Sunteți pe pagina 1din 24

Cuprins

Introducere ......................................................................................................................................... 2
Capitolul 1. Microscopia electronica ................................................................................................ 3
1.1. Principii tehnice de functionare a microscopului electronic de baleiaj (SEM) ......................... 3
1.2. Principii generale de functionare a microscopului electronic de transmisie (TEM) ................. 7
1.3. Formarea imaginii..................................................................................................................... 9
1.4. Formarea contrastului ............................................................................................................. 10
1.5. Metode de preparare a probelor fizico-metalurgice ............................................................... 12
Capitolul 2. Microanaliza elementara cu ajutorul sondei electronice ......................................... 16
2.1. Principiul tehnic....................................................................................................................... 16
2.2. Microanaliza elementara.......................................................................................................... 18
2.3. Echipament .............................................................................................................................. 19
2.4. Efectuarea analizei ................................................................................................................... 20
Concluzii ............................................................................................................................................ 23
Bibliografie........................................................................................................................................ 24
Introducere

Microscopul electronic constituie un exemplu de felul cum au fost aplicate in practica unele
din marile descoperiri facute in fizica la sfarsitul secolului trecut. Fizicianul francez Louis de
Broglie a emis in 1924 ipoteza ca electronii au proprietati ondulatorii, adica le este asociata o unda,
din acest punct de vedere asemanandu-se cu fotonii. Aceasta lungime de unda a electronului se
numeste lungime de unda Broglie si este data de formula :
= h / mv unde
= lungimea de unda a electronilor,
h= constanta lui Planck,
v= viteza electronului si m masa electronului.
Prin aceasta, de Broglie a demonstrat asemanarea dintre radiatiile electronice si cele lumnioase.
Microscoapele electronice existente se impart dupa tipul de constructie si destinatia lor in cateva
grupe :
1) Microscoapele electronice de transmisie (TEM), utilizate pentru cercetari ultrastructurale
2) Microscoape electronice de baleiaj, sau de tip SEM, folosite la studiul ultramorfologiei
suprafetelor cu ajutorul electronilor secundari sau reflectati.
3) Microscoape electronice de transmisie si baleiaj (STEM)
4) Microscoape electronice analitice de transmisie
5) Microscoape electronice sistematice
6) Microscoape electronice cu fotoemisie PEM
7) Microsonde electronice EPI
8) Microscoape ionice cu emisie de camp FIM
Avantajele microscopiei cu electroni: cel mai important este magnificareamult crescuta fata
de microscoapele optice, de la 300.000 pana la 2.000.000 de ori (HitachiS-5500), si nu in cele din
urma modurile multiple de investigare de pe urma carora se poateobtine o gama vasta de informatii.
Dezavantajele microscopiei cu electroni: costul ridicat al aparaturii, sensibilitatea ridicata la
diversi factori externi(campuri electromagnetice, vibratii) si faptul ca unele probe (de exemplu
tesuturile vii)trebuiesc preparare in prealabil sau au nevoie de conditii speciale in timpul examinarii
lamicroscop si, in unele cazuri, chiar nu pot fi studiate efcient cu ajutorul unui microscop
cuelectroni.

2
Capitolul 1. Microscopia electronica
1.1. Principii tehnice de functionare a microscopului electronic de baleiaj (SEM)

n microscopul electronic de baleiaj, fasciculul de electroni, produs de tunul de electroni, este


