Sunteți pe pagina 1din 18

Microscopul cu for atomic

Cele mai folosite metode pentru investigarea suprafeelor sunt Scanning Electron
Microscopy (SEM) i Scanning Probe Microscopy (SPM).

Construit n 1938 de von Ardenne i produs comercial n 1965 de ctre


Cambridge Scientific Instruments, acest sistem a fost supus unor continue mbuntiri,
rezoluia sa crescand de la 50 nm, n 1942 la aproximativ 0,7 nm, astzi. Deasemenea, cu
ajutorul SEM-ul contemporan putem obine informaii despre compoziia probei studiate
prin detecia razelor X, electronilor retromprstiai, catodoiluminiscen i electroni Auger.

Construirea SPM-ului a fost precedat de inventarea STM-ului (Scanning


Tunneling Microscopy) n 1981 la IBM Zurich Research Laboratory de ctre Binning i
Rohrer, acetia primind i Premiul Nobel n Fizic n 1986 pentru contribuia adus pentru
dezvolatea tiinei.

SPM este o familie de tehnici de msur ce implic scanarea unei suprafete cu un


varf foarte ascutit i monitorizarea interaciei varf-suprafa pentru a creea o imagine de
nalt rezoluie a materialului studiat. Multe alte tehnici SPM au fost dezvoltate pentru a da
informaii despre fora de frecare, aderena, elasticitate, duritate, cmp electric, cmp
magnetic, concentraia de purttori, distribuia de temperatur, rezistena i conductivitate.
Accesul la caracteristicile fizice ale suprafetelor este unul rapid.

Microscopul cu For Atomic (AFM) a devenit cea mai folosit tehnic a SPM-
ului ea servind doar pentru analiza topografic a suprafeelor. AFM-ul a fost inventat n 1986,
fiind produs comercial pentru prima data n 1989 de catre Digital Instruments.

Cu ajutorul AFM-ului se pot obine imagini tridimensionale ale suprafeelor


(izolatoare sau conductoare) cu o rezoluie nano-lateral i subangstrom-vertical. Marele
avantaj al AFM-ului este c poate opera n aer, vid i lichide la diferite temperaturi. Acest
aparat este utilizat atat n cercetarea fundamental ct i la scal mai mare, n industrie AFM-
ul avand un rol deosebit de important n dezvoltarea nanotehnologiei.

Dei SEM-ul i AFM-ul au rezoluii laterale similare, exist situaii n care una
din aceste tehnici poate oferii o reprezentare mai detaliat a suprafeei probei. Aceast

2
difereniere este dat de felul n care cele doua tehnici analizeaz modificrile verticale n
topografia probei.

Cazul probelor foarte netede (la nivel atomic):

SEM AFM
n imaginile de mai sus sunt prezentate imaginile SEM, respectiv AFM ale aceleai suprafee
(Si epitaxial). AFM-ul are o rezolutie verticala <0,5, astfel poate rezolva treptele de 1,4 de
pe suprafaa studiat, putand calcula rugozitatea medie a acesteia (0,7). SEM-ul are
dificulti n a trata aceste variatii subtile de nlime.

Cazul probelor foarte rugoase

SEM; fibre oxid de poliethilen SEM; cristal Y2O3


Un avantaj cheie al SEM-ului este adncimea de patrundere a cmpului relativ mare. Aceast
caracteristic face posibil obinerea unor imagini clare, cu milimetrii de informaie vertical
a unor suprafee foarte rugoase.

Scannerul AFM poate masura nlimi de pana la 6 m ns, pentru suprafee cu


variaii de nlime mai mari decat 510 m metoda de investigatie cea mai potrivita este
SEM.

3
4
Mod de lucru AFM

Fig.1. Schia funcional a AFM-ului

Modul de lucru al SPM-ului este ilustrat in Figura 1; acesta are ca principale componente: 1.
senzorul 2. tubul piezoelectric; 3. dioda laser; 4. fotodetector; 5. circuit de feedback.

Senzorul este constituit dintr-un cantilever echipat cu un varf ascuit n plasm ce


interacioneaz cu suprafaa. Un fascicul laser este reflectat de cantilever iar aspectul
morfologic al suprafeei este direct asociat cu schimbarea semnalului din fotodetector. Acesta
din urm este divizat n patru cadrane, fiecare indicnd deflexia i torsiunea cantileverului aa
cum este indicat n Figura 2.

