Sunteți pe pagina 1din 2

Senzori optici pentru micropozitionare cu aplicatii in micro-robotica

Fotodetectoare multielement – matrici uni si bidimensionale –dau o indicatie a pozitiei


razei laser prin identificarea structurii care furnizeaza un semnal. Elementele matricii sunt
structuri miniaturizate de fotodiode PIN

Lay-out pentru senzorul cu 3x3 elemente

Lay-out pentru doua matrici liniare de fotodiode PIN integrate cu ghidul optic
Imaginea la microscopul optic a fotodetectorului cu 3x3 elemente active realizat.