cours1-MEMS Electrostatique.

Transducteur lectrostatque
UE MEMS
Cours 1: Transducteur
Electrostatique Rsonateur
paramtres localiss
Condensateur capacit variable
Dimitri Galayko
UE MEMS
1
Transducteur lectrostatque : la gomtrie
Sommaire
Condensateur plan paramtre gomtrique variable

L
Gomtrie et fonctionnement des

transducteurs lectrostatiques
Rsonateurs mcaniques
Association entre transducteurs
lectrostatiques et rsonateurs
Phnomne de pull-in
Modlisation VHDL-AMS (TP)
+Q
+++++++++
U
-Q
C=
-----------
0 = Permittivit lectrique du vide

= 8.854 pF/m
= Permittivit lectrique
S = surface de recouvrement
d = gap entre les lectrodes
Q
S
L W
= 0 = 0
U
d
d
If the capacitance is variable, the relation between the

current and the voltage is more complex :
C = C(t) I =
2
d
dU
dC
CU ) = C
+U
(
dt
dt
dt
lectrique
Mcanique
Gomtries de transducteurs
capacitifs
C =
Transducteur mouvement
vertical
C
C
C
+
d +
S
d
S
Capacit dpend du gap

C(x) = 0
w
S
dx
Variation non-linaire
0
de la capacit
Singularit ! (d=x)
Figure 3 Condensateur en mouvement7vertical.
Figure 2
l
mesurant la variation de la capacite par les techniques de mesure electrique. Nous considerons
deux configurations correspondant a
` la variation
de ces deux paramètres. Ces techniques trouvent
une application dans les capteurs de pression,
acceleromètres, gyroscopes, etc.
Dans certains cas, notamment dans le domaine
de la microfluidique, on fait varier ! de lentrefer
entre les electrodes. On ne considère pas ce cas
dans ce cours.
Transducteur mouvement
latral
d
Transduction
Figure 3 Condensateur en mouvement verti-
cal.
Capacit proportionnelle
Figure 2
la surface de
mesurantrecouvrement
la variation de la capacite par les techniques de mesure electrique. Nous considerons
S(x)
d
l(w x)
C(x) =
d
deux configurations correspondant a` la variation

0
0
dans ce cours.
C(x) =
Variation linaire
3.2.1 Transducteur
en mouvement vertide la capacit
cal
unMesures,
Soit
condensateur plan capteurs
dont une electrode
d
Mcanique lectrique
: le lien entre la
position x et la capacit C
3.2.1 Transducteur en mouvement vertical Electrique mcanique : la force
x
0
Soit un condensateur
plan dont par
une electrode
gnre
le transducteur
est fixee (pour convenance), lautre est mobile et

Figure 4
peut se deplacer uniquement selon laxe perpendiculaire aux plans des electrodes (gap-closing
en
mouvement
motion), cf. fig. 3. Dans ce cas, la distance entre 3.2.2 Transducteur
lat
eral
les electrodes varie comme d x, o`
u d est la distance (gap) au repos. Laxe x a son origine au
Supposons maintenant que dans la formule
niveau de la position repos de lelectrode mobile,

motion), cf. fig. 3. Dans ce cas, la distance entre
et est oriente a
` linterieur du condensateur. La
capacite sexprime comme :
C = !0
S
.
dx
(29)
Figure 4
3.2.2
Transducteur
lat
eral
en
mouvement