Fig.2. Fotodetector. Semnalul de deflecie=(A+C)(B+D) , este numit i semnal de


nlime (height signal); semnalul de torsiune=(A+B)(C+D) , semnalul de
torsiune este asociat forei de frecare (lateral force) dintre varf i suprafa.

Modificrile de semnal sunt preluate apoi, prin feedback, de un tub piezoelectric


cu ajutorul cruia proba studiat este deplasat pe directia Z, senzorul rmnnd la o nlime
constant (Figura 3).

5
Pasul 1: Pasul 2: Pasul 3:
contactul cu suprafaa deplasarea n lateral a Micarea pe vertical a
scannerului; deflexia scannerului pentru a aduce
cantileverului cantileverul n starea iniial
Senzorul AFM
Senzorul (vrful) are n general ~2 m lungime i o raz mai mic de 10 nm iar
cantileverul are 100-200 m lungime.

Rezoluia de scanare n cea mai mare masur depinde de dimensiunile varfului.


Procesele de microfabricare dezvoltate pentru microelectronica sunt folosite pentru
producerea acestor vrfuri cu dimensiuni nano. Senzorii sunt n general fabricai din siliciu
sau nitrur de siliciu. Sunt folosite diverse tipuri de cantilevare n funcie de modul de operare
AFM. Acestea pot fi acoperite cu filme subiri conductive, magnetice, reflective etc.

Varfurile i cantilevarele din SiN sunt fabricate prin procesul descris n figura de
mai jos.

Fig.4 Fabricarea vrfului i cantileverului din SiN

Prin metoda descris n Figura 4 sunt fabricate varfuri cu geometrie piramidal


sau tetraiedric.

6
6 cantilevers 0.010.50N/m din SiN acoperit cu varf din SiN; are lungimea de 2,58 m;
un film de Au (reflectiv); grosimea lor este de raza medie de ~3nm
~0.6 m

cantilever din Si dopat n acoperit cu un film vrf acoperit cu diamant dopat; are lungimea
reflectiv de Al (30nm) pe partea din spate i de 10-15 m i raza medie de 35 nm
cu un film de diamant (100nm) pe partea din
fa; grosimea cantileverului este de 4 m

cantilever din Si dopat n; grosimea 4 m vrf de lungime 10-15 m i raza 15 nm


Fig. 5 Exemple tipuri de cantilever

7
Calcularea constantei de elasticitate
Pentru o precizie ct mai bun constanta de elasticitate pentru fiecare cantilever
trebuie determinat cu exactitate.

De-a lungul timpului au fost dezvoltate multe tehnici pentru msurarea constantei
de elesticitate a cantilever-ului. Acestea au fost mprite n trei categorii:

1. Modele dimensionale; analize teoretice sau formule semi-empirice sunt folosite


pentru a calcula constanta de elasticitate a cantilever-ului bazndu-se pe dimensiunea
lor i proprietiile materialelor din care sunt fabricate.
2. Masuratori statistice; constanta de eleasticitate este msurat aplicand cantilever-ului
o for cunoscut.
3. Masurtori dinamice; modul de rezonan al cantileverului este asociat cu constanta
de elasticitate.
1. Model dimensional

Acest model are ca limit imposibilitatea de a msura cu o acuratee foarte mare


grosimea cantilever-ului. Chiar i n microscopia cu electroni incertitudinea este rareori mai
bun dect 5%.

Pentru un cantilever rectangular se aplic teoria Euler-Bernoulli,

Ewt 3
k= (1)
4 L3

unde E este modulul elastic, w este limea, t este grosimea i L este lungimea cantilever-ului.
Cantilevarul n form de V este echivalat cu doua fascicole paralele cu aceai dimensiune.
Aceast aproximare a fost pentru prima dat propus de Albrecht fiind mai tarziu luat n
considerare de Butt. Sader a fost primul care a indentificat ambiguitatea n definirea
parametrilor w i L pentru cantileverul n forma de V i a adus la o form final expresia
lui k:

k=
Ewt 3
2L
3
cos
[
1+
4 w3
b
3
( 3 cos 2 )
] (2)

unde b este limea bazei V-ului, este jumatatea unghiului dintre cele doua laturi. Pentru
cantilever rectangular, Cleveland a realizat c grosimea poate fi eliminat din ecuaia (1) dac
se ia n considerare frecvena de rezonan a cantilever-ului.

