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Comment fonctionne la FX
Ad van Eenbergen
Ingnieur Produit et Application fluorescence X
PANalytical France S.A.S.
Limeil Brvannes
Que sont les rayons X ?
Radiations Electromagntiques
Longueurs d'onde de 0.01 nm 10.0 nm
Energies de 124 keV 0.124 keV
1nm = 10 = 10
-9
m= 10
-6
mm
Origine des rayons X (1) (Tube)
Les rayons X sont gnrs par la perte d'nergie d'lectrons
associe l'interaction d'lectrons de haute nergie avec les
atomes
Fond continu
(Rayonnement de freinage) (Bremsstrahlung)
Radiations caractristiques
Production des rayons X
Le tube rayons X
+
_
kV mA
Filament
(Cathode)
Anode
(Anti-cathode)
Courant
filament
Vide
Enceinte
isolante
RX
Fentre
(Be)
Tube rayons X fentre frontale "Super Sharp"
Tube rayons X fentre frontale "Target Transmission"
2
Production des rayons X
Fond continu
Forme du fond continu
Intensit maximum =2 2 2 2min
Production des rayons X
Formation des raies caractristiques
N N N
M
L
M
L
M
L
K K K
lectron provenant du filament
et acclr par la haute tension
du tube
Lacune
lectronique
Photon X
Transition
tat fondamental tat excit Stabilisation
Un atome de lanode du tube rayons X
K
Origine des rayons X
Spectre d'un tube rayons X
avec une anode en tungstne
Proprits des rayons X
Interaction des rayons x avec un massif
Effet
photo-lectrique
Diffusion
Cohrente
Incohrente
Diffraction
Tous ces effets se produisent simultanment !
Proprits des rayons X
Absorption
Effet photo-lectrique
Rendement de fluorescence
Diffusion
Cohrente (Rayleigh)
Incohrente (Compton)
Diffraction
Effet photolectrique
Formation des raies caractristiques
N N N
M
L
M
L
M
L
K K K
Photon provenant du tube
Lacune
lectronique
Photon X
Transition
tat fondamental tat excit Stabilisation
Un atome de lchantillon
K
3
Proprits des rayons X
Coefficient d'attnuation de masse
Coefficient d'attnuation de masse ( ) pour l'lment Z
en fonction de la longueur d'onde ( ) du rayon X incident
Production des rayons X
Excitation de l'chantillon
Rh 60kV
Spectre
Rh K
Spectre
Rh L
Fond continu
Discontinuit
d absorption
Al K
Production des rayons X
Excitation de l'chantillon
Rh 60kV
Spectre
Rh K
Fond
continu
Spectre
Rh L
Discontinuit
d absorption
Mo K
Le spectromtre rayons X
Description typique
Source
chantillon
Optiques
Dtecteur(s)
lectronique
Logiciel
Spectre aprs lchantillon
Spectre du tube (Rayleigh)
Spectre du tube dplac (Compton)
Intensit dpend de la matrice
Spectre typique lchantillon
nergie dpend des composs et lintensit
dpend de la concentration
Spectre aprs lchantillon
Spectre typique de
fluorescence des rayons X
d'un chantillon
Tube
Compton
Rayleigh
Photo pics
4
Analyse
Il y une relation entre:
Intensit
Concentration
La Matrice
R = C / Matrice
Chaque atome est une source rayons X
Il y des effets dexcitation et dabsorption
Systme binaire Al
2
O
3
/SiO
2
Effets de matrice en gologie
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
0 20 40 60 80 100
Conc. SiO2 (%)
%

d
e

l

i
n
t
e
n
s
i
t

m
a
x
.
Si Ka
Al Ka
Pour Si K
dans SiO2
0% SiO2 : S = 500 cps/%
100% SiO2 : S =1000 cps/%
E

i K i K j K j K k K k K
ABSORPTION
EXALTATION
Excitation
Excitation et effets inter-lments
k
j
i
Primaire :
Secondaire :
Relation Intensit - Concentration
Malheureusement le monde est plus compliqu
( )
( ) ( )
( ) ( ) ( )
( ) ( ) ( )
( )
( )