(28) nous modifions non pas d mais S, en faisant
glisser une electrode de sorte a
` ce quil reste dans
son plan (fig. 4). Si on suppose que lelectrode
a
8
une forme rectangulaire, avec longueur l et largeur w, et si le mouvement de lelectrode mobile
fait varier la largeur, on obtient :
La force dun transducteur

mouvement vertical
La force dun condensateur

Soit un lment de gomtrie du rsonateur peut
bouger selon laxe x
Le mouvement de cet lment de gomtrie
modifie la capacit du transducteur
Alors, cet lment subit une force :
F=
Se calcule comme :
F=
l
1 2 C
U
2
x
Le gradient de C se calcule en faisant bouger

llment de gomtrie selon laxe X
Une tension produit une force: couplage EM9
1w2
S
U 0
2
(d x)2
Dpend du dplacement !
Non-linaire vis--vis
0
du dplacement
d
Peu tre trs leve
(petits d)
x
Figure 3 Condensateur en mouvement11vertical.
Figure 2
l
l
0

mouvement latral
d
Se calcule
comme :
Figure 2
F=
Figure 3 Condensateur en mouvement vertical.
1 2 l
U
2
d
mesurant la variation de la capacite par les tech0

niques de mesure electrique. Nous considerons
deux configurations correspondant a` la variation
dans ce cours.

mouvement vertical
Se calcule comme :
3.2.1
l
Indpendante du
dplacement !
3.2.1
mesurant la variation de la capacite par les techniques de mesure electrique. Nous considerons
deux configurations correspondant a
` la variation
dans ce cours.
Transducteur en mouvement vertical

0
Soit un condensateur plan dont une electrode

10
Figure 4
en
mouvement
motion), cf. fig. 3. Dans ce cas, la distance entre 3.2.2 Transducteur
lat
eral
F=
1w2
U
0
Transducteur en2mouvement
(d vertix)2
cal
Dpend du dplacement ! l
Figure 4
Non-linaire vis--vis
0
du dplacement
3.2.2 Transducteur
en
mouvement
d eral
lat
Peu tre trs leve
(petits d)
(28) nous modifions non pas d mais S, en faisant
x
Soit un condensateur plan dont une electrode

l
motion), cf. fig. 3. Dans ce cas, la distance entre
d
et est oriente a
` linterieur du condensateur. La
capacite sexprime comme :
S
Figure
2 .
C=
!0
dx
(29)
glisser une electrode de sorte a

` ce quil reste dans
son plan (fig. 4). Si on suppose que lelectrode a
Figure 3 Condensateur en mouvement12vertiune forme rectangulaire, avec longueur l et larcal.
geur w, et si le mouvement de lelectrode mobile
fait varier la largeur, on obtient :
w
Lien quadratique entre F et U
Linarisation de F vis--vis
de U (2re mthode)
Utilisation de transducteurs diffrentiels
La force est proportionnelle U2

Inconvnient ! Comment faire
passer un signal ?
1re mthode : superposer au signal u(t) une
grande tension de polarisation U0. Ainsi
F = F1 F2 (U 0 + u(t))2 (U 0 u(t))2
F1
F2
= 4U 0u(t)
F U 2 = (U 0 + u(t))2 U 02 + 2U 0u(t)
Inconvnient: ncessite une polarisation
u(t)
U0
-u(t)
13
Linarisation de F vis--vis
de U (1re mthode)
Transducteurs peignes
interdigits
i(t)
15
Les capacits des transducteurs MEMS

sont faibles (10-100 fF)
Pour les augmenter, on multiplie les
transducteurs en parallle:
C(t)
C(t)
U0
u(t)
Micralyne Inc., 2004
14
16
Transducteurs lectrostatiques :
transducteurs peignes interdigites
interdigits
Fe1,y
Peignes interdigits mouvement

latral
ressort
L0
Fe2,x
U
Variation de
capacit en
mouvement
latral (x) :
Fe1,x
lectrode mobile
C(x) = 0
Fe2,y
w(l + x)
N
d
Variation de capacit en mouvement

vertical (y) :
lectrode fixe
S
S
2dS
C(x) = 0
+ 0
N = 0 2
N
d +x
dx
d x2
17
19
Transducteurs lectrostatiques :
transducteurs peignes interdigites
interdigits
L0
x
Peignes interdigits mouvement

