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PHYSIQUE DES
SEMICONDUCTEURS
P. Lorenzini
PolytechNice Sophia
Dept. lectronique
Objectifs du cours
Comprendre lintrt des semi-conducteurs dans la
6.
7.
8.
Rfrences bibliographiques
C. Kittel, physique de ltat solide , dunod universit, 5 ed.,
1983
1994
CHAPITRE 1
Liaison cristalline et cristallographie
Au niveau macroscopique:
Si on lve la temprature du verre, on observe un passage progressif
de l'tat solide l'tat de liquide sans palier.
Pour un cristal, on observe un palier de temprature d une
coexistence (changement) de phase.
Au niveau microscopique:
Amorphe
: rpartition alatoire des atomes
Cristal
: rpartition priodique dans l'espace des atomes.
Amorphe
(pas dordre)
Polycristallin
(ordre courte porte)
Cristallin
(ordre longue porte)
La liaison cristalline
Quelles sont les forces qui permettent aux atomes de se lier entre
Le but :
U cristal U libre 0
autres
Garder les lectrons proches des ions
Minimiser lnergie cintique des lectrons
en les rpartissant
10
Electrongativit
Electronegativit:cest lacapacit dunatome attirer les
11
La liaison cristalline
4 principaux types diffrents:
Liaison mtallique
Liaison covalente
Liaison ionique
Liaison de Van der Waals (gaz
Un point commun:
Les atomes essayent
12
La liaison mtallique
La majorit des lments chimiques ont un
13
Configuration du Cu
(1s22s22p63s23p63d104s1)
14
La liaison mtallique
Les lectrons priphriques sont trs peu lis latome
Ce dernier libre facilement ce(ces) lectron(s)
Les noyaux constituent alors un ensemble de charges positives ions
15
La liaison covalente
Les cristaux appartiennent la colonne IV
du tableau priodique
Liaison du mme type que la liaison
hydrogne
LHydrogne:
1 lectron priphrique
Pour complter sa couche, il accepterait bien
un deuxime lectron
Un deuxime atome dH va permettre de mettre
en commun leur lectron priphrique
On obtient la molcule H2
+
H
H2
16
La liaison covalente
Exemple :le Silicium
4 lectrons de valence
Si
couche externe
Il suffit de rapprocher 4 autres Silicium
Si
Si
Si
Si
Si
17
La liaison covalente
nergie plus faible si les lectrons
18
Liaison ionique
Association dun lment chimique fortement
3s1
19
Liaison ionique
La force de cohsion est due lattraction
20
Liaison ionique
Llectron libr par le mtal Alcalin (Na) est pig par
lHalogne (Cl)
Aucun lectron libr dans le rseau
En gnral les cristaux ioniques sont isolants
Liaison entre atome trs forte cristaux trs durs
21
possible
nergie de liaison trs faible (qq % de lnergie
dionisation de latome) cristaux fondent basse
temprature
Responsable de la cohsion des molcules
22
rseau cristallin
2 Dim: Rticule (net) rseau plan
3 Dim: Rseau (Lattice ) rseau 3D
23
P0
P1
P1
P2
Pn
24
25
Plan
A3
a3
plan rticulaire
OAi pi ai
2
A2
a2
Soit M (
)
un point de lespace direct;
il appartient ssi :
a1
A1
OM x1 a1 x2 a2 x3 a3
x1 x2 x3
1
p1 p2 p3
lx3 N
. Si N=2, le
26
Directions cristallines
Toute droite passant par 2 nuds du rseau dfinit une direction
27
de plans cristallins:
(a,0,0) ou (1,0,0)
28
z
(Daprs McMurry and Fay)
x
y
29
Triclinique
Monoclinique
Orthorhombique Orthorhombique
faces centres
base centre
Monoclinique
centr
Orthorhombique Orthorhombique
centr
Hexagonal
Rhombodrique
Ttragonal
Ttragonal
centr
30
Cubique simple
(cs)
Cubique centr
(cc)
31
CS
CC
1 atome (nud)
par maille
2 atomes (nuds)
par maille
32
4 atomes (nuds)
par maille
33
Structure
Hexagonale
Structure
Cubique Faces Centres
34
directions
P0
a1
a2
P1
P1
P2
Pn
35
a1
a2
a3
a1
y
a2
a1 a x
a2 a y
a
a3 ( x y z )
2
a3
a
( x y z )
2
a
a2 ( x y z )
2
a
a3 ( x y z )
2
a1
Ou:
36
37
a 2
a
a
densit surfacique
1 4 1 / 4
2
14
2
5
.
66
10
at
.
cm
aa 2
(5 10 8 cm) 2 2
38
base
Identique 2 CFC
dcals de de
diagonale
Chaque atome a 4
atomes comme plus
proches voisins (liaison
ttragonale)
39
Le rseau rciproque
A priori:
tous les phnomnes physiques se droulent dans lespace rel
(3D) cest lespace de choix et dintrt.
Mais:
Pour plusieurs applications/tudes plus astucieux de travailler
dans un espace virtuel : lespace rciproque.
Raisons: pleinement comprises lors de ltude de la diffraction RX
et la structure en bandes dnergie des cristaux.
40
f (r l ) f (r )
41
f ( x) An e
n
2inx / a
Ag e
g
igx
2
1
g m
avec g n n
a
42
f ( x) Ag e
g
igx
1
igx
Ag
f ( x )e dx
a cellule
2
e 1 gl n
l1a nl1 2 entier 2
a
igl
43
a2 a3
b1 2
(a1 , a2 , a3 )
a3 a1
b2 2
(a1 , a2 , a3 )
a1 a2
b3 2
(a1 , a2 , a3 )
bi .a j 2 ij avec ij 0 si i j , ij 1 si i j
44
g ON hb
k b 2 l b3
Soit P sommet du RD
l OP n a1 p a 2 q a 3
Le RR na pas forcment les
On a (produit scalaire):
ON .OP 2 hn kp lq
entier
2
hn kp lq
g ON
OP
Les dimensions dun
vecteur du RR:
1
b
longueur
45
l
l
l
46
g g1 b1 g 2 b 2 g 3 b 3
l l1 a1 l2 a 2 l3 a 3
Or
g. l
47
''
g. l 2 ( N 1)
Donc d scrit:
2 ( N 1) 2N 2
d''
d d hkl
g
g
g
d hkl
2
g
48
g hb
k b 2 l b3
g . l 2 hn kp lq 2N
telqueestvrifiepourtousles
pointssurceplan.Sionchoisitunpointtelquep=q=0,ona
N
a1
d
n=N/h,doncleplanquelonadfinitcoupelaxea1 en.
1
h
Idempourd2 etd3.
N
N
N
d1 a1 , d 2 a2 , d 3 a3
l
k
h
2
2
2
Exemple : d '1 , d '2 , d '3
5
4
3
N
N
N
d '1 , d '2 , d '3
l
k
h
3 4 5
, ,
2 2 2
Enunitdes
vecteursde
base
3,4,5 h, k , l
Onalesmmesindicespourg(normalauplan)etpourleplan!
