1

PRINCIPIILE FIZICE AL MICROSCOPIEI ELECTRONICE

O seciune transversal printr-un microscop electronic modern relev urmtoarele elemente
constructive: coloana electrono-optic, sistemul de vidare, sistemele de detecie, prelucrare,
procesare i redare a informaiei i blocul de alimentare cu energie a tuturor componentelor.
Coloana electrono-optic se compune din tunul de electroni, lentilele condensoare i lentila
obiectiv.
Principial, construcia unui microscop electronic este ntr-o oarecare msur analog
construciei proiectorului optic obinuit. Prile principale, comune celor dou instrumente,
sunt urmtoarele: sursa (de iluminare la microscopul optic, de electroni la microscopul
electronic), lentila condensoare (sau condensorul), obiectul de studiat, lentila proiectoare i
sistemul de vizualizare i nregistrare a informaiei.
Condensorul are rolul de a focaliza fasciculul de electroni pe prob, asigurnd un paralelism
ct mai bun al radiaiilor cu axa optic. Obiectivul formeaz imaginea primar, mrit, a
obiectului; aceasta este preluat de lentila proiector care o mrete mai mult, pentru
observarea pe ecranul instrumentului.
Tunul de electroni are rolul de a genera fasciculul de electroni. n interiorul tunului de
electroni un cmp electrostatic dirijeaz electronii emii de o poriune foarte mic a
suprafeei unui filament, printr-o apertur foarte ngust. Dup aceea, tunul accelereaz
electronii prin coloan spre prob, cu energii cuprinse ntre cteva zeci i zeci de mii de
electronvoli.
Fasciculul de electroni, emis de tunul electronic, care bombardeaz suprafaa probei, este
compus din electroni monocinetici i poart numele de fascicul incident sau primar. El
poate fi supus unei tensiuni de accelerare de la 100V pn la 40.000V, n funcie de tipul de
microscop folosit.
n momentul de fa sunt utilizate cteva tipuri de tunuri de electroni: cu wolfram, cu
hexaborur de lantan (LaB
6
) i cu emisie de cmp. Constructiv, sunt utilizate materiale i
principii fizice diferite pentru obinerea tunurilor de electroni, dar au ca scop comun
generarea unui fascicul de electroni direcionat, avnd curent stabil i diametru ct mai mic
posibil. Electronii parcurg tunul ca un fascicul divergent. O serie de lentile
electromagnetice i de diafragme din coloan reconverg i focalizeaz fasciculul ntr-o
imagine micorat. Aproape de zona de jos a coloanei exist cteva bobine de scanare n
rastere, care deflecteaz fasciculul de electroni ntr-o gril de baleiere pe suprafaa probei.
Lentila final focalizeaz fasciculul ntr-o arie cu o dimensiune ct mai mic pe suprafaa
probei.


2

Figura 1.1. Reprezentarea schematic a microscopului electronic de baleiaj

Dup parcurgerea coloanei de electroni, fasciculul ajunge n camera probei.
Aceasta ncorporeaz dispozitivul de manevrare a probei, o u pentru
introducerea sau extragerea eantionului analizat i cteva dispozitive pentru
montarea detectorilor de semnale sau a altor accesorii. n momentul interaciei
fasciculului de electroni cu suprafaa probei rezult o serie de semnale, care
dup ce sunt detectate, amplificate i procesate permit obinerea unor
informaii privind morfologia, structura i compoziia probelor.
Semnalele rezultate n urma interaciei fasciculului primar cu proba
sunt: electronii secundari, electronii retrodifuzai (retromprtiai), electronii
Auger, electronii transmii (n cazul probelor foarte subiri), radiaiile X,
catodoluminiscena i tensiunea electromotoare indus.
Mrimea semnalelor obinute, depinde de trei factori: grosimea probei
investigate, compoziia chimic a acesteia i tensiunea de accelerare a
electronilor.
O reprezentare schematic a diverselor tipuri de interaciuni ale unui
fascicul electronic cu o prob solid este prezentat n figura 2, unde sunt
evideniate mecanismele de interaciune utilizabile n diversele moduri de
lucru specifice microscopiei electronice.


3
Fascicul electronic
incident
Electroni retroimparstiati
(reflectati elastic)
Electroni secundari
(emisi)
Radiatii X
Radiatii infrarosii
Radiatii luminoase
(fotoni optici)
Microscopie
electronica cu
baleiaj sau de
tip analitic
Microscopie
electronica prin
transmisie,
microsopie
electronica cu
baleiaj prin
transmisie,
analiza
dispersiva in
energie
Electroni
absorbiti
Curent indus
Imprastiere elastica
necoerenta
Imprastiere neelastica
Fascicul nedeviat
de electroni transmisi
Imprastiere elastica
coerenta
PROBA

Figura 1.2. Semnalele rezultate n urma interaciei dintre fasciculul de electroni i
corpul solid

n microscopia electronic de baleiaj, al crui principiu a fost expus
anterior, se utilizeaz fascicule de electroni incideni, cu energii de 1-50 keV,
care fie sunt parial mprtiai napoi (retromprtiai, prin reflexie elastic pe
atomii probei), fie determin emisia de electroni secundari prin interaciune cu
proba. Electronii retromprtiai i electronii secundari sunt efectiv utilizai
pentru formarea imaginii n microscopul electronic de baleiaj. n microscopia
electronic de transmisie convenional, informaia este obinut prin
intermediul electronilor transmii, nedeviai, sau mprtiai nainte, n
diafragma unei lentile care va forma imaginea electronomicroscopic. n acest
caz, energiile electronilor fasciculului incident sunt cuprinse ntre 40 i 200
keV, pentru microscopele convenionale i ntre 200 keV i 3 MeV pentru
microscoapele electronice de nalt tensiune.
mprtierea electronilor poate fi elastic (fr pierderi energetice
importante i cu schimbare de direcie) sau inelastic (cu pierderi energetice n
care energia poate fi transferat atomilor probei sau probei ca atare n diverse
moduri). n cazul mprtierii inelastice, transferul energetic poate produce
excitarea sau ionizarea electronilor legai, fie excitarea electronilor liberi sau a
vibraiilor reelei (vibraii fononice), fie nclzirea probei sau formarea de
4
defecte de iradiere. Msurarea acestor pierderi energetice poate da informaii
asupra naturii chimice a probei.
O alt clasificare a mprtierii electronilor ine seama de numrul de
evenimente de mprtiere implicate: monomprtiere i mprtiere multipl.
n primul caz, electronul sufer o singur interaciune, fapt observat de
exemplu n straturile sau foliile subiri studiate n microscopul electronic de
transmisie. mprtierea multipl conduce la o mprtiere de tip difuziv n
care micarea electronilor devine ntmpltoare. Acest tip de mprtiere este
caracteristic probelor masive, groase, studiate n microscopia electronic de
baleiaj.
La impactul fasciculului electronic cu proba are loc o emisie de radiaii
X care poate fi analizat cu aparate dispozitive speciale (spectrometre), care
permit identificarea i determinarea concentraiei elementelor constituente ale
probei.

Volumul de interacie al fasciculului primar cu corpul solid

Semnalul obinut pentru formarea imaginii n microscopia electronic de
baleiaj nu este obinut numai din suprafaa probei analizate. Fasciculul de
electroni penetreaz o anumit distan n interiorul probei i poate
interaciona o dat sau de mai multe ori de-a lungul traiectoriei sale. Regiunea
din prob dintre care semnalul original i scprile subsecveniale care nu mai
pot fi detectate, se numete volum de interacie.
Radiatii X de Franare
4
0
0
.
0
0
Electroni Auger
Electroni retroimprastiati
Electroni secundari emisi
Radiatii X de franare
Radiatii X de
fluorescenta
Rezolutie radiatii X
Electroni
transmisi
Rezolutie
spatiala
Radiatii X reflectate,
difractie Kossel
Adancime
efectiva
Radiatii X
primare
L
Radiatii X
energetice
X
=
L
c
o
s
e
c

Fascicul incident
Suprafata probei

Figura 1.3. Schema volumului de interacie al fasciculului cu
substana


5
Tipul semnalului, compoziia probei i tensiunea de accelerare au un efect
asupra rezoluiei microscopului, prin modificarea mrimii i formei volumului
de interacie. n figura urmtoare este reprezentat schematic detecia
semnalelor n microscopia electronic de baleiaj i zonele volumetrice unde
sunt generate. n cele mai multe cazuri volumul de interacie este semnificativ
mai mare dect mrimea spot-ului, iar acest volum va deveni limita actual a
rezoluiei.


