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Yves PARMANTIER
Ingenieur de recherche
Animateur du pole Capteurs - Automatismes, universite dOrleans
et
Frederic KRATZ
Professeur des universites
Institut Prisme, ENSIB (Ecole nationale superieure dIngenieurs de Bourges)
Responsable de lequipe projet MCDS (modelisation, commande et diagnostic
des syste`mes)
1.
1.1
1.2
1.3
Definitions........................................................................................
Elements de la chane de mesure ......................................................
Transformation de la grandeur physique ..........................................
Type de capteur ..................................................................................
2.
2.1
2.2
2.3
3
3
4
4
3.
3.1
3.2
3.3
3.4
3.5
3.6
3.7
3.8
5
5
8
10
11
11
11
11
13
R 400 2
Doc. R 401
R 400
3 - 2009
R 400 1
CAPTEURS
1. Definitions
lequel
ils
sont
incorpores
Element sensible
Relation
Force F
Cristal piezoelectrique
Q = KF
& Transformations indirectes. Les variables mecaniques et certaines variables physiques necessitent une transformation prealable
permettant la traduction en grandeur electrique.
Temperature
q
Couple
thermoelectrique
V = f (q)
Le capteur comporte alors deux elements sensibles : par exemple, dans un capteur de force a` jauges de contrainte, nous trouvons
le corps depreuve, ou element primaire, qui relie le phenome`ne a`
un deuxie`me element sensible, le pont de jauges de contrainte, qui
assure la transformation en grandeur electrique. Ces elements
secondaires peuvent etre actifs ou passifs.
Cellule
photovoltaque
V = f (R)
Vitesse dx/dt
Generateur
a` induction
E = f (dF/dt)
= K (dx/dt)
& Transformations directes. Les variables physiques sont en general traduisibles directement en variables electriques : par exemple,
le couple thermoelectrique ou certaines sondes de mesure de pH.
R 400 2
le
sappelle
Symbole
Q charge electrique, V difference de potentiel, E force electromotrice, F flux magnetique, K coefficient de proportionnalite.
CAPTEURS
Transformations possibles
Resistance R :
R = f (p, , s)
p resistivite, longueur, s section
Capacite C :
C = f (S, e, e)
S surface des armatures, e distance
entre armatures, e permittivite
Inductance L :
L = f (, S, m, n)
longueur, S surface dune spire,
n nombre de spires, m permeabilite
Inductance mutuelle :
M = f (L1, L2)
Tension V :
V = f (w, M1, M2)
(M1, M2 etant generalement fonction
dun parame`tre
de circuit magnetique)
w pulsation, M1, M2 inductances
mutuelles
2. Terminologie en metrologie
2.1 Caracteristiques metrologiques
Les liens entre un capteur et la grandeur quil mesure sont definis par ses caracteristiques demploi.
& Etendue de mesure. Valeur absolue de la difference entre les
valeurs extremes pouvant etre prises par la grandeur a` mesurer,
pour lesquelles les indications dun capteur, obtenues a` linterieur
du domaine nominal demploi en une seule mesure, ne doivent
pas etre entachees dune erreur superieure a` lerreur maximale
toleree.
R 400 3
Classe = 100
R 400 4
Domaine de non-destruction
Domaine de non-dtrioration
Grandeur
dinfluence
Temprature (C)
CAPTEURS
Domaine nominal
demploi
tendue de mesure
Grandeur
mesurer
CAPTEURS
3. Principes de detection
utilises dans les capteurs
Le tableau 3 donne, dans les grandes lignes, les differents principes de detecteurs utilises.
3.1.2.2
DR i
S= E
4 i = 1 Ri
x
x
DR i
est la variation relative de resistance de chacune des
Ri
jauges :
ou`
DR = K D
R
avec
K
D
facteur de jauge,
allongement des jauges.
Des elements resistifs places dans les branches du pont permettent des mesures a` mieux que 10-4.
