CRYOPOMPAGE

&
CRYOREFRIGERATEURS
A.Ravex
Consultant
alain.ravex@absolut-system.com

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SOMMAIRE
Cryopompage:

Besoins / applications
Principes: condensation et adsorption
Dbit / vitesse de pompage
Structures des cryopompes
Exemples de cryopompes

Cryorfrigrateurs:

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Besoins / applications
Cycles thermodynamiques
Machines de type Gifford Mac Mahon et Tube Puls
Machines Stirling

CRYOPOMPAGE

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CRYOPOMPAGE: Quels besoins/quelles applications?

Pompage propre : liminer le risque de pollution du fait

dune pression partielle rsiduelle dhydrocarbures (lubrifiants)
notamment pour les applications llectronique et au spatial.
Obtention de vitesses de pompage leves: notamment pour
le spatial (chambres de simulation, bancs tests moteurs
propulsion ionique) et process semi-conducteur.
Pompage avec confinement et possibilit de rgnration
de gaz toxiques: notamment pour la fusion nuclaire.

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CRYOPOMPAGE: Principe
Production du vide par condensation et / ou adsorption
des molcules du gaz pomper sur des surfaces refroidies
trs basses tempratures.
Permet dobtenir des vides pousss (<10-2 Pa), propres et avec
de grands dbits volumiques (>1 m3/s).
Tempratures typiques de fonctionnement: liquide bouillant
pression atmosphrique Azote (77K), Hydrogne (20,3K) et
Hlium (4,2K) ou tempratures intermdiaires au moyen de
cryorfrigrateurs.

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CRYOPOMPAGE: Condensation
Vide limite dtermin par la tension de vapeur du gaz considr
la temprature Ts de la cryosurface sur laquelle il se condense.
Ts = 4,2K

Ts = 20K

<10-15 mbar

H2O

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Ts = 77K

N2

<10-15 mbar

1.10-11 mbar

1013 mbar

H2

7.10-7 mbar

1013 mbar

tat gazeux

He

1013 mbar

tat gazeux

CRYOPOMPAGE: Condensation
En ultravide (P<10-6 Pa) lhydrogne et lhlium ne peuvent tre
pomps par condensation et ncessitent la cryosorption.

Courbes de tensions
de vapeur saturante

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CRYOPOMPAGE: Condensation
La condensation seffectuant a une temprature gnralement
infrieure au point triple, le gaz saccumule sous forme de givre.
En pratique on choisit une temprature de condensation donnant
une tension de vapeur infrieure de deux ordres de grandeur la
pression limite dsire.
Pour les cryopompes fonctionnant en continu, des pressions
inferieurs 10-3 Pa pendant moins dune semaine, lpaisseur du
dpt est trs faible. Pour les pressions plus leves (procds
de dpt par exemple), cest la temprature de surface du dpt
qui va dterminer la tension de vapeur. Le gradient thermique
dans le dpt est alors un facteur dterminant du temps
dutilisation de la cryopompe avant rgnration
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CRYOPOMPAGE: Adsorption
Le phnomne dadsorption rsulte des interactions
gaz/surface de type physisorption ou chimisorption.
La quantit de gaz fixe sur la surface peut aller dune fraction
plusieurs monocouches de gaz suivant la nature du couple
gaz/surface, la temprature de la surface et la pression du gaz.
Pour pomper des quantits importantes, on doit utiliser des
matriaux ayant de grandes surfaces spcifiques: charbon actif
(600 1200 m2/g) ou tamis molculaires (500 800 m2/g). Les
capacits saturation peuvent atteindre 100 300 cm3 TPN de
gaz par gramme dadsorbant. En rgle gnrale, la temprature
de ladsorbant doit tre de lordre de la temprature dbullition
normale du gaz que lon veut pomper.
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CRYOPOMPAGE: Adsorption
Ladsorption peut se faire sur des givres (dpts poreux) de gaz
(tels que le CO2 ou lArgon) pr dposs (cryosorption) ou
injects en continu (cryotrapping). Le paramtre dimensionnant
est le ratio des nombres de molcules des deux gaz
(adsorbant/adsorb) considrs.
Les adsorbants doivent tre soigneusement rgnrs par
chauffage, de prfrence sous vide, pour donner leur pleine
capacit dadsorption (pollution par H2O).
Les adsorbants sont de mauvais conducteurs de la chaleur: leur
thermalisation est donc difficile surtout sous vide.