Tipuri de semnale
Electronii secundari

Electronii secundari (SE) sunt electronii atomilor din prob care sunt ejectai
n mediu datorit interaciei cu electronii primari din fascicul. n general, ei au
energii foarte mici (prin convenie mai mici de 50 eV). Datorit faptului c au
energii foarte mici, acest tip de electroni poate scpa din suprafaa probei doar
dintr-o regiune de foarte mic adncime. Prin urmare, electronii secundari
ofer imagini de cea mai bun rezoluie. n imaginile de electroni secundari
este oferit n principal de toporafia suprafeei probei. Cu ct volumul de
interacie este mai aproape de suprafaa probei, cu att mai muli electroni
secundari pot fi emii din prob, acest fenomen producndu-se att n zonele
cu vrfuri, ct i n cele mai joase. Astfel se obin imagini n care vrfurile vor
fi mai luminoase, iar vile mai ntunecate. Datorit acestui fapt, interpretarea
imaginilor de electroni secundari devine foarte intuitiv.


Electronii retrodifuzai

Electronii retrodifuzai (BSE), sunt electronii primari care au fost mprtiai
n afara suprafeei probei, datorit ciocnirilor elastice cu nucleele din atomii
probei. Aceti electroni posed energii mari, cuprinse (prin convenie ntre
50eV i tensiunea de accelerare a fasciculului). Acest tip de electroni provin
dintr-un volum mai mare de interacie cu substana, ceea ce contribuie la
pierderea rezoluiei n imaginile de electroni retrodifuzai. n aceste imagini,
contrastul este determinat de diferena numerelor atomice din fiecare punct
bombardat cu fasciculul de electroni, de la media numerelor atomice ale
elementelor din compoziia probei. Din zonele ce conin elementele cu numere
atomice mai mari vor fi reflectai mai muli electroni, ceea ce conduce la
obinerea unei arii mai luminoase n imagine. Imaginile de electroni
retrodifuzai nu sunt att de uor de interpretat dar, evaluate corect, pot oferi
informaii importante privind compoziia probei.
6
n general, intensitatea curentului de electroni retromprtiai crete cu
creterea unghiului de mprtiere, nu variaz sensibil cu energia fasciculului
primar i crete cu numrul atomic al probei.
Semnalul oferit de electronii retrodifuzai este detectat de doi detectori cu corp
solid, care lucrnd n regim de substituie, adiie permit obinerea unor imagini
privind topografia sau compoziia suprafeelor analizate.


Recombinarea i catodoluminiscena

Prin interaciunea unui fascicul incident cu o prob, muli electroni
secundari produi nu pot prsi proba i sunt anihilai, n urma mprtierilor,
prin procese de recombinare electron-gol. Dac procesul de recombinare este
nsoit de emisia de fotoni optici, apare fenomenul de catodoluminiscen.
Mecanismul acestei fotoemisii este similar cu luminiscena n sensul c este
stimulat de o serie de elemente active, aflate n cantiti foarte mici n aria
probei bombardate cu fasciculul de electroni. Exact la fel ca n cazul
luminiscenei normale, catodoluminiscena poate indica distribuia n prob a
acestor elemente cu concentraii mici, completnd astfel informaia privind
compoziia chimic a ariei bombardate, obinute prin emisie de radiaii X sau
electroni Auger.
Catodoluminiscena n probele semiconductoare este dependent de
tensiunea electric aplicat i, n consecin, strile de suprafa n unele
materiale semiconductoare pot fi studiate prin acest efect care furnizeaz date
privind timpul de via al purttorilor de sarcin majoritari, lungimi de difuzie,
etc. Fenomenul de catodoluminiscen este afectat de asemenea de topografia
superficial i de prezena unor defecte interne (dislocaii, precipitate, limite
intercristaline).
Acest fenomen de excitare a luminiscenei prin bombardament
electronic a fost observat i n unele materiale plastice, organice i n unele
probe minerale.


Emisia de radiaii X i electroni Auger

Emisia de radiaii X se produce dac un electron de pe un nivel
energetic inferior este excitat de fasciculul primar de electroni i trece pe un
nivel energetic superior, sau prsete complet atomul (fotoelectron). Locul
vacant este ulterior ocupat de un alt electron care cade de pe un nivel energetic
superior i emite un foton de radiaie X, de energie h egal cu diferena AE
dintre energiile corespunztoare celor dou niveluri energetice ntre care a
avut loc tranziia.
7
Este posibil ca anumii electroni s fie reflectai din prob, dup ce n prealabil
au interacionat neelastic cu atomii din prob. Ceilali electroni, care sunt
mprtiai la unghiuri mai mici spre interiorul probei, i pierd din ce n ce
mai mult din energie, dup fiecare coliziune, pn cnd nu mai pot participa la
un proces de ionizare prin impact (de obicei energia de ionizare este cuprins
ntre 3 i 8 eV).
Energia rezultat n urma frnrii acestor electroni este emis sub forma unor
fotoni de radiaii X ce alctuiesc spectrul continuu de emisie a probei.
Intensitatea maxim a spectrului continuu crete cu tensiunea de accelerare, cu
intensitatea fasciculului i cu numrul atomic al probei.

L k
E E hv =
M L
E E
1
|
2
|
1
o
K
2
o
K
1
|
I
L
II
L
III
L
t
V
M
M
N
K
a
M
Kronig Coster
1 1 2
M M L Auger Electron
E A
A
E
1
2
3
0
0
1
0
1
1
2
2
2 1
2 1
2 1
2 1
2 1
2 3
2 3
2 3
2 5
1
K
E
n
l s l j =

Figura 1.7. Tranziiile posibile i notaiile radiaiilor X rezultate

Un proces de ionizare se desfoar astfel: un electron rapid, din fasciculul
incident, se apropie de un electron legat de unul din atomii probei (situat pe
unul din nivelele interioare ale atomului) i n urma schimbului de energie
produs datorit interaciunii ntre cmpurile coulombiene ale celor doi
electroni, electronul legat este forat s treac pe o stare excitat permis, adic
pe un nivel energetic superior din atom sau este expulzat din atom
(fotoelectron), n timp ce electronul incident i pierde din energie. Locul
vacant de pe nivelul energetic inferior va fi ocupat de ctre un electron de pe
un nivel energetic superior, cu respectarea regulilor de tranziie ( 1 = A i
o j = A sau 1 = Aj ), iar diferena dintre energia pe care o avea electronul pe
8
nivelul superior i cea pe care o are pe noul nivel se va emite sub forma unui
foton (cuant) ce corespunde domeniului radiaiilor X.
Energia fotonilor rezultai n urma tranziiilor electronice depinde de energia
nivelelor ntre care au loc tranziiile i, prin urmare, este caracteristic fiecrei
specii atomice (
L k k
E E h = v ). Aceste radiaii alctuiesc spectrul caracteristic
de emisie al probei i se suprapun peste spectrul continuu.
Lungimea de und sau frecvena radiaiilor X caracteristice, emise de prob, se
noteaz cu K
o
sau K
|
pentru tranziiile efectuate ntre nivelul L i K i
respectiv M i K. n figura de mai sus este prezentat schematic modul de
efectuare a tranziiilor posibile pentru trei nivele electronice i notaiile
radiaiilor rezultate.
Radiaia emis n urma tranziiei de pe nivelul L pe nivelul K const dintr-un
dublet K
o1
i K
o2
. Raportul ntre intensitatea radiaiei K
o1
i K
o2
(

2 K
K
1
o
o
I
I
)
rezultate din tranziiile L
II
la K, respectiv L
III
la K este proporional cu numrul
electronilor n subnivelele corespunztoare care este 2
2
4
= (regula sumei).
Raportul intensitilor liniilor K
o1
i K
o2
descrete de la 10 pentru aluminiu
(Z=13) pn la 3 pentru staniu (Z=50). Motivul acestei variaii este
probabilitatea efecturii unei tranziii care crete pentru nivelele N i M odat
cu creterea numrului atomic. O deviaie puternic de la regula sumei este
observat pentru seria L, care poate fi atribuit tranziiilor Coster-Kroning n
Figura 1.8. Emisia radiaiilor X caracteristice