vertical
h0
Conclusion :
Conclusions
h0
Grande capacit
Grand dplacement en x
Force constante selon x
Pas d effet de pull-in
w
18
20
Exemples de transducteurs
Commutateur optique SercaloTM
V
Exemple de transducteur
lectrostatique en mouvement vertical :
Motorola
interrupteur
21
21
23
Exemple de transducteur lectrostatique en
mouvement latral : transducteur en peigne
Exemple de transducteur lectrostatique en mouvement

vertical : capacit variable (Univ.de Soul)
William Tang, 1990

22

24
Application numrique

mouvement latral : transducteur en peigne
=10 , =100 100
=8.85 "
"
:"
"
2:
=1 "
25
27
Rsonateurs MEMS
paramtres localiss
mouvement vertical : capacit variable
(Univ.de Colombia)
Un rsonateur : un ressort (raideur k),

une masse (m), un amortisseur (facteur
damortissement ), une force externe
k sappelle rigidite ou constante de raideur du ressort. Le signe moins dans cette formule signifie que la force mecanique generee par
le ressort est oriente de sorte à sopposer à la
deformation.
Dans un cas o`
u un terminal de ressort est fixe,
i.e., x2 = 0, et laxe x1 est choisi de sorte a`
ce que la position du terminal 1 soit dans lorigine pour le ressort non-deforme, on obtient une
relation bien connue :
k
f!ext
26
Fx1 = kx1 .
(18)
Figure 1
Un amortisseur est egalement un element

mecanique a` deux terminaux mecaniques qui sont reparties (par ex., une corde vibrante). Dans
28
rnal acceleration aext (t), i.e.,

(t) = maext (t).
aphes, we can formulate: the
Transducer impedance
harvesting design is to design
Fe (t)
es a force Ft producing the
ome time intervale (t1 , t2 ):
Figure 2: Equivalent electrical representation of the harvester in the mechancial domain.
! t2
! v dt,
F!
(4)
t1
Equivalence
lectromcanique
Rsonateur + transducteur
which is the theory of linear differential equations. From

lem depends on the limiting the point of view of mathematics, if all quantities and constem (e.g., the amplitude of stants of mechancial equations are substituted by their
articularly, the physical and electrical equivalences (cf. table 1), the new equation will
ticular to the used electrome- describe a corresponding equivalent electrical system.
onditionning electronics. In
nalysis allowing to answer on
an electrostatic transducer. Table 1: Summary of equivalence between mechanical
and electrical quiantities.
Mechanical quantity
Electrical quantity
e generated power:
Force, F
Electromotive force, E ,
equal to minus voltage, U .
Velocity, V
Current, I
is periodic, in virtue of the
Position,
X
Charge, Q
ns, all physical quantities of
Mass, m
Inductance, L
well. Thus, the Ft force is
Stiffness, k
Inverse of
egral can be considered only
capacitance, 1/C
neral problem simplifies: it is
Damping
waveform of Ft during only
coefficient
Resistance, R
n Appendix 1) showed that
onic of Ft contributes to the
In the case of the harvester, the system of fig. 1 is
r harmonics of this force dis- equivalent to the electric network given in fig. 2. The
e optimal waveform for Ft is force maext is presented as an independant voltage source
ency f . Its optimal magni- since it is known that it does not depend on the velocity
be calculated from the elec- (current). The transducer is presented as a general elecAppendix 2) for magnitude- trical dipole, whose voltage (the force) depend, generally,
ed cases [].
on the displacement and thus, undirectly, on the velocity
s are of purely theoretical in- (current).
ostatic transducer, which is
Mechanical impedance is defined equivalently to its
impose very particular limi- electrical conterpart. Hence, for any force applied on a
Ft .
moving point, we have:
of the mechanical properties
we state the definition of meF
(5)
Zf = ,
e will use in sequel.
V
cal equivalence
edance
Utilise par les lectroniciens pour

comprendre les systmes mcaniques
Un rsonateur mcanique peut tre

associ un transducteur
lectrostatique
29
Equivalence
lectromcanique
V is the complex magnitude of the velocity of the point

