Optique Électronique PDF

Optique lectronique
par
Peter HAWKES
Directeur de Recherche au Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
1.
1.1
1.2
1.3
1.4
1.5
Principes de loptique lectronique gomtrique ..........................

Gnralits ...................................................................................................
Potentiels et champs ...................................................................................
Trajectoires ...................................................................................................
Lois de loptique paraxiale..........................................................................
Aberrations...................................................................................................
2.
2.1
2.2
2.3
2.4
2.5
Composantes de base.............................................................................
Sources dlectrons .....................................................................................
Lentilles symtrie de rvolution ..............................................................
2.2.1 Lentilles lectrostatiques ...................................................................
2.2.2 Lentilles magntiques ........................................................................
Lentilles quadrupolaires..............................................................................
Systmes de dflexion ................................................................................
Prismes .........................................................................................................
10
10
11
11
11
12
12
15
3.
Calcul des systmes................................................................................
16
4.
4.1
4.2
4.3
Optique ondulatoire ................................................................................

Introduction..................................................................................................
Limite de rsolution du microscope lectronique ....................................
Holographie lectronique ...........................................................................
16
16
17
18
5.
5.1
5.2
5.3
Exemples dapplications ........................................................................

Vie courante .................................................................................................
Industrie. Dfense........................................................................................
Laboratoire recherche .................................................................................
18
18
19
20
Pour en savoir plus...........................................................................................
E 1 300 - 3
Doc. E 1 300
e faisceau dlectrons, ou plus gnralement le faisceau de particules

charges, joue le rle principal dans un large ventail dappareils, allant des
postes de tlvision et des consoles dordinateur jusquaux instruments hautement spcialiss tels que les microscopes lectroniques et les grands acclrateurs de particules. Bien plus, il est lorigine de certains phnomnes naturels,
tels que laurore borale.
Trs souvent, le comportement des lectrons est soumis des lois identiques
celles qui rgissent loptique photonique et un vocabulaire similaire est
employ : on parle de lentilles (magntiques ou lectrostatiques), de prismes,
de longueur et distance focales, daberrations (gomtriques et chromatiques).
Tout comme dans loptique photonique, on distingue loptique gomtrique,
que lon utilise quand les effets dus la longueur donde des lectrons sont
ngligeables, de loptique ondulatoire, que lon emploie pour une comprhension plus pousse des phnomnes observs.
Les lois de loptique gomtrique sont tablies partir de la loi de mouvement
de Newton, cette dernire tant modifie pour tenir compte des effets relativistes. Il est possible galement de partir dune loi variationnelle, ce qui permet
de se rapprocher du principe de Fermat.
Loptique ondulatoire est dveloppe partir de lquation de Dirac, car les
lectrons sont des particules spin 1/2, mais en pratique, le spin ne jouant aucun
E 1 300
6 - 1993
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Techniques de lIngnieur, trait lectronique
E 1 300 1
OPTIQUE LECTRONIQUE ________________________________________________________________________________________________________________
rle sauf dans des cas trs exceptionnels (microscopie balayage basse
tension), il est toujours mis de ct. On se contente alors dune forme relativiste
de lquation de Schrdinger.
Les lois optiques ne conviennent pas pour caractriser tous les faisceaux dlectrons. Pour quun formalisme optique dcrive correctement la propagation des
lectrons, ceux-ci doivent respecter certaines conditions. Dabord, ils doivent
rester ensemble autour dun axe, qui peut en principe tre une courbe quelconque
mais qui en pratique se limite un petit nombre de courbes simples, une ligne
droite ou circulaire par exemple. De plus, la densit du courant dans le faisceau
doit tre suffisamment faible pour que les interactions inter-lectrons restent
ngligeables. Dans le paragraphe consacr aux sources dlectrons ( 2.1),
nous verrons quelles sont les consquences dune densit de courant locale trop
leve (effet Boersch).
Un paragraphe entier ( 2.2) est consacr aux lentilles lectroniques mais
nous serons amens les voquer titre dexemple partout. Nous rappelons
donc ici quune lentille lectrostatique typique comporte trois lectrodes
(figure Aa ) portes des tensions varies. Ces lectrodes peuvent tre des
plaques perces de trous circulaires ou des cylindres section circulaire mais
pas ncessairement rayon constant.
Une lentille magntique (figure Ab ) est un lectroaimant au centre duquel
un trou a t perc pour le passage des lectrons. Le champ est concentr dans
une petite rgion au niveau de lentrefer.
De nombreux rsultats sont donns dans cet article sans dmonstration ; pour
trouver des informations complmentaires, le lecteur est invit se reporter
un des ouvrages [1] [10]. La notation adopte ici est identique celle de Principles of Electron Optics par Hawkes et Kasper [6] [7], le plus rcent des traits
sur loptique lectronique. Il nexiste pas de texte rcent en langue franaise.
Figure A Lentilles lectroniques : principe
E 1 300 2
________________________________________________________________________________________________________________ OPTIQUE LECTRONIQUE
Notations et Symboles
Symbole
Dfinition
A
B
Facteur de forme dune lentille

Champ dinduction magntique
Brillance, quantit analogue la luminance,
mais qui se mesure en A m 2 sr 1
c
Vitesse de la lumire (= 3 108 m/s)
C
Contraste
Cs , Cc
Coefficients daberration sphrique, chromatique
e
Charge de llectron (= 1,602 1019 C)
E
Champ lectrostatique
F
Force exerce par un champ lectrostatique
g ( z ), h ( z ), Solutions des quations des rayons
G ( z ), G ( z ) paraxiaux (12)
h
Constante de Planck (= 6,62 1034 J/s)
i
Imaginaire (i2 = 1)
j
Densit de courant
k
Constante de Boltzmann (= 1,38 1023 J/K)
M ( M , M ) Grandissement (longitudinal, angulaire)
m0
Masse au repos de llectron (= 0,91 1030 kg)
m
Masse relativiste de llectron
r
Vecteur de position
t
Temps
T
Temprature
v
Vitesse
Angle
= m /m 0
Permittivit, coefficient de correction relativiste
= e /m 0 c 2
= e/2m 0
(z )
Angle entre deux repres (x, y, z ) et (X, Y, z)
Longueur donde, coefficient
Permabilit magntique
(r )
Rpartition des charges despace
(r )
Rpartition des charges sur la surface
Angle dans un repre cylindrique

(z )
Potentiel lectrostatique sur laxe optique
(r )
Potentiel lectrostatique
^
= (1 + ) potentiel lectrostatique avec
correction relativiste
Potentiel scalaire
: Laplacien
a, i, o : indices employs pour les plans respectivement
douverture, image, objet
La trajectoire de llectron est la solution de lquation de

Newton-Lorentz :
d
--------- ( m v ) = F
(1)
dt
o m reprsente la masse relativiste de llectron :
m = m0 = m0 /
1 ( v 2 /c 2 ) ; m 0 = m ( v = 0 ) ; m 0 = 0,91 10 30 kg
et c la vitesse de la lumire (3 108 m/s).

Les calculs sexpriment plus facilement laide du potentiel
lectrostatique (r ) :
E = grad
et on montre facilement que :
mv =
o
et
2m 0 e
= 1/ 1 v 2 /c 2 =
et
1.1 Gnralits
= (1 + )
1,602 10 19
= e/ ( 2m 0 c 2 ) = ------------------------------------------------------------2 0,91 10 30 9 10 16
0,98
MV 1
Nous avons choisi de faire concider la valeur = 0 avec la

vitesse v = v = 0 .
Il est clair que lquation des trajectoires ne peut tre rsolue que
lorsque les rpartitions de E ou et de B sont connues. Le paragraphe 1.2 est donc consacr aux mthodes de calcul de ces fonctions. Les techniques numriques ont compltement remplac les
dispositifs analogiques (cuve rhographique, rseau de rsistances)
employs jadis.
1.2 Potentiels et champs

Dans un domaine sans charge despace, le potentiel lectrostatique satisfait lquation de Laplace :
2 (r ) = 0
(2)
Celle-ci est un cas particulier de lquation de Poisson,

div [ (r ) grad (r )] = (r )
(3)
o (r ) reprsente la rpartition de charges despace et la

permittivit.
Pour un champ dinduction B, on introduit un potentiel vecteur
A et parfois un potentiel scalaire lorsque la permabilit magntique est uniforme :
B = rot A
H = B/ = grad
(4)
En gnral, les quations de Maxwell montrent que :

rot A
rot --------------------------------- = j ( r )
(
rot
A
)
1. Principes de loptique
lectronique gomtrique
1 + 4
(5)
o j reprsente la densit de courant.

Sauf dans les milieux ferromagntiques qui peuvent se saturer,
1 est constant et nous trouvons :
2 A = j
avec
div A 0
Dans un domaine sans courant, j = 0, et :

La force F exerce par un champ lectrostatique E (r ) et un champ
dinduction magntique B (r ) sur un lectron dont la vitesse est v
est donne par :
F = e {E (r ) + v B (r )}
avec
2 A = 0
et
2 = 0
(6)
Nous allons considrer les trajectoires dlectrons qui restent

dans le voisinage immdiat dun axe z ; cest une des raisons pour
lesquelles il est utile de dvelopper les potentiels en srie autour
e valeur absolue de la charge de llectron,

