Sunteți pe pagina 1din 24

UNIVERSITATEA TEHNICA Gheorghe Asachi IASI

FACULTATEA de MECANICA










MICROSENZORI









Romaniuc Dan
Anul II Master
Sisteme Robotizate

An univeritar 2013 - 2014

Microsenzori
Prefata
Istoric
Senzori de presiune
Senzori de accelerare
Giroscoape
Senzori chimici
Biosenzori
Miniaturizarea. De ce ?

Apreciere, Dimensiune, Greutate
Utilizare eficienta a tehnologiei circuitelor integrate
Matrici de senzori
Masuratori online in loc de masuratori din laborator
ce este un microsenzor?...

Domenii de aplicare
Industria automobilelor
Masuri ecologice si de siguranta
Aplicatii medicale
Masuratori continue a parametrilor
chimici/fizici, electrocasnice, microchirurgie
de la distanta, terapie cu ingerari minime
Electronice de consum, automatizare casnica
Ex: accelerometre din Hard Disk-uri, sensori
din camere video, controlere pt jocuri,
senzori de calitate al aerului.
Protectia mediului inconjurator
Masuri de concentrare diferite
Industria de proces
Robotica




Piete de senzori
Pietele MST in 1996:
~14 miliarde $ SUA
(prognoza pt 2002: ~38
miliarde $ SUA)
. In comparatie cu cele
$ 300 miliarde pentru
pietele mondiale de
semiconductoare
Crestere de piata (prognoza
20022004) cu aproximativ
20%
Microsenzori vanduti (1996):
44% senzori de presiune (115
milioane bucati, 600
milioane dolari)
38% senzori chimici
9% accelerometre (24
milioane bucati, 240
milioane dolari)
2% giroscoape (6 milioane
bucati, 150 milioane dolari)
5% magnetorezistivi
Debit, forta, temperatura



Clasificarea Senzorilor
Tip de Semnal Masuranzi
Termic Temperatura, caldura, flux de caldura, entropie, capacitate termica etc
Radiatie Raze Gamma, Raze X, Raze ultra-violete, lumina vizibila si lumina infrarosie, micro-
unde, unde radio etc
Mecanic Dislocare, viteza, acceleratie, forta, presiune, debit de masa, amplitudine si lungime de
unda acustica
Magnetic Camp magnetic, flux, moment magnetic, magnetizare, permeabilitate magnetica, etc
Chimic Umiditate, nivel pH si ionic, concentratie gazoasa, material toxice si inflamabile,
concentratie de vapori si mirosuri, poluanti, etc
Biologic Zaharuri, proteine, hormoni, antigeni etc

34%
34%
8%
3%
9%
5%
2%
2%
2% 1% 0% 0%
36%
29%
11%
8%
6%
4%
2%
2%
1% 1% 0% 0%
Pietele MST(milioane de dolari) pentru
tipuri de produse stabilite
1996 si 2002(prognoza)
Cap de Citire HDD
Cap de scriere Imprimanta
Stimulatoare cardiace
Diagnoza In Vitro
Aparate Auditive
Senzori de presiune
Senzori chimici
Camere infrarosu
Accelerometre
Giroscoape
Senzori magnetorezistivi


Termeni specifici senzorilor
Senzor integrat
Senzor inteligent
Neliniaritate
Histerezis
Infiltrare
Deviatie aleatoare unghiulara
Factor de scalare
Sens de inclinare
Cota zero de compensare
Sensitivitate
Senzori de presiune piezorezistivi

Masoara apasarea materialului
Caracteristici:
- Dimensiune redusa
- Linearitate buna pe o distanta dinamica intinsa
- Sensitivitate moderata la presiune mare
- Relativ independenti fata de histerezis si in filtrare
Rezistori aranjati intr-o punte Wheatstone =>
coeficientii de temperatura se anuleaza.
Diferite tipuri de senzori: standard, diferential si
absolut
Performanta senzorilor variaza simultan in functie de temperatura si presiune

Sensibilitatea piezorezistorului scade odata cu cresterea
temperaturii.




Nelinearitatea raspunsului la presiunea aplicata depinde de
locatia rezistorilor in zona solicitata si abaterea membrane.


