Sunteți pe pagina 1din 37

Noţiuni de tehnica vidului

Vidul este definit ca un spaţiu golit total de materie adică un volum închis în care nu se află aer sau alte gaze.

Scurt istoric •Torricelli – barometrul cu mercur - 1643. •Primele pompe de vid Otto von Guericke. Experiment celebru cu emisferele de la Magdeburg - 1654. •Interesul faţă de presiunile scăzute a fost redus circa 200 ani, până în a doua jumătate a secolului XIX când au fost studiate descărcările electrice. •În 1874 McLeod a inventat manometrul cu compresie şi a măsurat presiuni reduse până la 10 3 Pa. •Prima aplicaţie industrială majoră: cca. 1900 la fabricaţia becurilor electrice. •In 1905 Gaede pompa rotativă, etanşată cu mercur. In 1915 a inventat pompa de difuzie cu mercur, prima pompă capabilă de a realiza vid înalt.

ş at ă cu mercur. In 1915 a inventat pompa de difuzie cu mercur, prima pomp
ş at ă cu mercur. In 1915 a inventat pompa de difuzie cu mercur, prima pomp
ş at ă cu mercur. In 1915 a inventat pompa de difuzie cu mercur, prima pomp

1

ş at ă cu mercur. In 1915 a inventat pompa de difuzie cu mercur, prima pomp
ş at ă cu mercur. In 1915 a inventat pompa de difuzie cu mercur, prima pomp

Aplicaţii ale tehnologiei vidului

Componente electronice bazate pe deplasarea electronilor în vid sub acţiunea câmpurilor electrice şi/sau magnetice sau electromagnetice. Tuburi electronice clasice – trioda, pentoda tetroda, etc. Tuburi de microunde – tuburi cu undă progresivă, clistroane, girotroane, magnetroane, tuburi de comutaţie, relee cu vid; Fotomultiplicatoare, convertoare de imagine, amplificatoare de imagine. Panouri cu plasmă, cu efect de câmp (FED), tuburi catodice CRT pentru osciloscoape, monitoare, televizoare, afişaj fluorescent VFD. Acceleratoare de particule, microscoape electronice; Surse de lumină, laseri cu gaz, tuburi de raze X, sisteme cu descărcări în gaze; Sisteme tehnologice pentru tehnologia semiconductoarelor şi tehnologie in general (depuneri în vid); Măsurarea presiunilor foarte scăzute (vid).

ş i tehnologie in general (depuneri în vid); • M ă surarea presiunilor foarte sc ă
ş i tehnologie in general (depuneri în vid); • M ă surarea presiunilor foarte sc ă
ş i tehnologie in general (depuneri în vid); • M ă surarea presiunilor foarte sc ă

2

ş i tehnologie in general (depuneri în vid); • M ă surarea presiunilor foarte sc ă
ş i tehnologie in general (depuneri în vid); • M ă surarea presiunilor foarte sc ă

Presiunea gazelor

Starea unui gaz este descrisă de variabilele de stare: volum, presiune şi temperatură. Gazul exercită o presiune p asupra pereţilor vasului în care se află, definită ca raport între forţă şi unitatea de suprafaţă:

p =

dF

dA

(1)

Unitatea de măsură pentru presiune, unitate derivată în Sistemul Internaţional (SI),

[p] = Newton/metru 2 = Pascal; N/m 2 = Pa.

(2)

Alte unităţi de măsură uzuale pentru presiune sunt:

• barul (prescurtat bar); 1 bar = 10 5 Nm 2 = 10 5 Pa,

• millibarul (prescurtat mbar): 1 mbar = 10 3 bar.

Unităţi tolerate, dar foarte răspândite:

• Torr: 1 Torr = 133.3224 Pa 1,33 mbar,

• atmosfera tehnică (prescurtat at): 1 at = 1 kgf cm 2 = 0,981 bar (1 kgf = 9,81 N),

• atmosfera fizică (prescurtat atm); 1 atm = 760 Torr = 1,013 bar = 1,033 at.

Sistemul englez: psi (pound per square inch) 1 bar=14,5 psi.

(prescurtat atm); 1 atm = 760 Torr = 1,013 bar = 1,033 at. Sistemul englez: psi
(prescurtat atm); 1 atm = 760 Torr = 1,013 bar = 1,033 at. Sistemul englez: psi
(prescurtat atm); 1 atm = 760 Torr = 1,013 bar = 1,033 at. Sistemul englez: psi

3

(prescurtat atm); 1 atm = 760 Torr = 1,013 bar = 1,033 at. Sistemul englez: psi
(prescurtat atm); 1 atm = 760 Torr = 1,013 bar = 1,033 at. Sistemul englez: psi

Denumire domeniu vid

Prescurtare (din limba engleză)

Domeniul de presiuni

Vid preliminar (sau coborât)

LV

300 – 1 mbar

Vid mijlociu (mediu)

MV

1 – 10 3 mbar

Vid înalt (înaintat)

HV

10 3 – 10 7 mbar

Vid ultraînalt

UHV

10 7 – 10 12 mbar

Vid extrem

XHV

10 12 mbar

Vid ultraînalt UHV 10 − 7 – 10 − 1 2 mbar Vid extrem XHV ≤
Vid ultraînalt UHV 10 − 7 – 10 − 1 2 mbar Vid extrem XHV ≤
Vid ultraînalt UHV 10 − 7 – 10 − 1 2 mbar Vid extrem XHV ≤

4

Vid ultraînalt UHV 10 − 7 – 10 − 1 2 mbar Vid extrem XHV ≤
Vid ultraînalt UHV 10 − 7 – 10 − 1 2 mbar Vid extrem XHV ≤

Se obişnuieşte să se împartă domeniul de presiuni, care se extinde pe mai mult de 16 decade în regiuni distincte, aşa cum sunt prezentate în fig. 1.

