RADIOGRAFA TECNOLGICA

CMO SE FABRICA UN CHIP

La tecnologa de los chips la podemos encontrar a diario en todo tipo de dispositivos, desde un trasbordador espacial hasta una mquina de hacer caf, pasando por los semforos y las computadoras. Una regla general dice que si un dispositivo usa energa y mediante la programacin o la customizacin se le puede decir qu hacer, es que hay un chip dentro. Un chip lleva adelante varias tareas y alguna de ellas son ms complejas que otras. El chip ms sofisticado es el microprocesador, el producto manufacturado ms complejo de la tierra, cuyos transistores pueden ejecutar cientos de millones de instrucciones por segundo. Aqu les describimos los pasos necesarios para fabricar un chip: 1. Primero, se cortan pequeas tajadas (llamadas wafers) de un lingote de silicio cristalino de un 99,9999 por ciento de pureza. Recordemos que los tomos que componen el silicio en su estado slido se distribuyen en forma regular formando un cristal. 2. Se pule el wafer para eliminar impurezas o ralladuras superficiales, logrando una base casi perfecta para la fabricacin del chip. 3. Ciertas porciones del silicio son alteradas qumicamente para crear las regiones llamadas source y drain de los transistores, que controlan el flujo definido por la fotolitografa, donde el wafer es cubierto con un material sensible a la luz llamado photoresist. Luego, la luz es proyectada a travs de una mscara con un pattern (diseo) sobre una seccin del wafer (del tamao del chip) -un proceso similar al utilizado para imprimir fotos de negativos. Una mquina llamada stepper repite este proceso para cada chip en el wafer. 4. Las reas expuestas del photoresist se endure-

cen. Durante el proceso de revelado, las partes no endurecidas del photoresist son lavadas. 5. tomos de un material llamado dopante (por ejemplo Boro o Arsnico) son forzados, mediante el bombardeo de iones, a penetrar en un rea especfica en un proceso llamado doping (dopaje), y son activados mediante un proceso trmico llamado annealing. El material resistente evita que los dopantes penetren en reas en las que no deben ingresar. Luego de la implantacin de iones, se remueve la resistencia endurecida y se repite el proceso para otros tipos de dopantes implantados en diferentes reas. En los siguientes pasos se usa un proceso parecido al de usar patterns, pero el resist ahora acta como un etch mask. 6. El gate del transistor se forma depositando y usando patterns, una capa de dioxido de silicio (que forma el xido del gate) y luego una capa de polysilicon que es luego dopada muy densamente. Este gate de polysilicon acta como un faucet (grifo) para activar el flujo de electrones entre el source y drain on/off. 7. El resto de los pasos para la fabricacin de un chip implican la formacin de wires (cables) que conectan el gate, source y drain de los transistores entre s y con el mundo exterior. Capas de dixido de silicio (que es un dielctrico o aislante) son depositadas sobre el wafer usando el proceso llamado chemical vapor deposition (CVD). Durante el proceso de CVD, gases que contienen tomos de materiales que deben ser depositados reaccionan en la superficie calentada del wafer, formando una fina pelcula de material slido. Los metales, principalmente el aluminio, son depositados en el wafer mediante el proceso llamado Physical Vapor Deposition (PVD). Durante el PVD (tambin llamado sputtering) iones en estado

gaseoso son acelerados hacia el material target (blanco) que debe ser depositado. Los iones quitan los tomos del material target que caen y se acumulan en el wafer. 8. Los pasos 3, 4 y 5 se repiten para formar capas de dixido de silicio, metales, cada uno con su pattern correspondiente de modo de completar el diseo del circuito. Una capa de un metal conductor (usualmente aluminio) es depositada (CVD o PVD), expuesta (photolithography) y grabada (etched) para formar pequeas interconexiones metlicas. Los chips complejos requieren de varias capas de metal con conexiones verticales entre ellas llamadas vias. 9. El wafer es cortado, o diced, para formar los chips. Los chips se colocan en packages (envases) y el llamado wirebonder (conector de cables) conecta elctricamente los chips con los pines o leads correspondientes del package. Hasta el momento, se ha construido solo una pequea porcin de un microprocesador. En realidad, fabricar un microprocesador es mucho ms complicado y requiere ms de 250 pasos. En consecuencia, cientos de microprocesadores idnticos son creados en tandas en un solo wafer. En el wafer, el circuito microscpico de cada uno de los microprocesadores es evaluado. Luego el wafer es cortado con una sierra de diamante, separando de esta forma los microprocesadores. Cada procesador es luego insertado en un envase protegido que permite que sean conectados con otros dispositivos. El tipo de envase depende del tipo de microprocesador y cmo ser usado. Cada envase es testeado ms de una vez, siendo ste el ltimo paso en la fabricacin del chip. Los microprocesadores ahora estn listos para ser enviados a las compaas que los usaran para fabricar los artculos que usamos a diario.

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FOTO: http://www.amd-images.com/ - (c) Sven Dring/AMD

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Lingote de Cristal de Silicio

Proceso de Fabricacin
Luz Close-up of Chip Pattern (with photoresist) Photoresist Dixido de Silicio (SIO2)

3
Photoresist Retcula (mask) Developed Chip Section

2
Magnified Wafer Section Wafer Pulido

Wafer

Lente

Pattern Being Reposted Onto Wafer Photoresist

Layer Adicional (como polysilicon) Dixido de Silicio (SIO2)

Wafer (con photoresist) Wafer Etched Chip Section

Dielectric Silicon Wafer

Layer adicional (como polysilicon)

5
Dixido de Silicio (SIO2) Wafer

Dixido de Silicio (SIO2) Wafer Metal Conductivo Layer Adicional (como polysilicon) Dielectric Silicon Dixido de Silicio (SIO2) Wafer

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El Producto Final:

Transistor estndar
Low resistance layer Polysilicon gate
N+ for NMOS P+ for PMOS

SiO2 gate oxide S D

Silicon substrate

Cristal de Silicio

Transistor

Transistor estndar

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