49
[3,1,0]
d2
[1,0,0]
d1
50
51
(a)
(b)
52
k'
plan (h,k,l)
dhkl
2d hkl sin n
53
l l
2d hkl sin n
d hkl . ON 2
2.
2 sin
ON
k .1
avec ON vecteur du RR
k ON
k ON
2.
2
2 n
ON ON
ON
ON ON
ON 2
or le vecteur d' onde k
,1
, k .1
sin
ON
d hkl
ON
2k n ON , soit encore k n
2
54
55
CHAPITRE 2
Diffraction dune onde par un cristal
Rseau Rciproque
Zone de Brillouin
56
Gnralits:
La diffraction d1 onde (k = 2 par un cristal intervient
E h
hc
deBroglie
hc
12,4
A
E E (keV )
Dualit onde / corpuscule (de Broglie)
h
12
h
p2
h2
e (A)
2
E
2me E
E (eV )
2mn / e 2 mn / e
p
57
Gnralits:
Lobjectif de la cristallographie: tudier les directions dans
58
Gnralits:
Le deuxime domaine dintrt:
La physique du solide: on utilise la condition de Bragg (maximum
dintensit diffracte) pour dterminer les lectroniques qui ne
peuvent se propager dans le cristal (elles sont diffractes!). On
associe chacune des ces satisfaisant la loi de Bragg une
bande dnergie pour llectron quon appelle bande interdite
( gap ).
59
Loi de Bragg
Mthode lmentaire (voir chapitre prcdent)
2d hkl sin n
ON
2k n ON , soit encore k n
2
Exemple 1: rseau 1D
a
O
|ON|/2
k
O
RD
2a
RR
60
a2
a1
1 ZB A1 (// a2)
A1
RR
RD
1 ZB A2 (// a1)
61
http://fr.wikipedia.org/wiki/Zone_de_Brillouin
62
ondes optiques
k
D
r
Diffusion : cration dune
onde sphrique
R, k
63
point
F ( ) F0 exp i ( k . t )
64
Au point
F ( ) F0e
ik . it
(3D)
Facteur de
diffusion
ik i ( k r t )
e e
Fdiff ( r ) fF0
r donne par :
k
r
Diffusion : cration dune
onde sphrique
avec
r R cos( , ) R
65
ik i ( k r t )
e e
Fdiff ( r ) fF0
r R cos( , ) R
fF0e
F (r )
it ik . ik R ik cos( , R )
F ( R)
66
ik cos( , R ) ik cos( , k ) ik ' cos( , k ) ik .
(diffusion lastique)
F ( R)
fF0e
it ik . ik R ik cos( , R )
fF0e it ei k R i k .
F ( R)
e
R
k k 'k
F0 ei k R e it i k . p
F ( R)
e
fp
R
p
F0ei k R e it
F ( R)
R
f
p
i k . p
67
F0 ei k R e it
F ( R)
R
f
p
i k . p
68
69
=|k| .
k
k: // au faisceau incident
k: // au faisceau diffract
G
RR
70
j
p
71
F0 ei k R e it
F ( R)
R
f
p
i k . p
F0 ei k R e it
R
f j exp i ( p j ).k
datome)
La sommation est donc faite sparment une sur les sites du rseau (4
dans un cfc !) et une sur les atomes de la base (2 dans le cas du diamant
!)
F0ei k R e it
F ( R)
R
exp i
p
.k f j exp i j .k
j
dcrit la structure
dcrit la base
72
F0ei k R e it
F ( R)
R
exp i
p
.k f j exp i j .k
j
dcrit la structure
dcrit la base
j .k j .G
j x j a y j b z j c et G h A k B l C
j .G ( x j a y j b z j c) .(h A k B l C )
j .G 2 ( x j h y j k z j l )
p .G 2 ( x p h y p k z p l )
73
2 atomes diffrents
dans le motif
p
j
74
Mme si la condition de
Bragg (Laue) est vrifie, la
priodicit du cristal induit
des extinctions (Shkl = 0)
supplmentaires, plus ou
moins frquentes, en fonction
de la structure cristalline.
75
76
77
78
(hkl)1
(hkl)2
1 poudre monocristaux
dsorients alatoirement plans
(hkl) prsentant le bon angle de
Bragg sont ports par un cne
79
S1 2 R1
La mesure de S1 permet den dduire langle de Bragg
80
Intensit (c/s)
Dtecteur RX
81
(des) structure(s).
82
CHAPITRE 3
Mcanique ondulatoire :
lquation de Schrdinger
83
La lumire:
Composante champ
lectrique
Composante champ
magntique
Loi de Newton
quations de Maxwell
Six variables permettent de
dfinir parfaitement ltat de
chaque corpuscule
84
85
dinterprtation:
Rayonnement du corps noir
fracture ultraviolette
E=h
86
dinterprtation:
Rayonnement du corps noir
E=h
M. Planck : lie lnergie et la frquence modes
autoriss de plus en plus difficile peupler.
87
dinterprtation:
Effet photo lectrique
88
89
dinterprtation:
Dualit onde particule: la nature corpusculaire ( effet photolectrique) de la
lumire est acquise , mais la nature ondulatoire est galement admise (fentes
de Young) !
La lumire est compose dun quantum, une particule quantique qui ne peut
tre dcrite que par les lois dune mcanique nouvelle: la mcanique
ondulatoire est ne.
Suivant lexprience considre, la nature ondulatoire de la lumire doit tre
retenue (propagation de la lumire), dans dautres cest laspect corpusculaire
(interaction lumire matire).
90
dinterprtation:
Louis de Broglie: introduction des ondes de matires. (1924)
Hypothse: la dualit onde corpuscule est une proprit gnrale dobjets
microscopiques et la matire, comme la lumire, prsente la fois un aspect
ondulatoire et un aspect corpusculaire.
Hypothse confirme par la diffraction des lectrons quelques annes plus tard
(1927).