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CRYOPOMPAGE: Adsorbants
Caractristiques physiques de quelques adsorbants :
Matriau

Surface
massique
m3/g

Volume
poreux
cm3/g

Masse
Dimension Temprature
volumique moyenne rgnration
apparente dun pore
( 24-72 h)
3
-10
g/cm
10 m
C

Charbon actif
(noix de coco)

1000
1200

0,7

0,5

5 20

20 200

Granuls cylindres
0,5*1,4 2,4*4,8

Tamis
molculaire
5A
Tamis

800

0,75

0,69

250 420

Granuls sphres
1,6 3,2

510

1,3

0,64

10

380

Granuls sphres
1,6 3,2

Alumine active

320
360

0,40

0,74
0,80

22 et 44

350

Granuls sphres
0,2 1

Silicagel (type R)

750
800

0,45

0,72

22

175

Granuls

molculaire 13X

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Forme usuelle
(dimensions
commerciales)
mm

CRYOPOMPAGE: Isothermes dadsorption

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CRYOPOMPAGE: Dbit / Vitesse de pompage

Le dbit volumtrique des cryopompes aussi appel vitesse
de pompage dpend du rgime dcoulement considr.
En rgime molculaire, cas habituel, la thorie cintique des gaz
sapplique. Le dbit thorique maximum SM (m3.s-1/m2) vaut:
M)1/2
SM = (RT/2
avec: R=8,32 (SI), T: temprature du gaz (K), M: masse molaire du gaz (Kg)

soit pour les principaux gaz 20C (293K):

Gaz

H20

N2 , CO

H2

He

SM (m3.s-

147

118

440

311

1/m2)

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CRYOPOMPAGE: Dbit / Vitesse de pompage

La vitesse de pompage thorique Sth (m3.s-1/m2) de la
cryosurface est dtermine par le coefficient de capture du gaz
au premier choc sur la surface () et le degr de sursaturation
du gaz pomper (PG/PS), avec PS = tension de vapeur du gaz
la temprature TS de la cryosurface:
Sth = . SM (1 (PS/PG) . (TG/TS)1/2)
Le coefficient de capture est en gnral lev (>0,95) en
condensation, par contre il peut tre infrieur 0,5 en adsorption.
Lorsque la cryopompe quitte le rgime molculaire pour entrer
dans les rgimes intermdiaire puis visqueux, la vitesse de
pompage augmente jusqu une valeur limite dpendant de
divers facteurs dont la puissance de rfrigration et le coefficient
dchange sur la cryosurface.
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CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes

En gnral, une cryopompe comprend une cryosurface trs froide
(entre 4K et 20K), protge du rayonnement thermique ambiant
par des crans et un baffle refroidis entre 50K et 80K.
Le baffle a pour fonction de laisser passer le mieux possible les
molcules de gaz (coef. de transmission M) et le moins possible
le rayonnement thermique (coef. de transmission P).
Coefficient Transmission
Molcules, M

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Coefficient Transmission
Photons, P

Baffle Chevron >>>>>>>>

0,20 0,25

10-3

Baffle louver ///////////////

0,40

10-1

CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes

On peut distinguer
cryopompes.

diffrents

types

de

gomtries

de

Les crans et le baffle condensent vapeur deau et autres gaz

condensables 50-80K (solvants, hydrocarbures,..). La surface
plus froide assure le cryopompage des composants de lair et en
gnral comporte une partie adsorbante, protge de la
condensation directe, pour le pompage hydrogne et helium.

