Le Vide Dans Les Accelerateurs

Le vide dans les
acclrateurs
P. Dolgiviez
dolegieviez@ganil.fr
Ecole des Acclrateurs IN2P3

La Londe Les Maures
11 16 Novembre 2007
sommaire
1.
Gnralits
2.
Elments de thorie
3.
Technologie du vide
4.
Exemples de systmes de vide :

{ le Ganil
{ le projet Spiral 2 : contraintes particulires
P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007
1. Gnralits
Quest ce que le vide ?

Petit Larousse : espace o les particules
matrielles
sont fortement rarfies (P < P atmosphrique)
nv < 2,5 . 1019 molcules/cm3
Technique du vide : technologie mise en uvre pour
obtenir et maintenir des pressions < P
atm.
1. Gnralits
avant daller plus loin
units de pression utilises dans le domaine du vide :
le Pascal (SI)
le mbar (UE)
le Torr (US)
le mmHg ..
(1N/m2)
(=1Torr)
1 Torr = 133,3 Pa
1 Pa = 10-2 mb
1hPa = 1 mb
1. Gnralits
Domaines de pression
Les limites doivent tre considres comme approximatives
de 105 102 Pa : vide industriel ou vide primaire
Pas dinfluence des parois rgime dcoulement turbulent ou
laminaire
de 102 10-1 Pa : vide moyen
Variation de la viscosit et de K rgime laminaire ou
molculaire suivant les dimensions de lenceinte vide
de 10-1 10-5 Pa : vide pouss
Les phnomnes de surface interviennent rgime
dcoulement molculaire
< 10-5 Pa : ultra-vide
Domaine des faibles concentrations molculaire phnomnes
de surface technologie ultra-vide
1/
Le vide : tout autour de nous
1/
Le vide : tout autour de nous

Altitude
(Km)
P (hPa)
1013
Sommet Mont-Blanc
4.8
560
Altitude des jets
15
120
Satellites gostationnaires
35800
2.10-5
Au voisinage du sol lunaire
5.10-7
A laltitude de la lune
384000
5.10-9
Dans notre galaxie
(estim.)
10-15 - 10-17
Espace inter-galactique
(estim.)
10-22 - 10-24
Niveau de la mer
P => exp - h
Pexp ~ 10-12 hPa
1/ Composition de lair atmosphrique sec

Concentration
(%)
Pression partielle
(mbar)
Azote
N2
78
780
Oxygne
O2
21
210
Argon
Ar
0.93
9.3
Gaz carbonique
C02
0.03
0.3
Non
Ne
0.0018
1.8 10-2
Hlium
He
O.OOO5
5 10-3
Krypton
Kr
0.0001
1 10-3
Hydrogne
H2
0.00005
5 10-4
Xnon
Xe
O.000006
6 10-5
= 65%
Pp(H20)=15 mb
PTT = PPP
1/ Le vide : pourquoi faire ?
Domaine dapplication tendu

choix dune technologie adapte

9
1/ Le vide : pourquoi faire ?

dans les acclrateurs de particules :
limiter les interactions du faisceau avec le gaz rsiduel
perte du faisceau par collision avec le gaz rsiduel
z
z
Collisions lastiques
Collisions inlastiques :
{ perte denergie
{ change de charges avec le gaz rsiduel
permettre le fonctionnement de systmes spcifiques

les sources de particules
les systmes HT (cavits acclratrices HF..)
les cryosystmes (cavits HF supra, cryomagntisme, dtecteurs..)
syst. acclrateur
Source
cible / dtection
transport
10
2.1/ Grandeurs fondamentales

P (hPa)
Force par
unit de
surface
Nb volumique
(molc./cm3)
Libre
parcours
moyen
Nb de chocs
(cm- 2. s-1)
Tps de
formation
dune
monocouche
1013
1 kg/cm2
2,5.1019
0,1 m
2,9.1023
3,4.10-9 s
1 g/cm2
2,47.1016
0,1 mm
2,9.1020
3,4.10-6 s
10-3
1 mg/cm2
2,47.1013
10 cm
2,9.1017
3,4.10-3 s
10-6
1 g/cm2
2,47.1010
100 m
2,9.1014
3,4 s
10-9
10 g/m2
2,47.107
100 km
2,9.1011
1 heure
10-12
10-2 g/m2
2,47.104
105 km
2,9.108
40 jours
10-23
10-7 g/km2
2,47.10-7
1016 km
2,9.10-3
1010 ans
11
2.2/ Description macroscopique : loi des gaz parfaits

Hypothses : gaz permanents et vapeurs loignes des
conditions de liqufaction
Loi dAvogadro
M = 29.d
M: masse molaire
d: densit du gaz
(273K / 1 atm.)
des volumes gaux de gaz diffrents (mmes cond. de T et P)

contiennent le mme nb. de molcules
dans les conditions normales (TPN) une mole de gaz occupe 22,4l
contient N molcules
et
avec NA = 6,02. 1023 molcules
Soit aux conditions TPN une densit molculaire

n = NA / V = 2,7 1019 molcules/cm3
Conditions TPN :
T0 = 273,15 K
P0 = 1 atm = 1013,25 hPa
12
2.2/ Description macroscopique : Loi des gaz parfaits