care un loc gol de pe L
I
sau L
II
este ocupat de un electron de pe subnivelul L
III
,
iar energia rezultat este transferat unui electron de lng nivelul Fermi i
liniile care rezult din tranziiile pe subnivelul L
III
sunt relativ mai intense.
9
Din punctul de vedere al analizei microscopice, este foarte important faptul c
fiecare element chimic posed un spectru unic de radiaii X. Partea discret a
spectrului (adic partea format din linii de maxime distincte) cuprinde linii
care corespund tranziiilor electronilor ntre pturile electronice L i K din
atom, tranziiilor ntre pturile M i K, tranziiilor ntre pturile M i L.
Spectrul continuu de radiaii X cuprinde fotonii provenii din ciocnirile
inelastice ale electronilor fasciculului incident cu electronii intei. Prezena
spectrului unic de radiaii X servete deci att la analiza elementelor
constituente dintr-un material, ct i ca surs potenial de contrast de imagine.
n scopul producerii radiaiei X caracteristice unui element, este necesar
ca tensiunea de accelerare s depeasc un potenial critic. n cazul unei
tensiuni de accelerare de 30 kV, o radiaie K
o
suficient de intens poate fi
excitat n atomi cu numrul de ordine pn la Z=40.
n general, radiaiile X provin dintr-un volum al probei de ordinul
ctorva m
2
situat n imediata vecintate a suprafeei, din partea inferioar a
volumului de interacie a fasciculului cu substana (vezi figura 3). Analiza
radiaiei X emise de prob se poate efectua cu ajutorul unor spectrometre de
construcie special, prin dou moduri: metoda dispersiv dup lungimea de
und i metoda dispersiv dup energii.
Rezultatul este prezentat sub forma unui spectru compus din intensitatea
semnalului radiaiilor X, pe axa vertical, respectiv energia, pe axa orizontal.
Maximele reprezentate n spectrul de radiaii X corespund elementelor
prezente n prob, care se identific dup energia caracteristic. Concentraia
elementelor prezente n prob se evalueaz dup intensitatea maximelor
caracteristice.
Din schema volumului de interacie a fasciculului de electroni cu substana
prezentat anterior, rezult c rezoluia spaial n imaginile de radiaii X este
mai sczut dect n imaginile de electroni secundari sau n imaginile de
electroni retrodifuzai (volumul de prob de unde provin radiaiile X este mult
mai mare dect cel din care provin electronii secundari).
Este posibil ca n urma tranziiilor electronice ntre nivelele interne ale unui
atom s nu rezulte un foton de radiaii X, ci energia rezultat s fie preluat de
un electron legat i acesta s fie emis. Energia electronului emuis este egal cu
energia sa de pe nivelul pe care se afla plus energia rezultat din tranziie.
Electronnul astfel emmis se numete electron Auger.
Pentru elementele uoare, probabilitatea de emisie a unui electron Auger este
mai mare dect cea de emisie a unui foton de radiaii X.
Mecanismul de producere a unui elecron Auger este urmtorul: dac un
electron de pe nivelul L
I
va efectua o tranziie pe nivelul K, unde exist un loc
neocupat creat prin ionizare, i energia rezltat
I
L k
E E va fi preluat de un
electron de pe nivelul L
II
, acesta va fi expulzat din atom.
10
Energia electronului expulzat va fi egal cu energia pe care o are nivelul K
minus suma energiilor nivelelor
I
L
E i
II
L
E , ) (
II I
L L k
E E E E + = , energia
electronilor Auger fiind caracteristic fiecrei specii atomice.
Deoarece energia electronilor Auger este foarte mic pot s ias din prob
numai acei electroni formai n imediata apropiere a suprafeei, fenomen
evideniat n schema volumului de interacie a fasciculului cu substana
prezentat anterior. Se consider c reuesc s emearg din prob numai
electronii formai n primele dou trei plane atomice de la suprafa.
Fenomenele de emisie a radiaiilor X caracteristice i a electronilor Auger
constituie baza microanalizei cu radiaii X i a electronilor Auger.


Principii tehnice ale microscopiei electronice de baleiaj

n microscopul electronic de baleiaj, fasciculul de electroni, produs de tunul de electroni,
este micorat la maximum prin intermediul a 2 sau 3 lentile electromagnetice, urmrindu-se
astfel obinerea unui fascicul extrem de ngust, care este proiectat pe suprafaa probei. Cu
ajutorul a dou bobine de deflexie, plasate n interiorul ultimei lentile electromagnetice,
activate de un curent produs de un generator de baleiaj, fasciculul primar de electroni astfel
focalizat, este determinat s efectueze o micare n zig zag (raster), linie cu linie, a unei
zone rectangulare de pe suprafaa probei, realizndu-se un fel de mturare a acesteia. La
orice moment dat din timpul de scanare a suprafeei probei, fasciculul de electroni
ilumineaz un singur punct pe tiparul delimitat pe suprafaa probei. Pe msur ce fasciculul
se deplaseaz pe suprafaa probei punct cu punct, este generat o variaie a intensitii
semnalului, ceea ce va reflecta diferenele prezente pe suprafaa probei investigate.
Semnalul de ieire obinut va fi o niruire de date formate din cureni seriali. Instrumentele
de baleiaj mai noi includ posibilitatea obinerii unor imagini digitale, care sunt obinute prin
conversia semnalului analog obinut de detectori ntr-o serie de valori numerice. Ca
urmare, fasciculul de electroni se afl la perioade diferite de timp, n puncte diferite pe
suprafaa preparatului. n urma impactului fasciculului primar de electroni cu preparatul,
semnalele generate sunt captate de detectori, transformate n semnal electric, amplificate i
trimise ntr-un modulator electronic, urmnd ulterior ca intensitile semnalelor s fie
prelucrate digital i afiate pe un ecran.
Baleierea se poate realiza prin dou metode:
deviaia fasciculului de electroni cu ajutorul unor cmpuri electrostatice sau
electromagnetice variabile pe dou direcii reciproc perpendiculare;
prin deplasarea mecanic a probei n fasciculul electronic meninut fix.
Generatorul de baleiaj trimite un curent n form de dinte de fierstru n bobinele de
deflexie ale microscopului, n vederea producerii micrii de baleiere a fasciculului pe
suprafaa probei. Fiecare punct scanat pe suprafaa probei va corespunde unui punct din
imaginea final.
Analog luminii la microscopul optic, electronii nu formeaz o imagine real n microscopia
electronic de baleiaj, fiind construit o imagine virtual din semnalul emis de prob.


Fiecare semnal colectat i amplificat se aplic pe o gril de nregistrare a semnalului. n
majoritatea cazurilor, modul standard de lucru este cel emisiv n care sunt colectai
electronii secundari emii de prob. Colectorul se afl la un potenial de 250-300 V fa de
11
prob, ceea ce determin atragerea electronilor secundari. Dup o accelerare suplimentar
pn la o energie eU de circa 10 keV, electronii ajung pe un scintilator de plastic acoperit
cu un strat subire de aluminiu. Lumina creat n scintilator trece printr-o fibr optic spre
un fotomultiplicator, unde este convertit n curent electric care poate fi amplificat. Timpul
de zbor al electronilor este foarte scurt, de aproximativ 10
-7
s. Acelai dispozitiv poate servi
de asemenea pentru detectarea electronilor reflectai (retromprtiai), cu condiia aplicrii
unui potenial mrit care s nu permit colectarea electronilor secundari de energii mai
joase.
Un detector utilizat pe scar larg este detectorul cu semiconductori n care electronii
incideni care lovesc detectorul produc perechi electron-gol, care determin apariia unui
curent electric n circuitul exterior. Deoarece detecia este realizat electronic (neformndu-
se propriu-zis o imagine n sensul optic) se pot imagina diverse proceduri de prelucrare a
semnalelor, acestea putnd fi adunate, sczute sau multiplicate.
La nceput, era utilizat un sistem de obinere a imaginii simplu, format dintr-un tub catodic
sau un sistem CRT. Sistemul CRT era format dintr-un tub vidat nchis la un capt cu o
suprafa destinat imaginii, acoperit cu fosfor, care emitea lumin. La cellalt capt al
tubului se aflau tunul de electroni i un set de bobine electromagnetice de deflecie. Similar
cu SEM-ul, sistemul CRT utiliza un fascicul de electroni accelerai spre suprafaa acoperit
cu fosfor. Bobinele de deflecie scanau cu fasciculul tiparul imaginii pe suprafaa afiajului.
Fosforul avea rolul de a realiza conversia energiei electronilor incideni n lumin vizibil.
Intensitatea luminii depindea de intensitatea curentului din fasciculul de electroni. Prin
sincronizarea sistemului de scanare CRT cu sistemul de scanare SEM i prin modularea
curentului din CRT cu semnalul imaginii, sistemul cartografia semnalul punct cu punct pe o
suprafa de formare a imaginii a sistemului CRT, ceea ce ducea la obinerea unei imagini
de electroni.
Avnd n vedere cele prezentate mai sus, schematic, funcionarea unui
microscop electronic de baleiaj se bazeaz pe cteva etape:
formarea i accelerarea unui fascicul de electroni;
fasciculul de electroni este delimitat si concentrat folosind diafragmele
metalice i lentilele condensoare;
utiliznd lentila obiectiv (final), fasciculul este focalizat pe suprafaa
probei;
interaciile generate n interiorul probei bombardate genereaz semnale
care sunt identificate i transformate ntr-o imagine sau n date privind
coninutul sau concentraia elementelor din prob.