mechanical
resonator
k sappelle rigidit
k
of force
application.e ou constante de raideur du ressort. Le signe moins dans cette forFor
elements
(e.g.,
spring,
the impedance
mechanical and electrical sysmulelinear
signifie que
la force m
ecanique
generee mass),
par
1/k
ressort est orient
e de sorte
à sopposer à on
la the displacement
number
independent
lar mathematical formalism is ale complex
m
f!ext
v
Fx1 = kx1 .
(18)
Un amortisseur est egalement un element

mecanique a` deux terminaux mecaniques qui
est le plus souvent considere dans un contexte
unidimensionnel. Chaque terminal est donc caracterise par sa coordonnee (x1 , x2 ). Lamortisseur genère une force sur chaque terminal.
Ces forces sont proportionnelles a` la vitesse de
5.1
Un rsonateur mcanique est

quivalent un rsonateur lectrique
wheresrie
F is the complex
magnitude of the sinusoidal force,
RLC
:
and
deformation.
Dans un cas o`
u un terminal de ressort est fixe,
i.e., x2 = 0, et laxe x1 est choisi de sorte a`
ce que la position du terminal 1 soit dans lorigine pour le ressort non-deforme, on obtient une
fextrelation bien connue :
effet, la tension appliquee au transducteur genère

une force sur le resonateur. Cette force est susceptible de modifier la dynamique des mouvek
u
ment du resonateur, et donc la loi de la variation
de la capacite variable.
m
Si on ne sinteresse quau fonctionnement petit signal du système, on peut associer le modèle
equivalent electrique du transducteur (fig. 10)
avec celui dun resonateur mecanique (un reseau
RLC serie). On obtient le schema presente fig.

13.
Il faut etre conscient que ce reseau electrique
f!ext
modelise les phenomènes electriques
et
31
mecaniques ; la ligne de separation passe
Figure 12
par le transformateur, comme indique sur la
figure.
Cela donne une condition sur la tension U0 :
Ainsi, le circuit electrique voit les elements
du resonateur, ainsi que la source de la force ex!
terne, a
` travers le transducteur represente par le
8kd3
U0 >
(72) transformateur ideal associe aux deux capacites
27S!0
1/kt
parasites 1/kt et C0 . Il est connu quun transi(t)
formateur ideal fonctionne comme une lentille
v Cette tension sappelle Tension de pull-in. dimpedance. En effet, la partie electrique
Cest donc une tension maximale que lon peut
On
eemontrer
quun transd
la peut
partie d
m
canique,
appliquer a
` un transducteur electrostatique en voit directement
seulement, les courants
(vitesses),
les tensions
mouvement vertical, associe a
` un ressort k.
met de
lenergie
en mode petit sign
C0(forces) et les imp
edances du cote mecaniques
un cas general : un transduc
sont mises a
ù(t)
lechelleSoit
:
u
v
Figure 1
30
sont reparties (par ex., une corde vibrante). Dans
ce cours, nous ne considerons que des systèmes
mecaniques a` paramètres localises. Une force externe peut sexercer sur la masse.
La dynamique dun resonateur mecanique se
decrit par la seconde loi de Newton :
Energie de transdu
Modle petit signal de

transducteur mis a` une tension U + u(t), où u(t)
Applications
1. Calculer les constantes de raideur

