Actualmente el dixido de titanio (TiO2) est siendo considerado como un material de

gran utilidad en aplicaciones ambientales como catalizador en reacciones llevadas a

cabo bajo la accin de luz ultravioleta; como por ejemplo, tratamiento de aguas
residuales, deshidratacin de alcohol, degradacin de pigmentos de pintura y oxidacin
de compuestos aromticos [1 Dan Mclachlan. Jr," X-Ray Crystal Structure," McGraw-Hill,
Inc., New York,1957.], gracias a su estabilidad qumica, propiedades elctricas,
pticas y dielctricas.
El propsito ms perseguido y que motiva ampliamente las investigaciones realizadas
sobre TiO2, es su utilizacin en degradacin de molculas orgnicas; el TiO2, es un
semiconductor, y el par electrn-hueco creado al irradiar el material con radiacin UV
al migrar a la superficie, pueden separadamente reaccionar con agua y oxigeno
produciendo radicales libres que pueden atacar y absorber molculas orgnicas en
ultimas completando su descomposicin en CO2 y H2O. Las aplicaciones de este
proceso van desde purificacin de aguas residuales, desinfeccin de superficies, basada
en las propiedades bactericidas del TiO2 (por ejemplo en hospitales), recubrimientos que
presenten comportamiento de auto limpieza (en el caso de parabrisas para vehculos),
hasta recubrimientos protectores de mrmol (para la conservacin de construcciones
antiguas) contra daos provocados por el ambiente.
Usualmente las pelculas delgadas de dixido de titanio se preparan usando distintas
tcnicas de depsito [3], tales como sol-gel [4], deposicin en fase qumica de vapor
(CVD) [5-7], as como diferentes tcnicas de pulverizacin catdica o sputtering [2].
Para el desarrollo del presente trabajo, se han depositado pelculas de TiO2 sobre
substratos de silicio, cuarzo y acero mediante la tcnica magnetrn sputtering d.c. Para
obtener el plasma de la descarga se utilizaran como gases de trabajo una mezcla
compuesta por Ar y O2, y se vari la razn de flujo Ar/O2 con el fin de encontrar los
parmetros ptimos para los cuales es posible obtener mayor cantidad de la fase
cristalina anatasa, ya que esta fase es la que presenta una mayor eficiencia en
aplicaciones que involucren procesos fotocatalticos.
Okimura [11] report que la fase rutilo es formada por la reaccin de Ti con 2 O siendo
la concentracin de 2 O mucho mayor a presiones bajas, cuando estos iones son
producidos por colisiones inelsticas con electrones que poseen alta energa. Por otro
lado, Shibata [12] report, para la obtencin de pelculas delgadas de TiO2 mediante
magnetrn sputtering reactivo, que la fase anatasa es el resultado de la reaccin entre
tomos neutros de Ti y tomos neutros de 2 O o iones 2 O , mientras la fase rutilo, al
tener una mayor energa de activacin para su formacin, comparada con la fase
anatasa, requiere a bajas presiones, mayor bombardeo energtico por parte de los iones
del plasma sobre la pelcula en formacin.
P. Lbl [12,14] sugiere que la temperatura del sustrato, y la energa de las partculas
incidentes sobre el sustrato, durante la formacin de pelculas delgadas de TiO2
mediante procesos de pulverizacin catdica, son parmetros que deben ser tomados muy
en cuenta por su relevancia en la formacin de las fases cristalinas anatasa, rutilo y
brokita, es decir, determinan la estructura de la pelcula [13]. (tio2 pdf)
Lei Ge et al depositaron por medio de la tcnica sol-gel pelculas de tio2
(anatasa) sobre sustratos de vidrio y evaluaron su actividad

fotocataltica fueron evaluadas por la degradacin de naranja de metilo en solucin

acuosa. Se encontr que el recubrimiento con mejores propiedades gener una
degradacin el 99% despus de irradiar durante 120 min con luz ultravioleta.

A. Kleimana evaluaron la actividad fotocataltica y el comportamiento

cintico de pelcuals de tio2 (anatasa) depositadas sobre vidrio bajo la
tcnica arco catdico (CA) y se compar con y con pelculas de TiO2 Degussa
P-25 obtenidas por dip-coating (DC). La actividad fotocataltica se evalu a partir de la
eficiencia para reducir el Cr (VI) en presencia de EDTA (cido
etilendiaminotetraactico). Se observ que las pelculas DC muestran mayor
fotoactividad para la reduccin del Cr (VI) en presencia de EDTA comparada con las
pelculas CA; mientras que una pelcula CA present reduccin de Cr (VI) de 50%
despus de 180 min de irradiacin, una pelcula DC del mismo contenido de TiO2
(0.03mgcm-2) present una reduccin del 90% en el mismo tiempo. El hecho fue atribuido
a la mayor porosidad presentada por las pelculas de DC, ya que la
densidad de pelculas DC era un 20% menor que la de las pelculas de CA.

Misook Kang et al, realizaron pelculas de TiO2 por el Mtodo MOCVD (molecular organic chemical
vapor deposition)

, para investigar el rendimiento fotocataltico de la pelcula de TiO2, se llev

a cabo la descomposicin tricloroetileno (TCE). Se demostr que la conversin del TCE
aument considerablemente sobre la pelcula de TiO2 sintetizado por el mtodo de CVD
en comparacin con la preparada por la solucin coloidal Degussa P-25, alcanzndose
una conversin por encima del 90% despus de 120 minutos.

K. Eufinger et al utilizaron la tcnica de pulverizacin catdica con

corriente directa para generar pelculas de tio2, encontraron que la actividad
fotocataltica aumenta con
disminucin de la densidad, que se puede explicar por la mayor
rea de superficie de las pelculas menos densas. Observaron que la actividad
fotocataltica era dependiente en gran medida del espesor de la pelcula hasta
aproximadamente 300-350 nm.

D. Dumitriu prepararon pelculas delgadas de TiO2 por pulverizacin catdica reactiva

con corriente directa (DC) de pulverizacin catdica reactiva, utilizando diversos tipos de
soportes, tales como vidrio, silicio, aluminio y vidrio recubiertas con xido de indio-estao.
Las propiedades fotocatalticas de las muestras se ensayaron en la degradacin de fenol.
Observaron que la mayor eficiencia en relacin con la mineralizacin de fenol se obtuvo
para las muestras preparadas usando una mezcla de Ar-H2O como la reactiva
de gas. Las pelculas de xido de indio-estao presentaron la mayor eficiencia.

P. Zeman Pulverizacin catdica reactiva rf fue utilizado como mtodo de PVD para la
deposicin de pelculas de TiO2 transparentes en sustrato de vidrio. La medicin de la
actividad fotocataltica se determin por la descomposicin de azul de metileno. Se
encontr que la actividad fotocataltica aumenta con el aumento del espesor de la pelcula
slo si las pelculas se preparan a presiones ms altas que la presin de pulverizacin
catdica. Por otra parte, las pelculas de 65 nm mostraron muy buena actividad
fotocataltica cuando la temperatura del sustrato se encuentra por encima de 100
C
y/o la presin total mayor de 1 Pa.

Xiu-Tian Zhao depositaron por magnetrn sputtering rf pelculas

delgadas de TiO2 sobre sustratos de acero inoxidable Se encontr que las condiciones,
200 W de potencia de RF, 90% de presin parcial de oxgeno, y 673 K de temperatura de
sustrato, fueron ptimas para depositar una pelcula delgada de TiO2 con buena actividad
fotocataltica y la hidrofilia foto-inducida que ser atribuible a su mayor contenido, de
anatasa