h
h
mv p
91
La mcanique ondulatoire
Lquation de Erwin Schrdinger:
92
La mcanique ondulatoire
Lquation de Schrdinger:
(r , t )
2
(r , t ) V (r , t ) (r , t ) i
2m
t
(r,t) est la fonction donde (peut tre une quantit complexe)
V(r) est lnergie potentielle (le potentiel par abus de langage)
auquel est soumis la particule
m est la masse de la particule
Lquation de Schrdinger:
93
La mcanique ondulatoire
Un cas particulier qui nous intresse dans ce cours concerne les rgimes
(r , t ) (r ) (t )
r) est une fonction de la position uniquement
t) est une fonction du temps uniquement
En injectant cette forme de solution dans lquation de Schrdinger, on
2 1 2 ( x)
1 (t )
V ( x ) i
2
(t ) t
2m ( x) x
94
Lquation de Schrdinger:
2 1 2 ( x)
1 (t )
V ( x ) i
2
(t ) t
2m ( x) x
g(x)
f(t)
lespace, entrane que ces deux fonctions sont des constantes. On voit
dautre part que lquation aux dimensions de la fonction dpendante du
temps est [f(t)] = [nergie]. Il vient alors:
1 (t )
i
E
(t ) t
Avec E, lnergie de la particule, qui scrit :
(t ) Ae
E
E
i t
95
Lquation de Schrdinger:
Lquation de Schrdinger indpendante du temps scrit:
2 2 ( x)
V ( x) ( x) E ( x)
2
2m x
avec :
iE
( x, t ) ( x) exp(
t)
( x) dx 1
2
96
Lquation de Schrdinger:
97
ikx it
Ae e
Paquet dondes:
( x, t )
k 0 k / 2
ikx it
Ae
e dk
k 0 k / 2
Nous allons montrer que seul un paquet donde peut tre une
98
99
V0 ( x) E ( x)
2
2m x
2 ( x) 2m( E V0 )
( x) 0 , E V0 0
2
2
x
soit encore
Ae
V0
ikx
2k 2
E
V0
2m
100
( x, t ) Aeikx e it
( x, t ) ( x, t ) ( x, t ) A cste
2
Proba
prsence
|A|
t0
t1
temps
101
( x, t )
k1 k / 2
Ae
ikx it
dk
E
E1
V0
k1 k / 2
( x,0)
k1 k/2
k1 k / 2
k / 2
k1 k / 2
k / 2
ik1 x i ( k k1 ) x
ik1 x
Ae
e
dk
Ae
1
( x,0) Aeik1x . e i ( k k1 ) x
ix
k / 2
k / 2
i ( k k1 ) x
e
d (k k1 )
kx )
sin(
2
Aeik1x k
k
x
2
k1
102
x:
2
sin
z
k x
2
2
avec z
( x,0) A k
2
2
z
2
2
4
x1
x 2 x1
k
k
1.0
[sin(z)/z]
0.8
x k 4
0.6
0.4
0.2
0.0
-3
-2
-1
z ( en unit de )
x k 2
103
( x, t1 )
k1 k / 2
k / 2
k1 k / 2
k / 2
i k t1 ikx
ik1 x i1t1
Ae
e
dk
Ae
e
i ( k k1 ) x i ( k 1 ) t1
e
e
d (k k1 )
d
DL : k 1 k (k k1 ) ...
dk k1
( x, t1 ) Aeik1x e i1t1
k / 2
d
i ( k k1 ) k t1
dk k1
i ( k k1 ) x
d (k k1 )
k / 2
k / 2
'
d
posons x' x k t1 ( x, t1 ) Aeik1x e i1t1 ei ( k k1 ) x d (k k1 )
dk k1
k / 2
ik1 x i1t1
( x, t1 ) Ae e
k '
x
2
e
ix '
k '
x
2
Bk
k '
x
k ' k
2
x
x
t1
avec
k '
2
2
2
x
2
sin
104
k1
dP
x1 (t=t1)
x0 (t=0)
d
vg
dk k1
105
(k
)
v T v
h
2k 2
E
V0
2m
2 k1
p1
d
dE
g
dk
dk
m
m
k1
k1
hk
k )
d' aprs de Broglie ( p
2
p
on obtient bien v
E
k
E E
m
v
V0
or E
p
k
p k
2m
106
Particule
dnergie E
2 ( x) 2m
2mE
(
E
V
(
x
))
(
x
)
0
on
pose
k
x 2
2
2
A=0
Bsin(ka)=0 k=n/a
proba entre 0 et a:
B=
2
2
ou i
a
a
107
2 n 2 2
2 nx
sin
( x)
avec n 1, 2, 3, ... E En
2ma 2
a a
Particule
dnergie E
avec n 1, 2, 3, ...
108
21 ( x) 2m
2 E1 ( x) 0
2
x
1 ( x) A1e B1e
Rgion IIikx(0<E<V0)ikx
Particules
incidentes
2mE
avec k
2
2 2 ( x) 2m
2 (V0 E ) 2 ( x) 0
2
x
x
2 ( x) A2 e B2 e
V0
Rgion I
2m(V0 E )
avec
2
x=0
Rgion II
109
A2 =0 (divergence)
V(x)
vr B B
vr B1
R
vi A A
vi A1
*
1 1
*
1 1
Particules
incidentes
V0
Rgion I
Rgion II
lnergie cintique
2m 1
mv
k
mv
2
2
!
x=0
vi vr
k
m
R 1
110
1 ( x) A1e B1e
ikx
ikx
2mE
avec k
2
2 ( x) A2 e x B2e x avec
3 ( x) A3eikx X
B3e ikx
2m
(V0 E )
2
Facteur de transmission:
vt A3 A3* A3 A3*
4 E (V0 E )
T
0
*
*
2
2
vi A1 A1
A1 A1 4 E (V0 E ) V0 sh 2m(V0 E ) a /
111
CHAPITRE 4
Les lectrons libres :
le modle de Sommerfeld
112
lectron libre
lectron libre potentiel (nergie) est nul partout V(x)=0:
2 ( x) 2m
2 E ( x) 0
2
x
i 2mE
( x) A exp
i 2mE
x B exp
Soit:
( x, t ) ( x) exp(i
E
i
113
lectron libre
( x, t ) ( x) exp(i
E
i
-x
+x
Onde propagative une particule dans le vide peut tre reprsente par
une onde : cest normal, on est parti de lq. de Schrdinger !
Supposons (simplicit!) que B=0 onde se propageant uniquement vers
les x>0:
Vecteur donde:
Longueur donde:
nergie:
k 2
E k 2m
2mE
E(k) cest une parabole
114
Potentiel de Sommerfeld
A. Sommerfeld considre 1 cristal unidirectionnel (1D) de longueur L
Les lectrons sont lis au cristal par les forces dattraction
Coulombiennes.
Les lectrons sont pigs ils ne peuvent sortir
cristal
V0
2
-L/2
+L/2
115
Potentiel de Sommerfeld
Simplification: on se rapproche de la ralit en considrant que la
reprsenter llectron.