Evolution du nb. de molcules avec la pression et la temprature
Transformation isotherme : PV = cte (loi de Mariotte)
Transformation isobare :
V/T = cte (loi de Gay Lussac)
Transformation isochore : P/T = cte (loi de Charles)
Un gaz vrifiant les trois lois prcdentes serait soumis la loi dtat : PV/T = cte
V=cte
P1,V1,T1
P=cte
P2,V2=V1,T2
P2 = (P1/T1)T2
P3=P2,V3,T3
V3 = (V2/T2)T3
P2 V3 = P1V2 (T3/T1)
P3 V3 = (P1V1)/T1
P V
T3
PV a la dimension dune
nergie (Ep)
R = constante des gaz parfaits = 8,314 J / K. mole

13
2.2/ Description macroscopique : Loi des gaz parfaits

pour n moles
PV=nRT
en introduisant le nb. de molcules N = n NA

P V = N (R/NA) T
cte de Boltzmann
k = 1,381.10-23 J/K
Soit
PV=NkT
ou
(par molcule)
P = nV k T
avec nV densit molculaire
la pression est proport. la densit molculaire
loi
loides
desgaz
gazparfaits
parfaits=>
=>description
descriptionmacroscopique
macroscopique
lalapression
pressionrsulte
rsultede
delensemble
lensembledes
deschocs
chocsdes
desmolcules
molcules
sur
surles
lesparois
parois(1(1Pa
Pa==11N/m
N/m22))
notion
notionde
depressions
pressionspartielles
partielles
diminuer
diminuerlalapression
pressionrevient
revientrduire
rduirelelenombre
nombrede
de
molcules
molculesou
ouleur
leurvitesse
vitesse(T)
(T)
14
2.3/ Description microscopique : thorie cintique des

gaz
base
basesur
surles
leshypothses
hypothses::
gaz
gazconstitu
constitudun
duntrs
trsgrand
grandnombre
nombrede
departicules
particulesde
de
dimensions
dimensionstrs
trsfaibles
faibleset
etindpendantes
indpendantesles
lesunes
unesdes
des
autres
autres
mouvement
mouvementincessant
incessantet
etalatoire
alatoiredes
desmolcules
molculesde
degaz,
gaz,
dont
) dpend de la temprature du
dontlalavitesse
vitesse(E
(Ecintique
cintique) dpend de la temprature du
gaz
gaz
collisions
collisionslastiques
lastiqueset
ettrajectoires
trajectoiresrectilignes
rectilignesentre
entre
deux
deuxchocs
chocs(inter-molculaires
(inter-molculairesou
ouavec
avecles
lesparois)
parois)
15
2.3/
Distribution des vitesses (Maxwell Boltzmann)

Vitesse la plus probable
(maximum de la distribution)
fv
vp =
2 RT
M
Vitesse moyenne arithmtique
vm =
T > T
8 RT
M
Vitesse quadratique moyenne (Ec)
vp
20C, vp ~400 m/s (N2)
vp ~1500 m/s (H2)
5400 km/h
vc =
3 RT
M
Importance de la nature du
gaz dans les calculs
dcoulement aux basses
pressions
16
2.3/
Pression et densit molculaire
La force de pression rsulte des chocs des molcules sur les parois. Si les
molcules et les parois sont la mme T => pas dchange dnergie,
chocs lastiques
Do la force de pression = variation de la qtt de mouvement => 2mv
Soit la pression P = 2mv.G
avec G nb de choc.s-1.m-2
Pour un cube de volume unitaire, toutes les directions de v sont
quiprobables. Le nb de chocs sur une des 6 faces du cube est
G = nv (v/6) avec nv densit molculaire
P = 1/3 . nv . m . v2
do
en prenant la vitesse quadratique moyenne vc
P = nv . K . T
Pour P = 10-11 Pa
technologie XHV ( ~ limite exp.)
293 K , il reste 2500 molcules/cm3

17
2.3/ Chocs sur les parois
Le choc dune particule gazeuse avec une paroi ne suit pas la loi
de la rflexion (boule de billard)
La particule sjourne sur la parois ( avec un temps de sjour s )

puis est r-mise dans une direction avec une probabilit
donne par la loi de Lambert
V0
V = V0 cos
Fondamental pour le calcul des

coulements gazeux trs
basses pressions (lm > d)
coulement gazeux difficile
basses pressions (rgime
molculaire)
18
2.3/ temps de sjour sur la parois
avec
sjour
= 0 exp (E / RT)
E : chaleur dadsorption
t0 : priode doscillation de la molcule adsorbe (~10-13 s 20C)
E dpend de la nature du gaz et de la parois