r vecteur de position.
E 1 300 3
de cet axe. Un calcul assez long mais sans difficult (voir [5] pour
les dtails) montre que :
1
1
( r ) = ( z ) ----- ( x 2 + y 2 ) ( z ) + -------- ( x 2 + y 2 ) 2 IV ( z )
64
4
1
xF 1 ( z ) yF 2 ( z ) + ----- ( x 2 + y 2 ) ( x F 1 + yF 2 )
8
1
1
+ ----- ( x 2 y 2 ) p 2 ( z ) + xyq 2 ( z ) ------- ( x 4 y 4 ) p 2 ( z )
2
24
(7)
1
1
-------- xy ( x 2 + y 2 ) q 2 ( z ) ----- p 3 ( z ) ( x 3 3 xy 2 )
12
6
1
1
+ ----- q 3 ( z ) ( y 3 3 x 2 y ) + -------- p 4 ( z ) ( x 4 6 x 2 y 2 + y 4 )
6
24
1
+ ----- q 4 ( z ) ( x 3 y xy 3 ) + ...
6
1
- (x 2 + y 2) B
B ---8
1
1
2
2
4
+ ----- ( x y ) B 2 -------- ( x y 4 ) B 2
4
48
1
1
----- xyB 1 + -------- xy ( x 2 + y 2 ) B 1
2
24
1
1
-------- x ( x 2 3 y 2 ) Q 2 -------- y ( y 2 3 x 2 ) P 2
12
12
1
1
+ -------- ( x 4 6 x 2 y 2 + y 4 ) Q 3 -------- xy ( x 2 y 2 ) P 3 + ...
48
12
1
A x ( r ) = ----- y
2
1
A z ( r ) = xB 2 + yB 1 + ----- ( x 2 + y 2 ) ( xB 2 yB 1 )
8
1
1
1
+ ----- ( x 2 y 2 ) Q 2 xyP 2 -------- ( x 4 y 4 ) Q 2 + -------- xy ( x 2 + y 2 ) P 2
2
24
12
(8)
1
1
----- x ( x 2 3 y 2 ) Q 3 ----- y ( y 2 3 x 2 ) P 3
6
6
1
1
+ -------- ( x 4 6 x 2 y 2 + y 4 ) Q 4 ----- xy ( x 2 y 2 ) P 4 + ...
24
6
(Pour obtenir A y partir de A x , on remplacera x par y et y par x ).
Les fonctions (z ), F1 (z ), ..., q 4 (z ) qui figurent dans le dveloppement de (r ) et les fonctions B (z ), B 1 (z ), B 2 (z ) ... Q 4 (z ) qui
figurent dans celui de A (r ) caractrisent des symtries diffrentes.
Pour les faire ressortir, on exprime en coordonnes cylindriques
(r , , z ) :
r2
r4
( r, , z ) = ------- + ------- IV
4
64
r3
r ( F 1 cos + F 2 sin ) + ------- ( F 1 cos + F 2 sin )
8
r2
r4
+ ------- ( p 2 cos 2 + q 2 sin 2 ) ------- ( p 2 cos 2 + q 2 sin 2 )
2
24
r4
r3
------- ( p 3 cos 3 + q 3 sin 3 ) + ------- ( p 4 cos 4 + q 4 sin 4 )
6
24
+ ...
Lorsque le systme est symtrique autour de laxe z, seule la fonction (z ) peut tre diffrente de zro, ou B (z ) dans le cas magntique.
Pour un systme qui possde deux plans de symtrie, p2 , q2 , p4
et q 4 peuvent tre diffrents de zro, ainsi que (z ) et si ces plans
sont les plans (x, z ) et (y, z ), seuls p2 et p4 ne sont pas nuls.
Dans le cas magntique (figure 1), ce sont Q2 et Q4 qui subsistent.
On voit que le champ perpendiculaire laxe, (/x, /y ), ne tend
pas vers zro sur laxe, si une des fonctions F1 ou F2 est diffrente
de zro. Par consquent, ces fonctions doivent reprsenter des
champs dflecteurs.
E 1 300 4
Figure 1 Plans de symtrie de lentilles quadrupolaires

pour lesquels q2 (z ) = P2 (z ) 0
Le cas le plus important correspond la symtrie de rvolution

autour de laxe, qui est dcrit par les deux rpartitions (z ) et B (z ).
Ce sera surtout ce cas que lon tudiera par la suite. Nanmoins,
moyennant un calcul plus lourd, les mmes mthodes permettent
de calculer les champs dans toute autre configuration.
Les lectrodes et les milieux magntiques qui crent les champs
lectrostatiques et magntiques dfinissent les valeurs de potentiel
correspondantes sur des surfaces, lintrieur desquelles les rpartitions de potentiel sont calculer. Il sagit donc dun problme de
valeurs aux limites : problme de Dirichlet ou problme de
Neumann. Une solution gnrale est connue :
1
( r ) = --------4
avec
(r ) da
---------------------------r r
da
un lment de surface,
(r) la rpartition des charges sur la surface.
Lintgration seffectue sur toutes les surfaces.
Le potentiel est donn sur les lectrodes et on peut donc calculer
. Ensuite, le potentiel peut tre valu en tout autre point de
lespace entour par les lectrodes (figure Aa ). Un raisonnement
analogue permet de calculer les champs magntiques.
Dans un calcul pratique, les surfaces sont dcoupes en petites
zones et lintgrale est discrtise (BEM : Boundary-Element
Method ).
Pour ce faire, sans perdre de prcision, des procds ultrasophistiqus ont t dvelopps. Voir [6] et les publications cites
dans ces livres, ainsi que les traits de Durand [11] [12].
Deux autres groupes de mthodes sont employs couramment
pour rsoudre lquation de Laplace : les mthodes de diffrences
finies (FDM) et les mthodes dlments finis (FEM).
Dans les FDM, on recouvre la zone lintrieur de laquelle on

souhaite connatre le potentiel dun maillage, carr ou rectangulaire
dans la plupart des cas, et on utilise lquation de Laplace pour tablir
la relation entre le potentiel dun point donn et les potentiels de
ses voisins. On suppose quune approximation linaire est adquate,
ce qui rend le problme linaire : on a autant dquations quil y a
de nuds. Les nuds sur les lectrodes dfinissent les conditions
aux limites. Le nombre de points, donc le nombre dquations, est
en gnral trs grand (toujours plusieurs centaines, souvent plusieurs milliers) et lensemble est rsolu par une mthode itrative
comme celle, typique, de sur-relaxation successive (SOR : Successive Over-Relaxation ). Pour atteindre la prcision souhaite, on
rpte le calcul en rduisant la taille des mailles jusqu ce que la
diffrence entre deux calculs soit suffisamment petite. Une discussion trs dtaille est donne par Durand [11].
1.3 Trajectoires
Lquation de Newton-Lorentz (1) peut tre rsolue laide de
mthodes numriques classiques, malheureusement, de telles solutions ne nous donnent aucune information sur le comportement
gnral du systme en question. Avant de considrer les mthodes
numriques, il convient donc de transformer cette quation et den
dduire lquation diffrentielle approche qui dcrit les trajectoires
voisines de laxe, lquation des rayons paraxiaux.
Linconvnient de cette mthode est que souvent le maillage ne

reflte pas bien le trac de la surface des lectrodes. A priori, on
aimerait que le maillage soit fin dans des zones o la surface change
rapidement (artes, structure complique) et plus gros l o la surface varie lentement. Certes, le multi-maillage pourrait tre utilis
mais non seulement il rend le calcul plus long mais des prcautions
particulires doivent tre prises pour que les drives du potentiel
soient continues aux interfaces.
Une meilleure solution consiste renoncer la FDM en faveur
de la FEM, dans laquelle la discrtisation prend la forme de petits
triangles, de dimensions varies. Ici encore, lquation de Laplace
(dans une version variationnelle) permet dtablir un grand systme
linaire dquations reliant les potentiels dans les lments finis
voisins.
Un exemple simple est donn dans la figure 2, qui montre lentrefer dune lentille magntique loin de la saturation. On peut voir que
le maillage pouse parfaitement les contours du circuit magntique
et que les mailles sont plus fines dans le voisinage de lentrefer, l
o se trouvent des artes, alors qualentour les mailles sont plus
larges.
Dans certains cas, une combinaison de ces mthodes se montre
efficace, parfois indispensable. Pour la lentille trs ouverte de la
figure 3, ni la FEM ni la FDM ne conviendraient pour lespace
lextrieur du circuit magntique car ltendue du champ est
inconnue et en toute probabilit assez vaste. Lintrieur du circuit
(qui risque de se saturer) est donc calcul laide de la FEM, dont
le maillage est illustr sur la figure 3, alors que pour lextrieur du
circuit, cest la BEM qui est utilise.
Toutes ces mthodes peuvent tre appliques aux structures
tridimensionnelles, le calcul est bien entendu beaucoup plus lourd
dans ces cas. Un exemple trs impressionnant de lutilisation de la
BEM en trois dimensions est prsent sur la figure 4.
Figure 3 Calcul hybride : cas dune lentille plate dite de Mulvey
Figure 2 Discrtisation pour la mthode dlments finis ;

entrefer et canal autour de laxe z dune lentille magntique
Figure 4 Discrtisation en trois dimensions :

cas dune pointe extrmit dun filament en pingle cheveux
E 1 300 5
Les variables indpendantes dans lquation de Newton-Lorentz

(1) sont les coordonnes de position et le temps. Dans un grand
nombre dinstruments doptique lectronique, on sintresse uniquement aux trajectoires des particules et le temps est sans intrt
(il existe toutefois des exceptions importantes, notamment certains
types de spectromtres dits temps de vol ). Il est facile dliminer
le temps t laide de la relation entre llment de longueur darc
ds et llment de temps, dt. On a ds = v dt et, pour un systme
axe optique rectiligne (z ), on trouve :
^
^
2
2
d2 X
--------- --------- X --------- + ^
------------ ( B Y Y B t )
-----------=
^
z 1/2
dz 2
2 X
^
^
2
2
d2 Y
----------- ( B X + X B t )
- --------- Y --------- +^
-----------= --------^
2
z 1/2
2 Y
dz
1 + X 2 + Y2 , =
e/ ( 2m 0 )
3 10 5
(9)
o A1 et A2 sont des constantes, u1 et u 2 sont deux solutions quelconques mais indpendantes de (12). Deux solutions sont particulirement utiles (figure 5) : g (zo ) = 1 et h (zo ) = h (zi ) = 0. Un pinceau
de rayons qui passe par un point dans le plan z = zo scrit :
C 1/2 kg 1/2
Bt = (B z + X BX + Y BY )/
et
Nous avons not les coordonnes cartsiennes X, Y, z provisoirement, pour des raisons qui apparatront videntes plus loin [cf.
relation (11)].
Ces quations sappliquent tout systme ayant un axe rectiligne.
Le cas o le systme possde une symtrie de rvolution autour de
cet axe est particulirement important. Nous avons vu [relations (7)
et (8)] que pour un tel systme, seules les fonctions (z ) et B (z ) subsistent dans les dveloppements de et de A. En substituant ces
sries dans les quations (9) et en se limitant aux termes de premier
ordre, on trouve :
B dY
B
d 2 X dX
---------- ---------- + ------------- Y = 0
- ---------- + ---------- X +^
------------ + ---------^
^
^1/2
1/2
dz
2 dz
4
dz 2
B dX
B
d 2 Y dY
---------- ---------- ------------- X = 0
- ---------- + ----------- Y ^
-----------+ ---------^
^
^
2
2 dz
4
dz
1/2 dz 2 1/2
Figure 5 Rayons g (z ) et h (z )
u (z ) = uo g (z ) + h (z )
o est un paramtre.
Dans le plan z = zi , nous avons u (zi ) = uo g (zi ), ce qui dmontre
que tous les rayons du pinceau passent par un seul point dans le
plan z = zi . De plus, le rapport u (zi )/uo est constant et on conclut
que le systme forme une image du plan z = zo dans le plan z = zi ,
avec un grandissement M = g (zi ). Cependant, limage est tourne
par rapport lobjet, cause de la torsion des coordonnes (x, y, z).
1.4 Lois de loptique paraxiale