,
_

1
]
1

+ +
1
1
1
1
1
]
1

,
_

" sin ) (
) (
1 ln
) (
" sin
' sin ) (
) (
1 ln
) (
' sin
" csc ) ( ' csc ) ( 2
4
, , ' csc ) (
,
0
0
0
0 0 0
0

s i
s j
s j s j
s
s
s i s
i j i i j j j
j ij
Q C Q C I
S
( )
( )
( ) ( ) ( ) " csc ) ( ' csc ) (
4
1
' csc ) ( ) (
0
0 0 0
0

s i s
K K
K
K
i i
i
f
r
r
W I
P
La dtection
EDXRF La fluorescence X a dispersion dnergie
Traditionnelle
Polaris
WDXRF La fluorescence X dispersion de
longueur dondes
Simultan
Squentielle
Sim/Seq
Le spectromtre rayons X
Un spectromtre rayons x applique:
Ou
EDXRF
WDXRF


2396 . 1
. h E
sin
n
d 2
5
Fonctionnement d un systme EDXRF
E Z : Donc
Quanta des Thorie E
1
Moseley de Loi Z
1
2
2





Dtecteur
chantillon
Tube rayons X
Amplificateur et
analyseur
multi-canaux
Energie (KeV)
Comptage sur
le canal
Le spectromtre rayons X
Dispersion d'nergie
Utilisation d'un dtecteur "proportionnel", o le
voltage de l'impulsion produite est proportionnel
l'nergie du photon X qui l'a caus.
Le dtecteur peut tre solide Si(Li), un compteur
proportionnel gaz ou un compteur
scintillation.
Les impulsions sont tries dans les canaux d'un
analyseur multi-canaux, o le numro du canal
est proportionnel au voltage de l'impulsion.
Proprits des rayons X
Absorption
Effet photo-lectrique
Rendement de fluorescence
Diffusion
Cohrente (Rayleigh)
Incohrente (Compton)
Diffraction
Proprits des rayons X
Diffraction
Diffusion cohrente d'un matriau cristallin
Pour qu'il y ait diffraction, la loi de Bragg doit
s'appliquer
Extinction des photons diffuss qui ne sont pas en phase
Sommation (diffraction) des photons diffuss qui sont en
phase

Proprits des rayons X
Diffraction - Loi de Bragg -
Fonctionnement dun systme WDXRF

sin
1
2
sin 2
1
2
2
d
n
Z
d n
Z
thus
ip relationsh Bragg
Moseley
Circuits
damplification
de
discrimination
et de
comptage
degrs 2
CPS
Cristal analyseur
chantillon
Tube rayons X
2
Collimateur
primaire
Dtecteur
2
Z
1


sin d 2 n


sin
1
d 2
n
Z
2
Loi de Moseley
Loi de Bragg
Donc:
6
Le spectromtre rayons X
Reprsentation schmatique FX squentielle
Tube
rayons X
jeu de filtres
programmable
Echantillon
Masque collimateur
programmable
Le spectromtre rayons X
Reprsentation schmatique squentielle (suite)
Collimateurs
primaires
Cristaux plats

