Cours Capteurs

septembre 2010
Raoul Herzog
raoul.herzog@heig-vd.ch
bureau C01a
tl : 024 557 61 93

slide 1

Objectifs du cours de capteurs

1)) Connatre qquelques
q
principes
p
p p
physiques
y q
de diffrents capteurs
p
2) Connatre quelques principes du conditionnement du signal
3) Connatre les caractristiques et les limitations de diffrents
capteurs
point de vue utilisateur :
bon choix du capteur
p
ppour une application
pp
concrte
savoir utiliser un capteur
point
i t de
d vue dveloppeur
d l
:
concevoir et dvelopper un capteur

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Diffrents aspects dans les capteurs

principes physiques
exploits
i
conditionnement
diti
t du
d signal
i
l

transport de linformation
bus de capteurs
technologie, produits

point de vue utilisateur

choix du capteur
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motivation (1)
Une voiture moderne comprend une centaine de capteurs !
Capteurs lis au
- moteur et systme de traction,
- au confort,
- lenvironnement,
- et surtout la scurit
Quelle: BMW AG

Objectif des constructeurs dautomobiles : zro accidents

Eviter tout accident, mme si le conducteur est inattentif et/ou ptulant.

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capteurs pour la scurit des voitures

reconnaissance de pitons
p
distance entre les voitures sur lautoroute

capteur de pression des pneus

transmission sans fil

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motivation (2)
Il ny a plus de constructeur dautomobile suisse, mais ...
La Suisse est trs forte dans le domaine des capteurs.
(exemples dentreprises suisses : Posic, LEM, Vibromtre, Sensirion,
Baumer, Kistler, ...)
L capteurs : un domaine
Les
d
i
de haute technologie
de multi-technologie
pphysique,
y q , chimie,, matriaux,, mcanique,
q , lectronique,
q , traitement du
signal, intelligence , techniques de miniaturisation, ...

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motivation (3)
Les capteurs : un domaine innovateur
du
d conditionnement
di i
d signal
du
i
l
au capteur intelligent
p. ex. numrisation dans le capteur
p. ex. compensation
p
des drives thermiques
q
p
p. ex. autocalibration
p.
p ex
ex. transmission sans fil
miniaturisation sur le chipp :
MEMS
micro electromechanical systems
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classification des mesurandes

mcanique
q
dplacement, vitesse, acclration, force, pression, masse, dbit, ...

lectrique
courant, charge, impdance, ...

thermique
th
i
temprature, flux thermique, ...

magntique
champ magntique, permabilit, ...

radiation
lumire visible,
visible rayons X
X, radioactivit
radioactivit, ...

bio / chimique
h idi dtection
humidit,
d i de
d gaz, sucre, hormones,
h
paramtres

vitaux
i
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Gnralits : capteurs et chanes dacquisition

mesurande
typ. grandeur
non-lectrique

lment sensible
(transducteur)

Conditionneur
traitement des
signaux

signal
lectrique
exploitable

grandeurs dinfluence

(perturbations)

Idalement, le signal de sortie du capteur devrait tre une image fidle du

mesurande,, mais ...
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problmes ...
le signal fourni par le capteur dpend
aussi des grandeurs dinfluences
d influences (p.
(p ex.
ex drives thermiques
thermiques,
bruit de mesure, etc.).
une variation du mesurande provoque une variation retarde du signal
de sortie (temps de rponse fini).
le fait dintroduire un organe de mesure peut dj changer
lenvironnement, et le mesurande.
Le but raliste consiste avoir une image du mesurande
aussii fidle
fidl que possible
ibl (mieux
( i
: aussii fidle
fidl que ncessaire

i !)
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grandeurs dinfluence, exemples

temprature ambiante
pression, acclration, vibrations
humidit
champs
p magntiques
g
q
tension dalimentation
lumire ambiante
Possibilits pour rduire leffet nocif des grandeurs dinfluence :
blindage,
bli d
iisolement
l
t
stabiliser les grandeurs dinfluence des valeurs connues, et
l
talonner
le
l capteur
compenser les grandeurs dinfluence (p.ex. montage diffrentiel)
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exemple micro-capteur intelligent

capacit miniaturise avec un dilectrique en polymre hydrophile
technologie
g CMOS
changement dhumidit changement de capacit signal utile
avec compensation des grandeurs ddinfluence
influence (temprature)
et calibration automatique