micorat la maximum prin intermediul a 2 sau 3 lentile electromagnetice, urmrindu-se astfel
obinerea unui fascicul extrem de ngust, care este proiectat pe suprafaa probei. Cu ajutorul a dou
bobine de deflexie, plasate n interiorul ultimei lentile electromagnetice, activate de un curent produs
de un generator de baleiaj, fasciculul primar de electroni astfel focalizat, este determinat s
efectueze o micare n zig zag (raster), linie cu linie, a unei zone rectangulare de pe suprafaa
probei, realizndu-se un fel de mturare a acesteia. La orice moment dat din timpul de scanare a
suprafeei probei, fasciculul de electroni ilumineaz un singur punct pe tiparul delimitat pe suprafaa
probei. Pe msur ce fasciculul se deplaseaz pe suprafaa probei punct cu punct, este generat o
variaie a intensitii semnalului, ceea ce va reflecta diferenele prezente pe suprafaa probei
investigate. Semnalul de ieire obinut va fi o niruire de date formate din cureni seriali.
Instrumentele de baleiaj mai noi includ posibilitatea obinerii unor imagini digitale, care sunt
obinute prin conversia semnalului analog obinut de detectori ntr-o serie de valori numerice. Ca
urmare, fasciculul de electroni se afl la perioade diferite de timp, n puncte diferite pe suprafaa
preparatului. n urma impactului fasciculului primar de electroni cu preparatul, semnalele generate
sunt captate de detectori, transformate n semnal electric, amplificate i trimise ntr-un modulator
electronic, urmnd ulterior ca intensitile semnalelor s fie prelucrate digital i afiate pe un ecran.
Baleierea se poate realiza prin dou metode:
deviaia fasciculului de electroni cu ajutorul unor cmpuri electrostatice sau
electromagnetice variabile pe dou direcii reciproc perpendiculare;
prin deplasarea mecanic a probei n fasciculul electronic meninut fix.
Generatorul de baleiaj trimite un curent n form de dinte de fierstru n bobinele de deflexie
ale microscopului, n vederea producerii micrii de baleiere a fasciculului pe suprafaa probei.
Fiecare punct scanat pe suprafaa probei va corespunde unui punct din imaginea final.
Analog luminii la microscopul optic, electronii nu formeaz o imagine real n microscopia
electronic de baleiaj, fiind construit o imagine virtual din semnalul emis de prob.
Fiecare semnal colectat i amplificat se aplic pe o gril de nregistrare a semnalului. n
majoritatea cazurilor, modul standard de lucru este cel emisiv n care sunt colectai electronii
secundari emii de prob. Colectorul se afl la un potenial de 250-300 V fa de prob, ceea ce
determin atragerea electronilor secundari. Dup o accelerare suplimentar pn la o energie eU de
circa 10 keV, electronii ajung pe un scintilator de plastic acoperit cu un strat subire de aluminiu.
Lumina creat n scintilator trece printr-o fibr optic spre un fotomultiplicator, unde este convertit
n curent electric care poate fi amplificat. Timpul de zbor al electronilor este foarte scurt, de
aproximativ 10-7 s. Acelai dispozitiv poate servi de asemenea pentru detectarea electronilor
reflectai (retromprtiai), cu condiia aplicrii unui potenial mrit care s nu permit colectarea
electronilor secundari de energii mai joase.
Un detector utilizat pe scar larg este detectorul cu semiconductori n care electronii incideni
care lovesc detectorul produc perechi electron-gol, care determin apariia unui curent electric n
circuitul exterior. Deoarece detecia este realizat electronic (neformndu-se propriu-zis o imagine
n sensul optic) se pot imagina diverse proceduri de prelucrare a semnalelor, acestea putnd fi
adunate, sczute sau multiplicate.
La nceput, era utilizat un sistem de obinere a imaginii simplu, format dintr-un tub catodic sau
un sistem CRT. Sistemul CRT era format dintr-un tub vidat nchis la un capt cu o suprafa
destinat imaginii, acoperit cu fosfor, care emitea lumin. La cellalt capt al tubului se aflau tunul
de electroni i un set de bobine electromagnetice de deflecie. Similar cu SEM-ul, sistemul CRT

3
utiliza un fascicul de electroni accelerai spre suprafaa acoperit cu fosfor. Bobinele de deflecie
scanau cu fasciculul tiparul imaginii pe suprafaa afiajului. Fosforul avea rolul de a realiza
conversia energiei electronilor incideni n lumin vizibil. Intensitatea luminii depindea de
intensitatea curentului din fasciculul de electroni. Prin sincronizarea sistemului de scanare CRT cu
sistemul de scanare SEM i prin modularea curentului din CRT cu semnalul imaginii, sistemul
cartografia semnalul punct cu punct pe o suprafa de formare a imaginii a sistemului CRT, ceea ce
ducea la obinerea unei imagini de electroni.
Avnd n vedere cele prezentate mai sus, schematic, funcionarea unui microscop electronic de
baleiaj se bazeaz pe cteva etape:
formarea i accelerarea unui fascicul de electroni;
fasciculul de electroni este delimitat si concentrat folosind diafragmele metalice i lentilele
condensoare;
utiliznd lentila obiectiv (final), fasciculul este focalizat pe suprafaa probei;
interaciile generate n interiorul probei bombardate genereaz semnale care sunt identificate
i transformate ntr-o imagine sau n date privind coninutul sau concentraia elementelor din prob.

Sursa de electroni

Prima lentila condensor

Apertura condensor

A doua lentila condensor

Apertura obiectiv

Bobine de baleiere

Lentila obiectiv

Proba

Figura1. Formarea imaginii n microscopul electronic de baleiaj

Din punct de vedere constructiv, sistemul electrono-optic este constituit din coloana
microscopului, camera de lucru n care se monteaz proba i sistemul de detectori.
Coloana microscoapelor electronice de baleiaj nu depaeste 80 cm n nalime i este aezat
de obicei pe aceiai mas pe care se afl sistemul de operare i afiaj, sau este fixat pe un suport
separat n raport cu panoul de operare. n partea superioar a coloanei se afl tunul electronic.
Aproape la toate microscoapele de baleiaj se utilizeaz tunurile triod cu termocatod de wolfram.