12

Din punct
de vedere
constructiv, sistemul electrono-optic este constituit din coloana microscopului, camera de
lucru n care se monteaz proba i sistemul de detectori.
Coloana microscoapelor electronice de baleiaj nu depaeste 80 cm n nalime i este
aezat de obicei pe aceiai mas pe care se afl sistemul de operare i afiaj, sau este fixat
pe un suport separat n raport cu panoul de operare. n partea superioar a coloanei se afl
tunul electronic. Aproape la toate microscoapele de baleiaj se utilizeaz tunurile triod cu
termocatod de wolfram.
Tensiunea de accelerare aplicat la tun nu depaete 40.000 V i se aplic n trepte de la 100
V n sus, n funcie de proba examinat. Fasciculul de electroni accelerai are la ieirea din
cilindrul Wehnelt un diametru cuprins ntre 250.000 i 500.000 .
Pentru a putea fi exploatat, acest fascicul trebuie redus mult i adus la nivelul preparatului,
pn la un diametru de 100 sau chiar mai mic. La unele microscoape, reducerea n
diametru a fasciculului se realizeaz cu ajutorul a dou lentile condensoare, iar altele cu un
sistem format din trei lentile condensor. Aceste lentile de tip electromagnetic, alturi de
lentila obiectiv, constituie partea principal a coloanei microscopului. Trecnd prin acestea
i prin aperturile centrate din planul principal al lentilei finale, fasciculul, care la emiterea
din tunul de electroni are o densitate electronic de aproximativ 10
15
electroni pe secund i
un curent de 10
-4
A, ajunge la final doar cu 6x10
6
electroni pe secund, cu un curent extrem
de mic, de ordinul a 10
-10
10
-12
A i un diametru de 100 .
Lentila final, fie c este vorba de o coloan cu dou lentile, fie de una cu trei, este cea mai
important; adesea este denumit lentila obiectiv, dei rolul este de focalizare final a
fasciculului pe preparat. n partea central ea include sistemul de deflexie sau de baleiaj al
fasciculului i un stigmator pentru corectarea astigmatismului lentilei.
n partea inferioar a coloanei se afl camera probei i detectorii pentru semnalele emise de
ctre prob. n interior, camera propriu-zis este circular, cu diametrul i nalimea
variabile, n funcie de instrument.

Prima lentila condensor
Apertura condensor
A doua lentila condensor
Apertura obiectiv
Bobine de baleiere
Lentila obiectiv
Proba
Sursa de electroni

Figura 1.9. Formarea imaginii n microscopul electronic
de baleiaj
13
Suportul pentru probe este format dintr-o msu pe care se pot fixa preparate, cu diametrul
de pn la 50 mm i nalimea de 10-20 mm, sau chiar mai mari. Suportul este mobil, astfel
c preparatul poate fi rotit i nclinat sub diferite unghiuri, pentru a fi expus fasciculului de
electroni. De asemenea, el poate fi adus pn la 5 mm distan de lentila final, n special
pentru obinerea unor imagini de nalt rezoluie.
Sistemul de detectori reprezint partea cea mai important a microscoapelor de baleiaj, care
permit funcionarea instrumentelor n unul sau mai multe moduri de operare. Sistemul de
baz, din dotarea standard a microscoapelor, este format din detectorul pentru electroni
secundari i detectorul de electroni retrodifuzai.
Foarte multe dintre cele mai moderne microscoape de baleiaj au i detectori pentru electroni
transmii, catodoluminiscen, fore electronomotoare i detectorul de radiaii X, utilizat
pentru analize privind compoziia chimic a probei. Tipurile de semnale care se obin n
microscopia electronic de baleiaj i modalitile de detectare pot fi diferite.
Fiecare detector este conectat cu o unitate electronic montat pe consola de
control. Cu ajutorul unitilor de control se poate trece uor de la captarea unui
semnal la altul, dac aparatul este dotat cu toate tipurile de detectori.
Deoarece la toate microscoapele se utilizeaz n principal electroni secundari i
retrodifuzai, prezentm n cele ce urmeaz principiul de detectare i amplificare a acestora.
Detectorul de electroni este format dintr-un colector, un scintilator i un fotomultiplicator.
Electronii rezultai din prob n numar destul de mic, sunt captai de colector i accelerai cu
o tensiune de peste 10.000 V, nainte de a atinge scintilatorul. Acesta din urm este
confecionat fie din materiale plastice, dar n acest caz are o via scurt i sensibilitate
redus, fie din silicat de ytriu, cunoscut in literatur i sub denumirea de P-47 i care are
sensibilitate ridicat i o durat lung de exploatare. n urma impactului cu scintilatorul,
fiecare electron d natere la un numar mare de fotoni care sunt dirijai ntr-un
fotomultiplicator, unde fiecare fotoelectron formeaz un numr impresionant de mare de
electroni secundari care sunt trimii n tubul catodic i utilizai la modularea fasciculului
acestuia.
14

n tabelul nr. 2 sunt prezentate diversele moduri de lucru i tipurile de informaii obinute n
microscopia electronic de baleiaj.


Tabelul nr. 2
Emisie Electroni secundari Topografie 10 nm
Fascicul de electroni
PROBA
SEMNALE
MODALITATI DE OPERARE
MODALITATI DE
DETECTARE
PREZENTAREA
INFORMATIILOR
Electroni
secundar
Electroni
reflectati
Electroni
Auger
Cotodo-
lunimescenta
Electroni
absorbiti
Radiatii X
Spectrometru
pentru raze X
(EDAX)
ECON
Amplificator
de curent
Fotomultiplicator
si amplificator
Scintilator fotomultiplicator si
amplificator
Inregistrare
sau afisare
Prelucrare semnale
Afisare pe ecranul
tubului catodic
Fotografiere

Figura 1.11. Tipuri de semnale i modaliti de prelucrare n microscopia
electronic de baleiaj
15
emii Potenial electric
Cmpuri electrice i
magnetice
100 nm
1 m
Luminiscen Fotoni Compoziional 100 nm
Conducie Cureni de prob Conductibilitate indus 100 nm
Absorbie Cureni de prob
absorbii
Topografie 1 m
Radiaii X Fotoni X Compoziional 1 m
Auger Electroni Auger Compoziional 1 m
Transmisie Electroni transmii Cristalografic 1-10 nm

Ultima generatie de microscoape electronice scanning, microscoapele ESEM
(Environmental Scanning Electron Microscope) permit efectuarea investigatiilor tuturor
categoriei de probe: probe metalice, ceramice, biologice, umede, murdare uleioase fara nici
o pregatire prealabile. Mai mult, pot fi investigate probe aflate inmediul lor natural de viata
sau de lucru.

Principii generale de functionare amicroscopului
electronic de transmisie

Partea principala a microscopului electronic de transmisie o constituie coloana
vidata care contine tunul electronic si ansamblul de lentile electromagnetice,
dupa cum s-a aratat in capitolul anterior. Dupa iesirea din tun, electronii sunt
focalizati pe proba prin intermediul a doua lentile condensoare. In timp ce
prima lentila condensoare formeaza o imagine de spot de circa 1 m diametru,
a doua lentila condensor o mareste de doua ori. Deci spotul final al
fasciculului observat pe ecran este de circa 2 m, dar pata luminoasa a
fasciculului va ocupa intreg ecranul la mariri mari.
Proba consta dintr-un strat subtire sau o folie de material supusa iradierii cu
fasciculul electronic. In urma proceselor de interactiune (v. cap. 4), electronii
transmisi si difractati (imprastiati elastic) trec prin aperture (diafragma) lentilei
obiectiv. Imaginea I
1
formata de lentila obiectiv este preluata de o lentila
intermediara P
1
care va forma o imagine intermediara I
2
. Aceasta va fi in final
marita cu ajutorul lentilei proiector P
2
si proiectata pe ecran. In figura 2.1este
prezentata schematic diagrama traiectoriilor electronice pentru obtinerea
imaginii unei probe in microscopul electronic prin transmisie.
Prin excitarea diferita a lentilelor P
1
si P
2
, este posibila asigurarea unui
domeniu de mariri de la circa 1000 si pana la peste 100 000 .


16

Fig. 2.1
Daca fasciculul incident este paralel, atunci fasciculele difractate care parasesc
proba pot fi focalizate in planul focal posterior al lentilei obiectiv si formeaza
astfel o imagine de difractie. In acest scop lentila P
1
este excitata la curenti
mici, iar apertura obiectiv este plasata in jurul fasciculului nedeviat pentru a
produce conditiile favorabile contrastului de difractie.
Diagrama traiectoriilor electronice, corespunzatoare obtinerii unei imagini de
difractie, este reprezentata schematic in figura 2.1.b.