116
Potentiel de Sommerfeld
Solution en rgion 2 (idem lectron libre):
2 ( x) 2m
2 E ( x) 0
2
x
( x) Aeikx
Aeikx cc
2
Aeikx cc
2
A cos(kx)
A sin( kx)
2mE
k
2
2k 2
E
2m
E
V0
cosinus
sinus
Solutions en cosinus
cos k
2
0 k (2 p 1) k
L
L
2
Solutions en sinus
sin k
L
2
2
0k p
k
L
L
2
k
Le vecteur donde est quantifi
lnergie lest galement
117
Potentiel de Sommerfeld
Conditions cycliques de Born von Karmann:
Lide est de considrer qu lchelle de la longueur donde
eikx eik ( x L )
eikL 1 kL p 2
k p
2
L
118
Modle de Sommerfeld
Llectron de Sommerfeld:
2 2
7
k
8 10 /A
L 10
k0
Vitesse de llectron:
2k 2
d
vg
or E
2m
dk k0
k0 p0
vg
m
m
k0 k/2
k0 +k/2
119
Modle de Sommerfeld
Llectron de Sommerfeld:
Acclration de llectron:
dE
+
Velec
k0
V(x) = -qVe
k0 k/2
k0 +k/2
1 dE
dE
dE F v g dt
dk
F
dt
dk k0
dk k0
dk0 dp0
dt
dt
120
Modle de Sommerfeld
Llectron de Sommerfeld:
Acclration de llectron:
F dv g
m dt
-qEelec
1 dE
d
qEelec et v g
dk
dk
dt
k0
k0
Si on appelle:
2k 2
1
1 d 2E
2 2
V0
car E
m dk k
2m
0
dv g
dv g
dv g dE dv g dE dk
dt
dE dt
dE dk dt
F
1 d 2 E dk 1 d 2 E
2 2 F
2
m
dk k dt dk k
0
0
F
dk0
dt
F
1
1 d 2E
avec
dt
m
m 2 dk 2 k
0
dv g
121
Modle de Sommerfeld
F
1
1 d 2E
2 2
avec
dt
m
m dk k
0
dvg
Nota: la relation F=m est toujours vraie. La masse calcule ainsi nest
122
e : charge de llectron
e2
permittivit du vide
4 0 r
V (r )
123
2 (r , , )
2m0
( E V (r )) (r , , ) 0
2
Soit:
1
1
2
2
r r r r sin r
1
2m0
sin
2 ( E V (r )) 0
r sin
124
(r , , ) R(r ).( ). ( )
On obtient:
Fonction de
uniquement
sin 2 R 1 sin
sin
2
R r r
2m0
r sin 2 ( E V ) 0
On pose
1 2
m
2
1 im
e
avec m 0,1,2,...
2
125
Rsultat majeur:
On retrouve les nergies quantifies de latome dhydrogne
Ry
m0 e 4
13,6
2 2 eV
En
2 2
2
(4 0 ) 2n
n
n
http://scienceworld.wolfram.com/physics/HydrogenAtom.html
126
0
4 0 2
a0
0,529 A pour l' Hydrogne
2
m0 e
Terminologie courante:
tat s
l=0
tat p
l=1
tat d
l=2
tats lectroniques:
1s 2s 2p 3s 3p 3d
127
Le modle de Sommerfeld
Bilan:
Comprhension de la chaleur spcifique
Loi dOhm (on verra plus loin)
Ne permet pas dexpliquer la diffrence entre un conducteur
(mtal) un semiconducteur et un isolant
mtal
1052 !!!
isolant
Il doit y avoir quelque part dans le modle une
approximation grossire !
128
CHAPITRE 6
Les lectrons dans une structure priodique :
le modle de Bloch - Brillouin
129
plan
Formation des bandes dnergie
Introduction de la priodicit du cristal
Le pseudo vecteur donde
Ondes de Bloch
Modle de Kronig-Penney
Diagramme dnergie dans lespace des k
130
1 atome isol
dhydrogne
2 atomes
dhydrogne
adjacents
131
3p2
3s2
132
Bande
dnergie
N atomes
3p2
3s2
tats liants (4N)
Bande
de
conduction
Bande interdite
Bande
de valence
133
inter atomique a0
134
lq. de Schrdinger.
Que doit on rajouter par rapport au modle de Sommerfeld pour arriver
135
V ( x) V ( x a)
(daprs Neaman)
136
1
10 7 cm 1
a
13
N 3 10 21 cm 23
a
N
3 D:
a
L=N x a
V ( x L) V ( x)
( x L) ( x)
Le cristal tant priodique de priode a, les proprits du cristal sont les mmes
en x et x+a. Il en est de mme pour la fonction donde, donc pour la probabilit de
prsence de llectron.
137
dP ( x a ) ( x a )
(1) (2)
(1)
2
(2)
( x) * ( x) ( x a ) * ( x a )
iN
2
2a
2
1 p
p
p
a
N
Na
L
138
( x a) eiKa ( x)
2
L
et prend les
139
( x ) u ( x )e
iKx
x avec u ( x) u ( x a )
140
( x) Ae
ikx
et
Onde de Bloch:
( x ) u ( x )e
iKx
2
Kp
et Kx arg(u ( x))
L
inconnu
141
2 2
ikx
ikx
ikx
(
u
(
x
)
e
)
u
(
x
)
e
u
(
x
)
e
0
2m x 2
Pour rsoudre le problme il faut connatre parfaitement la forme du
142
143
priodique en crneaux.
III
Zone I :
Zone II:
0<x<a V(x)=0
-b<x<0
V(x)=V0
144
III ( x) II ( x a)e
ika
145
I ( x) Ae
i x
Be
II ( x) Ce De
i x
2mE
avec
2
2m(V0 E )
avec
2
attention au dphasage en b !
146
2 2
cos k (a b)
sin( a ) sinh(b) cos( a ) cosh(b)
2
Rappel !! : k est le pseudo vecteur donde !!
147
2 2
cos k (a b)
sin( a ) sinh(b) cos( a ) cosh(b)
2
Rsolution numrique ou graphique de faon obtenir une relation
mV0ba
sin a
P
cos a cos ka avec P
a
2
148
sin a
P
cos a f ( a ) cos (ka)
a
f(a)
2n
149
Diagramme E(k)
2mE
2 2
E
2
2m
ka=0
1 P
sin a
cos a
a
ka= a=
2mE2
2
a
150
Bandes dnergie
Le fait que la particule se dplace dans un potentiel priodique induit
lapparition de bandes dnergie spares les unes des autres par des bandes
dnergie interdite ( ).
151
(daprs Neaman)
152
sin a
P
cos a 1
a
cos( a ) cos
cos( a ) cos
a = 2n :
a = 2n+2
h2n2
E1n
2ma 2
2
h2
E2 n
(n )
2
2ma
Limite suprieure
Limite infrieure
cos( a ) cos
a = (2n+1)
h2
1 2
E3n
(n )
2
2ma
2
h2
1 2
(
n
)
a = (2n+1)+2 E4 n
2
2ma
2
153
dE
dk
?
0,
dE dE d
dk d dk
sin a
P
cos a cos ka
a
OK !
sin a
d[P
cos a ]
d [cos ka] d [cos ka] dk
a
d
dk
d
d
???
mais
dE
On montre (voir TD!) quen centre de zone et en bord de zone,
dk
0,
154
dE
E k E ( 0)
dk
1 d 2E
( k 0)
2
2
!
dk
k 0
( k 0) 2
k 0
=0
1 d 2E
E k E( 0 )
2 dk 2
2 2
2
k
1
1
d
E
2
avec
k 2 E( 0 )
2
2
m
*
m
*
dk
k 0
(0)
155
1
1 d 2E
F
2 2
avec
dt
m*
m * dk k
dvg
156
2k 2
E k E( 0 )
*
m
2
Ek >E(0)=Eminimum 1
Sommet de bande:
2k 2
Ek EMax
2m2*
157
158
(r , , ) R(r ).( ). ( )
En plus des trois nombres quantiques (principal,
azimutal et magntique), llectron possde une
proprit supplmentaire qui se traduit par un
moment angulaire intrinsque quantifi ( )
auquel on attribue un quatrime nb quantique de
spin, s , indpendant des 3 autres.