electrostatique pour un transducteur capacitif fait a
` partir dune capacite plane, pour le
cas de deplacement vertical et lateral.
2. Pour le condensateur avec la geometrie suivante : S = 1cm 1cm, d = 20m et pour un
Figure 9
ressort avec k = 100N/m, calculez la tension de
pull-in.
ix = v, ux = f /, Zx = / 2 .
(73)
partie mobile du transducteur
se de
On peut montrer que pour les
petits
Ici, les indicestesse
x signifient
que
les
granv(t),
de
sorte
a
`
ce
que
le
depla
deurs correspondants
sont des images
dplacements et pour un signal
lectrique
u(t)des processus ayant lieupetit.
dans le domaine mecanique.
On nomme ces grandeurs
courant,
tension,
fortement infrieur la polarisation
UDans
ce acas,
la partie mobile su
0, on
impedance lies au deplacement,
ou motional
current,
voltage,
impedance.
Ainsi,
le
schema
composee de trois
termes, selon leq
un schma quivalent suivant
:
electrique equivalent dun resonateur mecanique
1/kt
La
puissance
moyenne
genere par
a
`
interface
capacitive
est
donn
e
sur
fig.
14.
Un
5.2 Association des r
esonateurs
telle iconfigurationteur
de resonateur
est toute
a
` fait
est
donn
e
e
comme
avec
des
transducteurs
capaciv
classique : les resonateurs piezoelectriques, par
! t
tifs
exemple, ont le meme schema equivalent. On1
possède
2
:un1 micro-resonateur avec peut voir, quun resonateur complet
Lorsque lon associe
f v dt
P
=
mech
C0
: une capacite parallèle due a
` la capa- t
un transducteur, on obtient un dispositif com- parasites
0
plexe agissant dans le domaine electrique ainsi
que dans le domaine mecanique (fig. 12). Du
point de vue de lelectronique, il sagit dun
dispositif a
` 2 terminaux a
` dynamique complexe. Physiquement, entre ces deux terminaux
il y a une capacite variable ; mais il faut etre
conscient que ce nest pas juste une capacite
variant selon une loi connue. La variation de
cette capacite deFigure
pend de la force
10externe
qui agit
eventuellement sur le resonateur, ainsi que de la
tension appliquee aux bornes de la capacites. En
Mcanique
Electrique
cite physique du transducteur au repos, et une

u
capacite negative en serie avec le reseau RLC,
Si u(t) et v(t) sont sinusodau
qui modifie la valeur de la capacite serie du
resonateur. Ces deux
capacites produisent
effrequence,
seul leles deuxi`
eme terme d
fets suivants :
proportionnel
a
`
u)
donne
une puissa
2
La capacite /kt modifie la frequence de
resonance serie du
resonateur. lorsque
Puisque
est
non-nulle
e par v(t)
32 kt multipli
negative, la capacite serie equivalente Ceq x du
"
resonateur vaut :
!
1 t
C(x) ""
kr
1
kt
1
+ mech
= 2=
(kr |kt |) u(t)U
(74) 0
= 2P
"
Ceq x
t
x "
x=X0
Exemples de rsonateurs
Schma lectrique quivalent petit

signal (dmonstration : polycopi, tableau)
i
k
u
m
f!ext
Figure 12
!
8kd3
U0 >
(72)
27S!0
Cette tension sappelle Tension de pull-in.
Cest donc une tension maximale que lon peut
appliquer a
` un transducteur electrostatique en
mouvement vertical, associe a
` un ressort k.
5.1
Applications
C0
u
33
35
C0
1. Calculer les constantes de raideur