17


Fig.2.2

In figura 2.2 este prezentata o sectiune transversala printr-un microscop
electronic de transmisie de tip JEM-100 S in care se observa principalele parti
componente ale acestuia: tunul electronic (1); anodul (2); lentila condensoare
(3); diafragma condensor (4); a doua lentila condensoare (5); suportul probei
(6); diafragma obiectiv (7); lentila obiectiv (8); diafragma pentru
microdifractie (9); lentila intermediara (10); lentila proiectoare (11);
binocularul (12); ecranul (13); camera fotografica (14).
In tabelul 2 sunt prezentate comparativ caracteristicile unor microscoape
electronice de transmisie moderne.

18
Formarea imaginii

Bazele fizice ale microscopiei electronice prin transmisie sunt determinate pe
de o parte de interactiunea campurilor electromagnetice, produse in lentile, cu
electronii, care influenteaza parametrii electronooptici ai instrumentului, si pe
de alta parte de interactiunea electronilor cu proba de investigat. Ultimul factor
joaca rolul hotarator in formarea imaginii in microscopia electronica.
Duap cum s-a aratat anterior, electronii sunt puternic imprastiati de corpurile
solide; deci pentru ca electronii sa poata traversa proba este necesar ca aceasta
sa aiba o grosime suficient de mica, iar electronii sa posede energii suficient
de mari.
Interactiunea electronilor cu substanta poate conduce la doua tipuri de
imprastiere (v.cap.4); imprastiere inelastica si imprastiere elastica.
Imprastierea inelastica rezulta in urma ciocnirii fluxului de electroni cu norii
electronici ai atomilor substantei imprastietoare ceea ce duce la pierderea unei
parti din energia fasciculului, cu schimbarea corespunzatoarea a lungimii de
unda asociata. Energia pierduta se regaseste sub forma de energie termica, care
ridica temperatura probei, sau sub forma de energie a fotonilor de radiatii X
emisi de proba.
Imprastierea elastica se produce fara pierderea de energie si variatie a lungimii
de unda a electronilor, aparand ca rezultat al devierii electronilor sub actiunea
nucleelor atomice din substanta imprastietoare.
Intrucat intensitatea imprastierii electronilor pe nuclee este mult mai mare
decat cea a imprastierii pe norii electronici, contributia imprastierii elastice la
imprastierea totala va fi mult mai mare decat cea corespunzatoare imprastierii
inelastice. De asemenea, imprastierea elastica a fasciculului electronic creste
cu cresterea numarului de ordine al elementului respectiv.
Avand in vedere cele mentionate anterior, datorita imprastierii, fasciculul
incident de electroni, paralel si cu sectiune mica, devine dupa traversarea
probei un fascicul divergent mult largit. Astfel electronii imprastitati vor
forma un con spatial a carui axa este reprezentata de traiectoria nedeviata a
fasciculului incident.
Cu cat este mai mic unghiul conului sub care sunt deviate electronii de la
directia initiala, cu atat mai mare va fi densitatea electronilor imprastiati, deci
implicit a electronilor care vor atinge in final ecranul sau placa fotografica. In
general, imprastierea electronilor, deci marimea unghiului conului de deviatie,
este influentata de densitatea substantei imprastietoare si de grosimea probei.
Prin cresterea grosimii sau densitatii probei, fractia de electroni imprastiati la
unghiuri mari creste. Acelasi fenomen se observa si la micsorarea energiei
electronilor incidenti. Datorita acestui fapt, in microscopia electronica prin
transmisie, probele au grosimi de cateva sute de angstrmi la energii ale
fasciculului electronic de 50 100 keV. In aceste conditii, fasciculul electronic
19
este imprastiat la unghiuri mici, de ordinal a 1, iar dispersia energetica la
traversarea probei nu depaseste 10 eV.
Imaginea elecrono-optica a obiectului se formeaza prin intermediul lentilei
obiectiv cu ajutorul electronilor imprastiati. Fasciculul paralel, format in tunul
electronic si lentilele condensoare, contine electroni de aproximativ aceeasi
energie (fascicul monocromatic).Dupa traversarea probei, fasciculul emergent
contine electroni deviati sub unghiuri diferite. Ulterior, acest fascicul
electronic transmis intra in lentila obiectiv, prevazuta cu o diafragma circulara
cu deschidere de 0,03-0,04 mm, care joaca un rol important intrucat opreste
electronii deviati la unghiuri mai mari decat deschiderea sa.
Electronii care nu trec prin diafragma nu vor participa la formarea imaginii in
timp ce electronii nedeviati sau slab deviate vor trece prin lentila obiectiv si
vor forma pe ecranul fluorescent imaginea electronooptica a obiectului de
studiat (fig. 10).
Probele supuse investigarii electrono-microscopice sunt de obicei asezate pe
straturi suport care imprastie mult mai slab electronii decat proba, deci pe un
fond luminos se va obtine imaginea mai intunecata a probei. Imaginea obtinuta
astfel se numeste imagine in camp luminos (fig. 10a).


Fig.2.2
Un alt tip de imagine care se poate obtine in microscopul electronic prin
transmisie este imaginea in camp intunecat ( dark field), unde pe un fond
intunecat se obtine imaginea luminoasa a obiectului. In acest caz, fasciculul
electronic cade pe proba sub un anumit unghi fata de axa optica a
microscopului, in asa fel incat electronii nedeviati sa fie stopati (absorbiti) de
diafragma, prin deschiderea acesteia trecand si formand imaginea doar
electronii care au suferit o imprastiere (difractie) suficient de intensa in proba
(fig. 10b). Astfel, portiunile cele mai dense si mai groase vor aparea pe ecran
cele mai luminoase, iar detaliile slab imprastietoare vor fi cele mai intunecate.

20
Pentru formarea imaginii in camp intunecat se poate utiliza fie inclinarea
sistemului de iluminare (tunului electronic), fie deplasarea diafragmei din
pozitia sa centrala. Imaginea in camp intunecat are o rezolutie ceva mai slaba
decat cea in camp luminos, intrucat la obtinerea sa participa electronii
imprastiati la unghiuri mari, cu o dispersie energetica relativ mare, ceea ce
determina cresterea aberatiilor cromatica si sferica ale lentilei obiectiv.
Este interesant de observat ca, desi imaginea in camp intunecat poate fi
considerata ca un negativ al imaginii in camp luminos, totusi exista o serie de
detalii fine care nu coincid in cele doua tipuri de imagini. Din acest motiv, cele
doua metode de obtinere a imaginii in camp luminos si intunecat sunt utilizate
complementar.
Formarea imaginii unor seturi de plane ale retelei cristaline in probe metalice a
fost posibila prin trecerea prin apertura lentilei obiectiv atat a fasciculului
direct transmis cat si a fasciculelor difractate pe respectivul set de plane.
Imaginea formata poate fi considerata ca un tip de imagine de interferenta,
utilizata curent ca test de rezolutie pentru microscopul electronic.


Formarea contrastului

Datorita neomogenitatii probei, diferitele sale zone vor imprastia electronii in
mod diferit. Intrucat stralucirea imaginii va depinde de cantitatea de electroni
care cad pe ecran, densitatea minima de electroni pe ecran va corespunde
acelor detalii ale probei, cu cu grosime si densitate maxima, reprezentand zone
de imprastiere puternica. Aceste detalii ale probei vor aparea in imagine mai
intunecate. Invers, unele detalii slab imprastietoare ale probei vor apare pe
ecran ca zone mai luminoase.
Diferenta de stralucire intre zone invecinate ale imaginii probei defineste
contrastul imaginii in microscopia electronica. Pentru obtinerea contrastului in
imagine pe ecranul fluorescent este necesar ca densitatea electronilor sa nu fie
aceeasi pe sectoarele corespunzatoare diferitelor detalii ale obiectului, ceea ce
va face ca aceste sectoare sa apara distincte. In cazul contrar, al unei densitati
egale de electroni, ecranul se va lumina uniform, neaparand deci nici o
imagine.
Contrastul imaginii creste cu cresterea diferentelor de densitate si grosime in
diferitele zone ale obiectului si cu micsorarea deschiderii diafragmei lentilei
obiectiv si a tensiunii de accelerare. Intr-adevar, cresterea tensiunii de
accelerare produce cresterea vitezei elctronilor si, prin urmare, micsorarea
imprastierii lor, ceea ce va slabi contrastul in imagine.
Un contrast foarte bun va permite observarea celor mai fine detalii existente in
structura probei.

