Microsenzori Lista subiecte

1. Materiale utilizate in tehnologia siliciului pentru constructia

microtraductorilor.
2. Fotogravura. Tehnica lift-off.
3. Metode de depunere a straturilor subtiri.
4. Microprelucrarea de volum prin corodare: corodarea umeda izotropa.
5. Corodarea umeda anizotropa. Realizarea unui array de microstructuri prin
procese de corodare.
6. Corodare uscata.
7. Stoparea corodarii prin dopare selectiva cu impuritati
8. Stoparea corodarii pe cale electrochimica
9. Lipirea plachetelor de siliciu.
10.Microprelucrarea de suprafata realizarea unui cantilever cu o masca si cu
doua masti
11.Microprelucrarea de suprafata realizarea unui cantilever cu trei masti
12.Microprelucrarea de suprafata. Defecte si tehnici de evitare a acestora.
13.Exemplu de aplicare a tehnicilor de microprelucrare de volum si de suprafata:
Realizarea unui microfon.