Fig. 1 Denumiri pentru diversele game de vid şi pompele aferente 5
Fig. 1 Denumiri pentru diversele game de vid şi pompele aferente
5

În funcţie de domeniul de presiuni în care ne aflăm, există trei domenii de curgere a gazului:

1. Curgerea viscoasă sau continuă, care este întâlnită aproape exclusiv în zona

vidului preliminar. Interacţiunile dintre molecule sunt importante pentru caracteristica acestui tip de curgere. Frecările interne şi viscozitatea au aici un rol major. Dacă curgerea are loc prin deplasarea paralelă a straturilor de aer, curgerea este numită de tip laminar. Dacă apar curenţi în alte direcţii, curgerea este de tip turbulent. Curgerea viscoasă este întâlnită atunci când drumul liber mijlociu al moleculelor este mult mai mic decât diametrul incintei (sau conductei)

λ << d

Aprecierea regimurilor de curgere viscoase se poate face prin calculul factorului (numărului) Reynolds Re. Pentru Re > 2300, curgerea devine turbulentă iar pentru Re < 2300 curgerea este predominant laminară.

2. Curgerea moleculară predomină in domeniile vidului înalt, ultraînalt şi extrem.

În aceste domenii de presiuni, moleculele se pot deplasa liber, fără să interfereze una cu

cealaltă. Curgerea moleculară apare dacă drumul liber mijlociu al unei molecule este mult mai mare decât diametrul incintei vidate.

dac ă drumul liber mijlociu al unei molecule este mult mai mare decât diametrul incintei vidate.
dac ă drumul liber mijlociu al unei molecule este mult mai mare decât diametrul incintei vidate.
dac ă drumul liber mijlociu al unei molecule este mult mai mare decât diametrul incintei vidate.

λ

>> d

6

dac ă drumul liber mijlociu al unei molecule este mult mai mare decât diametrul incintei vidate.
dac ă drumul liber mijlociu al unei molecule este mult mai mare decât diametrul incintei vidate.

3. Curgerea de tip Knudsen este întâlnită la tranziţia dintre curgerea viscoasă şi cea moleculară, de obicei în domeniul vidului mijlociu.

λd

La curgerea viscoasă, vectorul viteză preferenţial al tuturor moleculelor de gaz este orientat către direcţia de curgere a gazului. Moleculele fiind destul de dense, ele suferă ciocniri reciproce care sunt mai numeroase decât cele cu pereţii incintei. În cazul curgerii moleculare predomină ciocnirile cu învelişul incintei. Ca rezultat al reflexiei suferite la nivelul pereţilor, dar şi din cauza desorbţiei suferite după un anumit timp, se presupune că o moleculă de gaz în domeniul vidului capătă o direcţie de deplasare arbitrară. Nu se mai poate vorbi de curgere în sensul convenţional, macroscopic. În domeniile de vid înalt şi mai departe proprietăţile vasului ce se videază sunt de maximă importanţă. Sub 10 3 mbar există mai multe molecule pe suprafaţă decât în spaţiul liber al incintei.

ţă . Sub 10 − 3 mbar exist ă mai multe molecule pe suprafa ţă decât
ţă . Sub 10 − 3 mbar exist ă mai multe molecule pe suprafa ţă decât
ţă . Sub 10 − 3 mbar exist ă mai multe molecule pe suprafa ţă decât

7

ţă . Sub 10 − 3 mbar exist ă mai multe molecule pe suprafa ţă decât
ţă . Sub 10 − 3 mbar exist ă mai multe molecule pe suprafa ţă decât

Degazare şi interacţiuni la suprafaţă

La contactul dintre moleculele unui gaz şi incinta cu pereţii solizi au loc două fenomene: adsorbţie şi absorbţie. Termenul de adsorbţie se referă la procesul în care moleculele sunt atrase de suprafaţa solidului şi rămân ataşate de suprafaţa acestuia. Este posibil să rezulte un strat monomolecular sau de câteva molecule. Forţele de atracţie cu dintre moleculele de gaz şi solid pot fi de natură fizică (adsorbţie fizică) sau chimică (chemisorbţie). Termenul de absorbţie se referă la moleculele de gaz care pătrund în solid într-un fel similar cu al unui gaz într-un lichid.

Atunci când un material este plasat în vid, începe procesul de desorbţie prin care moleculele care au fost anterior absorbite sau adsorbite tind să părăsească materialul. Procesul de desorbţie este influenţat de presiune, temperatură, forma suprafeţei şi tipul suprafeţei. Fenomenul de desorbţie se mai numeşte de-gazare (outgassing) Se poate defini o rată de de-gazare raportată la unitatea de arie, măsurată în mbar s 1 cm 2 .

defini o rat ă de de-gazare raportat ă la unitatea de arie, m ă surat ă
defini o rat ă de de-gazare raportat ă la unitatea de arie, m ă surat ă
defini o rat ă de de-gazare raportat ă la unitatea de arie, m ă surat ă

8

defini o rat ă de de-gazare raportat ă la unitatea de arie, m ă surat ă
defini o rat ă de de-gazare raportat ă la unitatea de arie, m ă surat ă

În figură sunt arătate direcţiile de curgere a gazului la o instalaţie de vid.