N2
H2O
H/H2 sur Fe
23
10 25
32
kcal/mole
kcal/mole
kcal/mole
court
physisorption
chimisorption
adsorption
coulement en RM
temps de sjour
long
trs long
phnomnes de surface
pige pour les gaz
19
2.3/ libre parcours moyen

lm =
k .T
1
1
.
=
n.d 2 . . 2 d 2 . . 2 P
Lm
dfinition du vide
pouss
(intraction des molcules de
gaz avec les parois, rgime
dcoulement)
20
2.3/ temps de formation dune monocouche

Cas idal, permet dapprcier la propret dune surface
(en terme de quantit de gaz)
Taux dincidence ou nb de chocs de molcules par unit de temps et de surface :
n = . nV . Vm
(thorie cintique)
1 4 (nvm )
Pour former une monocouche , il faut un temps :

( s nb de molcules par unit de
= s/ n
surface)
pour des molcules alignes :
s = 1 / d ( d diamtre de la molcule)
M
2
.
d 2 n RT
nb. de molcules pour une monocouche

(pour N2 : s = 7.1018 /m2)
pour N2 3OOK
= 2,5s 10-4 Pa
~7h 10-8 Pa
21
2.3/ accomodation
Tgaz
Tparoi
Ti
change dnergie entre le gaz et la

paroi
Tp
TR1
TR2
Tp
TR Ti
=
Tp Ti
Le coefficient daccommodation
dfinit la capacit dune paroi
changer de lnergie avec une
molcule de gaz (modifier sa T).
dans les cryopompes, optimisation du

coefficient (
1) et de la gomtrie des
surfaces froides pour thermaliser le gaz
22
2/3 probabilit de transfert (rgime molculaire)

= L/10
Simulation de la
probabilit de
transfert des
molcules de gaz dans
une structure (rgime
dcoulement
molculaire)
Prise en compte
du coefficient de
collage s
s=0
PT = 0,1
s=1
PT = 2,5 .10-3
stat. 106 particules
23
2.4/ Bilan des flux gazeux

Analyse de la descente en pression
pompage en volume
P(t) = P0 exp -(Seff/V . t)
phnomnes de surface (dgazage) : dsorption
la
fuite !
diffusion
permation
Log/Log
t
24

Analyse de la descente en pression : aspect qualitatif
volution type de la composition du vide rsiduel dun

systme UHV
25

vaporisation
fuite
fuites virtuelles (n
dsorption
statique
induite par le faisceau
directement
indirectement
C )
matriau
diffusion
permation
conception
procd
pompage
26
2.5/ Phnomnes de surface

Prise en charge par le systme de vide dun corps ltat gazeux ou vapeur*
* phase gazeuse dun corps solide ou liquide P et T donnes
P
Diagramme de phases
Utilisation sous vide de

corps non volatils (
basses tension de
vapeur) aux
tempratures
dutilisation
liquide
solide
liqufaction
vaporisation
condensation
sublimation
gazeux
T
27

cryocondensation
1,8
10-3 Pa/200C
idem pour Mg 290C
T (K)
28

leau et le vide
phnomnes
endothermiques
Fuite deau sous vide :

quantit deau importante
micro fuite sur un
circuit de
refroidissement
vaporation en
empruntant de la
chaleur leau
restante => formation
de glaon => bouchage
partiel de la fuite =>
sublimation de la glace
29

La permation
Les corps solides ne sont pas des obstacles aux gaz. Les gaz peuvent
traverser les corps solides suivant un processus complexe :
Adsorption de la molcule sur la parois externe
Dissociation de la molcule
Dissolution dans le rseau
Diffusion
Recombinaison sur la parois interne
Dsorption sous vide
S
q gp = J . f ( P1 P 2)
e
30

Absorption des gaz par
physisorption
largement utilis en technique du vide

pour piger les molcules de gaz rsiduel
Principaux absorbants utiliss :

Zolites
Silica-gel
Charbon actif
Charbon actif : le meilleur absorbant
1000 1700 m2/g porosit qq diz. 10-10 m
utilisation sous forme de batonnets
(diam. 3 mm, L: 4 5 mm)
X
25
sous forme de fibres

(V. Baglin CERN)
X 10
000
V. Anashin et al. Vacuum 75 (2004) 293-299
31

Absorption des gaz par
physisorption : la quantit de
gaz absorb dpend de la
temprature et de la
pression
T = 77 K
basses P
Utilisation disothermes
dabsorbtion
T = 20 K
Q = k P (loi de Henry)
32

Cryosorption de lH2 sur charbon
actif refroidi 20 K (couplage
thermique par collage sur la
source cryognique)
tage 20K sur cryopompe DN
800 (CSS Ganil)
33

Dsorption - dgazage
lastomres
Phnomne limitant lobtention

des basses pressions
qg 1
volution du dgazage sous vide

lastomres et plastiques :
Qg (t = 0) et
qg 1
plastiques
Mtaux : Q g (t = 0)
et
mtaux
qg 1t
34
2.6/ flux gazeux : ordres de grandeur