electrostatique pour un transducteur capacitif fait a
` partir dune capacite plane, pour le
cas de deplacement vertical et lateral.
2. Pour le condensateur avec la geometrie suivante : S = 1cm 1cm, d = 20m et pour un
ressort avec k = 100N/m, calculez la tension de
pull-in.
5.2
effet, la tension
appliquee au transducteur genère
mechanical resonator
une force sur le resonateur. Cette force est sus1/kr
ceptible de modifier la dynamique
des 1/k
mouvet
m
r
ment du resonateur,
et
donc la loi de la
variation
v
Si on ne sinteresse quau fonctionnement pe- : 1
tit signal
eme, on peut associer
le modèle
fext du syst`
ft
equivalent electrique du transducteur (fig. 10)
avec celui dun resonateur mecanique (un reseau
RLC serie). On obtient le schema presente fig.
13.
Mechanical domain Electrical domain
Il faut etre conscient que ce reseau electrique
Figure 13 et
modelise les phenomènes electriques
figure.
du resonateur, ainsi que la source de la force externe, a
mechanical resonator
transformateur ideal associe aux deux capacites
parasites 1/kt et C0 . Il est 1/k
connu
quun trans1/kt
r
r
formateur idemalmechanical
fonctionne
comme une lentille
resonator
v
dimpedance. En effet, la partie
electrique
voit directement la partie 2 m
ecanique,
:1
/kr
2 /kt
seulement, les courants
(vitesses), les
tensions
2
r / 2 ft
fext m/
(forces) et les impedances du cot
e mecaniques
ix = v
sont mises a
` lechelle :
iz
ix =ev,= ufx =
f /, Zx = / 2 . Mechanical
(73) domain Electrical domain
u
x
ext /
Ici, les indices x signifient que
les 13
granFigure
deurs correspondants sont des images des processus ayant lieu dans le domaine mecanique.
On nomme ces grandeurs courant, tension,
Figure 14 Modèle electrique equivalent dun resonateur mecanique avec transducteur capacitif.
impedance lies au deplacement, ou motional
current, voltage, impedance. Ainsi, le schema
electrique equivalent dun resonateur mecanique
a interface capacitive est donne sur fig. 14. Un
`
telle configuration de resonateur est toute a
` fait
classique : les resonateurs piezoelectriques, par
exemple,
ont
memeappliqu
sch
emaeeequivalent.
On
effet,
la le
tension
au transducteur
genère
mechanical
resonator
peut voir,
quun sur
resonateur
complet Cette
possèdeforce
2 est susune force
le resonateur.
parasites
:
une
capacit
e
parall`
e
le
due
a
`
la
capa2
ceptible de modifier la dynamique
des mouve /kr
2 /kt
cite physique
dur
2 au repos, et une
m/
r /et
ment du
e2transducteur
sonateur,
donc la loi de la variation
i
ix = v
capacite negative en serie avec le reseau RLC,
qui modifie la valeur de la capacite serie du
Si
on
ne
sint
e
resse
quau
fonctionnement
peresonateur. Ces deux capacites produisent les efiz
tit signal
du système, on peut associer le modèle
fets suivants
:
Schma lectrique quivalent petit

signal (dmonstration
: polycopi, tableau)
Association des r
esonateurs
avec des transducteurs capacitifs
i
Lorsque lon associe un micro-resonateur avec

un transducteur, on obtient un dispositif comk le domaine electrique ainsi
u
plexe agissant dans
que dans le domaine mecanique (fig. 12). Du
m
point de vue de lelectronique,
il sagit dun
dispositif a
` 2 terminaux a
` dynamique complexe. Physiquement, entre ces deux terminaux
equivalent
e2/
lectrique
La
capacit
/kt modifiedula transducteur

frequence de (fig. 10)
ex = efext
u
il y a une capacite variable ; mais il faut etre
erie du
resonateur.
Puisque
kt est(un r
avec s
celui
dun
resonateur
mecanique
eseau
conscient que ce nest pas juste une capacite resonance
n
e
gative,
la
capacit
e
s
e
rie
e
quivalente
C
du
RLC serie). On obtient le scheeq
ma
esente fig.
x pr
variant selon une loi connue. La variation de
cette capacite depend de la force externe qui agit resonateur
13. vaut :
eventuellement sur le resonateur, ainsi! que de la
krconscient
1
1Il fautkt
e
tre
que
ce
r
e
seau
electrique
fext es. En Figure 14 =
+ lectrique
= 2equivalent
(kr |kdun
(74) mecanique avec transducteur capacitif.
t |) r
Mod`
esonateur
tension appliquee aux bornes de la capacit
C
2ele eles
2 ph
enom`
mod
enes electriques et
eq x elise
Figure 12
!
8kd3
U0 >
(72)
27S!0

figure.
du resonateur, ainsi que la source de la force externe, a
transformateur ideal associe aux deux capacites
parasites 1/kt et C0 . Il est connu quun trans-
34
Exemples de rsonateurs
J. R. Clark et al., 2000