8
1
t E
f 0 2
2 L ( ) 2
(3)

unde este densitatea cantilever-ului

3
2 3 w ( f 0 L )
k (4)
E

2. Masurarea static

Aceast metod este bazat pe premisa simpl c constanta de elasticitate poate fi


calculat prin aplicarea unei fore cunoscute cantilever-ului i msurarea deflexiei acestuia. n
practic, aplicarea acestei metode este complicat deoarece este dificil de aplicat cu acuratee
o for cunoscut. Cea mai utilizat metoda ce apartine aceste categorii este aceea n care se
folosete un cantilever de referin.

Sref
k =k ref ( Shard
1 ) (5)

unde kref este constanta de elasticitate a cantilever-ului de referin. S ref este sensibilitatea cu
care s-a msurat deflexia cantilever-ului de referin, iar S hard este sensibilitatea cu care s-a
msurat deflexia unei suprafee dure. Cantileverul a crui constant elastic se dorete a fi
msurat (n continuare l vom numi cantilever X) se aeaz peste cantileverul de referin.
Cantileverul X trebuie poziionat peste cantileverul de referin ct mai la captul acestuia
deoarece cantileverul de referin devine cu atat mai rigid cu cat cantileverul X este mai
aproape de baza sa. Cantileverul X este folosit pentru a msura o curb a forei. Panta curbei
n regiunea de contact este comparat cu o curb a forei pentru o suprafa rigid. Se poate
aplica urmatoarea corecie :

3
L
k =k off ( L L ) (6)

unde koff este constanta de elasticitate msurat la captul cantileverului, L este lunigimea
cantileverului de referin i L este distana dintre vrf i captul cantileverului.

9
Astzi tehnologia permite un foarte bun control asupra dimensiunilor i
proprietiilor materialului cantileverului comercial astfel nct constanta de elasticitate poate
fi calculat cu ajutorul ecuaie (4). Valoarile constantei de elasticitate acestui tip de cantilever
sunt cuprinse n domeniul 0,157-10,4 N/m.

3. Masurarea dinamic

Aceast categorie include trei dintre cele mai folosite metode de calibrare:
adaugarea de mas, tunare termic i metoda Sader. Principiile fizice ce stau la baza acestor
trei metode sunt complet diferite dar au n comun rapiditatea masurrii semnalului deflexiei.

Metoda adaugarii de mas, numit i metoda Cleveland este bazat pe urmtoare


expresie ce leag constanta de elasticitate de mas i frecvena de rezonan a
cantilever-ului.

f=
1

k
2 M +m (7)

unde m* este masa efectiv a cantilever-ului, M este masa adiional aplicat la captul
cantilever-ului. Aceast mas adiional este reprezentat de sfere de wolfram cu un diametru
de 3-10 microni. Din ecuaia (7) putem observa c adaugnd o mas cantilever-ului frecvena
de rezonan a acestuia scade.

k
M= m
( 2 f )2 (8)

Pentru f=f0 si M=0 unde f0 este frecvena de rezonan iniial a cantilever-ului.

k
m=
( 2 )2 f 20 (9 a)

Pentru f=f1 si M=M1 unde f1 este frecventa de rezonan a cantilever-ului dup


2
adugarea greutii k=(2)2 f 1 (M1+m) (9 b)

10
( 2 )2 M 1
k=
1 1
(
f 21 f 20 ) (9 c)

Exist doi factori ce limiteaz acest metod:

1. poziia n care este aplicat greutatea este esenial. O corecie n acest sens se poate
face astfel:

3
L L
M eff =M meas ( L ) (10)

unde Meff este masa efectiv a particulei iar Mmeas este masa masurat a particulei.