Pe masura ce abaterea creste cu pana la 10% din grosimea
diafragmei, neliniaritatea zonei solicitate rezultante creste.




Dispozitivele proiectate corespunzator sunt capabile sa obtina
neliniaritate mai mica de 0.01% din marimea initiala.

Senzori de presiune piezorezistivi




Amplasamentul rezistorului:



Diafragma de silicon patrata ->
devierea rezulta sub forma de zone
de solicitare simetrica cu valori
maxime in centrul fiecarei margini
-> piezorezistorii s-au imprastiat in
acele regiuni (sensitivitate pe
intreaga punte).
Diafragma rectangulara -> zona de
solicitare variaza de la elastic la
compresiv de-a lungul unei cai de
la marginile indepartate spre
centru -> rezistorii plasati
perpendicular pe zona solicitata
(amplasamentul rezistorilor in
acest tip de sensor este mai putin
decisiv fata de dispozitivele cu
diafragma patrata).




Senzori de presiune piezorezistivi
Exemplu:
Diafragma 40 x 40 m
Si3N4 gros de 200nm + plasma-
SiN de 1 m grosime



Gravura de sacrificiu folosing
metoda KOH gauri de gravaj
(diametru de 8m) la margini sau
colturi -> stratul de polisilicon de
sacrificiu este indepartat iar sub
startul de silicon aflat sub diafragma
este gravat anisotropic prin gauri ->
cavitate piramidala ce serveste
drept camera vidata de referinta


Senzori de presiune piezorezistivi

Senzor de presiune piezorezistiv a) sectiune
schematica transversal, b) microfotografie
microscop de scanarare a electronilor

4 piezorezistori de polisilicon sunt formati in diafragma

Strat de 1 m grosime de SiN depus deasupra suprafatei
pt a izola gaurile de gravura folosind CVD plasma


7 straturi folosite pentru fabricarea senzorului


Presiunea din interiorul cavitatii mai mica de 0.3 torr
Sensitivitate presiune de ~ 2 V/V/kPa

Nelinearitate mai mica de 1% din dimensiunea totala

Coeficientul de temperatura al sensitivitatii presiunii -
0.13% /Celsius
(T: -50+150 Celsius)


Senzori de presiune capacitivi


Senzori de presiune capacitivi

Modificarea capacitantei nu este lineara in raport cu deformarea sau presiunea (dar relatia este
reproductibila)

Structura senzorului este oarecum simpla si fabricarea se poate face folosind tehnici de microprelucrare
conventionale

Dezavantaj: capacitanta mica (in general 1..3 pF) => circuitul de masurare trebuie sa fie integrat in cip sau
proiectat special astfel incat sa anuleze capacitanta reziduala

Pentru a obtine sensibilitate mare si o raza de operare mare => utilizarea unei diagrame ultrafine cu
protuberanta in centru.






Masoara deformarea medie
Proprietati (comparativ cu omologii
piezorezistivi):
Sensibilitate la presiune mai mare
Sensibilitate de temperature mai
mica
Linearitate mai mare
Necesita zona de stingere mai mare
si circuite de detectie mai sofisticate
Nu au histerezis
Stabilitate pe termen lung mai buna
Costuri de fabricare mai mari


Senzori de presiune rezonanti


Alte tipuri de senzori de presiune


Masoara frecventele de rezonanta

Rezonatorul are multiple terminatii ex: termic,
electromagnetic sau electrostatic

Frecventa sau diferenta de frecventa este
masurata

Elementul rezonant poate fi izolat in vid pentru
precizie ridicata


Senzori de presiune

Cateva tendinte de viitor:
Reducere a costului
Reducere a dimensiunii matritei
Integrare marita
Producerea senzorilor care opereaza la temperature mai mari
Extinderea diversitatii de operare a senzorilor actuali
Precizie si rezolutie imbunatatita
Ambalare imbunatatita

Senzori de acceleratie







Majoritatea (toate) accelerometrele actuale sunt
compuse dintr-o masa de rezistenta sau seismica
suportate de un cadru suspensie.

Sub influenta accelerarii, masa de rezistenta genereaza
o forta -> deplasare sau solicitare a elementului de
suspensie.