21
Din punct de vedere cantitativ, in microscopia electronica prin transmisie,,
contrastul dintre doua zone diferite ale probei este dat de diferenta relativa a
numarului de electroni care trec prin diafragma dupa imprastierea in cele doua
zone; deci intensitatea contrastului, G, se defineste prin


1
2
1
2 1
1
N
N
N
N N
G =

=
, (19)

unde N
1
si N
2
reprezinta numarul de electroni pe unitatea de suprafata
proveniti din cele doua zone invecinate ale probei.
In cazul probelor de grosimi mici, un calcul bazat pe proportionalitatea
numarului de electroni imprastiati cu numarul de electroni incidenti si cu
grosimea probei, duce la urmatoarea relatie:


( )
1 2
x x
A
N G
A
=
o
, (20)

unde N
A
este numarul lui Avogadro, A masa atomica, densitatea,
capacitatea de imprastiere a electronilor de catre un anumit tip de atomi sub un
unghi mai mare decat cel al diafragmei lentilei obiectiv, iar x
1
si x
2
sunt
grosimile zonelor respective din proba. Marimea
o
A
N A/ =
reprezint
coeficientul de transparenta al probei fata de fasciculul de electroni.
Din relatia (20) rezulta ca , la grosimi foarte apropiate, diferenta de contrast
este legata exclusiv de diferenta dintre numerele atomice si masele atomice
caracteristice elementelor din proba. In cazul unei probe care contine acelasi
tip de atomi, contrastul depinde numai de variatia grosimii probei.
Din punctual de vedere al formarii contrastului exista o diferenta principiala
intre microscopul electronic prin transmisie si microscopul optic obisnuit. In
microscopul optic, contrastul apare din cauza absorbtiei diferite a luminii in
zonele invecinate ale probei. In microscopul electronic, contrastul se formeaza
pe baza imprastierii diferite a electronilor in portiuni adiacente din proba.
In probele amorfe (fara structura cristalina, deci cu o distributie haotica a
atomilor substantei), fasciculul de electroni sufera o imprastiere dezordonata
pe nucleele atomice avand ca rezultat devierea de la directia initiala. O fractie
oarecare din flux patrunde prin diafragma, ceea ce conduce la formarea in
imagine a unui contrast slab, numit contrast de absorbtie.
In cazul probelor cristaline, constratul imaginii in microscopia electronica prin
transmisie este in principal un contrast de difractie, deoarece grosimea mica a
probelor si tensiunile mari de accelerare fac ca absorbtia electronilor sa joace
un rol neglijabil.

22
Contrastul de difractie este legat de imprastierea prin difractie a electronilor pe
planele retelei cristaline dupa anumite directii preferentiale ( aceasta problema
va fi analizata in cap.2.5). Electronii din fasciculul primar, difractati sub
anumite unghiuri, modifica densitatea de electroni care formeaza imaginea,
ceea ce explica aparitia contrastului de difractie. Intrucat, de obicei, unghiurile
sub care electronii sunt difractati depasesc unghiul de deschidere al diafragmei
lentilei obiectiv, zonele cristaline din imaginea in camp luminos vor aparea
mult mai intunecate decat cele amorfe.
Contrastul de difractie este dependent de tensiune ade accelerare si de
particularitatile de difractie ale obiectului (gradul de cristalinitate, orientarea
cristalografica, numerele atomice ale elementelor din proba, grosimile
diferitelor zone ale probei).
In cazul in care reteaua cristalina are defecte (dislocatii, defecte de
impachetare, pori, granite intercrstaline, limite de macle), conditiile locale de
difractie vor fi alterate, fata de cazul unei periodicitati ideale a retelei
cristaline, ceea ce va permite evidentierea acestor defecte prin metoda
contrastului de difractie. Concomitent poate fi evaluata densitatea si distributia
diferitelor tipuri de defecte in proba studiata.


Prepararea probelor

Metode de preparare a probelor fizico-metalurgice
Probele preparate pentru microscopia electronica prin transmisie trebuie sa
tina seama, in privinta grosimii, de tensiunea acceleratoare, pentru ca
transmisia electronilor sa se faca fara pierderi energetice excesive. In general,
pentru tensiuni acceleratoare pana la 100 kV, grosimea probelor poate varia
intre 100 si 1000 , in functie de natura materialului si caracterul studiului
intreprins.
In principiu se disting doua tipuri diferite de metode de pregatire a probelor in
functie de scopul urmarit in cadrul investigatiilor structurale: metode de studiu
a topografiei si morfologiei suprafetei si metode in vederea examinarii
structurii interne.
a) metode de preparare a probelor pentru studiul topografiei si morfologiei
superficiale. Una dintre tehnicile cele mai utilizate pentru investigarea
suprafetelor este metoda replicilor. Aceasta metoda consta in depunerea pe
suprafata probei investigate a unui strat subtire de substanta, care apoi se
separa de proba, constituind o replica care se studiaza in microdcopul
electronic prin transmisie, tinand seama ca replica reprezinta o copie negativa
a topografiei suprafetei. Principala cerinta a unor replici de calitate este
preluarea exacta prin replicare a topografiei superficiale a probei. Se pot
obtine replici de pe suprafete rugoase, de pe suprafete de rupere (fractura) sau
de pe suprafete polizate si lustruite, atacate chimic, electrochimic sau prin
23
bombardament ionic. In cazul suprafetelor atacate, morfologia unor
constituent5i sau faze secundare poate fi usor relevata datorita ratei diferite de
atac a acestora in rapot cu matricea.
In functie de natura si propietatile materialelor investigate exista mai multe
tipuri de replica:
1) replici in plastic;
2) replici obtinute prin evaporare;
3) replici obtinute prin oxidare.
Replicile in plastic se obtin prin depunerea pe suprafata probei a unei solutii
de material plastic intr-un solvent organic corespunzator. Dupa evaporarea
solventului, pe suprafata probei ramane un strat de lac solid si subtire, care se
poate desprinde de proba pe cale mecanica sau chimica (prin dizolvarea
probei). In acest scop se utilizeaza curent solutii de 0,5 2% colodiu in acetat
de amil sau 1-5% formvar in dioxin. Uneori aceste replici sunt insa putin
transparente pentru fasciculul de electroni si contrastul in imagine este scazut.
Mult mai utilizate sunt replicile obtinute prin evaporare care confera in general
rezolutii inalte si contrast ridicat. In mod obisnuit aceste replici se obtin prin
evaporarea termica in vid a carbonului in instalatii speciale de evaporare.
Replicile oxidice pot fi obtinute numai in cazul unor metale si aliaje care se
oxideaza usor ( de exemplu aluminiul si aliajele sale). Stratul de oxid se poate
obtine de exemplu ca rezultat al unui proces de electroliza si se desprinde de
proba intr-un solvent corespunzator, fiind apoi asezat pe un suport special
pentru studiul direct in microscopul electronic.
Frecvent, in functie de numarul etapelor parcurse pentru obtinerea preparatului
de studiat, metodele de pregatire a replicilor ( replicare) se clasifica in :
metode de replicare cu o singura treapta;
metode de replicare cu doua trepte.
In prima metoda ( fig. 11a) se obtine replica direct de pe suprafata investigate,
asa cum s-a descries anterior, aceasta copie negativa fiind studiata ulterior in
miocroscopul electronic prin transmisie.
In a doua metoda (fig.11b), replica se obtine in doua etape: la inceput se
obtine o replica intermediara groasa ( matrita) de pe suprafata probei, iar
ulterior, dupa separarea mecanica a acesteia, se pregateste replica finala (
prezentand acelasi microrelief ca si proba initiala) printr-un procedeu
asemanator primei metode. In acest scop, se executa evaporarea de carbon in
strat subtire pe suprafata matritei, urmand ca replica finala de carbon sa se
separte de matrita de plastic prin dizolvarea acesteia intr-un solvent organic.Ca
materiale plastice pentru matrite se pot utiliza: polistirol, formvar, colodiu sau
celuloza, iar ca silventi tipici pentru acestea se folosesc: benzol, dioxin, acetat
de amil si acetona.

