Microstructures et caractrisation mcanique de couches minces autoportantes. Mise au point et
dveloppement dessais micro-nano mcaniques. Dterminations de comportements rels fortement dpendants de la microstructure ; observation de mcanismes de dformation : plastification et rupture ; obtention de valeurs ralistes pour la modlisation densembles multi/mono couches. M. Ignat Mots cls : Couches minces, renforcement, microstructure, ductilit restreinte, limites lastique et de rupture Objectifs Les tudes sur chantillons autoportants, sinscrivent dans le contexte gnral de la connaissance dune part des proprits physiques des matriaux en films minces dpaisseur submicronique, et dautre part des relations entre proprits de conduction lectrique et proprits mcaniques. Ce type dtude dfinit la fiabilit de dispositifs MEMS (Micro Systmes Electro Mcaniques) et microlectroniques. En effet dans ces dispositifs, lintgration croissante de nouveaux matriaux aux proprits encore mal connues, et la ralisation de structures multicouches de plus en plus complexes, soulvent des problmes de conception, de modlisation et de comprhension des interactions entre matriaux et des phnomnes physiques de drive des caractristiques. De plus, il a dj t dmontr, par exemple pour le cuivre utilis dans les interconnexions mtalliques, que le comportement des matriaux en films minces diffre de celui du matriau massif et dpend de la morphologie, de la taille des grains, relies au procd de dpt. Linnovation scientifique de ces tudes est centre sur une caractrisation mcanique et lectrique de matriaux en films minces, et sur linterprtation des rsultats la lumire des donnes exprimentales, des diffrentes analyses microstructurales (XRD, EBSD, TEM... ). Au niveau exprimental, linnovation repose sur la mise au point dessais de micro-traction sur films minces autoportants dpaisseur submicronique usins sur silicium, mono ou multicouche, aux formes et gomtries optimises partir de simulations par lments finis. Ltat de contrainte des films sera dtermin partir de mesures optiques des dformations de microstructures mobiles du type poutre bimorphe. Intrt de ce type dtudes relies la micromcanique des films minces : 1. dun point de vue fondamental : Ce type dtude contribue la comprhension des mcanismes de dformation et rupture des films minces (mcanismes diffrents de ceux des matriaux en volume) , de fissuration, et/ou perte dadhrence aux interfaces (dans le cas de multicouches, ou film mince sur substrat). 2.-dun point de vue technologique : La connaissance des valeurs de paramtres propres aux matriaux en couches minces (qui sont fonction de leurs conditions dobtention), est indispensable pour toute modlisation du comportement dun dispositif constitu par un assemblage de couches minces, soumis a des sollicitations externes (thermiques, mcaniques ou conjointes).
Citons comme exemples : le module dYoung et le
coefficient de Poisson pour la rponse lastique ; les seuils de plasticit et rupture comme les limites dendurance (dans le choix de matriaux et de larchitecture dun dispositif). Egalement leur tnacit, permet de dterminer/prvoir leur sensibilit lendommagement sous les sollicitations mentionnes. Rappelons galement, que les mthodes actuelles appliques pour la dtermination de paramtres mcaniques de films minces, par exemple : la nano indentation ou le bulge test, sont dpendantes du coefficient de Poisson. Les essais micromcaniques de traction que nous voulons raliser, saffranchissent de ce paramtre, et de ce fait ils permettent de vrifier les hypothses/valeurs proposes avec les autres techniques. Des essais pralables raliss avec un dispositif ancien, nous ont permis de dterminer des paramtres caractristiques dun comportement mcanique, sous sollicitation monotone uni axiale. Ceci pour des films autoportants : de Cu (1 m dpaisseur), des multicouches Al/Ti (0.7 m paisseur totale), des films de Kapton (12 m dpaisseur). A partir de simulations numriques, nous optimisons actuellement la forme des chantillons autoportants (collaboration LPM-INSA de Lyon), destins aux essais de traction monotones ou cycliques, avec la nouvelle platine de dformation. Signalons que de manire semblable aux tudes faites antrieurement, nous pouvons prvoir de nouvelles formes et dimensions dchantillons, permettant des sollicitations darrachement ou cisaillement. Avec cette platine, la frquence des sollicitations cycliques appliques peut atteindre 6900 Hz. Rsultats Platine pour essais micronano mcaniques. Allongements de 5m 100m. Cellule de charge avec prcision 15m N. Capteur de dplacement laser. Sollicitations cycliques jusqu 6900 Hz. Perspectives Dterminations de comportements rels, fortement dpendants de la microstructure : -Observation de mcanismes de dformation, plastification et rupture. -Obtention de valeurs raliste pour la modlisation densembles multi/mono couches. Publications significatives M. Ignat, S. Gtin, B. Latella, C. Barb, G. Triani, Mechanical stability of a TiO2 coating deposited on a polycarbonate substrate, in Adhesion aspects of thin films, K. Mittal, VSP, Utrecht & Boston, 167-176, (2006).