(10)
avec = m /m0 .
Ces quations sont couples : X et Y figurent dans chacune delles.
Pour essayer de les dcoupler, nous pouvons introduire de nouvelles
coordonnes (x, y, z ) obtenues par rotation dun angle (z ) autour
de laxe z. Soit w = X + iY et u = w exp [ i (z )].
Lquation (10) scrit alors :
i B

iB
- w -------------w = 0
- w + ---------- w ---------w + --------^
^
^
^
2
4
1/2
2 1/2
De nombreuses lois doptique dcoulent de lquation des rayons

paraxiaux. Nous attirons lattention sur le rle de la wronskienne.
Soit u1 et u 2 deux solutions de lquation des rayons paraxiaux.
Remplaons u par u1 et multiplions lquation par u2 ; faisons de
mme pour u 2 et u1 . La soustraction des quations donne :
d ^
^
-------- { 1/2 ( u 1 u 2 u 1 u 2 ) } = 0 1/2 ( u 1 u 2 u 1 u 2 ) = Cte (14)
dz
Cette invariante est appele la wronskienne de (12).
Posons u1 h et u 2 g ; nous trouvons que :
1/2
1/2
o h ( z o ) = i h ( z i )M
mais h(zi )/h(zo ) est le grandissement angulaire, M , et on voit que :
et ensuite :
i B
------------^
u + u 2i + --------^
2 1/2
MM = ( o / i ) 1/2
^

i B i B
- + ---------- = 0
- -------------+ u i 2 + i ---------^- -------------^
^
^
2
4
2 1/2
2 1/2
Les termes imaginaires disparaissent si prend la valeur
= B/2 1/2
^
(11)
et nous trouvons :
u + ( /2 )u + { ( + 2 B 2 )/4 }u = 0
^
(12)
Avec u = x + iy, nous obtenons deux quations diffrentielles

pour x et pour y, chacune identique (12). Celles-ci sont les quations des rayons paraxiaux. Elles sont linaires, homognes et de
deuxime ordre. La solution gnrale scrit :
u (z ) = A1u1 (z ) + A2u2 (z )
E 1 300 6
On dmontre aisment que le grandissement longitudinal, M ,

est donn par :
M M = M
Lquation paraxiale permet de dfinir les lments cardinaux qui
caractrisent toute lentille : longueur focale, distance focale et plans
principaux. En optique lectronique, il est ncessaire de distinguer
deux types dlments cardinaux ; dune part, les lments asymptotiques et, dautre part, les lments rels. En effet, dans certaines
lentilles, dites objectifs ou lentilles sonde, un chantillon, ou une
cible, est couramment situ dans le champ de la lentille. Seule une
partie de ce champ agit sur les lectrons se trouvant au-del de
lchantillon ou en de de la cible. En revanche, dautres lentilles
servent agrandir une image intermdiaire ; dans ce cas, toute
ltendue du champ est parcourue par les lectrons. Un ensemble
dlments cardinaux doit donc tre dfini pour chaque situation.
(13)
Examinons tout dabord les lments asymptotiques. Soit G (z ),

G ( z ) solutions de (12) parallles laxe loin de la lentille, en amont
et en aval de celle-ci (figure 6a ) :
lim G ( z ) = 1
lim G ( z ) = 1
(15)
la sortie de la lentille, G (z ) tend vers lasymptote

lim G ( z ) = ( z z Fi )G i o G i est le gradient du rayon G dans
lespace image. Tout rayon parallle G (z ) dans lespace en amont

scrit G (z ), avec asymptote en aval ( z z Fi )G i . Ces dernires
se coupent donc sur laxe dans le plan z = zFi , que nous appelons
le foyer image. Tous les rayons incidents G coupent leurs
asymptotes mergentes dans le plan z = zPi o = ( z z Fi )G i et
Il savre que les lentilles lectroniques symtrie de rvolution

sont toujours convergentes. Si on augmente lexcitation dune
lentille jusquau point o G i = 0 , les asymptotes incidentes et
mergentes sont parallles laxe et la lentille a dgnr en tlescope. Au-del de ce point, le rayon G (z ) retourne vers laxe, G i
est positif et fi devient ngatif. Il semble que la lentille soit maintenant divergente mais ce terme nest pas utilis car la lentille parat
tre divergente, sa convergence tant tellement forte !
La solution gnrale (13) peut scrire :
x ( z ) = A1 G ( z ) + A2 G ( z )
et de mme pour y (z ) avec les asymptotes :
lim x ( z ) = A 1 + [ A 2 ( z z Fo )/f o ]
on a z Pi z Fi = 1/G i ; cest le plan principal image de la lentille. On

crit f i = 1/G i , cest la longueur focale (figure 6b ). laide de
lim x ( z ) = [ A 1 ( z z Fi )/f i ] + A 2
G ( z ) , on dfinit galement les lments cardinaux objets, z Fo et

zPo , z Po z Fo = 1/ G o , o lasymptote G ( z ) dans lespace objet
scrit :
donc
lim G ( z ) = ( z z Fo ) G o
On crit f o = 1/ G o . La wronskienne nous permet de trouver la

1/2 ( G G G G ) = Cte
ce qui implique que :

1/2
1/2
o G o = i G i
^
o 1/2
fo
-----= ------^
fi
i
x 2
relation entre fo et fi :

x2
z 2 z Fi
------------------fi
f o + Q 12 / f i
1 / fi
z 1 z Fo
-------------------fi

x1
(16)
x 1
o x 2 reprsente x (z ) dans un plan quelconque z = z 2 sur lasymptote

mergente et x 2 le gradient ( A 1 /f i ) ; x1 reprsente x (z ) dans un
p l a n z = z 1 s u r l a s y m p t o t e i n c i d e n t e e t x 1 = A 2 /f o ;
Q12 = (z1 zFo )(z2 zFi ).
x
x =
Avec
x
et
Nota : lindice i se rapporte au plan image, lindice o au plan objet.
Pour les lentilles magntiques et pour les lentilles lectrostatiques

de type unipotentiel [on dit aussi du type einzel ( 2.2.1)], qui
napportent aucune modification permanente lnergie des lec^
^
trons, i = o et donc fo = fi .
nous pouvons crire :

x2 = Tx1
o T est la matrice dans lquation (16), on lappelle la matrice de
transfert. De telles matrices sont trs largement utilises dans
loptique des acclrateurs.
Dans quelles conditions deux plans zo , zi sont-ils conjugus lun
par rapport lautre ? Dans ce cas, tous les rayons passant par un
point Po dans z = zo se recoupent en un point Pi dans z = zi . Pour
cela, lexpression de xi doit tre indpendante de x o . On voit immdiatement, partir de lquation (16), que les plans sont conjugus
si :
fo + [(zo zFo )(zi zFi )/fi ] = 0
ou
(zo zFo )(zi zFi ) = fi fo (quation de Newton)
On peut galement lcrire :

fi
fo
------------------- + ---------------- = 1
z Po z o z i z Pi
1/2
1/2
i
( o i ) 1/4
o
---------------------+ ---------------- = ------------------------z Po z Fo z i z Pi
( f o f i ) 1/2
^
ou
^ ^
Pour un objectif, il faut tenir compte du fait que lchantillon (ou

la cible) est souvent immerg dans le champ. Une position trs avantageuse se trouve au maximum de la rpartition axiale B (z ) : seule
la partie en aval de lobjet participe la formation de limage tandis
que la partie en amont doit tre considre comme une dernire
lentille condenseur.
Dans des conditions normales, un objectif fonctionne fort grandissement et limage est donc forme loin de la lentille. Un ensemble
de rayons qui quitte la lentille paralllement laxe aura coup
celui-ci en un point F o , foyer objet (figure 7). Tout autre ensemble
de rayons quittant la lentille paralllement eux-mmes (mais pas
laxe) se recoupe dans le plan du foyer F o .
Figure 6 lments cardinaux asymptotiques
E 1 300 7
Figure 7 Foyer, plan principal et longueur focale rels dun objectif
est dfini par lintersection de

Le plan principal objet z = z Po
lasymptote mergente G ( z ) et de la tangente G ( z ) au foyer F o
(figure 7).
La longueur focale f o est donne par :
f o = z Po
z Fo
= 1/ G ( z Fo
)
En ralit, le grandissement nest pas infini : lobjet est situ prs
une distance de celui-ci (figure 8). La figure 8a
du plan z = z Fo
montre que le grandissement M peut scrire :
M = o / i = Z i / ( f o + )
Z i /f o
avec
uo = xo + iyo , ua = xa + iya , r = x 2 + y 2 et u* = x iy
En pratique, seules laberration sphrique et la distorsion sont

importantes, la premire pour les objectifs et la deuxime pour les
lentilles de projection (projecteurs). Examinons chacune avec plus
de dtail.
alors que la figure 8b montre que :

M = x i /x o
Figure 8 Formation de limage par un objectif

grandissement lev mais fini
f o /
On retrouve lquation de Newton :
Aberration sphrique : il est commode de remplacer les coordonnes xa , ya par le gradient x o , y o dans le plan objet. On montre
que [relation (17)] :
Z i = f o 2
ce qui justifie le choix de dfinition de longueur focale.
y i = Cy a ( x a + y a ) = C s y o ( x o2 + y o2 )
1.5 Aberrations
Lors de la drivation de lquation des rayons paraxiaux, seuls les
termes de bas ordre en x, y ont t retenus. Cette restriction permet
de calculer les proprits paraxiales dune lentille mais ne donne
aucune indication sur les carts dus aux termes dordre suprieur.
Pour calculer ces carts, il convient de retenir les termes de troisime
ordre (dans un systme axe rectiligne, il ny a pas de termes dordre
pair). Les quations paraxiales (homognes) sont remplaces par
des quations htrognes dont le premier membre revt la mme
forme que les quations paraxiales alors que le deuxime membre
caractrise les aberrations gomtriques. De plus, nous avons suppos implicitement que le faisceau dlectrons est mononergtique
et monochromatique. En effet, on sefforce de limiter la gamme
dnergie dans le faisceau autant que possible mais une certaine
variation persiste toujours. Il en rsulte une aberration chromatique.
Nous ne pouvons exposer la thorie des aberrations ici ; des traitements dtaills se trouvent dans les ouvrages [1] [2] [3] [4] [5] [6].
Les aberrations gomtriques des lentilles symtrie de rvolution forment cinq groupes. Dans un plan image z = zi , conjugu du
plan objet z = zo , entre lesquels se trouve un plan douverture z = za ,
lcart entre le point darrive dun rayon paraxial et un rayon avec
aberrations, divis par le grandissement M, scrit [1] [2] [3] [4] [5]
[6] :
2
x i + iy i = Cr a u a
(coma)
2
+ ( A + ia ) u o u *
a (astigmatisme)
2
+ Fr o u a
(courbure de champ)
+ ( D + id ) r o u o (distorsion)
(aberration sphrique)
+ 2 ( K + ik ) r a u o + ( K ik )u a u *
o
E 1 300 8
x i = Cx a ( x a + y a ) = C s x o ( x o2 + y o2 )
(17)
o Cs = C /t 3, C un coefficient daberration et t est le gradient dans

le plan objet dun rayon qui coupe laxe dans ce plan et coupe le
plan de louverture en un point distant de 1 (distance unit) de laxe.
Cest le coefficient Cs qui est nomm coefficient daberration
sphrique ; un calcul dtaill montre que Cs ne change pas de signe
et cette aberration ne peut donc jamais tre limine par un choix
judicieux de la gomtrie et de lexcitation de la lentille. En effet, on
trouve pour une lentille magntique :
Cs =
zi
zo
B
- h
-------------16
4
2 h2 2 B2 2 2
- h h dz (18)
+ ( hB + hB ) 2 ------------^ - + ------------^
8
8
et lon voit que lexpression entre crochets est strictement positive.