Principe dexclusion de Pauli (dans les solides):
on ne peut trouver deux lectrons dans le solide
ayant le mme tat dnergie ( mmes nombres
quantiques).
159
1
dN
2m *
g1D ( E )
( E Emin ) 2
dE
J -1m 1
lectrons
lectrons
160
Ek Emin
2
Surface dun (2 )
tat lmentaire Lx Ly
k
(k x2 k y2 ) Emin
2m *
2m *
2
dN
m * -1
m * -1 2
g2D (E)
Lx Ly 2 J ou 2 J m
dE
Indpendant de
lnergie !
161
k
(k x2 k y2 k z2 ) Emin
Ek Emin
2m *
2m *
La densit est alors donne ( LxLyLz=1 ie
par unit de volume):
3/ 2
2
dN
m*
4 2 (E Emin )1 / 2 J -1m -3
g 3 D(E)
dE
h
(Emax E)1 / 2
=
kz
(2 ) 3
Lx Ly Lz
ky
kx
bas de bande
sommet de bande
162
Densit dtats 3D
E
Emax
??
Emin
a
Les masses effectives ne sont pas les mmes et
lapproximation de la m* nest valable quen bord de bande !
g(E)
163
Eg
(0 0 0.85)
(111)
(000)
(001)
164
Eg
GaAs
165
synthse
Cristal potentiel priodique
Apparition de structure en bande dnergie
Notion de bande interdite
166
CHAPITRE 7
Courant dans les solides :
cas particulier des semiconducteurs
167
j q ni vi q vi
1 dim:
j q vi
i
168
E0
-k0
k0
169
gale zro.
Corollaire: le courant lectrique est d aux bandes incompltement
remplies
170
elec = 0 et T uniforme.
j q vi 0
[v g (k) vg ( k)]
conduction!
171
elec 0 et T uniforme.
t=0, on applique
elec.
dk0
q elec
dt
t>0,
k (t ) k0 q t
acclration
k 0 q t k 0
172
elec 0 et T uniforme.
k
t=0
k
t=t1>0
k0
Toutes les vitesses ne sont
plus compenses !
k0
q
t1
J (t1 ) 0 0
173
elec 0 et T uniforme.
t2>t1
t3>t2
J (t 2 ) 0 0
J (t3 ) 0 0 !!!
174
dk
q
dt
2 1
q
a T
exprimentaux !!!!
Le cristal nest pas aussi parfait que cela!!
2
q
175
grandes catgories:
Impurets chimiques
Dfauts ponctuels intrinsques:
Lacunes
Interstitiels
Anti-sites
Dfauts tendus
Macles
Dislocations
Clusters (groupe dimpurets)
Vibration de la chane atomique autour de lquilibre (phonons)
176
v1(x)=v1(x+a)
v(x)=v1(x) + v(x)
Alatoire!
dk0
En moyenne, tout les ( temps moyen entre deux chocs), llectron change de
direction et surtout perd son nergie cintique il acquiert donc en moyenne un
excdent de vecteur donde:
k k0 q
'
0
177
elec
0 et T uniforme.
k
t=0,
elec=0
k0
k k0 q
'
0
t0 ,
elec0
k0
178
:
:
2 k02
E k 0 Ec
2m1*
j q v gi -q
i
m1*
j q v gi -q *
m1
i
j q n n elec
j n elec
avec n q
*
1
Mobilit (cm/Vs)
1 dE
* 0
dk k0 m1
vg
k0' k0 q
i k i -q m*
1
'
elec
i ki q m* n
1
2
179
k
Np
i 1
i 1
i 1
bande pleine
q vgi
i 1
Charge
positive!
180
supposant que les tats vides sont effectivement occups par des porteurs de
charges positives +q: des trous. Il suffit de sommer sur le nombre total de trous
Trous: paquet dondes de charges positives
181
Notion de trous
(b)
(a)
Expression de J:
k
trous
+
E(e ) = -E(h ) Etrous EV
vg
2m *
elec=0 J q k0 0
m*
p
elec
J
q
k
q
elec0
* 0
m2 i 1
J q p p elec
m*
2
q elec
p
*
m2
avec p
q
m2*
182
183
vide que lon appelle bande de conduction (BC) au dessus dune bande
presque pleine que lon appelle bande de valence (BV). Elles sont
spares par une bande interdite ( bandgap ou gap ).
J qnn qp p
BC
BV
184
Semiconducteur ou isolant ?
Comment les diffrentie on?
Isolant , semiconducteur
T= 0 K
semiconducteur
T0K
185
Mtal ?
T=0K ou T 0K
186
Rsum:
Mtal:
Trs faible rsistivit
Conduit mieux le courant basse temprature
Isolant:
Ne conduit pas le courant mme haute temprature
gap suprieur 3,5 eV (valeur gnralement admise)
Semiconducteur:
gap infrieur 3 eV ( la tendance est laugmentation de ce
critre!)
Sa conductivit est une fonction non monotone de la temprature
187
CHAPITRE 8
Mcanique statistique : la fonction de
Fermi Dirac et la fonction de
Maxwell Boltzmann
188
189
Mthodes de rsolution:
n particules
ni
n2
n1
Conditions :
Nb de particules est constant
nergie interne constante
Discernables ou indiscernables?
1 ou plusieurs par tat quantique ?
discernables
: indiscernables
:
n E
i
190
Maxwell Boltzmann
Discernables
Chaque tat peut contenir grand nombre de particules
Ltat dquilibre est celui le plus probable
n!
n!
ni
f ( Ei )
e ( Ei EF ) / kT
gi
191
Discernable
gi !
( g i N i )!
gi !
N i !( g i N i )!
Ni: nb de particules sur Ei
gi : nb de places (tats) sur Ei
192
indiscernables
Pauli
Bose
( N i g i 1)!
( g i 1)! N i !
gi !
N i !( g i N i )!
Ni: nb de particules sur Ei
gi : nb de places (tats) sur Ei
193
gi!
Ei
( g i Ntat
Niveau dnergie Ei, gi fois dgnr (gi boites N
ou
i !cellules
i )!
P
i 1
gi!
N i !( g i N i )!
194
E4
gi!
N i !( g i N i )!
E3
E2
E1
Nb de niveau dnergie
n
gi!
P
i 1 N i !( g i N i )!
Niveau de Fermi
n( E )
f (E)
g (E)
Densit dlectrons
sur le niveau E
1
E EF
1 exp
kT
Densit de places
sur le niveau E
195
E EF f ( E ) 1
E EF f ( E ) 0
BC
EF
BV
f (E)
1
E EF
1 exp
kT
196
EF
T> 0K
197
Influence de la temprature
E1
E2
E3
E4
E5
198
Passage FD MB ?