2. eroarea de msur a maselor de wolfram. Aceast msur se face folosind formula


volumului unei sfere V=(1/6)D3 i valoarea densitii wolframului (19300 kg/m3).
ns particulele de wolfram folosite nu sunt perfect sferice de aceea este de preferat s
se masoare diametrul lor dea lungul a doua axe i s se fac media geometric a
acestora, Davg=(D1D2)1/2.

n ciuda acestor limitri, este universal apreciat c aceast metod ofer un bun
standard pentru calibrarea cantilever-ului.

Metoda Sader

Aceast metod este aplicabil doar pentru cantilever rectangular. De asemenea


aceast teorie necesit satisfacerea urmtoarei conditii L>>w>>t, n practic un raport L/w>3
este acceptat.

2
k=7.5246fw2LQ f 0 (Re) (11)

unde

2 f f 0 w 2
=
4 f

11
unde f este densitatea fluidului n care este facut msurtoarea (de obicei n aer), f este
vascozitatea fluidului, Q este factorul de calitate al oscilaiilo cantilever-ului i este
componenta imaginar a funciei de hidrodinamic care depinde de numrul Reynolds, Re.

A 0 f 40
A= A + 2
ff 0
2
( f 2f 20 ) +( ) Q
(12)

unde Awhite este zgomotul alb, A0 este frecvena de amplitudine zero.

Funcia hidrodinamic implic calcule complexe. Sander a oferit o soluie


analitic, aceasta fiind o funcie complex ce foloseste funciile Bessel de gradul 3.

Dei este o metod complex din punct de vedere matematic, metoda Sader este
foarte convenabil experimental. Frecvena de rezonan i Q pot fi msurate precis i nu
depind de nici o calibrare a AFM-ului. Dimensiunile cantilever-ului pot fi msurate optic,
densitatea i vscozitatea aerului n care se fac msurtorile fiind parametrii foarte importani.
Aceast metod nu poate fi aplicat cantileverelor n form de V.

Tunarea termic

Aceast metod este probabil cea mai popular i cea mai folosit tehnic pentru
calibrarea cantilever-ului. Metoda trateaz cantileverul ca un oscilator armonic simplu. Hutter
i Bechhoefer au afirmat c frecvena oscilatiilor cantilever-ului se modific n funcie de
energia lor termal conform formulei:

kB T
k=
z 2c (13)

2
unde kB este constanta Boltzmann (1,3810-23 J/K), T este temperatura i z c este media

ptratic a deplasrii cantilever-ului. Butt i Jaschke au formulat i o corecie a metodei. n


aceasta au luat n considerare c cantileverul nu se comporta ideal deci energia oscilaiilor lui
difer de cea a unui oscilator armonic simplu.

12 k B T
k=
4i z2i (14a)

12
Pentru i=1 (modul fundamental)

kBT
k =0,971
z 21 (14b)

unde i este o constant egal cu 1,8751 pentru i=1

Pentru cantileverele n form de V aceast corecie este mai dificil de calculat


din cauza expresie neanalitice. Stark a examinat un cantilever n form de V cu lungimea
de 140 m i cu o constanat de elasticitate nominal de 0,1 N/m. n urma acestei analize,
Stark a gsit o valoare similar a coreciei, 0,965 n loc de 0,971 pentru un cantilever
rectangular.

Eroarea absolut a acestor msurtori de calibrare nu poate fi definit, de aceea


probabil cel mai bine e s se calculeze eroarea relativ a fiecrei metode. n tabelele de mai
jos sunt prezentate valorile incertitudinilor calculate cu ajutorul metodei Monte Carlo:

13
Parametru masurat Eroarea medie
Lungimea cantilever-ului 1%
Laimea cantilever-ului 4%
Grosimea cantilever-ului 5%
Diametru particulei adugate 510%
5% (Si)
Modulul de elasticitate
20% (SixNy)
Densitate (Si sau W) 5%
Frecventa de rezonan 0.1%
Factorul de calitate 1%
Sensibilatea 3%
Densitatea aerului 5%
Vascozitatea aerului 2.5%
Temperatura cantilever-ului 3%

Metoda Incertitudine
Adaugare de mas 15-30%
Sader ~4%
Tunare termic ~8%

Scanner AFM
Toate sistemele SPM folosesc traductori piezoelectrici. Majoritatea SPM-urilor
folosesc tuburi piezoelectrice. Pe cele doua capete este depus un film subire de metal (de
exemplu Ni) astfel nct prin aplicarea unei tensiuni intre cei doi electrozi se obine cmpul
electric dorit.