Des expressions similaires sont connues pour les lentilles
lectrostatiques et pour les lentilles mixtes. Dans une tude
remarquable, Tretner a pu tablir les limites infrieures de Cs pour
les diffrentes lentilles [13].
Distorsion : dans la discussion sur laberration sphrique, nous
nous adressions lobjectif et donc laberration relle. Leffet de la
distorsion est important dans les projecteurs, et cest laberration
asymptotique quil faut examiner. On comprend facilement la diffrence. Pour lobjectif, seul le champ au-del de lobjet est important
et nous voyons que lintgrale partir de laquelle on calcule Cs a pour
limites zo et zi . Pour un projecteur, ce sont les rayons G ou G
(figure 6a ) qui apparaissent dans lintgrale, dont les limites sont
infinies. Laberration sphrique domine dans lobjectif car les angles
y sont plus levs que dans les autres lentilles dun systme
grandissant ; en effet, nous avons vu ( 1.4) que M = 1/M (quand
fo = fi ) et quau fur et mesure que limage est agrandie, les angles
sont rduits. De plus, laberration sphrique ne disparat pas, mme
pour un point objet situ sur laxe.
Dans la dernire lentille de projection, la distance r devient importante alors que les angles sont extrmement faibles. Au niveau de
lobjet, les angles de diffusion peuvent atteindre 102 rad ; un grandissement de 100 000, cet angle est rduit 0,1 rad. Cest donc la
distorsion qui est importante. Pour les lentilles magntiques, elle a
une composante isotrope et une composante anisotrope, ou en
spirale. La figure 9 montre les effets associs ces composantes.
On dmontre que :
D = (D1 /M ) + D0
o D1 et D0 sont des constantes pour une lentille donne et une
excitation donne. Le coefficient anisotrope est indpendant de M.
D1 =
fo
D0 =
fo
d =
o
m G 4 dz
(cas magntique)
e G 4 dz (cas lectrostatique)
m G 3 G dz + 3/ ( 8f 2 )
e G 3 G dz + 3/ ( 8f i )
a G 2 dz
1 4 4 B 4 5 2 B 2 2 BB
m = -------- ------------------ + ------------------- -----------------^
^
^
48

^
1
2
^
- ( 3 + 5 ) ----------- ( 3 + 4 ) ------------- e = ------------------^3/2
^3/2
^1/2
192 0
2
4
^
- + ( 22 4 + 7 2 + 1 ) ^
---------- 6 ( 5 + 17 ) ----------------^
5/2
7/2
1 B 2 3 B3
a = ------ ^
----------- + ----------------^
16 1/2
3/2
Les lentilles lectroniques souffrent galement daberrations chromatiques. Leurs proprits varient selon lnergie des lectrons
incidents. Cette variation est tellement rapide que lon sefforce dutiliser des faisceaux quasi monochromatiques (variation dnergie
de 1 ou 2 eV pour une tension acclratrice de plus de 100 kV). Les
courants dans les lentilles doivent de mme atteindre une stabilit
dau moins 105.
Laberration chromatique est caractrise par des coefficients :
B 0 0
u i = x i + iy i = [ C c u o + ( C D + iC )u o ] 2 ------------ ----------^
B
0
0
^
C D = f o C 2 /M + f o C 1
2
2 dz
C = --------B
^
4 0
2B 2
2
-------------^ - h dz
4 0
avec
2
C 2 = --------^
4 0
B 2 G 2 dz
2
C 1 = --------^
4
0
B 2 G G dz
Le coefficient Cc daberration chromatique axiale est important

pour lobjectif ; comme Cs , il est strictement positif. Les coefficients
CD et C sont les parties isotrope et anisotrope de laberration chromatique de distorsion, qui affecte les projecteurs. On trouve :
Cc =
Figure 9 Effets de la distorsion
(19)
Notons par ailleurs que e 0 est la variation relativiste de lnergie

des lectrons par rapport la valeur moyenne, B0 la variation du
champ dinduction magntique due aux fluctuations de courant dans
la bobine.
Un dernier groupe daberrations est prsent dans toute lentille.
Nous avons suppos que le systme avait une symtrie particulire
de rvolution autour de laxe dans le cas considr ici, alors quen
ralit cette symtrie nest jamais parfaite. Les ouvertures prsentent
toujours des carts par rapport une circularit exacte et ces dfauts
crent des aberrations dites parasites. Souvent, il en rsulte un faible
astigmatisme que lon corrige laide dun petit dispositif, appel
stigmateur, qui cre un dfaut similaire, mais de signe oppos.
E 1 300 9
2. Composantes de base
2.1 Sources dlectrons
Une source comporte une cathode, ou filament, qui met des lectrons, une anode qui dfinit lnergie de sortie des lectrons et
dautres lectrodes intermdiaires qui servent focaliser ou
contenir le faisceau dlectrons. Lmission est provoque par lapplication dun champ lectrostatique lev la surface de la cathode
(mission de champ) ou par le chauffage de celle-ci (mission
thermoonique). On peut galement exciter lmission par bombardement ionique de la cathode ou par rayonnement laser.
La gomtrie de la source, que lon appelle couramment un canon
lectronique, varie beaucoup selon lutilisation envisage. Dans un
microscope lectronique, par exemple, on cherche une configuration
donnant un faisceau aussi mononergtique que possible provenant
dune zone mettrice trs petite.
Le canon dun microscope a normalement trois lectrodes (canon
triode) : un filament en tungstne, chauff une temprature de
lordre de 2 600 K, une lectrode intermdiaire que lon appelle le
wehnelt, et lanode qui est maintenue la tension acclratrice de
linstrument. En ralit, lanode et toute la colonne du microscope
sont relies la terre et cest au filament que lon applique la haute
tension (ngative). Le wehnelt est maintenu une tension faiblement
ngative par rapport celle du filament, ce qui permet de limiter
la zone mettrice de la cathode (figure 10).
Pour les appareils de haute performance, pour lholographie, pour
le microscope balayage en transmission (STEM : Scanning Transmission Electron Microscope ) et pour certains microscopes
balayage classiques, lmission de champ simpose cause de sa
brillance leve. Nous reviendrons sur la brillance, qui joue en
optique lectronique le rle de la luminance en optique photonique
la fin de ce paragraphe. Un canon mission de champ a trois
lectrodes mais le rle du wehnelt est maintenant de crer un champ
lectrique lev au niveau du filament, trs pointu (figure 11). Le
rayon de courbure de la pointe est de lordre de 0,1 m et le champ
appliqu est de 108 V/cm. La tension du wehnelt est positive par
rapport celle de lmetteur. La troisime lectrode, lanode, acclre
et focalise les lectrons.
Le canon mission de champ a certains inconvnients par
rapport au canon thermoonique. Bien que la brillance soit plus
leve (elle peut atteindre 109 A cm2 sr1), le courant mis est
plus faible (de lordre du microampre). La brillance leve est due
essentiellement aux dimensions rduites de la zone mettrice. De
plus, un vide de lordre de 107 Pa est indispensable pour le bon fonctionnement dun canon mission de champ, alors que 103 Pa est
largement suffisant pour un canon thermoonique en tungstne
(ou 105 Pa avec LaB6).
Dans ces canons, le filament a la forme dune pointe. Dans dautres
applications, notamment quand un courant total plus lev est
ncessaire, la cathode est plate et les lectrodes du canon servent
concentrer le faisceau autour de laxe. On trouve des canons de
ce type dans les tubes lectroniques, pour camras de tlvision par
exemple, et pour les convertisseurs dimages en gnral.
Quand la densit de courant souhaite devient si leve que la
force inter-lectrons dans le faisceau devient trs importante, on
entre dans le domaine des canons de Pierce ou canons pervance
leve ; la pervance est proportionnelle I / 3/2 (I courant,
potentiel relativiste). Nous ne les traiterons pas ici mais ils jouent
un rle trs important dans la physique des plasmas, par exemple,
et le soudage par faisceau lectronique.
Cependant, dans tout canon qui forme un crossover rel, la densit
de courant est localement leve et il semble que la rgion du crossover chappe la rgle que nous nous sommes impose. Cette anomalie locale a pourtant des consquences importantes.
^
E 1 300 10
Figure 10 Canon thermoonique du type triode
Figure 11 Canon mission de champ
En effet, en 1954 Boersch [6] a trouv que la rpartition en nergie

mesure du faisceau dun canon mission thermoonique tait en
dsaccord avec les prvisions thoriques : la rpartition tait plus
large que prvue et devenait symtrique par rapport son maximum.
Plus le courant dans le faisceau tait lev, plus les effets taient
grands. Cet largissement de la rpartition est appel effet Boersch
nergtique. Depuis, on a trouv un largissement spatial des
sondes lectroniques, lorsque le courant est lev, que lon nomme
effet Boersch spatial.
De nombreuses thories ont t labores pour expliquer ces

effets inattendus qui viennent sajouter aux effets dus linter-action
coulombienne moyenne des lectrons du faisceau. En effet, il sagit
dinteractions coulombiennes rsiduelles, difficiles modliser, si
bien quaucune des thories nest compltement satisfaisante.
Pour caractriser un canon, les quantits les plus utiles sont la
densit de courant maximale et la brillance. Des expressions simples
donnent la densit de courant saturation, j.
Pour lmission thermoonique :
4mek 2 T 2
W
- exp --------
j = ------------------------------- kT
h3
avec
k
T (K)
(20)
constante de Boltzmann,
temprature,
W (J) fonction de travail de sortie du mtal metteur,

h
constante de Planck
Cest la formule de Richardson-Dushman.
Pour lmission de champ :
p
j = j F ----------------sin p
avec
(21)
p = kT /d,
d = eF /2 ,
F champ lectrique lmetteur,

longueur donde correspondant W,
jF = (4 med 2 / h 3 ) exp ( bW / d ), expression de FowlerNordheim avec b 0,6,
W nergie analogue la fonction de travail du mtal metteur.
La brillance moyenne dun canon mesure la densit de courant
par lment dangle solide :
I
= ------------------a
La brillance est donc le courant mis I par lment de surface
a normale au faisceau et par lment dangle solide . On
dmontre que la brillance prend une valeur maximale ; pour un
canon thermoonique, on trouve :
ej ^
= ------------
kT
avec j donn par (20). Pour un canon mission de champ,
ej ^
= ---------
d
avec j donn par (21).
100 A cm2 sr1 pour lmission
104 A cm2 sr1) et pour lmission de champ,
Nota : pour des valeurs ralistes des paramtres,

thermoonique (pour LaB6 on a
9
peut atteindre 10 A cm
sr
dans les meilleures conditions.
Pour conclure cette discussion sur les sources et les paramtres

qui permettent de les caractriser, nous devons mentionner la notion
dmittance, trs largement employe pour dcrire le faisceau dans
les acclrateurs. En effet, la source effective peut tre grande et
lmittance caractrise la rpartition de positions et directions de
mouvement des particules dans le faisceau. Nous renvoyons aux
textes de Lejeune et Aubert [14] et de Lauer [15] ainsi quaux traits
sur loptique des acclrateurs [16] [17].
2.2 Lentilles symtrie de rvolution