Taux de dsorption
{
aprs nettoyage et 100h de mise sous vide

z
z
Mtaux (inox)
lastomres
qq. 10-8 Pa.m.s-1 (qq. 10-11 mb.l.s-1.cm-2)

qq.10-4 Pa.m.s-1
+ traitement thermique (tuvage 120C)

z Mtaux (inox)
qq. 10-9 Pa.m.s-1
z lastomres (viton) qq.10-6 Pa.m.s-1
tuvage 300C in-situ
z Mtaux (inox)
qq. 10-11 Pa.m.s-1
35
2.6/ flux gazeux : consquences sur la conception
valuer
(
q
P(t ) =
gu
limiter
(t ).s ) + Q permation + Q process + Qdg .stimul + Q fuite + Q pollution

S eff
efficacit du systme en terme de pompage
choix matriaux (technologie tt mtal), paisseur

choix des matriaux, optimisation des surfaces, nettoyage des surfaces
36
2.7/ Ecoulement des gaz

Dtermination des rgimes dcoulement gazeux
nb. de Reynolds
Re =
Flux gazeux (Pa.m3.s-1)
Turbulent
Re > 2200
Laminaire
Molculaire
4 MQ
d RT
Q = P.qV
Q > 2,6 103 d (air 20C)
Re < 1200
Q < 1,4 103 d

d/lm > 80
d/lm < 3
37
2.7/ coulement des gaz : notion de conductance

En rgime permanent, le nb. de molcules N par unit de temps qui
traverse un plan de canalisation est n
N = C (n1-n2)
Pour un ensemble isotherme :
n2
NkT = C(n1kT n2kT)
n1
N
= C (P1-P2)
En notant que N= n qV
P qV = C (P1-P2)
Q
= C . P (avec C en m3.s-1)
C = 1/Z = Q / P
Combinaison des circuits

en srie
en parallle
1
1
= i
C
Ci
C = i Ci
38
2.7/ coulement des gaz : notion de conductance

exemple de
conductances C : tube
de section circulaire
Rgime laminaire
d 4 P1 + P2
C=
128L 2
ex :
d= 2cm, L=1m
RL : P = 104 Pa => c = 2,2
m3.s-1
P = 102 Pa => c = 2,2 10-2 m3.s-1
RM :
=> c = 9,8 10-4 m3.s-1
P1
d
P2
L
Rgime molculaire
1 2RT d 3
C=
M L
6
En rgime molculaire, pour un gaz
une temprature donne, la
conductance ne dpend que de la
gomtrie de llment de
canalisation
En rgime d coulement molculaire

utiliser des canalisations courtes et de
grands diamtres pour optimiser les
conductances
39
2.7/ coulement des gaz

Conductance et
dbit volume effectif
qv : dbit volume de la pompe
C : conductance de raccordement de
la pompe sur lenceinte
S eff : dbit volume effectif sur
lenceinte
1 1
Seff = +
qv C
C / qv
cher le l.s-1
de pompage !
conductance : facteur limitant

la vitesse de pompage effective
Seff / qv
40

cas particulier des acclrateurs de particules : dgazage rparti
Longues canalisations en vide pouss => prise en compte de la conductance
du tube de faisceau et du dgazage du matriau
P0
Pmax
gu
x x2
P(x) = P0 + q .l.
C 2CL
P0
P =
qgu.l.L
2C
Q
2C
Pour une gomtrie fixe, P ne dpend que du dgazage du tube

rduire le taux de dsorption (traitement de surface, conditions de
propret)
pompage rparti
41

dgazage rparti => une solution : le
pompage rparti
ruban NEG
Cooling and Heating channels
NEG coating
dpt NEG
Electron Beam
LHC vacuum chamber section

42
3/ Technologie : les moyens de pompage

Classification par
principe physique
pompes
Pompes
Pompes transfert
transfert
Pompes
Pompes volumtriques
volumtriques
oscillations
pistons
membranes
rotatives
Pompes
Pompes fixation
fixation
Pompes
Pompes cintiques
cintiques
parois mobiles
fluide moteur
molculaires
diffusion
palettes
spirales
turbomolculaires
becs
cryogniques
ioniques
sublimateurs
NEG
Roots
43
3/ Les moyens de pompage

Caractristiques principales des pompes vide, critres de choix
Le dbit-volume qv = f(P, gaz)
La pression limite
La pression damorage
Le taux de compression
pompes transfert de flux
k = Pref / Pasp = f (P, gaz)
9 Critres spcifiques au process
peu contaminante (technologie sche)
pompage slectif ou non
pas de vibration (paliers magntiques)
critres de maintenance (zone INB)

cot (investissement, maintenance)
9
9
9
9
44
3/ Les moyens de pompage : les pompes transfert

Pompe palettes
Pompe volumtrique rotative
Pl ~10-1 Pa
Non slective
Prsence dhuile (joint dynamique,
lubrifiant ,refroidissement)
Pl limite par Qf et Qdg. Huile (T !!)
-fiable, faible cot

- prsence dhuile
45

Pompe Roots
Pompe volumtrique sans huile
Pl~10-2 Pa
Dbit-volume lev
Pas de film dhuile => K ~ 50
Couplage une pompe primaire
- dbits-volumes levs,
robustes
46