Replica monotreapta Replica in doua trepte Replica de extractie
24

a b c
Fig. 2.3

Contrastul in imaginea microscopica este neomogen in diferitele portiuni ale
replicii, in functie de microrelieful suprafetei probei. In unele cazuri,
contrastul poate fi atat de slab, incat unele detalii investigate nu pot fi distinse
pe fondul general al imaginii. Pentru intensificarea contrastului se utilizeaza
metoda umbririi cu metale grele care au o putere mai mare de imprastiere a
electronilor. In principiu, metoda consta in depunerea prin evaporare in vid ,
sub anumite unghiuri fata de suprafata probei, a unor straturi subtiri de metal.
Depunerea are loc prin incalzirea electrica a materialului metalic intr-o spirala
sau cosulet de wolfram sau tantal care se monteaza in acelasi dispozitiv de
evaporare mentionat.
Particulele de metal formeaza straturi cu grosimi diferite, in functie de unghiul
format de diversele portiuni al replicii in directia fluxului particulelor
evaporate. Zonele din relieful replkicii, care se afla situate normal pe directia
fluxului, vor fi acoperite cu un strat mai gros de metal, spre deosebire de
celelalte zone unde grosimea stratului va depinde de unghiul de inclinare.
Portiunile mascate de alte elemente de relief vor fi umbite, deci in acele
zone nu se va depune metal. Aceste regiuni vor fi mai transparente la electroni
si, deci, in imaginea electrono-miocroscopica mai luminoasa decat portiunile
acoperite cu un strat mai gros de metal, unde luminozitatea va fi in functie de
grosime acestuia.
Metoda umbririi permite valoarea inaltimii h a elementelor de microrelief prin
masurarea lungimii umbrelor lasate de acestea pe imagine, cu ajutorul
relatiei:


o tg h l / =
, (21)

unde l este lungimea umbrei, iar unghiul sub care s-a facut umbrirea.
25
Prin urmare, in cazul unor detalii de dimensiuni mari, se vor utilize unghiuri
de cca 45, raportul inaltime-umbra fiind in acest caz de 1:1, iar in cazul unor
detalii mai fine ale reliefului se recomanda folosirea unor unghiuri mici de
umbrire de pana la 10-12.
Metalele grele cele mai utilizate pentru umbrire sunt: crom, aur, platina, aliaje
de platina cu paladiu sau aur, uraniu, oxid de uranium, oxid de wolfram etc.
Un tip special de replici il constituie repliocile de extractie ( fig.11c), care sunt
replica obisnuite extrase de pe suprafete atacate chimic un timp mai
indelungat, deci in replica vor fi retinute doar microparticule sau faze izolate.
Microparticulele sau fazele extrase isi vor pastra morfologia si localizarea, iar
prin tehnici de microdifractie sau microanaliza se va putea preciza natura
acestora.
O alta metoda de preparare pentru investigarea suprafetelor prin microscopie
electronica prin transmisie este metoda decorarii care consta in depunerea
prin evaporare de scurta durata pe suprafata probei a unor germeni cristalini
metalici, care vor forma aglomerari sau lanturi de particule in zonele
continand defecte cristaline, pe care le decoreaza, marcand prezenta si locul
acestora in imagine. Prin metoda decorarii este posibila vualizarea directa a
acelor elemente de relief superficial care constituie centre electric active sau
concentratoare de tensiuni. De asemenea, se poate urmari evolutia defectelor
respective ca rezultat al diverselor interactiuni fizico-chimice.
Toate tipurile de replici, fiind de grosimi reduse si, in general, fragile, sunt
asezate pe suporti metalici sub forma de retea, avand uzual un diametru de cca
3mm.
b) metode de preparere a probelor in vederea examinarii structurii interne. O
mare varietate de metode a fost propusa pentru reducerea grosimii probelor
pana la obtinerea unor folii subtiri, cu grosimi adecvate investigatiilor
electrono-microscopice. Straturi subtiri au fost obtinute prin evaporare si
depunere in vid, sau prin pulverizare cu fascicule ionice a materialului
respective pe suporti convenabili. Unele cristale ( de exemplu mica) pot fi
direct clivate la grosimi suficient de subtiri, pentru a permite examinarea in
microscopul electronic prin transmisie.
Metodele curente de obtinere a unor probe cu grosimi sub 0,5mm constau in
taierea mecanica, eroziunea chimica sau electrochimica. Materialele ceramice
pot fi de asemenea subtiate prin utilizarea bombardamentului ionic.
In final, probele cu grosime redusa trebuie sa fie aduse la transparenta
electronica printr-un process controlat de polizare electrolitica.
Electropolizarea se efectueaza prin doua tehnici standard: metoda ferestrei si
metoda Bollmann.
In prima metoda, proba acoperita cu un lac protector in zona marginilor,
pentru a preveni un atac chimic excesiv, este suspendata intr-un electrolit. In
fata probei, care constituie anodul, se afla catodul confectionat din acelasi
material. Aplicand o tensiune si o densitate de curent adecvate, in fereastra
26
constituita de zona nelacuita a suprafetei probei se formeaza gauri, pe
marginea carora sau intre care se afla portiuni transparente pentru fasciculul
electronic, acestea din urma putand fi decupate si studiate in microscop.
In metoda Bollmann, proba de subtiat (anodul) se afla intre doi catozi de otel
inoxidabil ascutiti. Acesti doi electrozi sunt plasati la cca 0,5mm de centrul
suprafeti probei. Dupa obtinerea unei perforatii, proba este deplasata astfel
incat electrozii sa se afle intre perforatia anteriaoa si marginea cea mai
apropiata a probei. Subtierea continua in acelasi regim, pana in momentul in
care marginile perforatiei si probei aproape se unesc. Zona foliei cuprinsa intre
cele doua margini poate fi taiata si examinata direct in microscop.
Solutiile de electroliti se aleg in functie de natura materialului iar regimul de
subtiere electrolitica( tensiune, densitate de curent) este variabil si necesita
uneori lucrul la temperature fie scazute, fie ridicate. Un exemplu tipic de
electrolit, utilizat pentru subtierea otelurilor inoxidabile, este cel format din
42% H
3
PO
4
, 34% H
2
SO
4
si 24% H
2
O, intr-un regim de polizare caracterizat
prin U= 8-9 V, I=9-10A, t=30 -60 C .
Dupa cum s-a mentionat anterior, stratul subtiri metalice sau ceramice pot fi
obtinute prin procedee de depunere prin evaporare in vid, prin pulverizare
catodica sau cu fascicule ionice, prin depunere electrolitica, sau prin depunere
chimica in faza de vapori (CVD). Straturile obtinute de grosimi variabile pot fi
mono sau policristaline. Factorii esentiali pentru controlul dimensiunii
grauntilor, orientarea cristalografica si compozia chimica a straturilor depuse
sunt: viteza de depunere, temperature suportului, natura chimica a suportului si
stratului. In calitate de suport se utilizeaza curent halogenuri alcaline, carboni,
sticla, mase plastice etc.


