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Forme la plus labore de la strilisation plasma Gaz ou mlange de gaz n ayant pas d effet sporicide tant qu il n est pas activ Dure de vie des espces du plasma (qq ms) pas de ventilation ncessaire
Cinq phases : vide, injection de peroxyde d'hydrogne, diffusion du peroxyde d'hydrogne, plasma et retour la pression atmosphrique.