Metodele de masurare a fortei variaza, depinzand de
factori ca performanta si cost.
Senzorii produsi in masa sunt
de obicei din silicon


Accelerometre capacitive





Fabricatie:

O capsula de silicon este imprimata pe partea din spate (sau ambele parti) pentru a constitui
masa de rezistenta si suspensie.
Marea majoritate a acclerometrelor microprelucrate au dimensiuni de cativa milimetri pe fiecare
parte lipirea anodica poate fi folosita pentru a forma electrozii fixi si a proteja impotriva
depasirilor
La senzorii microprelucrati la suprafata se utilizeaza o depunere de vapori chimici la presiune
mica sau galvanizare pentru a intari si defini masa de rezistenta si suspensiile ei pe partea
frontala a capsulei de silicon.
Un strat protector de spatiere, de obicei oxid LPCVD, este indepartat dupa ce membrana
organica este instalata pentru a elibera structura de pe substrat nu este necesara lipire anodica.
Senzorii au de obicei cateva sute de microni pe partile laterale, iar grosimea straturilor mecanice
si de spatiere fiind determinata de timpii de fixare a acestora.
Performanta dispozitivului depinde in mare parte de proprietatile uniforme si mecanice a
straturilor depuse.
Elementele de conexiune electronica sunt de obicei integrate pe acelasi cip.



Se utilizeaza un condensator intr-o punte
capacitiva pentru a transduce caderea de
tensiune

Nu depinde de temperatura

Accelerometrele de inalta precizie pe baza de
silicon cel mai probabil vor fi capacitive

Microsenzor marginal capacitiv
Unul din cei doi electrozi reprezinta masa de
rezistenta suspendata, si se deviaza
echidistant fata de electrodul fix cand este
accelerat


Accelerometre capacitive









Accelerometre piezorezistive












Tabel: Specificatiile tipice ale accelerometrelor pentru
automotive si aplicatii de navigare inertiale
Deoarece acclerometrele microprelucrate
sunt utilizate intr-o gama variata de aplicatii,
specificatiile necesare sunt dependente de
aceste aplicatii si acopera un spectru larg, ex:
Micromasurari de gravitatie: gama
de operare mai mare de 0.1g,
rezolutie mai mica de 1g, gama de
frecvente 01 Hz
Aplicatii de masurare a
impactului/balistice: gama de peste
10000g, rezolutie mai mica de 1g la
lungime de banda de 50Hz este
necesara

Avantaje principale: simplicitatea structurii si procesului
de fabricatie precum si a circuitului de citire

Dezavantaje: sensibilitate la temperaturi mari,
sensibilitate mica per total (in comparatie cu senzorii
capacitivi).

Fabricarea in masa prin microprelucrare si fixare prin
saibe poate fi foarte asemanatoare cu cea de la senzorii
capacitivi.
Imbibare cu ulei.....

Primul accelerometru microprelucrat si
comercializat a fost piezorezistiv

Accelerometre tip balanta de forte







Accelerometre tip tunel

Se utilizeaza sensibilitatea ridicata a electronilor obtinuti prin efectul tunel.
Folositi de exemplu ca senzori acustici sensibili
Masa de rezistenta se deplaseaza datorita acceleratiei, circuitul de citire reactioneaza la schimbarea
curentului, ajusteaza voltajul inferior de deviere astfel incat sa mute masa de rezistenta inapoi in
pozitia initiala, mentinand curentul de tip tunel constant.
Acceleratia se masoara citind voltajul inferior de deviere.
Introdus prima data la Laboratorul de Motoare cu Reactie, Pasadena.

Alte tipuri de accelerometre
Dispozitive termice:
Transducere termica:
- Fluxul de temperatura de la o sursa de caldura la un radiator este invers
proportional cu distanta dintre acestea.
- Se masoara modificarea distantei dintre sursa de caldura si placile radiatorului
Transfer liber a caldurii prin convective
- Bule de aer fierbinti modificate de distributia caldurii in prezenta acceleratiei
- Este identificat tipul de incalzire
Dispozitive rezonante
Optice
Electromagnetice
Piezoelectrice

Masa de rezistenta suspendata se deviaza
ca raspuns la acceleratie.
Semnalul este receptionat si emis inapoi
pentru a contracara deviatia.
Structura efectiv stationara.
Gama larga dinamica, ultrasensibila.
Utilizat cu precadere in dispozitive de navi-
gatie.
Sensibilitate capacitiva.
Aceeasi fabricatie a elementului senzorial ca la
accelerometrele cu repetitie continua.
Sistemul de semnalizare necesita electronica
sofisticata.
Reducerea costului prin integrarea in partii
electronice in acelasi chip cu elementul
senzorial.
Dispozitive analogice : 2.5 X 2.5 mm (fara
electronica de citire).