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Courbe dtalonnage statique, cas idal

rponse du capteur

s F (m)

ncessite une mesure de rfrence

du mesurande !
mesurande

sensibilit du capteur en rgime statique:

s
S
m m

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(pente locale)

linarit

rponse
p
du capteur
p

(droite de rgression)

mesurande m

La linarit sexprime en %, cest lerreur relative maximale

entre la droite de rgression et la caractristique relle.
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dfinition : rsolution, tendue de la mesure

La rsolution
L
l ti dun
d capteur
t
estt la
l plus
l petite
tit variation
i ti du
d mesurande
d
que le capteur est capable de dcler ( ne pas confondre avec la
prcision).
ii )

tendue de la mesure :
zne nominale
= plage nominale du mesurande (fonctionnement normal)
zne de non-dtrioration
hors specs,
p , ne fonctionne pplus,, mais ppas de destruction
absolute maximum ratings
zne de non-destruction
modification permanente des caractristiques !

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rapidit dun capteur

bande passante
frquence de coupure o la sensibilit a diminu de -3dB
temps de rponse
saut du mesurande : le temps ncessaire pour que le signal du capteur
arrive dans une fourchette de 5% de la valeur finale
bande passante et temps de rponse sont lis.
pour un systme linaire :

Trpp

slide 16

3
3
2 fc

erreurs de mesure
erreurs systmatiques
y
q
(p.ex. drives, viellissement, mauvaise utilisation, etc
erreurs accidentelles (alatoires)
p.ex. bruit, parasites, etc

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erreurs de mesure

slide 18

Caractristiques statistiques dun capteur

Prcision = Fidlit (rptabilit) + Justesse

slide 19

Choix du capteur
nature du mesurande, capteur bas sur quel principe physique ?
performances (rsolution,
(rsolution prcision,
prcision plage de mesure,
mesure ...)) ?
caractristiques denvironnement, grandeurs dinfluence ?
encombrement ?
pprix ?
fiabilit (MTBF : Mean Time Between Failures) ?

MTBF

: taux de dfaillance

N df
1 N

N ppopp
t
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 courbe de baignoire
: taux de dfaillance
dfaillances
prmatures
usure
viellissement

dfaillances alatoires

temps (vie du produit)

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lments fonctionnels dun capteur

nergie dexcitation

mesurande

modification
de llment sensible

lment
sensible

signal lectrique

transducteur

grandeurs dinfluence

(perturbations)

slide 22

nergie dalimentation

signal
utilisable
tili bl

conditionneur

exemples dlments sensibles

acclromtre MEMS

slide 23

exemples dlments sensibles

slide 24

exemples dlments sensibles

slide 25

exemples dlments sensibles

polymre qui change ses proprits lectriques en fonction de
lh idi ambiante
lhumidit
bi
jauge de contrainte
fil chaud pour mesurer la vitesse dun coulement de fluide
bilame, thermistance

slide 26

Capteurs (transducteurs) passifs

capteurs rsistifs

capteurs inductifs
capteurs capacitifs

Capteurs (transducteurs) actifs

capteurs pizolectriques

capteurs
t
ttachymtriques
h t i

slide 27

Capteurs rsistifs
capteurs potentiomtriques
mesure du
d dplacement
d l
t linaire
li i / angulaire
l i
jauges de dformation / contrainte
mesure de dformation, force / effort, couple, pression
capteurs thermiques
mesure de temprature et de dbit
capteur ddhumidit
humidit

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rappel : structure de la matire

Influence du nombre dlectrons contenus dans la couche de valence

1 2 ou 3 lectrons
1,
l t

Couche
de
valence ?

4 5,
4,
5 6,
6 7 ou 8 lectrons
l t

4 lectrons
(quelques cas)
Les lectrons
libres sautent
dun atome
lautre

Dopage
?

non

Capture des
lectrons libres

oui

C d t
Conducteur

Semi
Semiconducteurs
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I l t
Isolant

capteur potentiomtrique (bas de gamme)

slide 30

linarit

slide 31

rsolution limite du potentiomtre bobin

slide 32

inconvniants des capteurs potentiomtriques

contact du curseur usure, dure de vie limite
frottement (finesse)
vitesse limite
coefficient de temprature
bruit du potentiomtre
rsolution limite

slide 33

cran tactile rsistif

slide 34

Effet pizorsistif

( ne pas confondre avec pizolectrique)

dV
C

C : constante de Bridgman
C = typ.
yp 1.13 ... 1.15 ppour des jjauges
g mtalliques
q
C = typ. 100 pour les jauges semiconducteur

slide 35

facteur de gauge (sensibilit relative)

l
R
A
Les 3 p
paramtres l,, , et A changent
g
simultanment,, et les effets se rajoutent
j