ţ iile de curgere a gazului la o instala ţ ie de vid. Fig. 2 Fluxuri

Fig. 2 Fluxuri posibile de gaze

Isorp, Ides - gaze ad- sau absorbite, respectiv desorbite; Ioutgas- flux de

degazare

Iperm- flux de gaze ce a trecut prin permeabilitatea pereţilor

I leak - gaze pătrunse prin

neetanşeităţi

I pump - gaze pompate

ce a trecut prin permeabilitatea pere ţ ilor I leak - gaze p ă trunse prin
ce a trecut prin permeabilitatea pere ţ ilor I leak - gaze p ă trunse prin
ce a trecut prin permeabilitatea pere ţ ilor I leak - gaze p ă trunse prin

9

ce a trecut prin permeabilitatea pere ţ ilor I leak - gaze p ă trunse prin
ce a trecut prin permeabilitatea pere ţ ilor I leak - gaze p ă trunse prin

POMPE DE VID

Tipurile de pompe de vid utilizate astăzi se pot împărţi în trei categorii:

La pompele cu deplasare pozitivă, prin deplasări mecanice repetate gazul este deplasat de la intrare către ieşire în cantităţi discrete şi cu o oarecare compresie. Mişcările părţilor mecanice sunt sincronizate cu acţiunea unei supape. Exemple sunt pompa rotativă, pompa Roots, sau cele pe baza mişcării unei diafragme, a unor şuruburi, gheare, etc. La pompele cu transfer de moment cinetic, moleculele de gaz interacţionează fie cu un jet de mare viteză de fluid sau cu suprafeţe solide care se deplasează cu viteze foarte mari. În acest fel se imprimă o componentă de viteză netă spre orificiul de evacuare, de regulă la o presiune mult mai mică decât presiunea atmosferică. Din această categorie fac parte pompele cu jet de vapori (pompe de difuzie), pompe de tip „drag”, pompe turbomoleculare.

ă categorie fac parte pompele cu jet de vapori (pompe de difuzie), pompe de tip „drag”,
ă categorie fac parte pompele cu jet de vapori (pompe de difuzie), pompe de tip „drag”,
ă categorie fac parte pompele cu jet de vapori (pompe de difuzie), pompe de tip „drag”,

10

ă categorie fac parte pompele cu jet de vapori (pompe de difuzie), pompe de tip „drag”,
ă categorie fac parte pompele cu jet de vapori (pompe de difuzie), pompe de tip „drag”,

La pompele pe bază de captură, moleculele sunt extrase din gaz şi captate pe diferite suprafeţe prin fenomene fizice sau chimice de tip condensare sau adsorbţie. Aici întâlnim pompele de tip criogenic, cu sublimare, şi de tip ionic la care procesul de captură este însoţit de prezenţa unui câmp electric sau magnetic. În cazurile în care se doreşte numai un vid preliminar este necesară o singură pompă de tip deplasare pozitivă. Pentru un vid mai înaintat este nevoie de mai multe tipuri de pompe, conectate după o anumită secvenţă.

În acest material vor fi prezentate următoarele tipuri de pompe:

pompa cu palete rotative

pompa Roots

Pompe cu deplasare pozitivă:

Pompe cu transfer de moment cinetic: pompa de difuzie

Pompe pe bază de captură:

pompa turbomoleculară

pompa criogenică

transfer de moment cinetic: pompa de difuzie Pompe pe baz ă de captur ă : pompa
transfer de moment cinetic: pompa de difuzie Pompe pe baz ă de captur ă : pompa
transfer de moment cinetic: pompa de difuzie Pompe pe baz ă de captur ă : pompa

11

transfer de moment cinetic: pompa de difuzie Pompe pe baz ă de captur ă : pompa
transfer de moment cinetic: pompa de difuzie Pompe pe baz ă de captur ă : pompa

Pompa primară este cea care evacuează aerul la presiune atmosferică, de cele mai multe ori este o pompă rotativă. Atunci când presiunea a scăzut de la 1000 mbar la 10 1 mbar (adică 99.99% din cantitatea de aer a fost evacuată), este introdusă în circuit o a doua pompă. Pompele secundare au nevoie la rândul lor de presiune scăzută la intrare pentru a putea funcţiona şi nu pot să evacueze gazul direct la presiunea atmosferică, aşa că trebuie să opereze în tandem cu o pompă primară care preia aerul de la ieşirea lor şi îl evacuează la presiunea atmosferică. De obicei într-o instalaţie de vid printr-un sistem de ventile ales corespunzător, aceeaşi pompă rotativă care a creat vidul preliminar este utilizată şi ca pompă de susţinere (“backing”). Pompele care realizează vid înalt operează în condiţii de curgere moleculară. Deoarece nu mai există o comportare a gazului de tip fluidic, nu se poate extrage gazul pur şi simplu prin absorbţie, aici avem de a face cu ciocniri aleatoare ale moleculelor de gaz cu suprafeţele solide din incintă. Atunci când moleculele de gaz ajung la pompă, există un mecanism care fie le transferă un moment cinetic fie le imobilizează, prevenind întoarcerea lor în volum

un mecanism care fie le transfer ă un moment cinetic fie le imobilizeaz ă , prevenind
un mecanism care fie le transfer ă un moment cinetic fie le imobilizeaz ă , prevenind
un mecanism care fie le transfer ă un moment cinetic fie le imobilizeaz ă , prevenind

12

un mecanism care fie le transfer ă un moment cinetic fie le imobilizeaz ă , prevenind
un mecanism care fie le transfer ă un moment cinetic fie le imobilizeaz ă , prevenind

Pompa cu palete rotative (Rotary vane pump) Construcţia principială a acestui tip de pompă este arătată în figura 3. Un corp metalic alcătuieşte statorul şi camera de pompare care este imersată în ulei. În cameră este montat excentric un rotor. Rotorul conţine două palete montate diametral care sunt presate către exterior cu ajutorul unor arcuri, făcând contact cu pereţii statorului. Există două garnituri care se rotesc odată cu paletele şi o garnitură staţionară realizată de ulei prin închiderea orificiului „T” .Această garnitură separă partea de intrare de cea de ieşire. Vasul care se doreşte să fie vidat este în contact cu intrarea pompei.

Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.
Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.
Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.
Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.
Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.

Fig. 3a- principiu

Fig. 3b - realizare

13

Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.
Vasul care se dore ş te s ă fie vidat este în contact cu intrarea pompei.

În partea de ieşire a pompei gazul este condus la supapa de evacuare. Supapa este de cele mai multe ori o simplă clapetă aflată sub nivelul uleiului, proiectată să se deschidă atunci când presiunea internă este cu puţin mai mare ca presiunea atmosferică, la cca. 1200 mbar sau mai mult. Rotorul este cuplat direct cu un motor electric cu o turaţie de aproximativ 1500 rot/min. Forţele centrifuge menţin paletele în contact cu pereţii statorului.