Pompe diffusion dhuile
Jet supersonique de molcules lourdes
collisions avec le gaz
direction privilgie du gaz
vers la zone HP
Pmax ~1 Pa
Pl ~10-5 Pa (Pv huile..)
- robustes, faible cot de maintenance

- risque de pollution
retrodiffusion
incident
47

Pompes turbomolculaires
Pompes cintiques parois mobiles
Pmax ~ 1Pa Pl ->UHV
M de vrotor
K dpend de
Couplage une pompe primaire
vrotor
- pompage propre (magntique)

- pompage transfert de flux
- volution vers des pompes moins
slectives (H2)
48

Couplage des pompes transfert de flux
q g = Px . S x
Dans un circuit en srie, il y a conservation du flux
P1 =
P2 =
Seff 1
qg
S eff 2
49
3/ Les moyens de pompage : les pompes fixation

la pompe sublimation de titane
Principe : un film de Titane sublim est
dpos sur une paroi et capture par
chimisorption les particules gazeuses
(formation dun compos chimique
stable -hydrure, nitrure, oxyde)
Les gaz nobles sont mal pomps
(physisorption ou enterrement)
O 2 + Ti TiO 2
N 2 + 2Ti 2Ti N
CO + Ti TiCO
CO 2 + Ti TiCO 2
H 2 + Ti Ti H 2
H 2 O + 2Ti TiO + H 2 + Ti TiO + Ti H 2
Capacit daspiration dune couche fraiche
qv = 1,15 (T/M)
1/2
. A. s
avec A surface du film actif

et s probabilit dadsorption du gaz
50

la pompe sublimation de titane
Saturation du film avec la pression
renouvellement dun dpt de Ti (flash)

frq = f(P)
~1flash/h@10-8 hPa
pompe sche
dbits volumes importants
simple
trs slective
filament chauff
remonte de pression au flash
Pmax << 10-5 Pa
Pl -> UHV
51

la pompe getter (non vaporable)
- Pompage par adsorption sur un matriau getter
suivi dune diffusion dans le matriau.
- getter sous forme de ruban (alliage 84% Zr 16% Al)
- le getter est activ haute temprature par
effet joule (700C puis 400C)
- les gaz rares et CH4 ne sont pas pomps
- vide propre,
- simple
- intgrable (pompage rparti)
- faible qv saturation
- activation haute T
- trs slective
H2 pour UHV
52

recherche depuis 1995 (CERN) sur :
mthode de dposition du getter dans la chambre vide
rduction T dactivation du dpt (chambres Al extrudes)
qualit mcanique et chimique du dpt
9 couche de Ti-Zr-V ( ~ 1,5 m)

9 dpt par pulvrisation
cathodique magntron
9 T act 200C
53

le dpt NEG
(R. Kersevan ESRF)
qq chiffres (dpt TiZrV 1,5 m 200C-24h) :

qv (l.s-1.cm-2) : 0,5 pour H2 et 4 pour CO
s : 0,01 pour H2 et 0,7 pour CO
capacit CO ~ 1 monocouche (1015 molcules.cm-2)
(R. Kersevan ESRF)
54

le dpt NEG
- vide propre
- pompage rparti
- surface de pompage importante
- rduction du dgazage statique et stimul
- limite les quipements de pompage
Adapt aux faibles

conductances et au
dgazage stimul dans les
synchrotrons
- dbit volume
- saturation
- activation haute T
- trs slective
- dure de vie (30-50 cycles)
Utilisation UHV (synchrotrons , LHC)

55

la pompe ionique
Dcharge entre anode et cathode en Ti sous B
- ionisation du gaz par les lectrons
- pompage ionique par la cathode (absorption par
implantation , gaz rares inclus)
- impact => pulvrisation de Ti
- pompage par chimisorption sur le film de Ti
56

la pompe ionique
Pmax << 10-4 Pa
Pl -> UHV
- vide propre, pas de vibration

- maintenance, mesure de P
- faible qv , pompe lourde
- dure de vie P 1
- effet mmoire
57

le cryopompage
condensation : tat
dquilibre selon Ps = f(Tf)
qv (max) = 1,15
T
.S
M
trou noir pour les molcules ( la

conductance daccs et au coeff de
collage prs)
qV max (c infinie et s~1
119 m3.s-1.m-2 pour N2
148 m3.s-1.m-2 pour H2O
cryosorption sur adsorbants
solides refroidis (physisorption)

cryotrapping
Isothermes dadsorbtion sur CA 20K
58

le cryopompage : sources froides
Les fluides cryogniques
L : chaleur latente de vaporisation

source dnergie cryognique la T .
b
fixe la consommation du systme
H : chaleur sensible (variation denthalpie du gaz
entre Tb. et 300K)
source dnergie cryognique
Fluides
Tb. (K)
(NTP)
Vg/Vl
(NTP/NBP)
L (J/g)
(NBP)
H (J/g)
T b. -> 300K
O2
90,2
857,7
214
193
Ar
87,3
841,4
157
112
N2
77,3
693,2
199
247
Ne
27,2
1439,3
89
280
H2
20,4
847,7
452
3474
He4
4,2
751,6
21
1550
59