Fig.6 Deformarea n cmp electric a unui material piezoelectric; coeficienii


caracteristici acestuia.

Presupunem c S1 si S3 sunt componentele ce caracterizeaz dilatarea dea lungul axei x,


respectiv z cnd cmpul electric E 3 este aplicat dea lungul axei z (S 1=x/x, S3=z/z, unde x,z
sunt lungimile iniiale iar, x si z sunt variaiile de lungime n urm aplicrii cmpului

14
electric). Doi coeficieni piezoelectrici comuni sunt: d31=S1/E3 si d33=S3/E3; valorile tipice ale
acestor coeficieni sunt date n tabelul de mai jos:

PZT-4D PZT-5H PZT-7D PZT-8


-10
D31(10 m/V) -1.35 -2.74 -1.00 -1.00
D33(10-10m/V) 3.15 5.93 2.25 2.25
Variaia lungimii tubului poate fi exprimata astfel: L=2d 31VL/(b-a) unde a i b sunt
diametrul interior ,respectiv exterior al tubului.

Capacitatea este:

2 r 0 L
C=
ln ( ba )
cu o constant dielectric r are o valoare tipic de 1000 i (C/L)~10nF/cm. Cel mai comun
material folosit este un amestec de PbTiO3 i PbZrO3, cunoscut sub numele de PZT.

Exist doua modele principale ale scannerelor piezoelectrice:

a) Tripod. Trei tuburi piezoelectrice aliniate n direcia axelor x, y, respectiv z sunt lipite
avand un senzor n origine. Cele trei tuburi se contract sau dilat putnd astfel s
mite senzorului n trei direcii (x, y i z).
b) Un scanner mult mai stabil este cel cu un singur tub piezoelectric. Acesta este mprit
n patru regiuni egale. Senzorul este plasat la unul dintre capete. Atunci cnd este
aplicat o tensiune pe unul din electrozii secionali doar acea poriune din tubul
piezoelectric se va dilata sau contracta. Astfel tot tubul se va inclina ntr-o parte sau
alta (x, y). Deflexia n direciile x sau y este dat de expresia:

2 d31 VL2
x ( sau y )=
Dh

unde L este lungimea tubului, D este diametrul tubului, h este grosimea tubului i V este
tensiunea aplicat pe unul dintre cadrane. Dac tensiunea este aplicat pe electrodul interior
ntreg tubul se contract sau dilat pe direcia z.

15
Fig. 7 Scannerul

Aria de scanare
n figura 8 sunt prezentate comparativ tehnici folosite pentru analiza suprafeelor.

Fig.8 Domeniul de scanare

Cu ajutorul AFM-ului pot fi scanate arii cuprinse ntre 1nm i 100 m. n general
AFM-ul este echipat cu 2 tipuri de scanner, unul ce poate scana pana la 5 m i cel de-al
doilea ce poate scana pn la 100 m. Viteza de scanare poate fi setat din soft, ntre 0,1 Hz i
100 Hz. n alegerea vitezei de scanare trebuie tiut c fiecare sistem are un timp optim de
rspuns. Numrul de puncte coninute de imaginea obinut n urm scanrii poate fi de
asemenea setat din soft (128x128, 256x256, 512x512, sau 1024x1024).

16
Fig.9 Diagrama comparativ pentru principalele metode de analiz a suprafeelor
n figura 8 sunt prezentate comparativ principalele metode de analiz a
suprafetelor. Pe ordonat este reprezentat timpul mediu acordat msurtorilor iar
pe abscis preul aparatelor.

17
Bibliografie
[1] www.fizica.unibuc.ro

[2] G. Binning, C. F. Quate, Ch. Gerber. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 56 (9),
(1986) 930.

[3] Park Scientific Instruments. A practical guide to scanning probe microscopy. (1997).

[4] N. Yao, Z. L. Wang. Handbook of Microscopy for Nanotechnology. (2005).

[5] Veeco. Scanning Probe Microscopy Training Notebook. Version 3.0. (2000).

[6] http://www.research.ibm.com.

18