Acţiunea de pompare este ilustrată în fig. 4 şi poate fi rezumată ca admisie, izolare, compresie, şi evacuare.

rezumat ă ca admisie, izolare, compresie, ş i evacuare. Fig. 4 Fazele de func ţ ionare
rezumat ă ca admisie, izolare, compresie, ş i evacuare. Fig. 4 Fazele de func ţ ionare
rezumat ă ca admisie, izolare, compresie, ş i evacuare. Fig. 4 Fazele de func ţ ionare
rezumat ă ca admisie, izolare, compresie, ş i evacuare. Fig. 4 Fazele de func ţ ionare

Fig. 4 Fazele de funcţionare ale pompei cu palete rotative

14

ă ca admisie, izolare, compresie, ş i evacuare. Fig. 4 Fazele de func ţ ionare ale
ă ca admisie, izolare, compresie, ş i evacuare. Fig. 4 Fazele de func ţ ionare ale

Principalii parametri ai pompelor rotative sunt:

- viteza de pompare a pompei, exprimată de obicei în Nm 3 /h (Normal metri cubi pe

oră). Aceasta depinde de dimensiunile fizice ale pompei şi turaţia rotorului care este cuprinsă de obicei între 200 şi 500 rotaţii /minut. Vitezele de pompare uzuale au valori între 1 şi 1000 Nm 3 /h

- presiunea limită, determinată de gradul de etanşare a pompei şi implicit de

presiunea de la orificiul de evacuare a pompei. Presiunea limită este de ordinul 10 -2

torri.

Cei doi parametri sunt puşi în evidenţă cu ajutorul caracteristicii de pompare, arătată in figura 5a. Alura caracteristicii de pompare arată că pentru pompele rotative cu ulei valoarea presiunii iniţiale nu este critică, această pompă nu are nevoie de vid preliminar. Pentru micşorarea efectului neetanşeităţilor asupra vidului limită trebuie micşorată presiunea de la orificiul de evacuare al pompei. Pentru aceasta se utilizează legarea pompelor în serie. De exemplu, prin legarea în serie a două pompe, fiecare având o presiune limită de 10 -2 torri, presiunea limită a ansamblului se reduce la 10 -4 torri. Se pot realiza pompe cu două etaje ca în fig. 5b.

presiunea limit ă a ansamblului se reduce la 10 - 4 torri. Se pot realiza pompe
presiunea limit ă a ansamblului se reduce la 10 - 4 torri. Se pot realiza pompe
presiunea limit ă a ansamblului se reduce la 10 - 4 torri. Se pot realiza pompe

15

presiunea limit ă a ansamblului se reduce la 10 - 4 torri. Se pot realiza pompe
presiunea limit ă a ansamblului se reduce la 10 - 4 torri. Se pot realiza pompe
Fig. 5a Caracteristica de pompare Fig. 5b Pompă cu două etaje 16
Fig. 5a Caracteristica de pompare Fig. 5b Pompă cu două etaje 16
Fig. 5a Caracteristica de pompare
Fig. 5b Pompă cu două etaje
16

La pompare, este posibil ca în aerul care conţine vapori de apă să apară fenomene de condensare, în special la un nivel de compresie ridicat, atunci când presiunea parţială a vaporilor în volumul separat (izolat) de pompă atinge presiunea vaporilor saturaţi la acea temperatură . Este posibil ca produsele condensate să se amestece cu uleiul şi să îi reducă performanţele Pentru înlăturarea acestor fenomene se poate utiliza procedura numită gas-ballasting. Principiul este ilustrat în figura 6. Aerul atmosferic este introdus în camera de post izolare într-un mod controlat în aşa fel ca presiunea necesară deschiderii supapei de evacuare este atinsă şi amestecul gazos să fie evacuat înainte de atingerea condiţiei de condensare. Această opţiune poate fi oprită şi pornită oricând.

ă op ţ iune poate fi oprit ă ş i pornit ă oricând. F i g

Fig.6 Procedeul Gas ballasting”

poate fi oprit ă ş i pornit ă oricând. F i g . 6 P r
poate fi oprit ă ş i pornit ă oricând. F i g . 6 P r
poate fi oprit ă ş i pornit ă oricând. F i g . 6 P r

17

poate fi oprit ă ş i pornit ă oricând. F i g . 6 P r
poate fi oprit ă ş i pornit ă oricând. F i g . 6 P r

Pompa Roots sau pompa cu două rotoare

Este un alt tip de pompă preliminară, lucrând tot în regim de curgere viscoasă. Pompa este prevăzută cu două rotoare în formă de opt care se învârtesc sincron în sensuri opuse cu o turaţie mare ( aproximativ 4000 rot/min). În figura 7 se ilustrează schematic funcţionarea pompei:

figura 7 se ilustreaz ă schematic func ţ ionarea pompei: Fig. 7 Func ţ ionarea unei

Fig. 7 Funcţionarea unei pompe Roots

În poziţia trei şi patru aerul este evacuat în exterior; simultan în ultima poziţie se produce captarea unei noi cantităţi de aer de către paleta superioară şi în continuare procesul se repetă. Atât cele două palete cât şi suprafaţa interioară a statorului sunt prelucrate cu toleranţe strânse (spaţiu mai mic de zecimi de mm) şi nu necesită ungere şi etanşare cu ulei. Pompele Roots se pot folosi începând chiar cu presiunea atmosferică, dar aceasta necesită răcirea pompei datorită căldurii mari degajate prin frecare în domeniul presiunilor ridicate. De aceea se obişnuieşte legarea în serie a acestor pompe cu

se obi ş nuie ş te legarea în serie a acestor pompe cu pompe de vid
se obi ş nuie ş te legarea în serie a acestor pompe cu pompe de vid
se obi ş nuie ş te legarea în serie a acestor pompe cu pompe de vid

pompe de vid preliminar. Domeniul de presiuni pentru care pompele Roots au un randament maxim este cuprins

între 10 -3 şi 1 torr.

