Capitolul 4 SISTEME MICROELECTROMECANICE BAZATE PE EFECTUL PIEZOELECTRIC

4.1. EFECTUL PIEZOELECTRIC

Fratii Pierre si Jaques Curie au observat in anul 1880 aparitia sarcinilor electrice pe fata anumitor cristale (cuart, SiO2 cristalin) supuse solicitarilor mecanice (presiune, deformare). Marimea sarcinii electrice este proportionala cu marimea fortei exercitate, iar sensul polarizarii electrice a cristalului depinde de sensul actiunii mecanice. Acesta este efectul piezoelectric direct (cauza este de natura mecanica, efectul produs este electric). Denumirea fenomenului provine de la cuvantul grecesc "piezo" care insemna "a apasa". In efectul direct aplicarea unei tensiuni mecanice conduce la redistribuirea sarcinilor electrice in volum, rezultand o polarizare electrica volumica si implicit o sarcina electrica indusa pe suprafata. Efectul piezoelectric invers este produs prin aplicarea unui camp electric cristalului, avand ca rezultat deformarea cristalului sau aparitia unei forte (cauza este de natura electrica, efectul este mecanic). Substantele piezoelectrice se impart in doua clase mari: a. substante piezoelectrice liniare (dependenta polarizarii electrice P de campul electric aplicat E este liniara). b. substante feroelectrice (sub temperatura Curie depenenta polarizarii electrice P de campul electric aplicat E este neliniara, peste o anumita valoare a campului polarizarea ramane constanta, se satureaza). Peste temperatura Curie substanta nu mai este feroelectrica, devine paraelectrica si implicit nu mai prezinta efect piezoelectric. Efectul piezoelectric se manifesta in feroelectrici daca acestia sunt polarizati, adica

domeniile in care polarizarea are o orientare bine determinata sunt orientate dupa o singura directie macroscopica, directia campului extern. Cel mai cunoscut material piezoelectric natural este cristalul de cuart. In natura exista mai multe materiale solide sub forma cristalina care prezinta propietatea de piezoelectricitate ca de exemplu : sarea Rochelle, fosfatul de amoniu dihidrogenat, sulfatul de litiu si turmalina. Cele mai cunoscute materiale cristaline piezoelectrice obtinute prin diverse procedee tehnoogice sunt ortofosfatul de galiu, nitratul de aluminiu (AlN) si langasitul. Sub forma de ceramici artificiale se utilizeaza foarte mult titanatul de bariu (BaTiO3) si titano-zirconatii de plumb (PZT) care nu sunt influentati de umiditate, iar temperatura Curie poate depasi 400 0C la PZT, niobatul de litiu sau niobatul de potasiu . In cazul MICROfabricatiei exista trei directii de baza in care sunt utilizate materialele piezoelectrice: cuartul, niobatul de litiu si arsenidiu de galiu pentru fabricarea substraturilor piezoelectrice, oxidul de zinc, nitratul de aluminiu (AlN) si titanatul-zirconat de plumb(PZT) pentru fabricarea filmului piezoelectric fabricarea filmelor polimerice piezoelectrice. Efectul piezoelectric stabileste o relatie intre marimile mecanice si marimile electrice. MARIMI MECANICE - deformarea relativa MARIMI ELECTRICE subtire si poli-vinilidene flouride (PVDF) la S ( Sx S y Sz ) cu - intensitatea campului electric E , cu [E]SI = V/m - polarizarea electrica P cu [P]SI = C/m2 , Marimile electrice satisfac legea legaturii in camp electric: [S]SI = m/m -variatia lungimii (elongatia) / lungimea initiala - tensiune mecanica T (Tx Ty Tz ) cu [T]SI = N/m , este forta /suprafata In cazul materialelor elastice tensiunea mecanica si deformarea relative satisfac legea lui Hook T = Y S cu Y modulul de elasticitate al lui Young
2