2.2.1 Lentilles lectrostatiques
On distingue :
les lentilles qui ont un effet global acclrateur (ou retardateur) ;
les lentilles dites unipotentielles ou einzel qui laissent lnergie
des lectrons inchange.
Dans la premire catgorie se placent : les lentilles une lectrode
perce dun trou circulaire sparant deux espaces dans lesquels
rgnent des champs lectriques diffrents ; les lentilles deux
cylindres ou deux plaques qui sont maintenus des tensions
diffrentes ; les lentilles formes de plusieurs anneaux ou cylindres,
maintenus des tensions croissantes pour lacclration des lectrons des nergies de lordre du mgalectronvolt et au-del. Pour
tous ces cas, des modles du potentiel sont connus mais aujourdhui
il est tellement facile de calculer les proprits dun systme
quelconque avec rapidit et prcision quil est usuel de recalculer
chaque configuration prometteuse.
Dans la seconde catgorie, les lentilles dites einzel ont en gnral
trois lectrodes, les exceptions sont rares ; la premire et la dernire
lectrodes sont au mme potentiel que lanode alors que llectrode
centrale est maintenue une tension diffrente. Cette dernire peut
tre plus leve, ou moins leve, que celle des deux autres. Dans
le cas o llectrode centrale a un effet retardateur sur les lectrons,
le potentiel ne doit pas tre trop bas car, au-del de la valeur
correspondant au potentiel du filament, les lectrons sont rflchis :
la lentille devient un miroir.
Pour avoir plus de dtails sur ces lentilles ainsi que les abaques
reprsentant leurs proprits, le lecteur pourra consulter [18] [19]
[20].
2.2.2 Lentilles magntiques

La lentille magntique typique comporte une bobine entoure dun
circuit magntique perc dun trou central autour de laxe optique.
Un troit entrefer spare les ples nord et sud de llectroaimant
(figure A). Si les diamtres douverture D1 et D 2 sont gaux et le
champ sur laxe B (z ) symtrique, on dit que la lentille est symtrique.
Dans certains cas, les proprits des supraconducteurs sont exploites dans la construction des lentilles et nous reviendrons (figure 14)
sur la cryolentille de Dietrich. Il existe aussi des lentilles avec deux
entrefers, notamment les lentilles aimantation permanente, ainsi
que des lentilles trs plates, dites monopolaires.
Lquation paraxiale pour une lentille purement magntique
scrit :
d2 x 2 B 2
-x = 0
----------2- + ------------^
4
dz
ce qui suggre que la quantit B/ 1/2 caractrise la lentille. Cette
^
quantit a la dimension [L] 1 si bien que BL / 1/2 sera sans
dimension ; L est une longueur associe la lentille, lentrefer par
exemple. Cette observation permet dtablir le comportement de f,
^
Cs et Cc ( 1.5) lors dun changement dchelle : si BL / 1/2 reste
inchang, f /L, Cs /L et Cc /L resteront invariants.
Lapplication du thorme dAmpre aux circuits , et de
la figure 12 permet de relier le nombre dampres-tours J dans la
bobine au champ B (z ) : B = B0 f (z ), B0 tant la valeur maximale de
B (z ) :
^
B ( z ) dz = B 0
f ( z ) dz = 0 J
E 1 300 11
Figure 12 Circuits utiliss pour lapplication du thorme dAmpre
En introduisant le facteur de forme :

A = L 1
nous trouvons
En revanche, ces lentilles sont utilises couramment comme

lment focalisant dans les acclrateurs de particules. Elles
prsentent le grand intrt dexercer une force focalisante directe,
alors que la force correspondante dans une lentille magntique
symtrie de rvolution est indirecte car elle provient du couplage
entre le champ longitudinal et la rotation azimutale du faisceau.
Lnergie ncessaire avec un systme compos de quadruples est
donc moins importante et ces lentilles sont appeles lentilles focalisation forte [28] [29].
2.4 Systmes de dflexion
f ( z ) dz
0 J
B 0 = --------;
AL
B 0 L 0 J
------------- = -------------^
^ 1/2
A 1/2
Le facteur de forme A est caractristique dune lentille donne

pourvu que le circuit ne se sature nulle part. Mais, des excitations
trs leves, les pices polaires se saturent, la rpartition f (z )
slargit et A varie. Les valeurs de A se situent entre 2 et 2,5.
Les proprits des lentilles magntiques ont t tudies de
manire exhaustive et une vaste littrature leur est consacre, aussi
bien dans les rgimes o la saturation est importante que dans les
cas o elle est ngligeable. On peut consulter [21] [27] pour beaucoup dautres dtails et, en particulier, pour des abaques reprsentant les lments cardinaux et les coefficients daberration en
fonction de la gomtrie et de lexcitation. Pour donner une ide de
la variation de tous ces paramtres, nous reproduisons les abaques
calculs par Lenz [27], qui reprsentent les proprits des lentilles
magntiques symtriques en labsence de saturation du circuit
magntique (figure 13).
Pour conclure, nous attirons lattention sur la cryolentille
(figure 14) dans laquelle le champ est comprim par un cran supraconducteur, lintrieur duquel le champ ne peut pntrer cause
de leffet Meissner.
2.3 Lentilles quadrupolaires

Les lentilles symtrie de rvolution ne sont pas les seules possder un axe rectiligne. Les lentilles quadrupolaires ont deux plans
de symtrie, (x, z ) et (y, z ), et on dmontre facilement que les quations des rayons paraxiaux (10) revtent la forme suivante :
2 p 2 + 4 Q 2 1/2
d ^
-------- ( 1/2x ) + -------------------------------------------------------------x = 0
^1/2
dz
4
Bobines ou plaques dflectrices sont prsentes dans tout appareil

balayage (tubes cathodiques, tlviseurs, microscopes balayage),
ainsi que dans tout autre dispositif ncessitant un alignement lectrique. Un calcul facile fournit lquation paraxiale, qui revt une
forme simple en coordonnes complexes :
w (z ) = A1w* + A2w + A3w + D
avec
w = x + iy
^
1 QE
- + i 1/2 Q M
A 1 = ----- ------2 ^
1 1 ^ 1/2
- + ----- i
B
A 2 = ----- -----4 ^
2
1
^
- + i 1/2 B
A 3 = ----- ----2 ^
^
1 FT
- i 1/2 B T
D = ----- -----2 ^
et
F T = F1 + iF2 , B T = B1 + iB2 , Q E = p2 + iq 2 , Q M = P2 + iQ2
Les fonctions F1 , ..., Q2 sont celles qui figurent dans les dveloppements de et de A ( 1.2). En ralit, une lentille lectrostatique
symtrie de rvolution ne se trouve jamais proche dun dflecteur
et une lentille magntique noccupe la mme rgion que dans des
situations trs spcialises ; nous y reviendrons la fin de ce paragraphe. Le terme A1 peut tre nglig car il est lorigine dun astigmatisme que lon sefforcera dliminer.
Lquation (22) se rduit donc :
^
^
1
w ( z ) = D = ----- ( F T / ) i 1 /2 B T
2
Avec les conditions initiales w (z0) = w0 et w ( z 0 ) = w 0 , la solution scrit :

w ( z ) = w 0 + ( z z 0 ) w 0 + w d ( z )
+ 2 p 2 4 Q 2 1/2
d ^
-y = 0
-------- ( 1/2y ) + ------------------------------------------------------------^
dz
4 1/2
^
Seules les fonctions (z ), p 2 (z ) et Q 2 (z ) [(7) et (8)] persistent

quand les ples et les lectrodes sont disposs comme dans la
figure 1. Pour dautres configurations, les quations sont couples
et ne peuvent tre spares. La focalisation est diffrente dans les
deux plans et en gnral les lectrons convergent vers laxe dans
un plan et sen loignent dans lautre. Des lments cardinaux sont
dfinis pour chaque plan. Une lentille quadrupolaire crera donc une
image linaire, une focale, partir dun point objet (figure 15).
Les lentilles quadrupolaires sont utilises dans plusieurs
domaines. En microscopie, on a essay de les employer dans la
conception des correcteurs daberration sphrique, sans beaucoup
de succs. En thorie, de tels correcteurs seraient efficaces mais, en
ralit, les problmes de construction, de prcision et dalignement
sont normes et ont entrav leur usage.
E 1 300 12
(22)
wd ( z ) =
(23)
z0
( z z ) D ( z ) dz
On sintresse surtout lexpression de wd (z ) loin du dflecteur

et on trouve :
wd ( z ) z
D ( z ) dz
zD ( z ) dz
Cette ligne est donc lasymptote du rayon dvi mais en gnral

elle ne coupe pas laxe. Si on revient aux coordonnes relles, on
a:
x d ( z ) = x d ( ) ( z z 1 ), y d ( z ) = y d ( ) ( z z 2 )
o
x d ( ) =
D x ( z ) dz
y d ( ) =
D y ( z )dz
Figure 13 Reprsentation unifie des proprits des lentilles magntiques symtriques sans saturation. (Les coefficients A... k... sont dfinis par
lquation (17).)
E 1 300 13
Figure 15 Formation des focales dans une lentille quadrupolaire
Figure 16 Points pivots z1 et z2 dun dflecteur

Figure 14 Cryolentille
avec
Dx et Dy composantes de D,

et
z1 =
z2 =
zD x ( z ) dz
Les champs de dflexion sont crs laide de tensions U1 et U2

appliques aux plaques (cas lectrostatique) ou de courants I1 et I2
dans les bobines (cas magntique). En gnral :
Dx ( z ) dz
Dy ( z ) dz
zD y ( z ) dz
Ce sont les points pivots (figure 16). En revenant lquation (23),

on voit que la dflexion est parfaite : un point dans un plan image
est dplac latralement sans tre rendu flou, au moins cette
approximation.
E 1 300 14
Fj (z ) = Uj aj (z ), Bj (z ) = 0 Ij bj (z ), j = 1, 2
o aj et bj sont des fonctions ayant la dimension [L] 1 qui caractrisent la forme de la rpartition. On a :
0 b2 ( z )
1 a1 ( z )
- I2
D x = ----- ---------------U 1 + --------------------------^
^
2
1/2
0 b1 ( z )
1 a2 ( z )
- I1
U 2 --------------------------D y = ----- ---------------^
^
2
1/2
Mais il est rare que cette relation complique soit utilise. Pour
un systme de dflexion purement lectrique, on trouve :
zj =
za j ( z ) dz
aj ( z ) dz
j = 1, 2
et la dflexion dans un plan image scrit :

E
xi = d 1 U1 ,
E
yi = d 2 U2
E
On appelle les facteurs d 1, d 2 , les sensitivits :