Accelerometre

Tendinte de viitor:
Reducerea costurilor
Stabilitate pe termen lung
Sensitivitate la temperaturi mai buna
Ambalare
Circuit de interfata cu deviere scazuta a circuitului de citire/control si sensibilitate mare, nivel
scazut al zgomotului si gama larga dinamica

Giroscoape

Elemente mecanice vibrante pentru detectia rotatiei
Lipsa partii rotative => usor de miniaturizat si fabricat folosind tehnici de microprelucrare
Procesul de microprelucrare a siliconului pentru fabricarea giroscoapelor cu vibratii se imparte in
patru categorii:
1. Microprelucrare in masa cu silicon si incapsulare
2. Microprelucrare la suprafata cu polisiliciu
3. Modelare eletrica a metalului si LIGA
4. Microprelucrare in masa/la suprafata combinata











Toate giroscoapele cu vibratie se bazeaza
pe transferul de energie dintre doua
moduri de vibrare a structurii cauzata de
acceleratia Coriolis

Principiul de functionare al giroscopului





Giroscoape







Giroscoape
Giroscoape cu vibratie:
Diapazoane
- Doi dinti conectati la o bara de jonctiune rezoneaza diferential la o anumita amplitudine
- Cand sunt rotiti => Efect Coriolis => forta diferentiala sinusoidala se creeaza pe fiecare
dinte.
- Forta este detectata ca incovoierea diferentiala a dintilor diapazonului sau vibratia
torsionala a tijei diapazonului.
Raze vibrante
- Partea vibranta este raza (sau membrana)
Valve vibrante (inel vibrant)
Aparatele care induc rezonanta pe structurile vibrante sunt in general:
- Electrostatice
- Electromagnetice
- Piezoelectrice
Aparatele de detectie folosite pentru a simti vibratia indusa de tip Coriolis sunt pentru acest caz
- Capacitive
- Piezorezistive
- Piezoelectrice









Giroscoapele pot fi clasficate in 3 categorii
diferite:
- Dispozitive grad-inertial (giroscoape
optice, giroscoape cu inel laser)
- Dispozitive grad-tactic (giroscoape cu
fibra optica)
- Dispozitive grad-evaluare
Cercetarile s-au axat pe senzori cu grad de
evaluare microprelucrati din silicon (industria
automobilelor)


Giroscoape
Exemplul I:
Giroscoape cu inel vibrant


Exemplul II:
Giroscop Diapazon












Doua moduri identice de incovoiere
avand frecvente native egale
Inelul este vibrat electrostatic
Rotatie => Coriolis => energie trasferata
din modul principal in modul secundar
de incovoiere
Rotatia monitorizata capacitiv


Sensibil si la temperaturi scazute
Gama de temperaturi de la -40 la +85
grade Celsius
Variatie nula a polarizarii < 10 grade/s
Rezolutie ~ 0.5grade/s

Desen schematic al giroscopului diapazon cu actionare prin zimti
Zimtii sunt dispusi lateral astfel incat se
genereaza forte electrostatice ce nu
depind de pozitia laterala a masei
Fabricatie simplista
Integrare usoara cu electronica de pe
chip
Dimensiune giroscop 0.7 x 0.7 mm
Senzor ieftin

Microsenzori Mecanici

Producatori de microsenzori:
NovaSensor
VTI Technologies
Analog Devices
Triton Technologies
EG&G
Delco
CSEM
TEMIC (Daimler-Benz)
Bosch
Motorola
Honeywell
Sensonor
Samsung
General Motors

Microsenzori Chimici
Identifica concentratia
Masurari calitative sau cantitative
~ 60% din senzori sunt senzori de gaz


Structura unui microsenzor chimic


Strutura:
- Reactie chimica in stratul sensibil
si transformare in semnal electric