36
Pull-In
Utilisation du phnomne de pull-in
Un phnomne se produisant avec des

transducteurs de type rapprochement des
plans - mouvement vertical
Attraction sans limite entre les plans du
transducteur
Phnomne en avalanche - instabilit,
contre-raction positive
Utilis pour les switches et, plus
gnralement, pour des commutateurs
Souvent indsirable
Moteur lectrostatique (thse D. Galayko)
37
39
Analyse du phnomne de pull-in

Fe
U0
U pull in =
S
Fe
8kd 3
27S 0
quilibre
instable
0
d
Dmonstration : tableau, polycopi
Moteur lectrostatique (thse D. Galayko)
Fm
force
Fm
1/3
x/d
quilibre
stable
38
40
Transducteurs
lectrostatiques : applications

mouvement vertical : interrupteur
Scratch Drive Actuator
Motorola
41
43
Pull-in et transducteur

mouvement latral : micromiroir autoassembl (E.
Quvy et al., 200
Application de Scratch Drive Actuator : microrobot

(P. Basset, 2003)
42
Vido : http://masters2-mnt-tac.univ-lille1.fr/videos/copiedevideo3.htm
44
Question TD/TP
Soit un transducteur ayant la gomtrie
suivante :
k
-d
0
d
Trouvez :
- l expression pour la
fonction C(x)
- l expression pour
, kt, Vpi
Comparez avec le
transducteur
capacitif plan simple
Modliser en VHDL-AMS
45

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Transducteur lectrostatque

Condensateur capacit variable

Transducteur lectrostatque : la gomtrie

Condensateur plan paramtre gomtrique variable

Gomtrie et fonctionnement des

0 = Permittivit lectrique du vide

d = gap entre les lectrodes

If the capacitance is variable, the relation between the

Capacit dpend du gap

Figure 3 Condensateur en mouvement7vertical.

Figure 3 Condensateur en mouvement verti-

deux configurations correspondant a` la variation

est fixee (pour convenance), lautre est mobile et

est fixee (pour convenance), lautre est mobile et

Supposons maintenant que dans la formule

La force dun transducteur

La force dun condensateur

Le gradient de C se calcule en faisant bouger

Figure 3 Condensateur en mouvement11vertical.

La force dun transducteur

Figure 3 Condensateur en mouvement vertical.

mesurant la variation de la capacite par les tech0

La force dun transducteur

Transducteur en mouvement vertical

Soit un condensateur plan dont une electrode

Soit un condensateur plan dont une electrode

glisser une electrode de sorte a

Lien quadratique entre F et U

La force est proportionnelle U2

Inconvnient: ncessite une polarisation

Les capacits des transducteurs MEMS

Micralyne Inc., 2004

Peignes interdigits mouvement

Variation de capacit en mouvement

Peignes interdigits mouvement

Exemple de transducteur lectrostatique en mouvement

William Tang, 1990

Micralyne Inc., 2004

Exemple de transducteur lectrostatique en

=10 , =100 100

Micralyne Inc., 2004

Un rsonateur : un ressort (raideur k),

Un amortisseur est egalement un element

rnal acceleration aext (t), i.e.,

which is the theory of linear differential equations. From

Utilise par les lectroniciens pour

Un rsonateur mcanique peut tre

V is the complex magnitude of the velocity of the point

Un amortisseur est egalement un element

Un rsonateur mcanique est

effet, la tension appliquee au transducteur gen`ere

RLC serie). On obtient le schema presente fig.

Modle petit signal de

1. Calculer les constantes de raideur

cite physique du transducteur au repos, et une

Schma lectrique quivalent petit

1. Calculer les constantes de raideur

Schma lectrique quivalent petit

Lorsque lon associe un micro-resonateur avec

/kt modifiedula transducteur

mecaniques ; la ligne de separation passe

J. R. Clark et al., 2000

Utilisation du phnomne de pull-in