les cryognrateurs
Systme en cycle ferm
constitu par
un compresseur hlium
un circuit dhlium
pressuris
une tte froide
(cryognrateurs)
9
9
Refroidissement par dtente dhlium:

couplage mcanique lutilisation
Circulation du gaz en alternance sur un
matriau regnrateur (stockage et
restitution de la chaleur)
60

les cryognrateurs
- Couplage du
cryognrateur au
compresseur par circuit
pressuris
- Utilisation dhlium pur
61

fluides cryogniques (LHe,LN2)
+
-
puissance cryognique, fiabilit

gestion des cryofluides
cryognrateurs : dtente dhlium associe une

circulation sur des regnrateurs
+
-
autonomie
vibrations
puissance limite*
~12W @ 20K
65W @ 80K
qq W @ 4K
62

Cryopompe cryognrateur
2 tages froids
9 80 K
crans T
H20 , CO2
9 15 K
N2 , O2 , Ar , CO
CA sur 20 K
H2
Pmax* ~10-4 hPa
Pl -> UHV
qv lev
regnration, vibrations, qv He
200 mm
4 m3.s-1 (H2O)
1,5 m3.s-1 (N2)
2 m3.s-1 (H2)
5W @ 20K
20W @ 77K
63
3/ La mesure du vide
{
Mesure de la pression totale : les manomtres

z mcaniques
P = F/S (indp. du gaz)
z hydrostatiques
l = f(P)
z thermiques
z viscosit
friction avec le gaz = f(P)
ic P
z ionisation
Mesure des pressions partielles : les analyseurs de gaz
z sparation magntique
z sparation quadripolaire
64
manomtre effet mcanique
P* > 1 hPa
manomtres de Bourdon
membrane
pizorsistif (dpt Si)
capacitif
65
manomtre thermique : la jauge de Pirani
Cest une jauge filament (W, Pt) aliment courant constant. La
diminution des changes thermiques lorsque P diminue se traduit par
une variation de sa rsistance.
gamme : 50 10-3 hPa
la jauge viscosit
Mesure de la dclration dune bille,
maintenue en lvitation magntique, par
friction sur le gaz rsiduel.
gamme : 10-2 10-6 hPa
talon secondaire
66
manomtres ionisation
Ionisation du gaz rsiduel
collecte et mesure du
courant ionique
particules ionisantes (e )
Ic
nv
collecteur
1 Pa - 10-10 Pa
lm > denceinte
pour une gomtrie donne, la sensibilit

dpend de la nature du gaz
s = (Ic / I e-) . 1/P
(10 40 mb-1)
67
manomtre de Penning (cathode froide)

Ionisation du gaz par les lectrons
libres acclrs sous HT
10-2 10-7 hPa
Amlioration :
magntron
10-2 10-10 hPa
68
manomtre de BayardAlpert (cathode chaude)
Ionisation par les lectrons mis

par un filament (cathode) et
acclrs par une grille (anode).
Les ions sont recueillis sur le
collecteur.
10-3 10-10 hPa
extension 10-13 hPa
avec les jauges BA modulateur
69
Sensibilit des
manomtres ionisation
suivant la nature du gaz
Si gaz rsiduel 100% He

Pvraie = P lue x 5
Ncessit de connatre la nature du

gaz rsiduel
Tenir compte du facteur de
sensibilit de la jauge
X5
70
mesure des pressions partielles : les analyseurs de gaz
La connaissance de la composition du gaz rsiduel est indispensable
dans le domaine des basses pressions
9 Identification de lorigine des flux gazeux
9 Utilisation de systmes de pompage slectif
9 talonnage des manomtres ionisation
Principe des analyseurs de gaz
Ionisation des molcules de gaz
Extraction et acclration des ions
Sparation
Dtection
71
les analyseurs de gaz en technique du vide
sparation magntique
sparation quadripolaire
Pmax* 10-4 hPa

Pl -> UHV
Ppmini* ~10-14 hPa
gamme de masses :
0-100
0-200
Dtection de fuite (traceur He)

72
3/ La mesure du vide analyse des pressions partielles

Interprtation des spectres
Pour un mme corps :

- ion simple (mono charg)
- ion multi charg
- dcomposition par craking
analyse dlicate
Pic 100 %
N2 et CO mme 100%
H20 : 18 H2O+/
17 OH+/ 16 O+
/19 H3O+
Ar : 40 Ar+/ 20 Ar 2+
/36-38 Ar+
73
3/ La mesure du vide analyse des pressions

partielles
Pression partielle du composant n
I n+
Pn =
Sn
I n = courant ionique mesur du composant n
Sn = sensibilit de lappareil pour le gaz n
H2O
N2
O2
P18 : 5.10-7 mb
P28 : 5.10-7 mb
P32 : 1,4 10-7 mb
fuite dair
2.10-4 A.mb-1
2.10-4 A.mb-1
1,4.10-4 A.mb-1
PN 2 / PN 2 + PO 2 = 78%
PO 2 / PN 2 + PO 2 = 21%
74
3/ La mesure du vide analyse des pressions partielles

valuation de ltat des surfaces des ensembles sous vide
PT : 1.10-8 mb
dcomposition de molcules lourdes (T ~70 C)
Notion de vide propre : aprs 100h, H2 > 70%, H20 <20%, pas de 19 (F)
de 35 et 37 (Cl) ni 48 (SO)
Pas de pic > m/q : 50
75
3/ La mesure du vide : ltanchit