Microsenzori chimici
Domenii de aplicabilitate:
Mediul inconjurator
Automobile
Medicina
Nutritie
Reglare de proces
Masurari de laborator
Metode coventionale:
- Obtinere de rezultate bune
- Metode de masurare complicate si scumpe
- Cantitatea de reactivi necesara
- Masurari efectuate in laborator
- Lent
Scopul este de a crea microsenzori (microsisteme) care:
- Sunt usor de fabricat
- Sunt precisi si robusti
- Folosesc o cantitate mica de reactivi
- Au timpi de raspuns mici
- Pot procesa semnalele inteligent
- Se pot grupa in matrici/retele
- Pot efectua masuratori in timp real
- Sunt biocompatibili si fara sensibilitate incrucisata

Traductoare Interdigitale













Rezistenta electrica sau variatie constanta
dielectrica a sarcinilor stratului senzorial la
interactiunea cu anumite substante

Masurare capacitiva

Raspuns (sensitivitate, selectivitate, timp de
raspuns) optimizat prin alegerea temperaturii de
lucru

Traductoare Interdigitale












Pelistoare















Senzor cu incalzire pe cip

Dimensiuni cip: 14x10mm
Zona senzitiva: 4x7mm
Material substrat: sticla de cuartz
Temperatura de functionare: 380
grade Celsius
Temperatura de deviatie maxima:
mai putin de 2.8%
Puterea de incalzire: 3.5W
Strat senzitiv: NiCr/Au

Principiulpelistorului

Retea de senzori membrane peliculare subtiri, membrana de
dimensiunea 1.25x1.25 mm, 250 grade celsius obtinute cu 100
mW putere de incalzire
Granula de alumina poroasa ce
contine catalizatorul
corespunzator incapsuleaza un fir
subtire de platina ce actioneaza
atat ca element incalzitor cat si ca
membrana termometrica
rezistiva ( tehnologie peliculara)
Cresterea temperaturii este
masurata (schimbarea rezistentei,
in montaj in punte
corespunzator)
In momentul arderii gazului ,
energie de activare specifica este
eliberata
Selectivitate redusa

Senzori optici




























Structura de cuplaj prin grila
Pelicula sau fibra realizata din material
cu indice de refractie mare inserat
intre/in materialele cu index mai scazut
Reteaua optica uneste razele de lumina
(He-Ne,laser) in sistemul de
transmitere a undelor
Substanta care este analizata schimba
indicele de refractie a sistemului de
transmitere a undelor
Cantitatea de lumina care loveste
detectorul (de ex. fotodioda) este
proportionala cu densitatea substantei.
Fibre optice (interferometre)

Sistem optic de transmisieunde

Intensitatea luminii este masurata
cu foto detectoarele iar unghiul de
incidenta a luminii laser variaza de
la -6...+6 grade. Din spectrul
masurat, se determina parametrii
fizici (grosime, indice optic de
refractie, densitate) ai mediului de
acoperire.
Material ghid unda (SOL-GEL)
Si xTi(1-x)O2 , (x~0.250.05)
Pelicula ghid unda
Index de refractie (nF)=1.770.03
Linie de aluncare a substratului
L=48 mm, w=16 mm, H=0.5 mm
Index de refractie (nS)~1.53
Grilaj
Zona de 2x16mm, adancime ~20nm,
periodicitate grilaj 2400linii/mm(0.4166
m)



Senzori ISFET















Microsenzori chimici












Substanta de masurat
schimba Vgs => schimbare a
Ids=>Ids se mentine constant
(voltajul electrodului
referential reglat) => Vgs
proportional cu pH
Zona libera in afara stratului
senzitiv de cativa m
Strat senzitiv: Al2O3, Si3N4,
Ta2O5 si SIO2
Procesul de fabricare
compatibil cu liniile de
productie CMOS industriale

MOSFET Normal vs. IFSET

ISFET = Tranzistor cu Efect de Cmp Selector de
Ioni
MOSFET = Tranzistor cu Efect de Camp tip Metal-
Oxid-Semiconductor
IMEC (Siemens), IFT, MESA (Sentron), TIMA