18

Domeniul de presiuni pentru care pompele Roots au un randament maxim este cuprins între 10 -
Domeniul de presiuni pentru care pompele Roots au un randament maxim este cuprins între 10 -

Pompa Roots se poate utiliza şi pentru crearea de suprapresiuni cu rol de compresor de supraalimentare la motoare ( Roots Charger sau Roots Blower)

19
19

Pompe de vid înalt

Aceste pompe lucrează cu gaze in regim de curgere moleculară. Tipurile de pompe cele mai utilizate sunt: pompele de difuzie, pompele turbomoleculare, pompele ionice.

Pompa de difuzie

În aceste tip de pompă, moleculele de gaz care trebuie evacuate se ciocnesc cu molecule grele care se deplasează cu viteză mare într-un jet direcţionat de vapori şi capătă o mişcare preferenţială către zona de evacuare a pompei. Deşi mecanismul principal de pompare se bazează pe jetul de vapori, această pompă a fost şi mai este numită pompă de difuzie deoarece acţiunea de pompare este iniţiată de difuzia moleculelor de gaz în jetul de vapori. Pompa a fost inventată de Gaede în anul 1913 având lichidul de lucru mercurul, fiind îmbunătăţită de Langmuir. Pentru prima dată a fost folosit uleiul în anul 1929 de către Burch. Structura unei pompe de difuzie este ilustrată in figura 8a. Elementele constructive cele mai importante ale acestei pompe sunt: corpul pompei, răcit cu apă, coloana de distilare prevăzută cu ajutaje şi sursa de încălzire.

corpul pompei, r ă cit cu ap ă , coloana de distilare prev ă zut ă
corpul pompei, r ă cit cu ap ă , coloana de distilare prev ă zut ă
corpul pompei, r ă cit cu ap ă , coloana de distilare prev ă zut ă

20

corpul pompei, r ă cit cu ap ă , coloana de distilare prev ă zut ă
corpul pompei, r ă cit cu ap ă , coloana de distilare prev ă zut ă

Funcţionarea pompei se bazează pe următoarele (fig. 8a): un ulei cu greutate moleculară mare, aflat la baza corpului pompei (B) este încălzit până la fierbere şi vaporii astfel produşi pătrund în interiorul coloanei de distilare. Datorită suprapresiunii create aceşti vapori sunt împinşi în exteriorul coloanei de distilare (C), prin ajutaje (N). Moleculele de ulei se ciocnesc cu moleculele de aer care difuzează în corpul pompei şi pe care le înglobează (S), realizând astfel acţiunea de pompare iar apoi îşi continuă drumul spre pereţii corpului pompei (W) care sunt răciţi cu apă. Ca urmare, vaporii de ulei se condensează şi se preling prin gravitaţie în baia cu ulei de unde moleculele de aer sunt eliberate prin fierbere şi pompate în atmosferă de către pompa preliminară (E). Racordul dintre pompa preliminară şi pompa de difuzie este de asemenea răcit cu apă pentru ca eventualele molecule de ulei care pătrund în această regiune să fie condensate şi readuse în baie.

Pompele de difuzie pot avea între 1 şi 9 ajutaje. Pompa din figura 8b) este o pompă de difuzie cu trei etaje, cel mai des întâlnite în practică.

i 9 ajutaje. Pompa din figura 8b) este o pomp ă de difuzie cu trei etaje,
i 9 ajutaje. Pompa din figura 8b) este o pomp ă de difuzie cu trei etaje,
i 9 ajutaje. Pompa din figura 8b) este o pomp ă de difuzie cu trei etaje,

21

i 9 ajutaje. Pompa din figura 8b) este o pomp ă de difuzie cu trei etaje,
i 9 ajutaje. Pompa din figura 8b) este o pomp ă de difuzie cu trei etaje,
Fig. 8a) Pomp ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp
Fig. 8a) Pomp ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp

Fig. 8a) Pompă de difuzie cu un etaj, reprezentare principială

Fig. 8b Pompă de difuzie cu fracţionare cu trei etaje

ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp ă de difuzie cu
ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp ă de difuzie cu
ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp ă de difuzie cu

22

ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp ă de difuzie cu
ă de difuzie cu un etaj, reprezentare principial ă Fig. 8b Pomp ă de difuzie cu

În figura 8b) este prezentată varianta de pompă de difuzie numită pompa de difuzie cu fracţionare. Într-adevăr, în timpul funcţionării pompei, datorită încălziri uleiului se poate produce un fenomen de cracare, adică de rupere a moleculelor mari de ulei in molecule mai mici. În acest caz uleiul nu se mai comportă ca o masă omogenă, fiind format din componente de diferite greutăţi moleculare şi deci cu diferite temperaturi de fierbere. Funcţionarea pompei cu fracţionare se bazează pe faptul că tot uleiul se reîntoarce în baie curgând pe pereţii exteriori ai pompei. Astfel, fracţionarea apare deoarece uleiul condensat intră în contact cu încălzitorul tot prin partea exterioară. Totodată partea exterioară a încălzitorului are temperatura cea mai joasă şi mai întâi vor fierbe componentele mai volatile, ai căror vapori îşi vor continua drumul pe traseul cel mai scurt, de diametru maxim. Ca urmare, în partea centrală a încălzitorului şi ulterior în partea superioară a coloanei nu vor ajunge componentele uşor volatile ci numai uleiurile grele, cu temperaturi de fierbere mari şi deci cu cea mai mică presiune de vapori la temperatura camerei. Rezultatul separării componentelor de cracare este îmbunătăţirea vidului limită al pompei de difuzie.