Dtecteur
Le spectromtre rayons X
Reprsentation schmatique FX squentielle (suite)
Canal fixe
Le spectromtre rayons X
Reprsentation schmatique FX simultan
Dtecteur
Echantillon
Chambre
danalyse
Cristal
courbe
Canal
fixe
Tube rayons X
Cristal
courbe
Goniomtre
programmable
sous vide
Le spectromtre rayons X
Canal fixe cristal courbe (Focalisant)
Vis de rglage du cristal ( )
Fixation du canal
Chambre de mesure
Diaphragme
Fente dentre
Dtecteur
Fente de sortie
Cristal
Chambre du cristal
Le spectromtre rayons X
Goniomtre focalisant sous vide
7
Le spectromtre rayons X
Goniomtre programmable vide partiel
Dtecteur
scintillation
Collimateur
de sortie
Dtecteur proportionnel
(Krypton)
Cristal
Fentre
Faisceau de rayons X
Collimateur
d entre
Chambre de
mesure du
spectromtre
Moteur
pas pas
Courroie de
commande
Collimateur de sortie
Protection radiations
Le spectromtre rayons X
Reprsentation schmatique FX simultan faible puissance
Gnrateur
chelle de
comptage
Micro-
processeur
Terminal
Dtecteur
chantillon
Les diffrentes techniques
Sample
Promary
collimator
X-ray tube
Detector
Analysing crystal
2
Sample
Sample
Secondary target
X-ray tube
X-ray tube
Detector
Detector
WDS EDS EDS polaris
Excitation directe Excitation secondaire
P
1
P
2
P
3
P
4
P
1
P
2
P
3
P
1
P
2
P
3
P
4
B
1
B
2
B
3
B
4
B B
I
E
E
I
Dispersion nergie
spciale
Spectromtre en EDS polarise
Dtecteur Dtecteur Cibles secondaires Cibles secondaires
Tube Tube
chantillon chantillon
Radiation X
Polarise
Radiation
fluorescente
Radiation primaire
Non-polarise
Optique polarise :
Bruit de fond trs faible
Excellente valeurs pic sur fond
Seuils de dtection trs bas !!!!
Le spectromtre rayons X
Spectromtre dispersion d'nergie (EDS)
Inconvnients
Mauvaise rsolution pour les lments lgers.
Intensit totale maximum( tous lments)20 000 c/s.
Mauvaise sensibilit sur les lments lgers.
Peut ncessiter de l'azote liquide.
Le spectromtre rayons X
Spectromtre dispersion d'nergie (EDS)
Avantages
Avec un dtecteur Si(li), tous les lments sont
mesurs simultanment.
Relativement peu coteux.
8
Le spectromtre rayons X
Dispersion d'nergie
Analyse qualitative et quantitative.
Compare avec la dispersion de longueur d'onde, la
rsolution est:
Meilleure sur les fortes nergies (Ag/Sn/Sb spectre K)
gale sur les nergies moyennes (Fe/Mn/Cr spectre K)
Mauvaise sur les basses nergies (Na/Mg/Al/Si spectre K)
11 < Z < 92
Spectre WDXRF gradu en nergies
3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5 10.5 11.5 12.5 13.5 14.5
Fe
Cu
Zn
Zn
Pb
Pb
Rb
Br
Sr
Fe
Ca
Ti
Cr
Mn
Ca K
Cu
keV
Energie (keV)
Intensit
(cps) K (et L)
K et L)
Spectre EDXRF avec un dtecteur Si(Li)
Zn
Fe
Ca
keV
K (et L)
K (et L)
Intensit
(cps)
Energie (keV)
Spectre EDXRF avec Excitation directe (2-D)
Optique et bruit de fond Excitation polarise 3-D Notre gamme de Fluorescence X aujourdhui
MagiXFAST
Venus
MiniPal
AXIOS
MiniMate
WDXRF
EDXRF
CubiX
3-D EDXRF
Epsilon5
9
Applications
Contrle de production
Cimenteries
Fonderies (Aciers, Cuivre, Aluminium, etc)
Industries de verres et rfractaires
Chimie
Ptrochimie
Polymres et Plastiques
Pharmacie et Alimentaire
Mines et Minralogie
partir de quelques centaines de ppb jusqu 100%
De Bryllium jusqu Uranium
Dure danalyse entre 10 secondes jusqu 15 minutes
Applications
La recherche
Universits et centres de recherches
LIndustrie
LAutomobile
Construction
Pharmacie et Alimentaire
Gologie
partir de quelques centaines de ppb jusqu 100%
De Bryllium jusqu Uranium
Dure danalyse entre 15 minutes et 2 heures
Avec des programmes sans talons
Applications
Environnement