Introduo

Nanotecnologia
Ele 1060
Aula 9
2010 - 01

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PUC-Rio

Litografia

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Histria
Inventada em 1796 por Alois Senefelder, um
ator e escritor de teatro.
Senefelder tinha dificuldades de publicar seus
trabalhos;
Revolucionou a imprensa;
Usada extensivamente no sculo XIX para
impresso de documentos.
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Como Funciona?
Criao de marcas (ou desenhos) sobre
uma matriz (pedra calcria) com um lpis
gorduroso;

A pedra ento prensada contra o papel,

gravando a figura desejada.

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Como Funciona?

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Litografia

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O que ?
Fabricao de estruturas na nanoescala
atravs de padres pr-fedinidos.
Litografia na escala NANO.

Principais Aplicaes
Circuitos Integrados
NEMS
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Curiosidade Circuitos Integrados

Circuito Eletrnico Miniaturizado fabricado na superfcie de
um substrato de material semicondutor.

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Curiosidade NEMS
Sistemas Nano Eletro-Mecnico. Inclui transistores (eltrico)
e bombas, rotores, motores (mecnico).

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Exemplos

Selos Antigos

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Litografia Moderna

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Tipos de Nanolitografia

Litografia tica;
Litografia de Raio-X;
Litografia de feixe de eltrons;
Litografia de feixe de ons;
Litografia de partculas neutras;
Litografia de nano-impresso;
Litografia de varredura de ponta de prova.

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Comparaes

Fonte: Handbook of Nanotechnology

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Litografia de Nano-impresso

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Litografia de Nano-impresso
Mtodo mecnico baseado na comprenso de
um padro (nano-carimbo).
Padro pr-fabricado pressionado contra um
polmero.

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Litografia de Nano-impresso
Vantagens
No necessita de feixes;
Elimina problemas de resoluo;
Difrao;
Desvio de feixe;
Reflexo de feixe.

Elimina tratamento qumico complexo;

Alta resoluo e mltipla impresso;
Baixo custo.
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Litografia de Nano-impresso
Desvantagens
Alinhamento do padro com amostra;
Presena de impureza;
Gera impresso incorreta;

Danificao mecnica da amostra.

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Litografia de Nano-impresso
Funcionamento
Necessrio controle de temperatura e presso;
Fabricao do padro:
Litorgrafia de Feixe de eltrons (padres < 200 nm);
Litografia tica (padres > 200 nm).

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Litografia de Nano-impresso
Funcionamento

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Litografia de Nano-impresso
Tipos
Litografia de Incrustao Alta Temperatura
Presso: 50 100 bars;
Temperatura: > 50 C.

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Litografia de Nano-impresso
Tipos
Litografia Nano de Ultra-Violeta
Baixa presso;
Temperatura ambiente.

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Litografia de Nano-impresso
Tipos
Impresso de Micro Contato
Baixa presso;
Temperatura ambiente.

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Litografia de Nano-impresso
Aplicaes:
Dispositivos eletrnicos
Transistores (chaves) e Memrias de um eltron;

tica e fotnica
Filtros, polarizadores, circuitos fotnicos integrados;

Biologia
Canais de nanoflidos para anlise de DNA, dispositivos
biomoleculares.
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Litografia de Feixe de Eltron

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Litografia de Feixe de Eltron

Mtodo baseado no microscpio eletrnico de
varredura.
Superfcie recoberta com um filme sensvel aos
eltrons.

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Litografia de Feixe de Eltron

Vantagens
Alta resoluo.
10-20 nm

No necessita mscaras.

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Litografia de Feixe de Eltron

Desvantagens
Demorado;
Mltipla impresso difcil.

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Litografia de Feixe de Eltron

Funcionamento
Padro pode ser desenhado em computador;
Sistema automtico usado para a impresso.

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Litografia de Feixe de Eltron

Tipos
Vetorial

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Litografia de Feixe de Eltron

Tipos
Formaes

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Litografia de Feixe de Eltron

Tipos
Projeo de Clulas

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Litografia de Feixe de Eltron

Tipos
SCALPEL

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Litografia de Feixe de Eltron

Tipos
Produo Paralela

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Litografia de Feixe de Eltron

Aplicaes:
Circuitos Integrados e Mscaras.

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Litografia de Feixe de Eltron

Aplicaes:
Foto Mscaras.

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Litografia de Feixe de Eltron

Aplicaes:
Escrita Direta.

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Litografia Dip-Pen

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Litografia Dip Pen

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Litografia Dip Pen

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