4
Tensiunea de accelerare aplicat la tun nu depaete 40.000 V i se aplic n trepte de la 100
V n sus, n funcie de proba examinat. Fasciculul de electroni accelerai are la ieirea din cilindrul
Wehnelt un diametru cuprins ntre 250.000 i 500.000 .
Pentru a putea fi exploatat, acest fascicul trebuie redus mult i adus la nivelul preparatului,
pn la un diametru de 100 sau chiar mai mic. La unele microscoape, reducerea n diametru a
fasciculului se realizeaz cu ajutorul a dou lentile condensoare, iar altele cu un sistem format din
trei lentile condensor. Aceste lentile de tip electromagnetic, alturi de lentila obiectiv, constituie
partea principal a coloanei microscopului. Trecnd prin acestea i prin aperturile centrate din planul
principal al lentilei finale, fasciculul, care la emiterea din tunul de electroni are o densitate
electronic de aproximativ 1015 electroni pe secund i un curent de 10-4 A, ajunge la final doar cu
6x106 electroni pe secund, cu un curent extrem de mic, de ordinul a 10-10 10-12 A i un
diametru de 100 .
Lentila final, fie c este vorba de o coloan cu dou lentile, fie de una cu trei, este cea mai
important; adesea este denumit lentila obiectiv, dei rolul este de focalizare final a fasciculului pe
preparat. n partea central ea include sistemul de deflexie sau de baleiaj al fasciculului i un
stigmator pentru corectarea astigmatismului lentilei.
n partea inferioar a coloanei se afl camera probei i detectorii pentru semnalele emise de
ctre prob. n interior, camera propriu-zis este circular, cu diametrul i nalimea variabile, n
funcie de instrument.
Suportul pentru probe este format dintr-o msu pe care se pot fixa preparate, cu diametrul
de pn la 50 mm i nalimea de 10-20 mm, sau chiar mai mari. Suportul este mobil, astfel c
preparatul poate fi rotit i nclinat sub diferite unghiuri, pentru a fi expus fasciculului de electroni.
De asemenea, el poate fi adus pn la 5 mm distan de lentila final, n special pentru obinerea
unor imagini de nalt rezoluie.
Sistemul de detectori reprezint partea cea mai important a microscoapelor de baleiaj, care
permit funcionarea instrumentelor n unul sau mai multe moduri de operare. Sistemul de baz, din
dotarea standard a microscoapelor, este format din detectorul pentru electroni secundari i detectorul
de electroni retrodifuzai.
Foarte multe dintre cele mai moderne microscoape de baleiaj au i detectori pentru electroni
transmii, catodoluminiscen, fore electronomotoare i detectorul de radiaii X, utilizat pentru
analize privind compoziia chimic a probei. Tipurile de semnale care se obin n microscopia
electronic de baleiaj i modalitile de detectare pot fi diferite.
Fiecare detector este conectat cu o unitate electronic montat pe consola de control. Cu
ajutorul unitilor de control se poate trece uor de la captarea unui semnal la altul, dac aparatul
este dotat cu toate tipurile de detectori.
Deoarece la toate microscoapele se utilizeaz n principal electroni secundari i retrodifuzai,
prezentm n cele ce urmeaz principiul de detectare i amplificare a acestora.
Detectorul de electroni este format dintr-un colector, un scintilator i un fotomultiplicator.
Electronii rezultai din prob n numar destul de mic, sunt captai de colector i accelerai cu o
tensiune de peste 10.000 V, nainte de a atinge scintilatorul. Acesta din urm este confecionat fie
din materiale plastice, dar n acest caz are o via scurt i sensibilitate redus, fie din silicat de ytriu,
cunoscut in literatur i sub denumirea de P-47 i care are sensibilitate ridicat i o durat lung de
exploatare. n urma impactului cu scintilatorul, fiecareelectron d natere la un numar mare de
fotoni care sunt dirijai ntr-un fotomultiplicator, unde fiecare fotoelectron formeaz un numr
impresionant de mare de electroni secundari care sunt trimii n tubul catodic i utilizai la
modularea fasciculului acestuia.

