metode
(difuzie, schimb ionic etc.) se face pe baza unor tehnologii moderne care se
bazeaz pe aa-numitele tehnici de fotolitografiere i de difuzie, similare cu
cele

utilizate in industria microelectronic.

Cuvntul litografie provine din limba greac fiin format din alte dou
cuvinte: lithos, care nseamn pietre i graphia, care nseamn a scrie. n cazul
nostru, piatra este de exemplu substratul de LiNbO , Si etc., iar formele sunt
scrise cu ajutorul unui polimer sensibil la lumin numit fotorezist.
Litografia optic (fotolitografia) este un proces fotografic prin care
fotorezistul este expus radiaiilor ultraviolete i apoi developat pentru a forma
imagini n relief (tridimensionale) pe substrat.
n general etapele unui proces tipic de fotolitografiere sunt (fig. 2. 13):
pregtirea (curarea) substratului, (fig. 2. 13 a)), acoperirea cu fotorezist (fig. 2.
13 b)), sinterizarea preliminar (fig. 2. 13 c)), alinierea i expunerea la radiaii
ultraviolete (fig. 2. 13 d)), developarea (fig. 2. 13 e)), gravarea i implantul (fig. 2.
13 f)), iar n final nlturarea fotorezistului i sinterizarea final.

Fig. 2. 13. Etapele unui proces tipic de fotolitografiere: a) pregtirea

substratului, b) acoperirea cu fotorezist, c) sinterizarea preliminar d), alinierea
i expunerea la radiaii ultraviolete, e) developarea, f), gravarea i implantul i
g) nlturarea fotorezistului i sinterizarea final.
n cazul difuziei se pot utiliza mti fotolitografice pentru a defini canalele
prin care materialul care urmeaz a fi difuzat s ptrund n substrat.
Operaia de gravare poate fi: umed (chimic) i uscat (ionic). n cazul
gravrii umede se utilizeaz un amestec de acizi HF i HNO , cu care se atac
substratul, iar n cazul celei uscate se utilizeaz fascicule de ioni (plasm) care
sunt focalizai pe substrat.
2.2.2. Producerea ghidurilor optice de und prin difuzie
n cazul fabricrii ghidurilor optice prin difuzie substratul folosit cel mai
des este cel de niobat de litiu. Exist mai multe etape de desfurare a
procesului.n funcie de modul de ntrebuinare a ghidului optic (activ sau
pasiv), n diferite montaje experimentale, acestea se pot dopa i cu ali atomi
sau ioni (de obicei ionii pmnturilor rare: Nd , Er , etc.) nainte sau dup
procesul de difuzie a Ti
[2.13], [2.14].
Difuzia titanului n substratul de LiNbO . n urma dopajului cu erbiu
are loc fabricarea propriu-zis a ghidului optic, diferitele etape ale procesului

fiind prezentate n figura 2. 14.

Prima etap const n depunerea pe suprafaa LiNbO3 a unui strat dintr-un

material fotorezistiv (fig. 2. 14 a)) care este impresionat n urma trecerii luminii
ultraviolete printr-o masc determin forma ghidului (fig. 2. 14 b)). n urma
tratrii cu un agent chimic potrivit (fig. 2. 14 c)) se graveaz n fotorezist forma
ghidului.
Depunerea stratului de titan pe substrat cu grosimi variind ntre 940 i 950
se face prin pulverizarea uniform a acestuia (sputtering) (fig. 2. 14 d)) ntr-o
instalaie de depunere sub vid (fig. 2. 15).
Prin nlturarea stratului de fotorezist n urma introducerii substratului ntr-o baie cu aceton se obine un strat de Ti (fig. 2. 14 e)) avnd dimensiunile
bine determinate i n poziia dorit (lift off). n final, substratul este introdus
ntr-un cuptor avnd temperatura de 1030oC, timp de 9 ore, proces n urma
cruia are loc difuzia titanului n acesta (fig. 2. 14 f)).

Fig. 2. 14. Etapele procesului de fabricare a ghidurilor optice de und de tip

Ti:LiNbO 3 :
a) depunerea stratului de fotorezist; b) iradierea cu radiaii UV;
c) tratarea cu agent chimic; d) depunerea stratului de Ti
prin pulverizare (sputtering); e) lift off; f) difuzia Ti.

Fig. 2. 15. Reprezentarea schematic a instalaiei de depunere.

Difuzia erbiului. O alt etap (de obicei prima) const n depunerea pe
ntreaga suprafa a substratului de niobat de litiu a elementului activ (de
exemplu, erbiu metalic n cazul funcionrii ghidului ca dispozitiv laser sau
amplificator laser) n urma procesului de evaporare pn cnd grosimea
stratului acestuia este uniform. Grosimea stratului de erbiu depus este de 9
nm n cazul substratului de LiNbO3 tiat dup axa x i de 11 nm n cazul celui
tiat dup axa z . Dup aceea, substratul de LiNbO este ntrodus ntr-un cuptor
cu temperatura de 1100oC, timp de 100 de ore, proces n urma cruia erbiul
difuzeaz n niobatul de litiu. Folosind tehnicile spectrometriei ionice de mas
se poate determina profilul concentraiei erbiului (fig. 2. 16).

Fig. 2. 16. Profilul concentraiei de Er n funcie de adncime: profilul 1 este de

tip gaussian (curba punctat), temperatura cuptorului: 1100oC, timp: 100 h;
profilul 2 este de tip erfc (curba mai groas), temperatura cuptorului: 1080oC,
timp: 50 h; profilul 3 este de tip erfc (curba mai subire), temperatura

cuptorului: 1100oC, timp: 100 h.

Definind prin t intervalul de timp n care erbiul depozitat pe substrat a
ptruns n cristal (LiNbO ), n cazul unor intervale de timp mult mai mari dect
acesta, profilul concentraiei de difuzie