Senzor cu cuartz rezonator

Reactia chimica in stratul
sensibil schimba masa
rezonatorului => schimbare a
frecventei rezonatorului
Frecventa masurata
Senzor din bimetal:
Reactie chimica => caldura =>
indoirea consolei de bimetal
Miscarea este masurata

Senzori SAW





SAW = Unde sonore de suprafata
Mecanismul de detectie al senzorului este o unda mecanica (sonora)
- Voltaj alternative aplicat unui traductor interdigital este transformat electromagnetic
intr-o unda sonora
- In traductor receptor semnalul sonor este transformat inapoi in semnal electric
- Substanta analizata reactioneaza la invelisul senzitiv => transmisia undelor se modifica
(viteza si/sau amplitudinea undei)
- Opereaza de la 25 la 500Mhz
Sensibilitate mare, linearitate buna, stabilitate, versatilitate




Fabricare pe substraturi cum ar fi SIO2, LiTaO3, LiNbO3, (ZnO, GaAs, SiC, LGS, AIN, PZT, PVdF)
Fabricare folosind proces fotolitografic
- Curatare si slefuire a substratului piezoelectric
- Metal (aluminiu) placat uniform pe substrat
- Dispozitiv imbracat in fotorezistor
- Dispozitiv expus la lumina UV printr-o masca (iar zonele expuse inlaturate cu o solutie de
developare)
- Materialul fotorezistor ramas este inlaturat => IDT
Performanta senzorului este optimizata prin selectarea lungimii, latimii, pozitiei si grosimii IDT-
ului.





Biosenzori

Domeniu General Exemple
Industria Sanatatii
Diagnosticare In Vitro
Diagnosticare in Vevo
Monitorizare acasa a glucozei din
sange
Monitorizare riscuri renale
Monitorizare Mediu Inconjura-
tor
Cererea biochimica de oxigen
Industria Alimentara Prospetime peste & zaharoza
Monitorizare Bioproces Monitorizarea si controlul
fermentatiei
Agricultura si Industriile aferente Pesticide
Cercetare si Dezvoltare Interactiuni bimoleculare
Militar Razboi biochimic


Acelasi principiu de masurare ca la microsenzorii chimici
Structura:
- Elemente sensibile bilogic (enzime, receptori si anticorpi) integrate cu senzorul (de
asemenea acizii nucleici, bacterii, organisme celulare sau chiar tesuturi intregi a
organismelor mai dezvoltate)
- Interactiune intre straturile sensibile si molecule substantei => modularea parametrilor
fizici sau chimici
- Modularea este convertita intr-un semnal electric (electrochimic, optic, schimbari ale
temperaturii sau masei sunt cele mai intalnite)
Biosenzorii sunt de doua tipuri:
1. Senzori de metabolism
2. Imuno senzori








Domeniile principale de aplicare:
Medicina
Diagnoza mediu-inconjurator
Industria alimentara
Industria de procesare
Militar
Cercetari biologice

Biosenzori


Masurari posibile variate selectiv si sensitiv.
Simplitate, viteza
- Receptorul si traductorul sunt integrati intr-un singur senzor
- Masurarea analitilor tinta fara utilizarea reactivilor (comparativ cu metodele
conventionale unde multi pasi sunt necesari si fiecare pas poate necesita un reactiv
pentru tratarea mostrei)
Capabilitate de monitorizare continua
- Senzorii pot regenera si reutiliza elementul biologic de recunoastere imobilizat

Senzori de metabolism













Utilizati pentru detectia moleculelor
active chimic
Enzime biosensibile ca biocatalizatori
pentru a detecta moleculele intr-o
substanta si cataliza o reactie
chimica
- Substanta analizata
transformata chimic
- Sursa reactiei detectata si
evaluata (senzor chimic)

Masurare fosfati cu sensor metabolic.


Imuno Senzori














Detecteaza moleculele inactive
chimic
Anticorpii deserversc ca elemente
biosenzitive.
Principiul cheii si incuietoarei ca metoda
de detectie
- Moleculele antigen interactioneaza
cu substanta analizata =>
moleculele anticorpi imobilizate
(incuietoare) de pe suprafata
senzorului se lipesc de molecula
antigen (cheie) din substanta
- Numai un tip de antigen se poate
lipi de un anumit tip de anticorp
Procesul de unire se poate inregistra direct
(traductor) sau indirect (repere antigen).