1 zi zj
E
d j = ----- --------------^ 2
a j ( z ) dz
j = 1, 2
Dans le cas o d 1 = d 2 , on parle de dflexion isotrope. Un raisonnement similaire est utilis pour le cas de la dflexion magntique.
Ces dernires annes, les exigences de la microlithographie, voire
de la nanolithographie, sont devenues tellement astreignantes que
de grands efforts sont consacrs la lithographie lectronique. Il
savre avantageux de regrouper le champ focalisateur symtrie
de rvolution et le champ dflecteur dans la mme rgion. Dans les
dveloppements de et de A ( 1.2), les fonctions F1 , F2 , B1 et B2
peuvent tre toutes prsentes, ainsi que B (z ), (z ) et les fonctions
quadrupolaires. Selon la symtrie adopte, certaines de ces fonctions disparaissent. La figure 17 montre laspect gnral dune
lentille immersion axe variable (VAIL : Variable-Axis Immersion
Lens ) ou encore Moving-Objective Lens (MOL). Malgr la complexit
de la thorie et de la construction de ces lments optiques hybrides,
des tudes trs compltes de leurs proprits sont ralises.
La thorie des aberrations gomtriques et chromatiques des
systmes dflecteurs a t tudie en profondeur. Des expressions
pour les nombreux coefficients sont disponibles sous forme
dintgrales, aussi bien dans le cas dun dflecteur spar de toute
lentille que dans le cas beaucoup plus compliqu o les champs
des lentilles et ceux des dflecteurs se chevauchent.
Figure 17 Lentille immersion axe variable (VAIL)
Figure 18 Prismes avec lectrodes (a)

ou pices polaires (b) torodales
2.5 Prismes
Jusqualors, nous navons considr que les systmes axe
rectiligne. Pour analyser la rpartition dnergie dans un faisceau,
un lment dispersif est ncessaire. En optique lectronique, un
prisme magntique ou lectrostatique remplace le prisme en verre
qui sert pour la dispersion de la lumire (figure 18). Le prisme
magntique est un aimant en forme de secteur, lintrieur duquel
laxe correspondant lnergie moyenne du faisceau est circulaire.
Pour une configuration simple, le champ sur laxe B0 , le rayon du
cercle R et la charge Q satisfont la relation :
B 0 = mv0 /(RQ )
(pour un faisceau dlectrons, Q = e et v0 reprsente la vitesse
correspondant lnergie moyenne).
Tout comme la lentille quadrupolaire ( 2.3), leffet du prisme sur
les particules charges est diffrent dans le plan radial et dans le
plan mridien. Des lments cardinaux sont dfinis dans le plan
radial, et la dispersion est caractrise dans ce plan laide de coefficients de dispersion linaire et angulaire.
Examinons, titre dexemple, le cas magntique pour lequel on a :
Bx yn B0 [ 1 + x (1 + n)]
By = B0 (1 + x ) n B0 (1 n x )
Le cas n = 0 correspond un champ magntique homogne.

Pour les quations paraxiales, nous avons :
x + 2 ( 1 n ) x =
y + 2 ny = 0
(24)
o mesure la diffrence entre le mouvement cintique (g ) de la

particule considre et celui (g 0) dune particule sur laxe circulaire :
g = g0 (1 + ).
Les quations homognes correspondant (24) sont appeles les
quations de Kerst-Serber. Elles montrent quune solution oscillatoire nest obtenue que lorsque 0 < n < 1 et que les frquences
doscillation en x et y sont gales pour n = 1/2. Ce rsultat est trs
important pour loptique des acclrateurs circulaires, o les particules circulent plusieurs fois.
Un calcul sans difficult donne les conditions de focalisation et
permet dtablir les matrices de transfert dun prisme. Les aberrations des prismes magntiques et lectrostatiques sont connues. Il
est noter que certaines aberrations des systmes plusieurs
prismes peuvent tre limines en choisissant une symtrie bien
adapte. titre dexemple, la figure 19 montre un filtre dnergie
sans aberrations du deuxime ordre [30]. Pour des tudes spcialises et trs claires, se reporter [31] ou [32].
en adoptant un modle simple pour By , tant un paramtre qui

caractrise la forme du champ [7].
E 1 300 15
Sans entrer dans les dtails, nous mentionnons galement que

lquation diffrentielle pour lcart entre les trajectoires avec et sans
aberrations est connue, ce qui permet de calculer les aberrations
directement par la mthode de prdiction-correction [33] [34].
4. Optique ondulatoire
4.1 Introduction
Figure 19 Filtre dnergie dbarrass daberrations

du deuxime ordre
3. Calcul des systmes

Le calcul dun lment optique (lentille, lentille quadrupolaire,
prisme, canon) comporte deux tapes (le calcul du champ et le calcul
des trajectoires) qui permettent dtablir les lments cardinaux et
les coefficients daberration.
Nous avons dj mentionn ( 1.2) les principales mthodes
utilises pour tablir la rpartition de champ ou de potentiel. Ici, nous
rappelons les mthodes employes pour rsoudre les quations des
trajectoires.
Les quations qui caractrisent les trajectoires peuvent toujours
tre transformes pour revtir la forme :
y i ( x ) = f i [ x, y 1 ( x ), , y N ( x ) ],
i = 1 , , N
De tels ensembles dquations sont rsolus par diverses

mthodes en analyse numrique. La mthode de Numerov (encore
appele de Fox et Goodwin) permet de rsoudre lquation
y (x ) + f (x ) y (x ) = g (x ) directement, sans transformation dans la
forme ci-dessus. La formule de discrtisation est :
( 1 + af n 1 ) y n 1 ( 2 10af n ) y n + ( 1 + af n + 1 ) y n + 1
= a ( g n 1 + 10g n + g n + 1 ) + O ( h 6 )
o a = h 2/12 et h reprsente le pas en x.
Lalgorithme qui en rsulte est trs simple et peut tre exploit
sur un petit ordinateur mais il a linconvnient dun pas h constant
et, dautre part, y nest pas fourni sans calcul supplmentaire. Si
lon dispose dun ordinateur puissant, les mthodes de Runge-Kutta
(cf. article quations diffrentielles [A 652] du trait Sciences fondamentales) et de prdiction-correction sont de loin suprieures. Ces
mthodes sont prsentes en dtail dans les ouvrages modernes
traitant de lanalyse numrique et brivement dans [6].
Une fois les champs et les trajectoires connus, les lments
cardinaux sont calculs en choisissant les trajectoires particulires
G (z ) et G ( z ) . Les aberrations sont dtermines soit partir
dexpressions intgrales telles que celles donnes dans le paragraphe 1.5 pour Cs et D, soit partir de la solution de lquation
de Newton-Lorentz. Pour comprendre ce deuxime choix, nous
rappelons que les aberrations sont en gnral de petits dfauts qui
viennent perturber les proprits linaires. Si la solution de lquation des trajectoires est connue avec une trs haute prcision, on
peut en dduire directement aussi bien les proprits linaires que
les termes non linaires. Cette prcision peut tre atteinte
aujourdhui et, bien que le calcul soit long et relativement lourd, cest
la meilleure faon danalyser un systme complexe.
E 1 300 16
Loptique gomtrique suffit pour comprendre en dtail la focalisation et la dflexion des lectrons. En pratique, les faisceaux dlectrons sont souvent employs pour former une image (microscopes
lectroniques) ou pour crire avec un spot aussi petit que possible.
Dans de tels cas, les effets dus la longueur donde des lectrons,
introduite par Louis de Broglie, ne sont plus ngligeables. Ici, nous
prsentons quelques aspects importants de loptique ondulatoire,
branche de loptique lectronique qui tudie ces effets.
Le point de dpart est lquation de Schrdinger pour un lectron
dans un champ lectromagntique statique. Celle-ci est obtenue par
lintroduction des oprateurs :
p i, grad = i,,
E = i, /t
1034
o , = 1,055
J s (constante de Planck rduite),
dans lexpression de lhamiltonienne :
1
H = ------------- [ p + eA ( r ) ] 2 e ( r ) = E = Cte
2m 0
ce qui donne :
( r, t )
1
------------- [ i, + eA ( r ) ] 2 ( r, t ) e ( r ) ( r, t ) = i, ------------------------t
2m 0
On cherche une solution ayant la forme :
(r, t ) = (r ) exp [ it ]
et avec E = , , on trouve :
1
------------- { ( i, + eA ) 2 e } ( r ) = E ( r )
2m 0
En labsence de champ magntique (A = 0), cette quation de
Schrdinger (indpendante du temps) scrit :
2 + k 2 = 0
avec
,k =
2m 0 ( E + e )
En se rappelant que k = 2 /, nous retrouvons lexpression de

Broglie pour la longueur donde dun lectron.
Lquation de Schrdinger permet dtablir toute la thorie de la
diffraction lectronique et de linterfrence. Elle permet galement
de construire la thorie de la formation de limage dans un
microscope lectronique haute rsolution et de prvoir les effets
observs lorsquon travaille proximit de la limite de rsolution
du microscope. Finalement, elle permet de comprendre lholographie lectronique.
Lapproximation paraxiale de lquation de Schrdinger nous
permet de relier la fonction donde dans un plan z quelconque
lexpression de dans un autre plan, que nous appelons le plan
objet :
N
( x, y, z ) = --------------------ih (z )

( x0 , y0 , z0 )
i 2 ( xx 0 + yy 0 ) g 2
2
x exp ------- ----------------------------------- + ----- ( x 0 + y 0 ) dx 0 dy 0

h
h
N = exp [i (h/ h ) (x 2 + y 2 )]
avec
Certains plans z sont particulirement intressants, notamment

le plan z F o g (z F) = 0 : cest le foyer image. Dans ce plan :
N
( x, y, z F ) = --------if

2i
( x 0 , y 0 , z 0 ) exp ----------- ( xx 0 + yy 0 ) dx 0 dy 0
f
et on voit immdiatement que la fonction donde dans z F est proportionnelle la transforme de Fourier bidimensionnelle de la fonction
donde lobjet. Un microscope lectronique peut tre rgl de
manire ce que ce plan soit conjugu du plan image (lcran
fluorescent) ; ceci permet dobserver le diagramme de diffraction de
lchantillon.
4.2 Limite de rsolution

du microscope lectronique
Nota : le lecteur pourra se reporter en [Doc. E 1 300] aux rfrences bibliographiques
[36] [37] [38].
La gnralisation de la loi de propagation permet dy incorporer

les effets de laberration sphrique de lobjectif et de la prsence
dun diaphragme dans le plan focal. Pour caractriser lchantillon,
nous introduisons la notion de transparence :
exp [ 0 (x0 , y0 ) + i0 (x0 , y0 )]
dont la partie relle exprime une absorption (vraie ou virtuelle) et
la partie imaginaire un changement de phase. Par transparence,
nous impliquons que londe mergeant de lobjet est gale au produit
de londe incidente par la transparence. trs haute rsolution, les
chantillons doivent tre trs minces ( 5 10 nm), ce qui nous
permet de supposer que 0 et 0 sont petits par rapport lunit
et donc dcrire :
exp (i0 0) 1 + i0 0
Cest lapproximation de diffusion faible, excellente en ce qui
concerne lamplitude 0, plus douteuse pour ce qui est de la phase
0 , car une vingtaine de nanomtres de carbone correspondent
une diffrence de phase de / 2 pour une tension acclratrice
de 100 kV.
Pour obtenir limage observe, nous valuons le produit *, en
ngligeant tout terme quadratique en 0 et 0 , ce qui nous fournit
le contraste C = ( 1 2 )/ ( 1 + 2 ) . Un calcul assez long [7] mne
:
Lexpression pour C a la forme dune transforme de Fourier, ce
qui amne examiner celle de C, note C . Finalement on obtient :
~ ~
~
C = sin + cos
avec
sin = Im TL
cos = Re TL
4 4
2 2 q 2 C s q
= --------- ------------------- ---------------------
4
2
avec Cs coefficient daberration sphrique.