Niveau dtanchit : spcification essentielle la
conception des systmes de vide
Objectif : quantification et localisation de la fuite
flux de fuite : nombre de particules /s
Units :
d ( P.V )
dn
= ( R. T ).
dt
dt
Pa.m3.s-1
mb.l.s-1
atm.cm3.s-1 (std. cc. s-1)
1 Pa. m3.s-1 = 10 mb.l.s-1 ~ 10 atm.cc.s-1
76

mesure de P=f(t)
volution de la pression
dans une enceinte isole
(pas de pompage)
77

par effets mcaniques
sonore
formation de bulles
Qf > 10-2 Pa.m3.s-1

Qf > 10-5 Pa.m3.s-1
(mise en pression de la pice tester)
par lutilisation de traceur
(changement local de la composition du gaz dans lenceinte

tester, au niveau de la fuite)
modification des proprits du gaz
conductivit thermique :
section efficace dionisation :
dbit-volume conductance
masse:
jauge thermique (Pirani)

jauge ionisation
mesure de P associe C
spectro de masse
78

La dtection de fuite par spectromtre de masse
Utilisation dun gaz traceur pour localiser et quantifier la
valeur du flux de fuite
hlium (5ppm dans lair, gaz inerte)
Contrle global ou par aspersion

qfuite mini ~10-12 Pa.m3.s-1
Contrle par reniflage

qfuite mini >10-8 Pa.m3.s-1
temps de rponse
63%
V
=
S He
79

Les fuites virtuelles
difficiles identifier, localiser,

rduire
Spcifications pour la conception des

ensembles mcaniques sous vide
nb de molcules dans 1 mm3 la Pa ?

2,5. 1016 autant que dans 10 m3 10-7 hPa.. 80

Les fuites virtuelles : identification
PT = 7.10-9 mb
50 h de pompage, vide limite
80% N2, 20% O2, Ar
Pas de dtection au traceur He
Confirmation par aration la Pa avec Ar
81
3/ technologie du vide : conception des systmes

{
phase de conception : importance de la juste dfinition

du besoin pour fixer les spcifications
z niveau et qualit du vide requis
z contraintes denvironnement
z contraintes dexploitation
phase de construction : importance du suivi de ralisation
z suivi des spec pour tous les lments en interface
avec le vide
z nettoyage chimique et critres de propret garantis
jusquaux phases de montage
82
4/ Le systme de vide du Ganil

Faisceaux acclrs :
~ 30 diff. /an
faisceaux stables
Carbone -> Uranium
0,5 95 MeV/u
faisceaux exotics (RA)
10 m
(produits par
fragmentation)
9SISSI (thin targ.)
9Spiral (thick targ.)
A<80
1,7 25 MeV/u
83
4/ Le systme de vide du Ganil

Le systme de vide des cyclotrons
secteurs spars CSS
Caractristiques de la chambre vide

Diam.
9m
Weight
57 t
Volume
46 m3
RF cavity
Stainless steel
Mild iron
Copper
Elastomre seal
Slippering mat.
730 m2
160m2
240 m2
0,5 m2
2,2 m2
84
4/ Le systme de vide du Ganil : les CSS

7 cryopompes (800 mm)
20m3.s-1 (N2)
10 m3.s-1 (H2)
5 m3.s-1 (N2)
1 cryopompe (400 mm)

(monte avec vanne)
4 turbopompes (400mm) 3,5 m3.s-1 (N2)
(montes avec vanne)
Systme de prvidage
2 x 2000 m3.h-1
(systme commun aux 4 cyclotrons)
Cryopompe spcifique (800mm)

Source froide 3x 12W @ 20K
35W @ 77K
Pour optimiser le pompage de l H2 :
ltage 20K est en vue direct de la
chambre
Pl ~ 2.10-8 hPa
85
4/ Le systme de vide du Ganil : les CSS

Joints mtalliques spcifiques
Section : 0.33 cm
Poids : 0.171 kg/m
Matire : A5 recuit
Duret :
23 < Hv20g < 26
86
4/ Le systme de vide du Ganil : les lignes de

transport
-5
10
1- micro channel plate profile detector

2- slit
3- Faraday cup/beam stop
4- secondary emission profile detector
3. -1
Desorption rate (Pa.m s )
tubes de transfert inox 50 100 mm

diagnostics, jeux de fentes, arrt
faisceau ..
dgazage localis : composante
majeure
3
1
-6
10
4
2
-7
10
-8
10
10
10
10
t (h)
Pompage localis
cryopompes cryognrateurs
800 1500 l.s-1 (N2)
groupes turbomolculaires
400 600 l.s-1 (N2)
87
4/ Le systme de vide du Ganil : le cyclotron Cime (Spiral)