Aprs linarisation, on trouve :

dR
dl
(1 2 C (1 2 ))
R
l
dformation
changement
h
relatif
l if
de la rsistance

facteur de jauge

slide 36

jauge de contrainte

slide 37

Jauge de contrainte colle sur une

structure mcanique

slide 38

jauge de contrainte colle sur une structure

mcanique (p.ex. barre de traction)
permet aussi de mesurer des forces
corps dpreuve
: mesurande primaire

loi de Hook :
A : section du corps ddpreuve
preuve
E : module de Young
mesurande secondaire
slide 39

contraainte [N/m2] = [Pa]]

caractristique dformation / contrainte

rupture
t
zne dformation plastique
irrversible

zne lastique
loi de Hook
2% max

dformation = L / L
slide 40

Grandeurs dinfluence
temprature
influence sur rsistivit & diffrence dans les coefficients de dilatation
jauges semiconducteurs sont trs sensibles la temprature
autochauffement courant de mesure typ. limit ~20 mA pour
jauges mtalliques.
ta ques.
tension thermolectrique la jonction de 2 mtaux diffrents
(l
(lment
t thermocouple)
th
l )

slide 41

diffrentes configurations en pont de Wheatstone

buts :
augmenter la sensibilit
augmenter la linarit
compenser les drives thermiques

p. ex.

R0 (1 x)
R0 (1 x)
slide 42

caractristiques typiques des gauges

mtallique

semiconducteur

plage de mesure

10-7 ... 0.04

10-9 ... 0.003

facteur de gauge

1.8 ... 2.35

50 ... 200

rsistance

120, 350, ..., 5000

1000, ..., 5000

tolrance de la rsistance 0.1% ... 0.2%

taille, mm

0.4 ... 150

standard : 3 ... 6
slide 43

1% ... 2%
1 ... 5

capteurs de force pizorsistifs bass sur semiconducteurs

d t
F>0

capteur miniature de force, circuit intgr SMD

incorpore un pont de Wheatstone

slide 44

exemple de produits industriels

slide 45

capteur de force 6 axes bas sur jauges de contrainte

mesure les forces Fx, Fy, Fz, et les couples Tx, Ty, Tz
applications p.ex. en robotique

slide 46

capteur de force pour mesurer la force de retenue de

la ceinture de scurit

slide 47

application atomic force microscope AFM

slide 48

mesure de pression diffrentielle

lment sensible : diaphragme dformable

slide 49

autre application : acclromtre

lment sensible = masse sismique + gauge de force

slide 50

modlisation dun capteur dacclration

botier

mesure indirecte de lacclration

par la dformation de llment de support

masse sismique

de la masse sismique
q
k

buts :
accl :
trouver
t
la
l bande passante du
d capteur
t
!
mesurande
comment dimensionner les lments sensibles pour que le capteur
dlivre un signal de sortie qui reproduit le plus fidlement possible
lallure du mesurande ?
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Capteurs thermiques

slide 52

sondes en platine
fil de platine (tat de puret : 99.999 %) enroul sur un support
prcis, mais trs cher
dposition film mince de platine, ~1 m dpaisseur sur support
rponse rapide, moins cher
R(T) = R0 (1+ T) : comportement linaire
PT100, PT1000
prcision typique : 0.1% ... 1%
: typ.
typ 0.385
0 385 % / C
comparaison : une rsistance de prcision a un coefficient de
temprat re de 50 ppm = 50 * 10-6 (80 x moins quune
temprature
q ne sonde de PT)
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plage de mesure
sonde platine : typ. de -200C ... 650C, voire plus
pour les trs hautes tempratures, on utilise plutt le tungsten

symboles IEC normaliss :

slide 54

thermistances semiconducteur
comportement nonlinaire, souvent de type exponentiel
PTC (= positive temperature coefficient)
NTC (= negative temperature coefficient)
CTR ((= critical temperature resistance)

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allures typiques

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