Lutilisation de FD pour
199
Passage FD MB
E
EF -E
EF +E
Pour E < EF, il est facile de montrer que la probabilit de non occupation
1-f(E) est la mme EF - E que la probabilit doccupation f(E) EF +
E. Le point f(E) = 0,5 est le centre de symtrie pour la courbe.
200
E
EF
g(E)
f(E)
dn(E)/dE
E
EF
g(E)
f(E)
dn(E)/dE
201
CHAPITRE 10
Le semiconducteur lquilibre
thermodynamique
202
Le semiconducteur lquilibre
Cest quoi lquilibre?
Pas de forces extrieures:
Pas de tension applique
Pas de champ magntique
Pas de gradient de temprature
203
n( E ) g c ( E ) f ( E )
p ( E ) g v ( E )(1 f ( E ))
n0
Ec max
Ec min
p0
Ev max
Ev min
g c ( E ) f ( E )dE
g v ( E )(1 f ( E ))dE
204
205
Calcul de n0 et p0
hypothse: EF est plus de 3kT sous la BC et plus de 3
n0
Ec max
Ec min
4 (2m )
g c ( E ) f ( E )dE
Ec min
h3
* 3/ 2
n
E EC e
2m kT
( Ec E F )
avec N C 2
n0 N C exp
kT
*
n
2
3/ 2
E EF
kT
dE
206
Calcul de n0 et p0
2m kT
( Ec E F )
avec N C 2
n0 N C exp
kT
*
n
2
3/ 2
2m kT
( E F Ev )
avec NV 2
p0 NV exp
h
kT
*
p
2
3/ 2
207
Eg
Ec E v
n p N c N v exp(
) N c N v exp( ) ni2
kT
kT
Remarque importante: les expressions que nous venons
208
n p ni
209
Conduction bipolaire
La prsence dlectrons et
210
211
212
( EFi Ev )
( Ec EFi )
n0 N C exp
p0 NV exp
kT
kT
2 EFi N C
( Ec Ev )
exp
exp
kT
kT
NV
E Fi
Ec Ev 1
N V Ec E v 3
mv* Ec Ev
kT ln
kT ln *
E Fi
2
2
NC
2
4
mc
2
~10 meV
213
mc*
m0
mv*
m0
NC
(1019 cm-3)
NV
(1019 cm-3)
Eg
(eV)
ni
(cm-3)
Si
1,06
0,59
2,7
1,1
1,12 1,5x1010
Ge
0,55
0,36
0,5
0,66 2,4x1013
0,04
1,3
1,43
0,223
4,6
3,39
1,69
2,49
2,86
0,05
1,27
GaAs
GaN
0,067 0,64
0,2
1,4
4H-SiC
InP
0,073 0,87
2x106
214
Variation ni(T)
ni N c N v exp(
Eg
2kT
Dans un SC intrinsque:
que:
Eg est petit
Temprature leve
ni N c N v exp(
Eg
2kT
215
Dopage du semiconducteur
Va permettre de changer et surtout contrler les proprits
lectriques du SC
Introduction dimpurets (dopants) qui vont modifier la relation n =
p:
Impurets de type donneur
Impurets de type accepteur
n > p type n
p > n type p
216
Semi-conducteur intrinsque
Variation exponentielle
de la densit de
porteurs
Si ni>1015cm-3, le
matriau inadapt pour
des dispositifs
lectroniques.
SC grands gap
Type SiC, GaN, Diamant
Remarque:
Le produit np est
indpendant du
niveau de Fermi
Expression valable mme
si semi-conducteur dop
Introduction du dopage
217
Dopage du semiconducteur
Considrons le cas du SC Silicium ( col IV)
Introduisons des atomes dopants de la colonne V:
Par ex N, As ou P 5 lectrons priphriques ie un de trop / au Si.
e-
neutre
e-
Ionis +
Cela ressemble
latome dhydrogne
218
Dopage du semiconducteur
Atome colonne V : analogie avec latome dhydrogne
Le cinquime lectron nappartient pas la BV !
Le cinquime lectron nappartient pas la BC !
O est il nergtiquement ?
219
1
4 0 vide
q2
r2
On doit remplacer:
vide par sc
Potentiel
V
nergie
Rydberg
En
1
4 0 vide
q2
r
mq 4
2n 2 (4 0 vide ) 2
mq 4
2(4 0 vide )
13,6eV
m par m*.
1 m*
R Ry 2
sc m0
*
y
220
Si=12)
Dans notre cas E est lnergie quil faut apporter llectron pour
1 0,5 m0
R 13,6
40meV
2
(12)
m0
*
y
Exprimentalement on trouve:
P
=>
44 meV
As
=>
49 meV
Sb
=>
39 meV
Bi
=>
67 meV
221
Rsum:
Tant que le 5me lectron li P (basse temprature)
222
223
Si.
B
+e
neutre
e+
P
Ionis -
Cela ressemble
latome dhydrogne
224
tat quantique libre : le niveau de cet tat quantique est trs proche de la
bande de valence. Mme calcul que pour le donneur
225
Le problme ressemble
au modle de latome
dhydrogne:
m0e 4
13.6
En
2 eV
2 2
n
2(4 0 )
Introduction du Rydberg
modifi :
m* 0
Ed EC 13.6
m0
226
p >> n
13,6 mv*
Ea EV 2
sc m0
Exprimentalement on trouve:
B
=>
45 meV
Al
=>
57 meV
Ga =>
65 meV
In
=>
160 meV
227
tats donneurs:
Prob. doccupation un peu diffrente:
f D (E)
Le facteur ?
1
1
E EF
1 exp(
)
2
kT
f D (E) f (E)
228
tats donneurs:
Densit dlectrons sur ED ?
ND
nD N D f D ( E D )
ED EF
1
1 exp(
)
Soit encore:
kT
2
nd N d N d
229
f A (E)
f (E)
1
E EF
1 2 exp(
)
kT
1
E EF
1 g exp(
)
kT
g : facteur de dgnrescence
1:
intrinsque
2 ou 4: accepteur
:
donneur
230
tats accepteurs:
Densit dlectrons sur EA ?
NA
nA N A f A ( E A )
E A EF
1 4 exp(
)
Soit encore:
kT
NA
p A N A nA N A N
1
EF E A
1 exp(
)
4
kT
231
e p ND e n N A
n p N
ND
( Ec E F )
( E F Ev )
N C exp
- NV exp
kT
kT
1 2 exp( ED EF )
kT
232
ni N D
kT
Eg
2 ln[ NcNv
1/ 2
/ ND ]
ND
( Ec E F )
0
N C exp
E
E
kT
F
1 2 exp( D
)
kT
233
E F E D kT ln 1 1 8
e
Nc
kT<<Ec-Ed
EF
Ec Ed 1
N
kT ln d
2
2NC
E2c-Ed <kT<Eg
( DL de la racine)
, E F (T 0)
EF
Ec Ed
E Fmax N C N D /2
2
NC
E c kT ln
ND
234
EF fonction de la Temprature
EC
ED
Conduction Band
Fermi Level
EC EV
2
Temperature
235
Et la densit de porteurs ?