La distance mesure la lgre dfocalisation de limage.
Considrons la composante correspondant la phase sin ; cette
fonction est trace sur la figure 20, o lon peut voir que, pour la
dfocalisation slectionne, linformation dans limage sur la structure de lobjet est filtre.
Les basses frquences spatiales, qui correspondent des dtails
relativement gros, passent avec peu de modifications mais les frquences plus hautes, correspondant aux structures fines, subissent
des distorsions et des suppressions dues aux oscillations. Aucune
information utilisable natteint limage pour les frquences dans le
voisinage des zros de sin ; au-del de ces valeurs, linformation
est difficile rcuprer. De plus, une tude plus pousse tenant
compte des effets chromatiques et de la taille de la source (petite
mais jamais ponctuelle) montre que la fonction sin est souvent
fortement attnue au-del de la coupure (dans le cas de la
figure 20 ; 4,8 nm1), ce qui empche toute tentative doutrepasser
la limite de rsolution que lon situe vers la coupure. La variation
de la fonction sin est relativement faible dans la premire zone
(de lorigine jusqu la coupure) pour la valeur = (Cs )1/2, dite
dfocalisation de Scherzer. Pour cette valeur de , la coupure se
situe 0,7 (Cs 3)1/4. On constate donc que la rsolution du microscope est caractrise par la valeur de (Cs 3)1/4 et pour des raisons
exposes dans la rfrence [7], on choisit 0,43 (Cs 3)1/4 pour la
limite de rsolution. 100 kV, nous avons 4 pm et pour
Cs = 0,4 mm nous trouvons (Cs 3)1/4 = 0,4 nm.
Lorsquune trs haute rsolution est ncessaire, il est possible,
avec des prcautions extrmes, de travailler au-del de la coupure
mais une interprtation sre de limage ncessite des traitements
sophistiqus laide de lordinateur. Pour ce faire, des liaisons directes microscope-ordinateur existent et des suites de programmes
pour effectuer les traitements sont disponibles. titre dexemple,
la figure 21 montre la configuration employe dans un des laboratoires du CNRS (Centre National de la Recherche Scientifique).
C = Ca + Cp
avec
Ca =
Cp =

~
( q ) Re [ T L ( q ) ] exp ( 2iq u ) dq
( q ) Im [ T L ( q ) ] exp ( 2iq u )dq
~
~
o et sont les transformes de Fourier de et et o TL englobe
les proprits de lobjectif. La quantit q, appele frquence spatiale,
a la dimension [L] 1.
Avec (x a , y a ) les coordonnes de position dans le plan du
diaphragme (plan focal de lobjectif), on a :
q = u a / f,
u a = x a + iy a
Re et Im sont respectivement les parties relle et imaginaire.
Figure 20 Fonction sin pour un microscope

moderne CM 30 Philips fonctionnant 300 kV
E 1 300 17
Figure 21 Systme avanc pour la microscopie lectronique

avec traitement des images par ordinateur
4.3 Holographie lectronique

Nous nous limiterons la prsentation qualitative de lholographie
lectronique. Cette technique fut conue en 1948 par D. Gabor, qui
cherchait contourner le problme de laberration sphrique dont
sont affectes toutes les lentilles lectroniques. Cette aberration
limite la rsolution du microscope si bien que de grands efforts furent
faits pour la corriger. Au lieu dintroduire un lment correcteur dans
le microscope, Gabor proposa deffectuer la correction dans une
deuxime tape optique. lpoque, lexprience choua car les
sources lectroniques et photoniques ncessaires ntaient pas
encore disponibles. Mais avec larrive des sources dlectrons
mission de champ et linvention du laser, lholographie lectronique
devint possible. Le principe est montr sur la figure 22. Le microscope est quip dun biprisme lectronique ; celui-ci a pour effet de
scinder la source relle (le crossover du canon) en deux sources
virtuelles. En aval de lobjet, on a donc une onde objet, qui vhicule
des informations sur la structure de lchantillon, et une onde de
rfrence. Linterfrence entre ces deux ondes cre lhologramme,
qui est enregistr. Dans une deuxime tape, on reconstruit la structure de lobjet, en liminant les effets dus laberration sphrique.
La reconstruction peut en principe tre effectue sur un banc
doptique laide dun laser mais la tendance actuelle consiste
numriser lhologramme et reconstruire lobjet laide de
lordinateur.
Cette technique, trs prometteuse, soulve toutefois quelques
difficults. Le pas dchantillonnage lors de la numrisation doit tre
fin et lhologramme est donc reprsent par un trs grand tableau.
De plus, la correction de laberration sphrique ne peut jamais tre
parfaite et laberration chromatique brouille linformation code
dans lhologramme au-del dun certain niveau, do la ncessit
de travailler avec un faisceau hautement monochromatique ; pour
des informations complmentaires, se reporter [39] et [40] ou
encore [7].
E 1 300 18
Figure 22 Microscope lectronique quip dun biprisme

pour pratiquer lholographie
5. Exemples dapplications
5.1 Vie courante
Dans cette rubrique sont classs non seulement les postes de tlvision et les crans de visualisation des ordinateurs personnels mais
aussi les tubes destins aux appareils de surveillance et les amplificateurs de brillance employs dans le monde mdical. Pour plus
de dtails sur les tlviseurs et sur les crans de visualisation, voir
articles Restitution des images. Notions de base sur les crans
[E 5 660] dans le trait Tlcoms. Ici, nous dcrivons brivement un
dispositif pour la surveillance et un amplificateur de brillance.
De trs nombreux dispositifs enregistrent des signaux infrarouges,
pour la protection contre cambriolages et incendies, par exemple,
ou pour naviguer dans le brouillard.
Parmi les techniques permettant de crer cette image thermique,
lemploi de la camra pyrolectrique est trs efficace. Au cur de
cette camra se trouve un tube de type Pyricon (Thomson Tubes lectroniques), qui ressemble un tube vidicon traditionnel (figure 23).
On voit que le faisceau mis par la cathode est focalis laide dune
lentille lectrostatique quatre lectrodes (g1 , ..., g 4) et dvi par
des bobines externes afin de lire la cible pyrolectrique.
Dans le domaine mdical, de trs nombreux types dimages ont
besoin de conversion et damplification. Dans la plupart des cas, le
signal primaire provient de rayons X, qui tombent sur un scintillateur
dentre ; la lumire ainsi produite est ensuite convertie en photolectrons, ceux-ci sont alors acclrs par un systme doptique lectronique vers lcran phosphorescent de sortie.
Figure 23 Vue schmatique du Pyricon

(daprs doc. Thomson Tubes lectroniques)
5.2 Industrie. Dfense

Les tubes rayons cathodiques (TRC, CRT) et les tubes spcialiss
pour la tlvision haute dfinition (TVHD, HDTV) fournissent de
nombreux exemples dans ces domaines (cf. article Restitution des
images. Notions de base sur les crans [E 5 660] dans le trait
Tlcoms.
Quelle que soit lutilisation envisage, un TRC comporte une
source dlectrons, des lectrodes dacclration ainsi quun
systme lectrostatique ou magntique de focalisation. Un systme
de dviation magntique, ou parfois lectrostatique, permet de
dplacer le faisceau focalis sur lcran final. La figure 24 montre
plusieurs configurations.
Le choix entre la focalisation lectrostatique et la focalisation
magntique se fait selon des critres pratiques : le spot peut tre
rendu plus fin par lutilisation de la concentration magntique mais
celle-ci est encombrante et la consommation dnergie est leve.
Des lments complmentaires sont toujours introduits pour
compenser la diffrence de chemin entre un spot prs du centre de
lcran et un spot prs dun coin, pour corriger lastigmatisme et pour
liminer la distorsion du systme de dflexion.
Les applications de ces tubes sont extrmement diverses. Dans
un tube dflexion magntique, la dviation peut atteindre 110o sans
difficult, ce qui permet une construction trs courte. Cela convient
aux moniteurs, par exemple, et aux indicateurs panoramiques
(radars).
Dans les domaines de lavionique et du militaire, les tubes
dflexion magntique et focalisation lectrostatique ont une
grande importance. Ils sont du type tte-basse, placs sur le tableau
de bord dun avion, voire dun char, ou tte-haute, situs sous le
pare-brise avec un systme optique qui renvoie limage vers le
champ de vue du pilote. Il existe aussi des viseurs-casques, o le
tube est suffisamment lger et compact pour tre install dans le
casque mme du pilote.
Une autre application concerne la projection dimage sur grand
cran (figure 25). Une luminance et une rsolution leves sont
indispensables et, lheure actuelle, il est ncessaire demployer une
focalisation et une dflexion magntiques.
Comme dernier exemple, nous avons choisi de parler dun tube
pour camras de TVHD, le Primicon de Thomson Tubes lectroniques. Une telle camra doit prsenter une rsolution statique et
dynamique maximale, un bon rapport signal/bruit, une distorsion
faible et peu derreur de registration (entre les trois couleurs). Seuls
la rsolution statique et les problmes de distorsion et de registration
concernent loptique lectronique. Dans le tube Primicon (figure 26),
ces objectifs sont atteints grce la dflexion lectrostatique et
Figure 24 Focalisation dans les TRC
un canon dit diode. Ce dernier possde en fait trois lectrodes mais

llectrode intermdiaire est porte une tension positive par rapport
la cathode (tout comme lanode) alors que le wehnelt dun canon
triode est port une tension lgrement ngative (figure 10).
Avec une telle configuration, on arrive un courant de 2 3 A
au maximum, un spot de 8 m de diamtre, un angle de divergence infrieur 2o et une dispersion en nergie de 0,4 eV.
Un domaine trs diffrent o lon cherche exploiter le pouvoir
du faisceau lectronique est la microlithographie. Les besoins de
miniaturisation des circuits intgrs ne peuvent plus tre satisfaits
par un systme optique, limit par la longueur donde de la
lumire employe. Par consquent, on fait appel aux faisceaux
dlectrons pour la microfabrication et, en particulier, pour crire
un motif (circuit) sur une couche de silicium. Les contraintes sont
trs svres : la rsolution des bords de lignes crites doit rester
stable et ne doit pas dpasser 0,2 m (une valeur trs infrieure est
souhaitable) pour une rgion de 10 mm 10 mm ; le systme doit
tre fiable et capable de fournir au moins 20 couches/h. De plus, le
faisceau doit arriver la couche perpendiculairement celle-ci,
avec une prcision de quelques milliradians, sinon, la rugosit de
la couche provoquerait des aberrations importantes. Ces exigences
ont jou un rle de catalyseur pour le dveloppement de nouveaux
systmes doptique lectronique adapts ce problme.
La premire dcouverte fut la lentille axe variable (ou MovingObjective Lens MOL), dans laquelle laxe du faisceau est dplac
dans une direction latrale lors du balayage, ce qui rduit les aberrations qui viennent largir le spot. Chez IBM, cette configuration
a t mise en uvre dans llaboration de la VAIL (Variable-Axis
Immersion Lens ), dj reprsente sur la figure 17.
E 1 300 19
Figure 25 Projection dimage sur grand cran