3.1.2.1
Les jauges a` fil ont longtemps ete utilisees dans les mesures
extensometriques en general ; levolution des technologies a vu
disparatre ce type de jauges au profit de produits plus modernes
et plus performants. Toutefois, dans les mesures a` haute temperature ou sous flux de neutrons, les jauges a` fil sont toujours presentes. Elles sont constituees par un fil replie, soutenu par un support
provisoire dassemblage et bloque sur la structure par une projection dalumine (procede Rokide) ou par une colle haute temperature (800 a` 1 200 C).
& Caracteristiques :
precision : 10-3,
temperature : 1 200 C,
prix : eleve.
R 400 5
CAPTEURS
Variation de
resistance
Variation
dinduction
magnetique
Variation de
capacite
Longueur,
epaisseur
Conductivite
Potentiometrique
Extensometrique
Reluctance
variable
Transformateur differentiel
Courants de
Foucault
Variation :
de surface
des electrodes
de distance
de permittivite
Force, poids
Potentiometrique
Extensometrique
Piezoresistif
Magnetostriction
Mutuelle inductance
Pression
Potentiometrique
Extensometrique
Fil chaud
Transformateur differentiel
Mutuelle inductance
Grandeur
mesuree
Variation de
Variation de
Variation de
Variation de caracteristiquantite
flux (rayonfrequence
que de
delectricite
nement)
composant
Variation de Variation du
force electemps de
tromotrice
parcours
ou de podondes
tentiel
ultrasonores
Transparence aux
rayons X, g Sonde
et b
a` effet Hall
Interferometrie
Resonance
mecanique
Reflexion
des ultrasons
Variation :
Variation :
Potentiometrique
Deplacement
Extensometrique
dentrefer
de reluctance
Courants de
Foucault
de surface
des electrodes
de distance
Effet electret
Variation de
distance des
electrodes
Effet electret
Piezo
electricite
Photo
electricite
Corde vibrante
Quartz, ceramique
Piezo
electricite
Quartz, ceramique
Lame vibrante
de distance
des electrodes
de surface
Corde
vibrante
Effet piezoFET
Flux lumineux
Fibre optique
Flux ionique
Pot
magnetique
Codeur
optique
Flux lumineux
Reflexion
des ultrasons
Codeur
optique
Reflexion
des ultrasons
Corde
vibrante
Temps
Quartz
Variation de
distance des
electrodes
Position,
niveau
Potentiometrique
Codeur
Vitesse
lineaire
Fil chaud
(vitesse de
fluides)
Vitesse
angulaire
Potentiome`tre asservi
Charge et
decharge
du condensateur
Temperature
Quartz
oscillant
Conductivite
Mesure
directe
Humidite
Variation
delectrode
R 400 6
Magnetostriction
Flux lumineux
Variation :
Electrodes
scellees en
deux points
Allongement Extensomerelatif
trique
Reluctance
variable
Effet Doppler-Fizeau
Lame vibrante
Flux lumineux
Roue phonique
Flux lumineux
Dynamo
Variation de
permittivite
dielectrique
Couples
thermoelectriques
CAPTEURS
Grandeur
mesuree
Variation de
resistance
Variation
dinduction
magnetique
Optique et
mesure du
dephasage
Reluctance
variable
Variation de
distance des
electrodes
Variation de Variation du
force electemps de
tromotrice
parcours
ou de podondes
tentiel
ultrasonores
Electrode
specifique
Extensometrique
ExtensomeAcceleration, trique
vibrations
Potentiometrique
3.1.2.3
Variation de
Variation de
Variation de
Variation de caracteristiflux (rayonquantite
frequence
que de
nement)
delectricite
composant
Charge et decharge du
condensateur
pH, pK
Couple
Variation de
capacite
Piezo
electricite
Corde
vibrante
Flux lumineux
Effet piezoFET
Pot magnetique
Effet Hall
Jauges diffusees
R 400 7
CAPTEURS
& Caracteristiques :
precision : 10-3,
temperature dutilisation : capteur tre`s sensible a` la temperature (limitee a` 150 C environ).