BT
- -
- -
T intermdiaire
- -
- -
Haute Temprature
intrinsque
+++++++++++++++++
236
3 rgimes:
Extrinsque
puisement des donneurs
Intrinsque
237
kT
kT
( Ec E fi )
( E fi E f )
n 0 N c exp
exp
kT
kT
( E fi E f )
n0 ni exp
kT
( E f E fi )
p0 ni exp
kT
238
239
240
241
242
243
n0 N A p0 N D
Ionisation totale:
n0 N A p0 N D avec p0
2
i
Soit:
n 0 ( N D N A )n0 n 0
2
2
i
On obtient:
(ND N A )
( N D N A )2
n0
ni2
2
4
n0
244
Diffrence Ef - Efi
crire:
Nd
E f Ei kT ln
ni
Na
Ei E f kT ln
ni
type n
type p
eFi
245
Diffrence Ef - Efi
On peut alors exprimer les densit dlectrons et de trous
lquilibre par:
n ni e
( E F E Fi ) / kT
p ni e
avec:
ni e
( E F E Fi ) / kT
e Fi / kT
ni e
e Fi / kT
eFi EF EFi 0
type n
eFi EF EFi 0
type p
quations de
Boltzmann
246
CHAPITRE 11
Le semiconducteur hors quilibre
247
Plan:
Recombinaison et gnration
Courants dans les SC
quation de densit de courants
quations de continuit
Longueur de Debye
quation de Poisson
Temps de relaxation dilectrique
248
np n
avec
interne
r r ' g th
249
250
(1)
rp
rn
p p0 p
n n0 n n0
251
(2)
np ni2
r
m 2ni p n
quationde
ShockleyRead
n( p)
252
(3)
rp
Avec
n
x i
r
m 2ni x
p x
n
ni
r
0
2 m
Tauxnetdegnration.
Crationdeporteurs
253
Type P
Excitation lumineuse
254
255
Recombinaisons de surface
256
l vth. 100 A
0.1 ps
257
258
Vitesse:
Mobilit:
v qE / m* E
q / m
Si:1500cm2/Vs
GaAs:8500cm2/Vs
In0.53Ga0.47As:11000cm2/Vs
259
Pour lensemble:
J c n nev n nen E
J c p pev p pep E
260
261
262
Variation de la mobilit
en fonction de la
concentration en dopants
263
pour:
Champ lectrique pas trop lev
Porteurs en quilibre thermique avec le rseau
Sinon:
Au-del dun champ critique, saturation de la vitesse
Apparition dun autre phnomne: velocity overshoot
pour des semiconducteurs multivalle.
Rgime balistique:pour des dispositifs de dimensions
infrieures au libre parcours moyen (0.1m)
264
Vitesse de saturation
Diffrents
comportement en
fonction du SC
Survitesse
( overshoot )
265
266
dn
n Dn
dx
dp
x
pD D p
dx
x
D
nbde quidiffusentparunitde
tempsetdevolume(flux)
nbdeh+ quidiffusentparunitde
tempsetdevolume(flux)
267
(lectrons et trous):
dn
dp
J diff e(n p ) eDn
eDp
dx
dx
Constante ou coefficient de diffusion
x
D
]=cm2/s.
Dn , p
x
D
268
de conduction et diffusion:
J T J cond J diff J n J p
dp
dn
J T (nen pep ) E e( Dn
Dp )
dx
dx
D et expriment la facult des porteurs se dplacer. Il existe
D kT
269
dn( x, t )
J n ( x x) J n ( x)
Ax
A
RG
dt
e
e
dn( x, t )
dJ n ( x) x
Ax
A
RG
dt
dx e
dn( x, t ) 1 dJ n
rn g n
dt
e dx
dp ( x, t )
1 dJ p
rp g p
dt
e dx
270
de la diffusion:
dn
d n n n0
Dn 2
dt
dx
n
2
dn
J n (diff ) eDn
dx
dp
J p (diff ) eD p
dx
dp
d2 p p p0
Dp 2
dx
dt
p
271
D n n
dx 2
L2n
d 2 ( p p0 ) p p0 p p0
2
D p p
dx
L2p
Ln Dn n
Lp D p p
Solutions:
n( x) (n( x) n0 ) n(0)e
x / Ln
272
quation de Poisson
Elle est drive de la premire quation de Maxwell. Elle relie le
d 2V
dE
( x)
dx 2
dx
sc
Dans les SC, deux types de charges (fixes et mobiles):
d 2V
e
p
(
x
)
n
(
x
)
N
(
x
)
N
D
A ( x)
2
dx
sc
Charge mobiles
(lectrons et trous)
Charges fixes
(dopants ioniss)
273
Longueur de Debye
Si on crit lquation de Poisson dans un type n en exprimant n en
fonction de
Fi
d 2 Fi
e
e Fi / kT
N
(
x
)
n
e
d
i
dx 2
sc
V(x)=
Fi
Si Nd(x)en
=>remarquant
Nd+Nd(x) ,que:
alors
Fi est
cte
modifi
de Fi
d 2 Fi e 2 N d
e
N d ( x)
Fi
2
sc kT
sc
dx
274
Longueur de Debye
Signification physique?
Solution de lquation diffrentielle du 2 degr:
x
Fi A exp
LD
avec
LD
sc kT
e2 N D
275
porteurs majoritaires ?