Pompele de difuzie sunt proiectate astfel încât să funcţioneze începând de la o anumită presiune preliminară. Dacă dintr-un motiv sau altul, pentru un debit dat, viteza de pompare a pompei preliminare este prea mică, vidul preliminar poate să crească suficient pentru a afecta funcţionarea corectă a pompei de difuzie. Presiunea preliminară maxim admis de către o pompă de difuzie este cuprinsă între 0,2 şi 0,5

o pomp ă de difuzie este cuprins ă între 0,2 ş i 0,5 torri ş i
o pomp ă de difuzie este cuprins ă între 0,2 ş i 0,5 torri ş i
o pomp ă de difuzie este cuprins ă între 0,2 ş i 0,5 torri ş i
o pomp ă de difuzie este cuprins ă între 0,2 ş i 0,5 torri ş i
o pomp ă de difuzie este cuprins ă între 0,2 ş i 0,5 torri ş i

torri şi este indicată pentru fiecare tip constructiv de pompă. Caracteristica de pompare a pompei de difuzie este prezentată în fig. 9

23

Fig. 9 Caracteristica de pompare a pompei de difuzie Fig. 10a) Pompă de difuzie într-o
Fig. 9 Caracteristica de
pompare a pompei de difuzie
Fig. 10a) Pompă de difuzie
într-o instalaţie tehnologică
Fig. 10 b) Pompă de difuzie
24

Proprietăţi ale uleiului. Pentru optimizarea performanţelor pompei de difuzie uleiurile folosite trebuie să aibă următoarele calităţi:

1. Să aibă o presiune de vapori cât mai mică pentru a minimaliza pătrunderea

vaporilor de ulei în instalaţia de vid. Uleiurile folosite în pompele de difuzie au o presiune de vapori cuprinse între 10 -6 – 10 -9 torri. Evitarea pătrunderii vaporilor de ulei în sistemul de vid se poate face şi folosind capcane (baffle) răcite cu apă sau azot.

2. Să aibă o fluiditate bună pentru a putea curge înapoi în baie după condensarea

pe pereţii exteriori răciţi ai pompei.

3. Să aibă o masă molară mare comparativ cu masa mo1ară a gazului pompat

pentru creşterea randamentului de pompare. Masa molară a uleiului folosit este

cuprinsă între 300-500.

4. Să nu se descompună prin încălzirea până la temperatura corespunzătoare unei

presiuni de vapori de 0,5 torri în baie. Din acest motiv nu se pot folosi uleiuri cu o presiune de vapori extrem de redusă. În locul uleiului se poate folosi mercur care, fiind un element chimic, nu prezintă pericolul de descompunere. Mercurul are însă alte dezavantaje ca de exemplu o presiune de vapori relativ mare de ordinul 10 -3 torri.

5. Uleiul trebuie să fie inactiv din punct de vedere chimic şi necoroziv pentru.

metalele, sticlele şi gazele din instalaţia de vid. Uleiurile siliconice sunt foarte

din instala ţ ia de vid. Uleiurile siliconice sunt foarte convenabile din acest punct de vedere.
din instala ţ ia de vid. Uleiurile siliconice sunt foarte convenabile din acest punct de vedere.
din instala ţ ia de vid. Uleiurile siliconice sunt foarte convenabile din acest punct de vedere.

convenabile din acest punct de vedere.

6. Vaporii de ulei să nu fie toxici.

25

de vid. Uleiurile siliconice sunt foarte convenabile din acest punct de vedere. 6. Vaporii de ulei
de vid. Uleiurile siliconice sunt foarte convenabile din acest punct de vedere. 6. Vaporii de ulei

POMPA TURBOMOLECULARĂ (TMP)

Pompa turbomoleculară a fost inventată de Becker în anul 1957, devenind foarte utilizată în domeniul vidului înalt şi ultraînalt, datorită vidului curat creat, uşurinţei de utilizare şi a fiabilităţii înalte. Pompele turbomoleculare sunt singurele pompe mecanice care permit obţinerea unui vid curat, ultraînalt corespunzător presiunii de 10 -10 torri.

corespunz ă tor presiunii de 10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a
corespunz ă tor presiunii de 10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a
corespunz ă tor presiunii de 10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a
corespunz ă tor presiunii de 10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a
corespunz ă tor presiunii de 10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a

Fig. 11a) Principiul de realizare a pompei turbomoleculare

10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a pompei turbomoleculare Fig. 11b) Pomp
10 - 1 0 torri. Fig. 11a) Principiul de realizare a pompei turbomoleculare Fig. 11b) Pomp

Fig. 11b) Pompă turbomoleculară

26

Principul de funcţionare

Pompa turbomoleculară este o turbină cu lamele care comprimă gazele pe baza transferului de moment cinetic de la lamele care se rotesc foarte repede către moleculele de gaz. Impulsul este transmis de la rotor prin suprapunerea vitezei termice a moleculelor cu viteza paletelor rotorului. Astfel, mişcarea moleculelor care nu are o componentă direcţională este transformată într-o mişcare direcţională, realizând astfel acţiunea de pompare.

În domeniul curgerii moleculare, în care drumul liber mijlociu al particulelor este mai mare decât spaţiul dintre lamelele statorului şi rotorului, tipic >10 -3 torr, particulele se ciocnesc în special cu rotorul, rezultând un proces de pompare eficient. În domeniul curgerii laminare (tipic >10 -3 torr), acţiunea rotorului este diminuată de ciocnirile frecvente dintre particule. În mod normal, o pompă turbomoleculară nu poate pompa direct de la presiunea atmosferică şi trebuie susţinută de o pompă preliminară. Viteza de rotaţie a pompei depinde de diametrul ei,şi poate fi între 100.000 şi 10000 rot-min, fiind aleasă astfel încât vârful lamelei să nu depăşească viteza sunetului.