D = E = o rE = oE + P

unde D este inductia electrica, este permitivitatea electrica a materialului, o permitivitatea vidului, iar r permitivitatea relativa. Efectul piezoelectric leaga intre ele tensiunea mecanica T cu polarizarea electrica P.. Formularea analitica a piezoelectricitatii presupune analiza unei probleme de campuri cuplate date de ecuatiile electomecanice constitutive de mai jos:

unde: {T} = vectorul tensiunii mecanice {D} = vectorul inductiei electrice {S} = vectorul deformarii {E} = vectorul camp electric [c] = matricea elasticitatii ( evaluata in camp electric constant ) -Y din legea lui Hooke [e] = matricea de efort piezoelectric [] = matricea permitivitatii dielectrice (evaluata la tensiuni mecanice constante) Se considera o placa piezoelectrica de grosime t si suprafata A =L xW. Pe cele doua fete sunt depusi electrozi metalici, de obicei argint. Actuatorul piezoelectric Aplicand o diferenta de potential intre cei doi electrozi placa isi mareste grosimea pe directia campului electric (efect piezoelectric longitudinal) si se contracta pe directiile transversale fata de camp (efectul piezoelectric transversal). Inversand tensiunea aplicata se inverseaza si sensul deformatiilor. Pentru a mari deplasarea ( deformatia) se poate folosi o structura bimorfa

Senzorul piezoelectric. Daca se aplica o forta F in oricare din cele trei directii: lungime, grosime sau latime va apare o tensiune electrica U. Senzorii de presiune constituie in prezent un segment foarte mare pentru dispozitivele MEMS. Presiunea ( forta /unitatea de suprafata) fiind o tensiune mecanica care se exercita pe o suprafata ne putem usor imagina un senzor de presiune (o diafrgma dintr-un material piezoelectric care transforma actiunea presiunii in tensiune electrica). Cel mai des utilizat este senzorul microfabricat dintr-o diafragma deformabila , avand o presiune de referinta pe o fata si cealalta fata fiind supusa la presiunea care trebuie masurata. Deformarea diafragmei se poate masura din variatiile unei capacitati. Alta metoda indirecta de masurare a presiunii poate fi cu ajutorul unei structuri rezonante de cuart sau siliciu cuplata la diafragma in asa fel incat deplasarile diafragmei sa creeze schimbari in tensiunea mecanica aplicata structurii rezonante determinand schimbari ale frecventei de rezonanta. Oscilatorul piezoelectric. Lipind placa piezoelectrica pe o membrana metalica, sistemul obtinut va oscila ca in figura. Placa piezoelectrica din punct de vedere electric este un condensator cu capacitatea C0. Aplicarea unei tensiuni U dispozitivului va determina incarcarea condensatorului cu sarcina: Q1=C0U

dar si aparitia unei tensiuni mecanice in placa datorita campului electric creat (cauza electrica genereaza efect mecanic): T=eE => F/A = eU /g => F = U e A /g Forta aparuta va pune in miscare sistemul ce are masa m (genereaza o forta de inertie md2s/dt2 ), o elasticitate k (genereaza forta elastica k.s) si eventual pierderi r (genereaza forta disipativa r ds/dt): F = k s + r ds/dt + m d2s/dt2 . Deformarea rezultata din actiunea fortei va determina circulatia prin sistemul electric a unei sarcini suplimentare Q2( cauza este mecanica, o deformare, efectul este electric, o polarizare) datorita polarizarii cristalului prin efect piezoelectric: P = e S => Q2 /A = e s /g => Q2 = s e A /g Notand a = e A / l , factorul de cuplaj electromecanic, putem transforma relatia fortei intr-o relatie de marimi electrice: U = Q2 /C + R i2 + L di2 /dt unde: C = a2 /k , R = r/a2 , L = m/a2 . Fiindca sarcina totala absorbita de la sursa este: Q = Q1 + Q2 , sau derivand dupa timp avem o relatie intre curenti: i = i1 + i2 , care determina schema electrica a oscilatorului piezoelectric, capacitatea proprie a placii piezoelectrice C0 in paralel cu circuitul rezonant RLC, in care marimile electrice R, L si C sunt determinate de proprietatile mecanice ale sistemului si de factorul de cuplaj electromecanic a.

Modelarea unui dispozitiv piezoelectric cu elemente de circuit concentrate Se considera dispozitivul simplu din figura de mai jos pentru care se cauta raspunsul static de functionare pentru o tensiune continua aplicata. Suportul este in partea stanga a desenului, deplasarea maxima dupa directia z a capatului este w0 Exista o singura pereche de electrozi plasata ca in figura de mai jos ( o sectiune a dispozitivului), electrodul are lungimea in directia axei y si inaltimea in directia axei z Daca se aplica o tensiune intre cei doi electrozi va aparea un camp electric dupa directia x. Acest camp va crea o deplasare si o tensiune mecanica dupa directia y, care determina aparitia unui moment de incovoiere care deplaseaza capatul cu w0 . Astfel se poate gasi o relatie intre tensiunea aplicata si deplasarea capatului dispozitivului. Tensiunea mecanica va produce la randul ei o polarizare directa a cuartului dupa directia x , care , la randul ei va determina o componenta dependenta de tensiuna mecanica a capacitatii dintre cei doi electrozi.