3.1.3.2 Jauges semiconductrices collees
Ce type de jauges (figure 9) est dit decoupe . Elles sont formees dun brin unique de silicium dope paralle`le a` la diagonale
du cube cristallin pour le silicium type P, perpendiculaire pour le
silicium type N.
Ces jauges etant formees dun brin unique, elles ont une sensibilite transverse pratiquement nulle ; raccordees par bonding, elles
sont ensuite collees sur la structure comme les jauges des autres
types classiques.
R 400 8
CAPTEURS
3.2.4 Magnetostriction
Les proprietes magnetiques de certains corps (fer, cobalt, nickel,
etc.) varient lorsquon soumet ces corps a` une contrainte mecanique (effet Villari). Cest ainsi que, lorsquun barreau en metal
magnetique de longueur sallonge de D sous laction dune
force F, on constate une diminution de linduction B :
C dB = D/
R = R1 + R2 + R3
1
R1 = 1/m /s reluctance du noyeau de fer,
2
R2 reluctance parasite fixe des entrefers non variables,
permeabilite du noyau,
longueur du noyau,
section du noyau,
m0
permeabilite du vide.
avec
K ds/dt = dF/dt
F
K
nombre de spires.
N
et
DL/L = - Dx/1
I0 etant lintensite du courant pour la position dequilibre, on aura
en fonction du deplacement Dx une variation de courant :
DI =
I0
1 + R/Lw2
flux magnetique,
constante.
nombre de spires.
Dx
1
R 400 9
CAPTEURS
La sensibilite dun tel condensateur est beaucoup plus importante que dans le cas dune variation de surface (exemple :
-2
10 mm pour le capteur Fogale).
e0
er
2 p e0 er
ln r 2 /r 1
permittivite du vide,
permittivite relative du dielectrique,
enfoncement du cylindre de rayon r1 dans le
cylindre de rayon r2.
R 400 10
d = 0, le pont est equilibre : Vs = 0. Pour un deplacement d de larmature mobile, la tension de sortie Vs est proportionnelle a` d.
e0
er x + L - x
e
CAPTEURS
lectrode
en Tflon, acier
Espaceur
Couche dair
Face mtallise
de la membrane
Signal
de sortie
Botier
Isolant
lectrique
Plaque fixe
Pression
V
Membrane
pizolectrique
S
r
force appliquee,
longueur de la corde,
section de la corde,
masse volumique.
K
F
3.7.1 Photodetecteurs
& Cellule photoconductrice. La photoconduction resulte dun effet
photoelectrique interne. La lumie`re libe`re dans le materiau semiconducteur des charges electriques provoquant une augmentation
correlative de la conductivite (figure 22).
Le courant photoelectrique Ip secrit :
Ip = V s ph - s o
avec
V
s ph
so
A
L
tension appliquee,
conductivite photo-induite,
conductivite a` lobscurite.
R 400 11
CAPTEURS
Jonction
P
N
E
lectron
Trou
Atome donneur
Atome accepteur
WT
Charge despace
a jonction PN
VN
V (x)
F
VP
b potentiel correspondant
Rayonnement F
I0
charge de lelectron,
tension appliquee,
constante de Boltzmann,
temperature thermodynamique,
Iph
courant du a` leclairement.
R 400 12
Exemple dun capteur : une illustration schematique du transducteur de temperature a` fibres optiques de la serie de produits WLPI
dOpsens (Canada) apparat sur la figure 24. Son principe de fonctionnement repose sur un interferome`tre a` polarisation fait dun cristal dont la birefringence depend fortement de la temperature (brevets
en instance). Un polariseur rectiligne est place sur la face dentree du
cristal birefringent et sa face arrie`re est recouverte dun miroir dielectrique. Cet ensemble forme un interferome`tre a` polarisation a` deux
ondes.
CAPTEURS
Fibre
optique
Polariseur
rectiligne
Diffrence de marche
de linterfromtre
de mesure ds = 2 B ds
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