quation de continuit (R et G ngligs):
n 1 J n
t e x
or
J n E E / n et
E
en / sc
x
do
n
n
n sc
t
n sc
Solution:
n(t ) exp(t / n sc )
276
CHAP 12
Homo-jonction semi-conducteur
277
Homojonction PN
Composant rponse non linaire
Dispositifs redresseur ou rectifier devices
2 types pour arriver au mme rsultat:
Jonction PN (notre propos)
Jonction contact Schottky (chapitre suivant)
278
279
E int
280
Tension de diffusion VD ou
built in potential VB i
Dfinition : diffrence de potentiel entre la rgion N et la rgion P
VD VBI VN VP
Equation du courant de trous:
Soit encore
p
Dp
E ( x)
dp ( x)
J P ( x) e P p ( x) E ( x) D p
0
dx
1 dp ( x)
p ( x ) dx
ou
VD Vbi
1 dp( x)
e dV ( x)
kT dx
p( x) dx
pp
kT
VD
ln( )
e
pn
kT
N N
ln ( A 2 D )
e
ni
281
( x)
d 2V ( x)
sc
dx 2
Dans la rgion N et P:
d 2V (x)
e
ND
2
sc
dx
0 x WN
d 2V (x)
e
NA
2
sc
dx
WP x 0
-WP
-WN
282
En ( x )
eN D
sc
( x W N)
EP ( x)
eN A
sc
( x W P)
N DW N N AWP
EM
eN DW N
sc
eN AW P
sc
-WP
-WN
283
eN D
( x W N ) 2 Vn
sc
eN A
V p ( x)
( x W P) 2 V p
sc
Zone de charge despace (ZCE)
2
eN DWn2 eN AW p
V (Wn ) V (W p ) Vbi
2 sc
2 sc
2 sc
ND
W p (Vbi )
Wn (Vbi )
e N A (N A ND )
Vbi
2 sc
NA
Vbi
e ND (N A ND )
2 sc N D N A
W (Vbi )
Vbi
e N AND
-WP
-WN
284
285
Hypothses simplificatrices:
286
Polarisation directe
Tension positive sur P
Diminution de la tension de
diffusion
Processus de diffusion
prdomine
Fort courant
287
Fdiff h+
288
Eext
289
Fcond h+
290
1 dp ( x)
e dV ( x)
kT dx
p( x) dx
291
p(W N )
eV
exp( d )
pp
kT
Si Va=0
Si Va
p ' (W N )
e(Vd Va )
exp(
)
pp
kT
ni2
eV A
eV A
)
exp(
)
p ' n p n exp(
kT
ND
kT
ni2
eV A
eV A
n' p n p exp(
)
exp(
)
kT
NA
kT
eVa
n * p p p * nn n exp(
)
kT
'
p
'
n
2
i
292
1017
1016
1015
1014
1013
P'(Wn) (cm-3)
1012
1011
1010
109
108
107
106
105
104
0,0
0,1
0,2
0,3
Va (V)
0,4
0,5
0,6
0,7
293
Injection de porteurs
En polarisation directe,
phnomnes de diffusion
294
p
p
2 p p pn
J p ( x) eD p
Dp
x
t
x
p
de la gomtrie de la rgion
x / Lp
pn Ae
Les p
paramtres
Be
x / Lp
discriminatoires : la longueur
de diffusion LDn,p des lectrons
et des trous et la largeur des
rgions neutres dn,p
dp
dn
-WP 0 WN
295
d n , p L p ,n)
Rgions longues (
p ' ( x ) p n p n (e
n' ( x ) n p n p (e
Rgions qcq
eVa
kT
eVa
kT
Rgions courtes ( d n , p L p ,n )
eV
1)e
1)e
(W N x ) / L p
( x Wp ) / Ln
p n kTa
p' ( x) p n
(e 1)( x c x)
dn
n p eVkT
n' ( x) n p
( e 1)( x 'c x )
dp
a
eVa
xc x
pn
kT
p' ( x) p n
(e 1) sh
dn
L
p
sh( )
Lp
eVa
x xc'
np
(e kT 1) sh
n' ( x ) n p
dp
Ln
sh( )
Ln
296
dp ( x)
J p ( x) eD p
dx
J n ( x) eDn
dn( x)
dx
J (V ) J S (e eV / kT 1)
JS est le courant de saturation de la diode,
ou courant inverse thorique
297
eni2 D P eni2 Dn
JS
NDdn
N Ad p
Rgions longues
eni2 DP eni2 Dn
JS
N D LP
N A Ln
Rgions qcq
eni2 DP
eni2 Dn
JS
dn
dp
N D LP th( ) N A Ln th( )
LP
Ln
-WP 0 WN
298
Gnration en inverse
Recombinaison en direct
299
pn ni2
r
2ni p n
1
eVa
)
On sait galement que p (W N )n(W N ) p (WP )n(WP ) ni2 exp(
kT
2
Si on suppose np constant dans la ZCE et >> ni (en
polarisation directe) , le taux r est max pour n=p, soit
encore
ni
eVa
rmax
exp
2
2kT
300
1 dJ n
0
r dJ n erdx
e dx
WN
J GR e
WP
rdx
301
eni
J GR J
J GR
WT
2
Le courant global en intgrant cet effet scrit:
0
GR
eVa
) 1
exp(
2kT
eVa
eVa
0
) 1 J GR exp(
) 1
J (Va ) J S exp(
2kT
kT
Facteur didalit:
eVa
J (V ) J 0 exp(
) 1
nkT
302
Effet thermique
Effet Zener:
Passage direct de la BV la BC
Effet Avalanche:
Avant le tunneling ,
Perage ou punchtrough
VBD
.EC2
2eN B
303
304
dQ
CT
dV
2 sc
ND
(Vd VA )
e N A (N A ND )
Soit:
NAND
A
A
2e
CT
2 (VD V A ) ( N A N D ) WT
305
tension et le courant
Associe aux charges
injectes dans les
rgions neutres:
QSp p J p
QSn n J n
QSp
XC
QSp A e( p ' ( x) p n ) dx
WN
dn
1
sh( )
LP
306
forme:
QSp ( p ) J P (WN )
( p) P 1
avec
dn
ch( L )
P
d n2
temps de transit
t
2 DP
Diode courte: ( p )
Diode longue : ( p )
dure de vie
307
QS Q Sn QSp ( n ) J n ( W P ) ( p ) J p (W N )
dQS
CS
Soit partir de :
dV
e
C S C Sn C Sp
K ( ( n ) I n ( p ) I p )
kT
Facteur qui dpend de la gomtrie
(2/3 courte)
(1/2 longue)
308
309
Jonction PN en commutation
310
Jonction PN en commutation
Wn
eVa
kT
1)
sd Temps de stockage ie
p ' (WN ) pn
311
Jonction PN en commutation
Problme majeur dans les composants porteurs
minoritaires:
Expression du temps de stockage:
sd
If
If
p ln(1 ) ln(1
)
Im
I f I m
If
F RC j
f 2.3
avec
I f Im
1
312
dV kT 1
rsistance dynamique
dI
e I
e
K ( ( n ) I n ( p ) I p ) capa de diffusion
Cd CS CSn CSp
kT
A
2e
N AND
A
capa de jonction
CT C J
2 (VD VA ) ( N A N D ) WT
rd
rS rsistance srie
313
(a)
(b)
Va
I t I pe
V
pe
exp1 Va
V
pe
4a 2m * e
b
Tt exp
(c)
(d)
(e)
314
Diodes PIN
Dispos VLSI modernes trs fort champ lectrique
Pb davalanche et effet de porteurs chauds
Solutions:
Rduction du champ par augmentation de la ZCE
Incorporation dune couche non dope dite intrinsque do le
nom !
315
Diodes PIN
Dpltion rgion
Rgion p
Rgion n
(x)
+ + + +
-Wp
---
d
couche
intrins.
+Wn
316
Diodes PIN
champ max ( dans la zone intrinsque)
eN A x p
eN D ( xn d )
Em
Si
Si
Em
( x p xn d )
2
largeur de la ZCE
Em
2
(Wd d )
2 Si ( N A N D )
Wd
Vbi d W d20 d
e
N AND
capacit
CT Wd 0
CT 0 Wd
champ lectrique
1
1
d
W d20
Em
Wd
d
d
1 2
Em 0 Wd Wd 0
W d 0 Wd 0