Din teoria prezentata in Cap.2 rezulta imediat modelul cu elemente concentrate de circuit utilizand un transformator cu raportul 1/n pentru a transforma coordonatele din domeniul electric in cel mecanic. Capacitatea C0 este capacitatea electrostatica , U este tensiunea aplicata perechii de electrozi, F este forta efectiva care deplaseaza capatul grinzii cu w0 . In conditii cuasi-statice deplasarea este direct proportionala cu forta aplicata , cu factorul de proportionalitate 1/k ( k este de dimensiunile factorului de elasticitate a unui arc). Constanta k se calculeaza din momentul de incovoiere si n se calculeaza din relatiile campului electromecanic cu efect piezoelectric. Prin utilizarea relatiilor de transformare si a calcului admitantei echivalente in domeniul electric se obtine circuitul echivalent : o capacitate electrica C0 in paralel cu o capacitate electromecanica Ce asociata raspunsului piezoelectric si Cm = 1/k In continuare rezulta foarte simplu modelul dinamic pentru raspunsul piezoelectric daca se adauga masa m si amortizarea b potrivite.

4.2. EFECTUL PIEZOREZISTIV

Efectul a fost descoperit pentru prima dat de Lord Kelvin n anul 1856 cnd a observat c rezisten electric a firelor de cupru i de o el crete atunci cnd firele sunt supuse unot tensiuni de trac iune Piezorezistivitatea este o propietate a unor materiale conductoare sau semiconductoare ( Si, Ge) care supuse la eforturi unitare statice sau dinamice conduce la modificarea rezistivitatii electrice deci , implicit a rezistentei electrice. Acest efect este mult mai pronuntat la semiconductoare. Rezistivitatea materialelor depinde de pozitia interna a atomilor si de miscarea lor. La aplicarea unui camp electric purtatorii de sarcina se misca in directia campului electric rezultand un curent electric. Prin schimbarea pozitiei atomilor prin aplicarea unei presiuni externe ( tensiune mecanica) rezulta mici schimbari in marimea conductivitatii asemanatoare cu cele produse de campul electric. Formularea analitica a piezorezistivitatii unui material conduce la un nivel de complexitate foarte mare. Presupunand ca efectul este liniar ( ceea ce este adevarat pentru deplasari mici, dar poate deveni neliniar in cazul unor deplasari mari) relatia dintre intensitatea campului electric si densitatea curentului elctric de conductie este data de legea conductiei electrice E = J in care E este intensitatea campuli electric, J densitatea curentului electric si este rezistivitatea materialului conductor = e+ T in care e este tensorul rezistivitatii ( definita in conditiile fara actiune mecanica exterioara) , este tensorul de piezorezistivitate avand dimensiunile unei rezistivitati raportate la o tensiune mecanica si T este tensorul tensiunii mecanice exercitate. Efectul de piezorezistivitate poate fi longitudinal si transversal , astfel ca variatia rezistentei este : R = T+ t Ttl l R Indicii l si t se refera la tensiunea mecanica externa longitudinala si transversala in raport cu axa rezistorului.

Materialele piezorezistive se pot folosi pentru realizarea de senzori pentru detectarea deplasarilor sau a deformarilor. Dispozitivul se aplica pe suprafata obiectului a carui deformare urmeaza a fi masurata. El este de lungime l si rezistenta R. Sub actiunea deformarii lungimea se modifica cu l iar rezistenta variaza cu R Materialele piezorezistive se pot folosi pentru realizarea de senzori de presiune (SP). Pentru a realiza un SP cu dependenta destul de liniara se folosesc 4 monocristalede Si montate intr-o punte Wheatstone doua dintre ele supuse la efort longitudinal si doua la efort transversal. Modificarile celor patru piezorezistoare in directii opuse vor duce la dezechilibrarea puntii si tensiunea pe diagonala orizontala este mai mare. 1 si 2 sunt coeficienti calculati in functie de tensiunea mecanica aplicata.