Cyclotron compact
Cryopanneaux intgrs pour
obtenir les spcifications :
30 m3.s-1 (N2)
40 m3.s-1 (H2)
cryopanneaux refroidis par des

fluides cryogniques (LN2 , LH2)
les fluides cryogniques sont
produits par des
cryognrateurs
88
4/ Le systme de vide du Ganil : le cyclotron Cime (Spiral)

Systme de
cryopompage du
cyclotron Cime
Designed by IPN- Orsay
2 cryopanneaux (indpendants)
Pour chaque panneaux :
2x36W pour circuit N2 -> 12Kg Cu @ 80K
2x10W pour circuit H2 -> 6.5Kg Cu @ 20K
350g CA @ 20K
89
4/ le projet Spiral 2 : contraintes particulires

pour le systme de vide
Le projet
but : produire par ractions de fission, des faisceaux dions
radioactifs
technique : utiliser un faisceau primaire de forte intensit pour
produire un flux important de neutrons vers une cible fissile
principe
UCx
2000C
C
deuterons
40 MeV
diffusion / effusion
neutrons
1+
n+
Source
90

91

Zone de production : critique en terme de sret

A~ 7.1014 Bq dans la cible dU
avec ~ 65% transmis par les gaz
Le systme de vide doit assurer :
9 la transmission des faisceaux secondaires
9 la barrire de confinement statique
9 une barrire de confinement dynamique
9 le systme de vide doit limiter le transfert des gaz
radioactifs dans les lignes de faisceaux (rduction des

zones fortes contraintes radiologique)
92

tude dun systme spcifique pour limiter le
transfert des gaz radioactifs dans les lignes de
faisceau
Exigences du systme :
haute efficacit de pigeage sur les gaz RA produits
(Ba,Te,.., -> H3)
efficacit pour les 3 mois dopration

fiabilit du systme
maintenance intgrant les contraintes de sret (zone rouge)
pige cryognique en ligne(cryotrap)
93

Bilan des radio lments volatils
(M. Fadil GANIL)

94

Etude du pige cryognique (simulation du transfert
gazeux en rgime molculaire - MOVAK3D)
(M. Fadil GANIL)
95
4/ le projet Spiral 2 : contraintes particulires pour le

systme de vide
2 phnomnes
utiliss pour
piger les gaz RA
Source froide : 2
solutions
ltude
condensation sur les tages 80 20 K

cryosorption sur charbon actif @ 20K
Cryognrateur
coupl
mcaniquement
sur le pige
Cryognrateurs
loigns de la zone
Le pige est refroidi
par 2 circuits He
(10bar 15K et 70K)
z RA
a
g
+
u
a
faisce
96
Quelques rfrences bibliographiques
Vacuum in accelerators CERN 2007- 003

97

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Le vide dans les

Ecole des Acclrateurs IN2P3

Exemples de systmes de vide :

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

Quest ce que le vide ?

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

Le vide : tout autour de nous

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

Le vide : tout autour de nous

Altitude des jets

Au voisinage du sol lunaire

Dans notre galaxie

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

Pexp ~ 10-12 hPa

1/ Composition de lair atmosphrique sec

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

1/ Le vide : pourquoi faire ?

Domaine dapplication tendu

choix dune technologie adapte

1/ Le vide : pourquoi faire ?

permettre le fonctionnement de systmes spcifiques

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

2.1/ Grandeurs fondamentales

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

2.2/ Description macroscopique : loi des gaz parfaits

des volumes gaux de gaz diffrents (mmes cond. de T et P)

avec NA = 6,02. 1023 molcules

Soit aux conditions TPN une densit molculaire

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

2.2/ Description macroscopique : Loi des gaz parfaits

R = constante des gaz parfaits = 8,314 J / K. mole

2.2/ Description macroscopique : Loi des gaz parfaits

en introduisant le nb. de molcules N = n NA

la pression est proport. la densit molculaire

2.3/ Description microscopique : thorie cintique des

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

Distribution des vitesses (Maxwell Boltzmann)

Vitesse moyenne arithmtique

Vitesse quadratique moyenne (Ec)

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

Pression et densit molculaire

en prenant la vitesse quadratique moyenne vc

technologie XHV ( ~ limite exp.)

293 K , il reste 2500 molcules/cm3

2.3/ Chocs sur les parois

La particule sjourne sur la parois ( avec un temps de sjour s )

Fondamental pour le calcul des

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

2.3/ temps de sjour sur la parois

E dpend de la nature du gaz et de la parois

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

2.3/ libre parcours moyen

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

2.3/ temps de formation dune monocouche

Pour former une monocouche , il faut un temps :

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007

nb. de molcules pour une monocouche

change dnergie entre le gaz et la

dans les cryopompes, optimisation du

2/3 probabilit de transfert (rgime molculaire)

2.4/ Bilan des flux gazeux

P(t) = P0 exp -(Seff/V . t)

phnomnes de surface (dgazage) : dsorption

P. Dolgiviez - Le vide - Ecole des acclrateurs Novembre 2007