ş i 10000 rot-min, fiind aleas ă astfel încât vârful lamelei s ă nu dep ăş
ş i 10000 rot-min, fiind aleas ă astfel încât vârful lamelei s ă nu dep ăş
ş i 10000 rot-min, fiind aleas ă astfel încât vârful lamelei s ă nu dep ăş

27

ş i 10000 rot-min, fiind aleas ă astfel încât vârful lamelei s ă nu dep ăş
ş i 10000 rot-min, fiind aleas ă astfel încât vârful lamelei s ă nu dep ăş

Pompa criogenică

În acest tip de pompă, moleculele gazoase sunt capturate fie prin condensare, sau pentru anumite gaze prin adsorbţie pe suprafeţe menţinute la temperaturi foarte scăzute, proces care se numeşte criocondensare şi criosorbţie, respectiv. Pentru funcţionarea şi explicarea fenomenului de condensare este importantă dependenţa presiunii de vapori a substanţei de temperatură. Presiunea de echilibru a vaporilor unor gaze uzuale este prezentată în figura 12. Condensarea apare pe o suprafaţă aflată la o anumită temperatură atunci când presiunea parţială a substanţei în fază de vapori e mai mare ca presiunea vaporilor saturaţi la acea temperatură

Fig. 12 Diagrama presiunii vaporilor în funcţie de temperatură pentru diverse gaze ce pot interveni
Fig. 12 Diagrama
presiunii vaporilor în
funcţie de temperatură
pentru diverse gaze ce
pot interveni la o pompă
criogoenică
28

Aceste curbe ne dau valoarea temperaturii necesară pentru a menţine o presiune de echilibru a vaporilor egală sau mai mică decât cea cerută în incintă Din motive economice şi practice, primele pompe criogenice utilizau azotul lichid (77 K) şi heliul lichid (4,2 K) pentru răcirea suprafeţelor de condensare. Acest mod de utilizare se regăseşte rar în prezent, cu excepţia instalaţiilor foarte mari.

Pompele criogenice de laborator sau industriale au un agregat de răcire încorporat pentru producerea temperaturilor foarte scăzute. Aceste pompe nu conţin ulei sau alte elemente fiind de tipul „clean”. Pompele criogenice moderne sunt frecvent utilizate în aplicaţii de vid înalt şi ultra- înalt în special pentru capacitatea de a pompa hidrogen şi heliu.

Pompele sunt de tipul secundar, fiind concepute să fie utilizate la presiuni de intrare de mai puţin de 10 3 mbar pentru care condiţiile de curgere sunt de tip molecular. O funcţionare continuă la presiuni mari nu este posibilă deoarece are loc creşterea rapidă a grosimii stratului absorbit. Conductivitatea termică redusă a acestuia face ca temperatura la suprafaţa de condensare să crească la o valoare la care condensarea şi evaporarea au valori comparabile, astfel efectul de pompare încetează.

Fiind o pompă de captură, necesită o regenerare periodică.

, astfel efectul de pompare înceteaz ă . Fiind o pomp ă de captur ă ,
, astfel efectul de pompare înceteaz ă . Fiind o pomp ă de captur ă ,
, astfel efectul de pompare înceteaz ă . Fiind o pomp ă de captur ă ,

29

, astfel efectul de pompare înceteaz ă . Fiind o pomp ă de captur ă ,
, astfel efectul de pompare înceteaz ă . Fiind o pomp ă de captur ă ,

Construcţia pompei criogenice

Reprezentarea schematică a unei pompe criogenice este arătată în fig. 13a), iar în fig. 13b) o realizare practică.

în fig. 13a), iar în fig. 13b) o realizare practic ă . Fig. 13a) Principiul de
în fig. 13a), iar în fig. 13b) o realizare practic ă . Fig. 13a) Principiul de

Fig. 13a) Principiul de realizare a pompei criogenice

Fig. 13b) Pompă criogenică

Principiul de realizare a pompei criogenice F i g . 1 3 b ) P o
Principiul de realizare a pompei criogenice F i g . 1 3 b ) P o
Principiul de realizare a pompei criogenice F i g . 1 3 b ) P o

30

Principiul de realizare a pompei criogenice F i g . 1 3 b ) P o
Principiul de realizare a pompei criogenice F i g . 1 3 b ) P o

Monitorizarea grosimii straturilor subţiri (quartz-crystal microbalance)

straturilor sub ţ iri (quartz-crystal microbalance) Monitorizarea grosimii prin aceast ă metod ă utilizeaz

Monitorizarea grosimii prin această metodă utilizează proprietăţile de rezonator piezoelectric ale unui cristal de cuarţ. Frecvenţa de rezonanţă a dispozitivului piezoelectric este invers proporţională cu grosimea cristalului. În practică, modificarea frecvenţei cristalului expus fluxului de vapori de material este comparată cu cea a unui cristal de referinţă.

ţ ei cristalului expus fluxului de vapori de material este comparat ă cu cea a unui
ţ ei cristalului expus fluxului de vapori de material este comparat ă cu cea a unui
ţ ei cristalului expus fluxului de vapori de material este comparat ă cu cea a unui

31

ţ ei cristalului expus fluxului de vapori de material este comparat ă cu cea a unui
ţ ei cristalului expus fluxului de vapori de material este comparat ă cu cea a unui

Monitorizarea grosimii straturilor subţiri - imagini

Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32
Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32
Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32
Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32
Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32

32

Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32
Monitorizarea grosimii straturilor sub ţ iri - imagini 32

Măsurarea presiunilor scăzute

Pentru măsurarea vidului (a presiunilor scăzute) se pot utiliza următoarele metode Manometre cu mercur sau cu tub Bourdon, diferiţi senzori numiţi în tehnică joje.

cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă

Manometru Bourdon

cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă

Manometru cu mercur

cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă
cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă
cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă

33

cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă
cu mercur sau cu tub Bourdon, diferi ţ i senzori numi ţ i în tehnic ă

34

Tipul senzorului/ dispozitivului

Mărimea măsurată

Domeniul aproximativ de presiuni

Observaţii Tipul indicaţiei

Manometru cu tub U

Înălţimea unei coloane de lichid, de obicei coloană de mercur

101—0.133 kPa 760—1 torr

Independentă de tipul gazului

Manometre mecanice Bourdon, diafragmă, capsule

Deplasarea mecanică a unei diafragme sau a unui perete subţire

101—0.133 kPa 760—1 torr

Independentă de tipul gazului

Manometre capacitive

Modificarea capacităţii la schimbarea poziţiei membranei.