(daprs doc. Thomson Tubes lectroniques)
Le dveloppement dun lment optique nouveau dans lequel les

fonctions de focalisation et de dflexion sont runies ne rsout
quune partie du problme. galement, le balayage doit tre
repens ; en effet, un balayage en lignes, mode tlvision, est trs
peu efficace ; le temps pass par le balayage du faisceau sur des
zones non exposes est perdu car le faisceau est coup pendant cette
priode. On a donc introduit le balayage vectoriel (Vector Scan
Technique ), qui permet de diriger le faisceau vers les zones
exposer, sans perdre de temps sur les autres zones. Cela nest quune
solution intermdiaire ; il est prfrable de pouvoir contrler la forme
du faisceau, afin dcrire sur des zones plus ou moins grandes et
de formes variables. La figure 27 montre la machine EL 3 dIBM,
conue pour ces tches compliques. Pour plus dinformations, on
consultera [41] et la revue spcialise Microelectronic Engineering.
5.3 Laboratoire recherche

Les instruments les plus sophistiqus dans le domaine de loptique
lectronique sont sans doute les microscopes lectroniques ; ils se
classent en deux grandes familles : les microscopes transmission
et les microscopes balayage.
Le microscope balayage en transmission (STEM : Scanning
Transmission Electron Microscope ) est plus proche des microscopes
transmission que des microscopes balayage classiques. Jusqu
trs rcemment, on considrait que les microscopes transmission
permettaient une haute rsolution (de lordre de 0,2 nm au mieux)
alors que les microscopes balayage natteignaient quune rsolution plus modeste (5 10 nm). Mais la dernire gnration de
microscopes balayage, quips de canon mission de champ,
permet galement datteindre une rsolution de lordre du nanomtre ou mieux dans des conditions adaptes.
E 1 300 20
Figure 26 Primicon (daprs doc. Thomson Tubes lectroniques)
Dans un microscope lectronique, les possibilits de loptique

lectronique sont pousses leur extrme limite. On demande au
canon une brillance trs leve (108 109 A cm2 sr1 pour un
canon mission de champ) et une dispersion dnergie trs troite
( 1 eV). Une trs haute stabilit des alimentations des lentilles
( 106) est galement exige.
La lentille objectif, dont laberration sphrique dtermine la rsolution de linstrument, et dont laberration chromatique associe
la dispersion en nergie du faisceau fixe la limite de linformation
au niveau de limage, doit tre conue avec des coefficients daberration faibles. Trs souvent, on souhaite complter les observations
sur lcran en faisant appel la microscopie analytique, ce qui
ncessite la prsence dun lment dispersif lextrmit de la
colonne du microscope.
Pour diriger le faisceau provenant du canon sur lchantillon de
faon que seule la zone visible sur lcran soit irradie, avec un angle
dattaque convenable, il faut au moins deux condenseurs.
Pour agrandir limage ou le diagramme de diffraction, deux ou
trois projecteurs sont ncessaires. Tous ces lments doivent tre
aligns avec une excellente prcision si lon souhaite atteindre une
performance maximale, cela ncessite la prsence de stigmateurs
( 1.5) et de bobines dalignement.
Figure 27 EL 3 (IBM Corp.)
La complexit est telle quil est devenu courant de grer les circuits de contrle laide dun microprocesseur de faon que toutes
les excitations changent correctement lorsquon modifie le grandissement ou le mode de fonctionnement.
Au moins un constructeur (Hitachi) propose un biprisme pour
pratiquer lholographie en option. La figure 28 montre la suite de
lentilles que lon trouve dans un microscope moderne (la srie CM
de Philips).
Le microscope balayage en transmission (STEM), qui peut tre
considr comme un microscope transmission fonctionnant en
sens inverse, le canon prenant la place de lcran et inversement,
est moins rpandu mais permet dobtenir des informations que le
microscope transmission ne peut donner. Son principe est prsent
sur la figure 29, o lon voit quune petite sonde (quelques diximes
de nanomtre en diamtre) explore lchantillon et, pour chaque
point, un diagramme de diffraction apparat dans le plan de dtection. Dans lappareil de base, ce plan est divis en deux zones, une
zone annulaire et un disque central ; ce dernier est en fait toujours
remplac par un systme dispersif. Les lectrons ayant subi des
collisions lastiques dans lchantillon sont plus dvis en moyenne
que ceux qui ont subi des chocs inlastiques. Le dtecteur annulaire
reoit surtout des lectrons lastiques et le disque central les lectrons non diffuss et les lectrons diffuss avec perte dnergie. Les
images correspondant ces diffrents groupes sont ensuite visualises laide des moniteurs du microscope.
Trs rcemment, des tentatives ont t faites pour enregistrer le
diagramme de diffraction de chaque pixel et pour ne former des
sommes (pondres ventuellement) que dans une tape ultrieure.
Cela permettrait en principe dutiliser toutes les informations
fournies par le STEM mais il faudra travailler avec des signaux trs
faibles.
Figure 28 Coupe dun microscope lectronique (daprs doc. Philips)
Les problmes optiques du microscope balayage proviennent

plus de la dtection des lectrons utiliss pour former une image
que de la focalisation. La colonne du microscope comporte une
source, souvent LaB6 , des condenseurs et un objectif qui cre une
petite sonde sur lchantillon. Des bobines dflectrices dvient le
faisceau sur la surface de celui-ci. La sonde peut exciter plusieurs
signaux : des lectrons secondaires et rtrodiffuss sont mis, un
courant (EBIC : Electron-Beam-Induced Current ) est excit dans les
semi-conducteurs, des rayons X et des photons fluorescents peuvent
tre gnrs. Chacun de ces signaux doit tre dtect mais lespace
autour de lchantillon est limit. Si on veut atteindre une bonne rsolution, la sonde doit tre petite ( 5 nm) et, pour ce faire, lchantillon
doit tre prs de la lentille, voire lintrieur o la place est encore
plus restreinte. Des solutions trs astucieuses ce problme de
manque de place ont t trouves [42]. Nous indiquons quelques
possibilits sur la figure 30.
E 1 300 21
Figure 29 lments optiques dun STEM
Figure 30 Microscope lectronique balayage

(daprs doc. L. Reimer, Scanning Electron Microscopy, Springer Verlag)
E 1 300 22
P
O
U
R
Optique lectronique
par
Peter HAWKES
Directeur de Recherche au Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
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Toute reproduction sans autorisation du Centre franais dexploitation du droit de copie

est strictement interdite. Techniques de lIngnieur, trait lectronique
Doc. E 1 300 1
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Optique lectronique

Principes de loptique lectronique gomtrique ..........................

Calcul des systmes................................................................................

Optique ondulatoire ................................................................................

Exemples dapplications ........................................................................

Pour en savoir plus...........................................................................................

e faisceau dlectrons, ou plus gnralement le faisceau de particules

OPTIQUE LECTRONIQUE ________________________________________________________________________________________________________________

Figure A Lentilles lectroniques : principe

________________________________________________________________________________________________________________ OPTIQUE LECTRONIQUE

Facteur de forme dune lentille

Permittivit, coefficient de correction relativiste

Longueur donde, coefficient

Angle dans un repre cylindrique

La trajectoire de llectron est la solution de lquation de

et c la vitesse de la lumire (3 108 m/s).

Nous avons choisi de faire concider la valeur = 0 avec la

1.2 Potentiels et champs

Celle-ci est un cas particulier de lquation de Poisson,

o (r ) reprsente la rpartition de charges despace et la

En gnral, les quations de Maxwell montrent que :

o j reprsente la densit de courant.

Dans un domaine sans courant, j = 0, et :

Nous allons considrer les trajectoires dlectrons qui restent

e valeur absolue de la charge de llectron,

OPTIQUE LECTRONIQUE ________________________________________________________________________________________________________________

Figure 1 Plans de symtrie de lentilles quadrupolaires

Le cas le plus important correspond la symtrie de rvolution

________________________________________________________________________________________________________________ OPTIQUE LECTRONIQUE

Dans les FDM, on recouvre la zone lintrieur de laquelle on

Linconvnient de cette mthode est que souvent le maillage ne

Figure 2 Discrtisation pour la mthode dlments finis ;

Figure 4 Discrtisation en trois dimensions :

OPTIQUE LECTRONIQUE ________________________________________________________________________________________________________________

Les variables indpendantes dans lquation de Newton-Lorentz

1.4 Lois de loptique paraxiale

De nombreuses lois doptique dcoulent de lquation des rayons

mais h(zi )/h(zo ) est le grandissement angulaire, M , et on voit que :

Les termes imaginaires disparaissent si prend la valeur

Avec u = x + iy, nous obtenons deux quations diffrentielles

On dmontre aisment que le grandissement longitudinal, M ,

________________________________________________________________________________________________________________ OPTIQUE LECTRONIQUE

Examinons tout dabord les lments asymptotiques. Soit G (z ),

la sortie de la lentille, G (z ) tend vers lasymptote

lespace image. Tout rayon parallle G (z ) dans lespace en amont

Il savre que les lentilles lectroniques symtrie de rvolution

on a z Pi z Fi = 1/G i ; cest le plan principal image de la lentille. On

G ( z ) , on dfinit galement les lments cardinaux objets, z Fo et

On crit f o = 1/ G o . La wronskienne nous permet de trouver la

ce qui implique que :

o x 2 reprsente x (z ) dans un plan quelconque z = z 2 sur lasymptote

Nota : lindice i se rapporte au plan image, lindice o au plan objet.

Pour les lentilles magntiques et pour les lentilles lectrostatiques

nous pouvons crire :

(zo zFo )(zi zFi ) = fi fo (quation de Newton)

On peut galement lcrire :

Pour un objectif, il faut tenir compte du fait que lchantillon (ou

OPTIQUE LECTRONIQUE ________________________________________________________________________________________________________________

Figure 7 Foyer, plan principal et longueur focale rels dun objectif

est dfini par lintersection de

En pratique, seules laberration sphrique et la distorsion sont

alors que la figure 8b montre que :

Figure 8 Formation de limage par un objectif