Metode de preparare in domeniul biomedical


Deoarece probele biologice sunt extreme de fine si au rezistenta mecanica
scazuta, obtinerea preparatelor biologice necesita utilizarea unor metode
specifice de pregatire. In functie de natura preparatelor biologice ( suspensii
continand virusuri sau bacterii, sectiuni ultrafine de tesuturi, replici ale unor
probe biologice) se adopta diverse tehnici de preparare, avand in vedere faptul
ca grosimea probei nu trebuie sa depaseasca 100 nm la o tensiune
acceleratoare de 100 kV. In foarte putine cazuri ( virusuri, organite subcelulare
izolate) grosimea este suficient de mica pentru observare directa.
Suspensiile pot fi depuse pe grilele suport (discuri de retea metalica acoperite
cu un strat subtire organic lipsit de structura) prin pipetare, adsorbtie, intindere
sau pulverizare.
Tehnicile de replicare ale probelor biologice sunt similare cu cele descrise in
2.4.1. In multe cazuri, replicare este precedata de o operatie de uscare prin
27
congelare (freeze-drying) sau corodare prin inghetare (freezeetching).
Pentru marirea constratului preparatelor biologice se utilizeaza metalizarea sau
umbrirea cu maetale grele prin evaporare in vid. Investigarea aspectelor
morfologice implica metalizarea pentru observarea electronomicroscopica a
virusurilor, bacteriilor, structurilor subcxelulare sau macromoleculare (acizi
nucleici, proteine, enzime).
Principalele etape de preparare a unor sectiuni ultrafine de probe biologice
sunt: fixarea, deshidratarea, inglobarea si sectionarea. Scopul principal al
intregii proceduri este de a produce felii subtiri de preparat in care structura
fina sa fie conservata cu o alterare minima fata de realitatea biologica.
Fixarea are ca scop stabilizarea organizarii celulare astfel incat relatiile
ultrastructurale sa fie pastrate in cursul etapelor ulterioare de deshidratare,
inglobare si expunere la fasciculul electronic. Fixarea poate avea loc in vivo
(pe viu) sau imediat dupa moartea organismului. Mentionam printre agentii de
fixare curent utilizati: tetraoxidul de osmium, aldehidele (in special
glutaraldehidele), acetatul de uranil.
Deshidratarea se efectueaza imediat dupa fixare. Cei mai folositi agenti de
deshidratare sunt etanolul si acetona. Intrucat rasinile poliesterice utilizate ca
mediu de inglobare, sunt insolubile in etanol, probele sunt deshidratate in
acetona sau in etanol cu utilizarea unei trepte intermediare de deshidratare in
stiren sau acetona.
Inglobarea se aplica in stadiul final de preparare a unei probe biologice;
pentru obtinerea prin taiere a unor sectiuni subtiri, proba este infiltrata cu un
mediu de inglobare lichid care produce prin polimerizare un corp solid. Un
mediu ideal de inglobare trebuie sa fie solubil in etanol sau acetona inaintea
polimerizarii, san u altereze proba fizic sau chimic, sa se durifice uniform, dar
sa ramana totusi destul de plastic in vederea taierii sis a fie relativ stabil la
bombardament electronic. Principalele tipuri de medii de inglobare sunt
rasinile epoxidice, rasinile poliesterice si metacrilatii, primele fiind cele mai
des folosite.
Sectionarea se face cu aparate speciale numite ultramicrotoame, care taie felii
subtiri de 0,01-0,2 m din blocul de inglobare continand tesutul de studiat.
Taierea se face cu cutite speciale de sticla sau diamante.
In scopul imbunatatirii contrastului si rezolutiei se utilizeaza metode speciale,
cum ar fi: colorarea pozitiva, colorarea negativa si umbrirea sau metalizarea.
Colorarea pozitiva consta in impreganarea structurilor biologice cu un colorant
compus din saruri ale unor metale grele. Deoarece fiecare tip de molecula
prezinta o afinitate chimica caracterisrica fata de colorant, imprastierea
electronilor de catre atomii grei ai colorantului va fi diferita, in functie de
cantitatea de colorant retinuta de molecula respective. Prezenta ionilor
metalice mareste densitatea specifica a preparatului, ceea ce implica o marire a
contrastului in imaginea electrono-microscopica, conform relatiei (20).
28
Colorantii cei mai utilizati sunt sarurile de uraniu, de plumb, de thorium, de
lantan, etc.
Colorarea negativa, metoda larg utilizata in studiul virusurilor,
microorganismelor si fractiunilor celulare, consta in plasarea preparatului
biologic intr-o solutie care contine un pigment cu putere foarte mare de
imprastiere si care nu reactioneaza chimic cu preparatul. Dintre substantele
utilizate ca pigmenti amintim fosfotungstenatii, acetatul de lantan, wolframatul
de sodium , acetatul de uranil, etc.
Metalizare sau umbrirea este o metoda descrisa deja in 2.4.1.. In scopul
evidentierii aspectelor morfologice ale unor preparate biologice ca virusuri,
bacterii, structuri celulare sau macromoleculare (acizi nucleici, proteine,
enzyme), pentru evaporate in vid se utilizeaza metale cum ar fi: aur, aliaj aur-
paladiu, oxizi de uraniu, platina-carbon etc..

Difractia de electroni

Datorita proprietatilor ondulatorii ale electronilor, la trecerea acestora prin
reteaua cristalina a probelor, are loc un fenomen de imprastiere dupa anumite
directii, numit difractie. Electronii imprastiati formeaza, prin suprapunere,
maxime de difractie a caror pozitie ordonata corespunde distributiei regulate a
atomilor in reteaua cristalina. Astfel, ca urmare a difractiei electronilor, se
obtine pentru fiecare substanta o imagine de difractie caracteristica, care
permite identificarea structurii si naturii probei investigate.
Considerand, intr-o prima aproximatie, difractia electronilor ca un rezulata al
reflexiei fasciculului electronic pe unele plane atomice ale retelei cristaline, se
poate stabili, pe baza directiei fasciculelor difractate, oreintare in spatiu a
acestor plane, ceea ce echivaleaza cu legea de difractie descoperita de W. H.
Bragg:

2d sin = n . (22)

Intr-adevar, in fig.12 se observa ca, daca un fascicul de electroni cade pe un
cristal sub unghiul fata de un set de plane cristalografice-complet
caracterizate ca pozitie spatiala prin trei numere denumite indici Miller ( h,k,l)
situate la distanta interplanara d, atunci difractia se produce, conform legilor
din fixica clasica, daca drumul electronilor reflactati de plane atomice
adiacente difere cu un numar intreg de lungimi de unda.




29

Fig. 2.4

Daca raza difractata pleaca de la planul de reflexie sub unghiul , atunci
diferenta de drum a razelor, n., care corespunde drumului suplimentar parcurs
de fiecare raza in raport cu precedenta (distanta ABC) va fie gala cu 2dsin,
ceea ce reprezinta legea lui Bragg (22) mentionata anterior.
Fenomenul de difractie a electronilor prezinta o mare similitudine cu
fenomenul de difractie a radiatiilor X in cristale. Totusi difractia electronilor
prezinat o serie de particularitati legate de lungimile de unda mici associate
electronilor si de imprastierea lor puternica pe atomii retelei. Astfel se explica
faptul ca dimensiunea limita a particulelor cristaline care formeaza imagini de
difractie corespunde la cca 10
2
10
3
pentru electroni si la cca 10
3
10
6

pentru radiatiile X. De asemenea, cu ajutorul difractiei de elctroni se pot studia
straturi foarte subtiri de substanta (grosimi intre 20 si 1000 ), fapt dificil de
realizat prin investigatii roentgeno-structurale.
Cea mai simpla camera de difractie a electronilor consta dintr-un tun
electronic, o lentila obiectiv, proba si ecranul de observare (fig. 13). Notand cu
R distanta dintre pata centrala, corespunzatoare fasciculului electronic incident
nedifractat, si un maxim de difractie, eset evident din figura ca:
R = L tg 2, (23)
unde L este lungimea camerei de difractie (in principiu, distanta proba-ecran).
Masurand R si L se poate calcula unghiul de imprastiere . Apoi, cu ajutorul
relatiei lui Bragg, se poate determina distanta interplanara d, cunoscand
lungimea de unda calculata conform relatiei (3). Deoarece unghiul este
foarte mic, in general, relatiile (22) si (23) pot fi aproximate prin:
2d ~ n. (24)

i, respectiv,
R ~ L 2. (25)

30
Inlocuind valoare unghiului din relatia (24) in relatia (25) se obtine:
Rd = L (26)



Fig.2.5

Aceasta formula este des utilizata in interpretarea imaginilor de difractie a
electronilor.
Dupa cum s-a mentionat in 2.3, in planul focal posterior al lentilei obiectiv
este asezata o aperture care produce contrastul de difractie in imaginea
electrono-microscopica. Daca in planul imaginii intermediare, formata de
lentila obiectiv, sunt plasate aperturi de difractie care selecteaza o zona
restransa a probei, atunci se poate obtine o imagine de difractie asociata
acestei arii. Aceasta tehnica se numeste micro-difractie sau difractie pe arie
selectata si are numeroase aplicatii practice, permitand identificarea
cristalografica si a naturii chimice a unor particule izolate, precipitate, faze
secundare etc., vizualizate deja prin microscopie electronica. Similar difractiei
radiatiilor X este posibila determinarea cu o precizie relativ buna (0,1%) a
parametrilor retelei cristaline.
Imaginile de difractie electronica au un caracter dependent de natura probei si
de metoda de obtinere a imaginii. Astfel, exista urmatoarele tipuri de imagini
de difractie obtinute la trecerea fasciculului electronic prin proba:
a) Imagini de difractie associate monocristalelor, n care maximele de
difractie apar sub forma unor puncte izolate, provenite de al familiile de plane
existente in proba monocristalina- caracterizate de aceiasi indici Miller (fig.
14a). Simetria dispunerii maximelor de difractie punctuale in imagine este
direct legata de simetria structurii cristaline a materialului din proba.
b) Imagini de difractie associate probelor policristaline, n care maximele de
difractie se prezinta sub forma unor inele concentrice luminoase pe fond
intunecat, rezultat al prezentei unui numar mare de cristalite in proba cu
orientari diferite in spatiu. In acest caz fasciculul primar intalneste un numar
mare de plane cristaline, apartinand aceleiasi familii, iar fasciculele difractate
se vor aseza pe panzele unor conuri avand drept axa fasciculul primar
31
nedeviat. Din intersectia acestor conuri cu ecranul de observare rezulta inelele
de difractie observate in figura 14b.


Fig. 2.6

c) Imagini de difractie pe probe texturate, in care apar o serie de arce de cerc a
caror lungime este proportionala cu gradul de texturare. Prin grad de texturare
al unei probe policristaline se intelege procentul statistic majoritar de cristalite
orientate dupa o directie comuna [hkl].