101 kPa—13 mPa

760—10 -4 torr

Independentă de tipul gazului

Jojă Pirani

Modificarea temperaturii filamentului cu presiunea

133 Pa—133 mPa

1 torr—1mT

Dependentă de temperatura ambiantă şi tipul gazelor

Jojă cu termocuplu

Modificarea temperaturii filamentului cu presiunea

1.33 kPa—133 mPa 10 torr—1mT

Dependentă de temperatura ambiantă şi tipul gazelor

Jojă Penning—cu ionizare şi catod rece

Curentul din descărcarea luminoasă

1.3 Pa—1.3 mPa 10 -2 —10 -5 torr

Dependentă de tipul gazelor

Joja Bayard-Alpert cu ionizare şi catod cald

Curentul ionic generat de o emisie constantă de electroni

133 mPa—1.3 × 10 -9 mPa

10 -3 —10 -10 torr

Dependentă de tipul gazelor

3 —10 - 1 0 torr Dependent ă de tipul gazelor Bil ă rotitoare frânat ă

Bilă rotitoare frânată de ciocnirile moleculare

13—1.3 × 10 -5 Pa 10 -1 —10 -7 torr

De tip rotor

10 - 5 Pa 10 - 1 —10 - 7 torr De tip rotor Dependent ă

Dependentă de tipul gazelor, presiune, temperatură, şi tipul bilei

10 - 1 —10 - 7 torr De tip rotor Dependent ă de tipul gazelor, presiune,

JOJE BAZATE PE CONDUCTIVITATEA TERMICĂ

JOJE BAZATE PE CONDUCTIVITATEA TERMIC Ă Conductivitatea termic ă a unui gaz este independent ă de

Conductivitatea termică a unui gaz este independentă de presiune la valori mari ale acesteia, pentru p > 1 mbar. La presiuni scăzute, p < 1 mbar, conductivitatea termică depinde de presiune. Conductivitatea termică scade începând de la aproximativ 1 mbar şi depinde în mod invers proporţional de presiune. Conductivitatea termică atinge o valoare apropiată de zero în zona vidului înalt.

o valoare apropiat ă de zero în zona vidului înalt. Aceast ă dependen ţă este utilizat
o valoare apropiat ă de zero în zona vidului înalt. Aceast ă dependen ţă este utilizat
o valoare apropiat ă de zero în zona vidului înalt. Aceast ă dependen ţă este utilizat

Această dependenţă este utilizat

pe conductivitatea termică şi permite realizarea de măsurători precise, dar

dependente de tipul gazului, în zona vidului mediu.

ă în instrumentele de măsurare a presiunii bazate

35

dar dependente de tipul gazului, în zona vidului mediu. ă în instrumentele de m ă surare
dar dependente de tipul gazului, în zona vidului mediu. ă în instrumentele de m ă surare

JOJE BAZATE PE CONDUCTIVITATEA TERMICĂ

a) Joja Pirani, b) Joja cu termocuplu (balonul de sticlă exterior nu este figurat)

termocuplu (balonul de sticl ă exterior nu este figurat) Construc ţ ia unei joje Pirani este

Construcţia unei joje Pirani este de tip cilindric. Un fir de Wolfram foarte subţire d=0,01 mm este încălzit de trecerea unui curent electric şi va avea temperatura Tw. În jurul firului,coaxial cu el este plasat un cilindru cu diametrul de D ~10 mm aflat la temperatura incintei Ts. Temperatura firului este în mod tipic cu 100 K mai caldă decât cea a incintei. Modificările temperaturii sau ale puterii de încălzire necesare pentru a menţine temperatura firului constantă pot fi puse în corelaţie cu presiunea gazului. O jojă Pirani nu poate funcţiona la presiuni peste 1 mbar, deoarece peste această presiune conductivitatea termică a gazelor nu mai variază cu presiunea.

Joja cu termocuplu utilizează un termocuplu pentru măsurarea temperaturii.

ă un termocuplu pentru m ă surarea temperaturii. Ambele joje necesit ă calibrare, indica ţ ia
ă un termocuplu pentru m ă surarea temperaturii. Ambele joje necesit ă calibrare, indica ţ ia
ă un termocuplu pentru m ă surarea temperaturii. Ambele joje necesit ă calibrare, indica ţ ia

Ambele joje necesită calibrare, indicaţia lor este dependentă de tipul gazului.

36

m ă surarea temperaturii. Ambele joje necesit ă calibrare, indica ţ ia lor este dependent ă
m ă surarea temperaturii. Ambele joje necesit ă calibrare, indica ţ ia lor este dependent ă

JOJE BAZATE PE CONDUCTIVITATEA TERMICĂ

JOJE BAZATE PE CONDUCTIVITATEA TERMIC Ă Schema de conectare la m ă surarea cu joj ă
JOJE BAZATE PE CONDUCTIVITATEA TERMIC Ă Schema de conectare la m ă surarea cu joj ă

Schema de conectare la măsurarea cu jojă Pirani (M), Joja (V) este identică dar nu are balonul de sticlă deschis şi este utilizată pentru referinţă

Aparat de măsură cu jojă Pirani

ş i este utilizat ă pentru referin ţă Aparat de m ă sur ă cu joj

Joja Bayard-Alpert cu ionizare

ş i este utilizat ă pentru referin ţă Aparat de m ă sur ă cu joj
ş i este utilizat ă pentru referin ţă Aparat de m ă sur ă cu joj
ş i este utilizat ă pentru referin ţă Aparat de m ă sur ă cu joj

37

ş i este utilizat ă pentru referin ţă Aparat de m ă sur ă cu joj
ş i este utilizat ă pentru referin ţă Aparat de m ă sur ă cu joj