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CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes

Exemples de schmas de ralisation de cryopompes refroidies
par fluides cryogniques bouillants:

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CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes

Structure de cryopompe refroidie par cryorfrigrateur:

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CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes

refroidies par cryorfrigrateur: applications semiconducteurs:

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CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes

refroidies par cryorfrigrateur:

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CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes

refroidies par cryorfrigrateur - applications semi-conducteurs
ou chambres de simulation: exemples de performances
standards (vitesse de pompage en l/sec en fonction de la
section de pompage)
Diamtre pompage (inches)
Vitesse pompage (l.s-1/m2)

10

16
400mm

20

Eau

110

4000

9000

17500

31500

Air

370

1500

3000

6000

10000

H2

370

2500

5000

12000

15000

Ar

310

1200

2500

5000

8400

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CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes

Diamtre 1250mmm:
<10-6 mbar
N2:
50.000l/sec
H2:
60.000l/sec
Eau:
150.000l/sec
Argon:
45.000l/sec

refroidies par cryorfrigrateur et circulation LN2 pour chambres

de simulation spatiale.
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PIVOINE: exemple de cryopompe sur mesure

PIVOINE (CNRS/Orleans): moyen dessais moteurs spatiaux
propulsion ionique Xenon
le besoin initial: moteurs 1.3kW, 5.4mg/sec Xe, 2.5 10-5 mbar
la solution initiale: une cryopompe frontale 3 tages:

100K (eau): LN2 bouillant pressuris 2.6kW, 85l/h

40K (Xenon): 3 cryorfrigrateurs Cryomech AL200, 3x75W/40K

20K (air+sorption H2 : 1 cryorfrigrateur Cryomech GB37

lvolution du besoin: moteurs 6kW, 20mg/sec Xe, 2.5 10-5 mbar

lvolution: insertion dune cryopompe annulaire 2 tages

100K (eau): LN2 bouillant pressuris 2kW, 70l/h

40K (Xenon): 6 cryorfrigrateurs Cryomech AL330, 6x125W/40K
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PIVOINE: exemple de cryopompe sur mesure

shma de la cryopompe volution

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PIVOINE: exemple de cryopompe sur mesure

Le caisson dessai et la
cryopompe avant
et aprs modification

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CRYOREFRIGERATEURS

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CRYOREFRIGERATION: Quels besoins?

Les physiciens tudient les proprits thermiques, lectroniques,
magntiques et mcaniques de la matire aux tempratures
cryogniques . Ils ont dcouvert ainsi de nouvelles proprits
fondamentales telles la supraconductivit, la superfluidit de
lhlium, lordre magntique, des effets quantiques, etc..
Ces proprits fondamentales gnrent parfois des applications:
systmes magntiques supraconducteurs pour laboratoires,
acclrateurs de particules, tokamaks, imagerie mdicale (IRM);
dtecteurs divers; applications lectrotechniques.
Le cryopompage est aussi une application ncessitant la mise en
uvre de cryorfrigration.
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CRYOREFRIGERATEURS: Quels besoins?

En laboratoire, la rfrigration est le plus souvent assure dans
des cryostats mettant en uvre des fluides cryogniques (N2, He)
Pour des applications industrielles lutilisation de ces fluides peut
tre problmatique: difficults dapprovisionnement, perturbation
durant les transferts, opration dans toutes les directions ou en
gravit nulle, cot dopration,
Lutilisation de cryorfrigrateurs mcaniques autonomes peut
rsoudre ces problmes.. condition quils soient fiables,
efficaces thermodynamiquement et dun cot dachat et
dentretien acceptables. Ces besoins et objectifs ont conduit au
dveloppement de cryorfrigrateurs commerciaux.
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CRYOREFRIGERATEURS: Quel cycle?

La thermodynamique nous enseigne que pour raliser une
machine frigorifique il faut utiliser un fluide dcrivant un cycle dans
lequel il extrait de la chaleur la source froide pour la rejeter
une source chaude (temprature ambiante) moyennant un apport
dnergie mcanique.
En gnral le fluide de cycle est un gaz qui est comprim
temprature ambiante (apport dnergie et rejet de chaleur) et
dtendu froid (effet frigorifique par dtente) si possible avec
rcupration du travail de dtente (isentropique). Le cycle de
rfrence est le cycle de Carnot.
Aux tempratures cryogniques, le choix du gaz de cycle se limite
lHlium.
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CRYOREFRIGERATEURS: Cycle de CARNOT?

Le cycle de Carnot nest pratiquement pas ralisable..
Max COP = Tf / (Tc-Tf)

1-2-3-4: Carnot (isotherme isentrope)

1-2-3-4: Stirling (isotherme isochore)
1-2-3-4: Ericsson (isotherme
isobare)

il sera ncessaire dintgrer aux machines un rgnrateur.

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CRYOREFRIGERATEURS: Le Rgnrateur
On lui demande des caractristiques contraignantes: chaleur
spcifique volumique>>Hlium, grande surface change avec
faible perte de charge..

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CRYOREFRIGERATEURS: Performances thoriques

et pratiques

Carnot Coefficient Of Performance

COP = TFroide / (TAmbiante- TFroide)

Puissance spcifique (W/W)

Compression Power/Cooling Power

1/COP = (TA- TF) / TF

Valeurs thoriques (pour TA = 300K)

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TF

80K

20K

4K

COP

0.364

0.071

0.0135

W/W

2.75

14.0

74.0
32

CRYOREFRIGERATEURS GIFFORD MAC-MAHON

Atouts
technologie mature (des centaines de milliers dunits en opration pour
le cryopompage dans lindustrie du semi conducteur et pour limagerie
mdicale: fiabilit et besoin en maintenance bien identifis)

la tte froide peut tre spare de lunit

de compression (facilite l intgration)

permettent la liqufaction et/ou recondensation

N2 (jusqu 120 l/jour)

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33

CRYOREFRIGERATEURS GIFFORD MAC-MAHON

Exemple de cryorfrigrateurs GM de puissance intermdiaire

commercialiss par CRYOMECH (US)
Performances typiques 50Hz:
Model

Puissance Tmini Conso. Rdt. p/r

Froide
Electr. Carnot
AL200 160W/80K 25K 5.5kW 8%
AL230 40W/25K 15K
AL300 270W/80K
AL330 60W/25K

25K 7.5kW
10K

AL600 500W/80K 25K

14kW

8.6%

10%

(20% puissance froide supplmentaire 60Hz)

AL600 Cold head

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34

CRYOREFRIGERATEURS GIFFORD MAC-MAHON

Inconvnients
unit de compression avec injection dhuile: ncessit dun systme de
dshuilage (adsorbeur charbon actif: maintenance, risque de pollution)

doigt froid avec piston dplaceur/rgnrateur et vanne rotative de distribution

frottants (maintenance des joints requise, vibration)

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efficacit thermodynamique limite

35

CRYOREFRIGERATEURS A TUBE PULSE (Type GM)

 Le dplaceur mcanique est remplac par un piston gazeux dans un tube pulsations

Pas de maintenance du doigt froid (sauf vanne de distribution)

Faibles vibrations induites

 Mme unit de compression que machines Gifford MacMahon

CRYOMECH PT4xx
De 0,3W 1,5W @ 4.2K

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Sumitomo Heavy Ind.

0,5W @ 4.2K

Tansmit
0,2W @ 4.2K

36

CRYOREFRIGERATEURS A TUBE PULSE (Type GM)

Applications des Tubes Gaz Puls 4K

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Cryostats secs (sans liquide cryognique)

Recondenseurs et liqufacteurs Hlium (quelques l/jour)

37

CRYOREFRIGERATEURS STIRLING

Refrigrateurs

Stirling de forte puissance cryognique commercialiss par

Stirling Cryogenics & Refrigeration Bv. (NL)

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single piston

single stage

1kW/80K

11.5kW

four pistons

single stage

4kW/80K

45kW

single piston

two stages

50W/20K
150W/80K

11,5kW

four piston

two stages

200W/20K
600W/80K

45kW

24% Carnot

38

CRYOREFRIGERATEURS STIRLING

Atouts

technologie prouve

bonne efficacit thermodynamique

systmes intgrs

Inconvnients
piston de compresseur et dtendeur de doigt froid frottant commande
par embiellage lubrifi (risque pollution) ncessitant une maintenance
priodique complexe des joints de piston/dplaceur

systmes intgrs

vibrations

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CRYOREFRIGERATEURS STIRLING

Applications

des machines Stirling: Liqufaction LN2/LOX et rfrigration

en boucle ferme de composants supraconducteurs HTS (Cbles, FCL,
moteurs ou gnratrices,..)

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