5
Figura 2. Tipuri de semnale i modaliti de prelucrare n microscopia electronic de baleiaj

6
1.2. Principii generale de functionare a microscopului electronic de transmisie (TEM)

Partea principala a microscopului electronic de transmisie o constituie coloana vidata care


contine tunul electronic si ansamblul de lentile electromagnetice, dupa cum s-a aratat in capitolul
anterior. Dupa iesirea din tun, electronii sunt focalizati pe proba prin intermediul a doua lentile
condensoare. In timp ce prima lentila condensoare formeaza o imagine de spot de circa 1 m
diametru, a doua lentila condensor o mareste de doua ori. Deci spotul final al fasciculului observat
pe ecran este de circa 2 m, dar pata luminoasa a fasciculului va ocupa intreg ecranul la mariri mari.
Proba consta dintr-un strat subtire sau o folie de material supusa iradierii cu fasciculul
electronic. In urma proceselor de interactiune, electronii transmisi si difractati (imprastiati elastic)
trec prin aperture (diafragma) lentilei obiectiv. Imaginea I1 formata de lentila obiectiv este preluata
de o lentila intermediara P1 care va forma o imagine intermediara I2. Aceasta va fi in final marita cu
ajutorul lentilei proiector P2 si proiectata pe ecran. In figura 3 este prezentata schematic diagrama
traiectoriilor electronice pentru obtinerea imaginii unei probe in microscopul electronic prin
transmisie.
Prin excitarea diferita a lentilelor P1 si P2, este posibila asigurarea unui domeniu de mariri de
la circa 1000 si pana la peste 100 000 .

Figura 3.Diagrama traiectoriilor electronice pentru obtinerea imaginii unei probe in


microscopul electronic prin transmisie.

7
Daca fasciculul incident este paralel, atunci fasciculele difractate care parasesc proba pot fi
focalizate in planul focal posterior al lentilei obiectiv si formeaza astfel o imagine de difractie. In
acest scop lentila P1 este excitata la curenti mici, iar apertura obiectiv este plasata in jurul
fasciculului nedeviat pentru a produce conditiile favorabile contrastului de difractie. Diagrama
traiectoriilor electronice, corespunzatoare obtinerii unei imagini de difractie, este reprezentata
schematic in figura 3.

Figura 4. Sectiune
ectiune transversala printr-un
printr un microscop electronic de transmisi
transmisie tip JEM- 100 S

In figura 4 este prezentata o sectiune transversala printr printr-un


un microscop electronic de
transmisie de tip JEM-100100 S in care se observa principalele parti componente ale acestuia: tunul
electronic (1); anodul (2); lentila condensoare (3); diafragma condensor (4); a doua lentila
condensoare (5); suportul probei (6); diafragma obiectiv (7); lentila obiectiv (8); diafragma pentru
microdifractie (9); lentila intermediara (10); lentila proiectoare (11); binocularul (12); ecranul (13);
camera fotografica (14).

8
1.3. Formarea imaginii

Bazele fizice ale microscopiei electronice prin transmisie sunt determinate pe de o parte de
interactiunea campurilor electromagnetice, produse in lentile, cu electronii, care influenteaza
parametrii electronooptici ai instrumentului, si pe de alta parte de interactiunea electronilor cu proba
de investigat. Ultimul factor joaca rolul hotarator in formarea imaginii in microscopia electronica.
Duap cum s-a aratat anterior, electronii sunt puternic imprastiati de corpurile solide; deci
pentru ca electronii sa poata traversa proba este necesar ca aceasta sa aiba o grosime suficient de
mica, iar electronii sa posede energii suficient de mari.
Interactiunea electronilor cu substanta poate conduce la doua tipuri de imprastiere (v.cap.4);
imprastiere inelastica si imprastiere elastica.
Imprastierea inelastica rezulta in urma ciocnirii fluxului de electroni cu norii electronici ai
atomilor substantei imprastietoare ceea ce duce la pierderea unei parti din energia fasciculului, cu
schimbarea corespunzatoarea a lungimii de unda asociata. Energia pierduta se regaseste sub forma
de energie termica, care ridica temperatura probei, sau sub forma de energie a fotonilor de radiatii X
emisi de proba.
Imprastierea elastica se produce fara pierderea de energie si variatie a lungimii de unda a
electronilor, aparand ca rezultat al devierii electronilor sub actiunea nucleelor atomice din substanta
imprastietoare.
Intrucat intensitatea imprastierii electronilor pe nuclee este mult mai mare decat cea a
imprastierii pe norii electronici, contributia imprastierii elastice la imprastierea totala va fi mult mai
mare decat cea corespunzatoare imprastierii inelastice. De asemenea, imprastierea elastica a
fasciculului electronic creste cu cresterea numarului de ordine al elementului respectiv.
Avand in vedere cele mentionate anterior, datorita imprastierii, fasciculul incident de
electroni, paralel si cu sectiune mica, devine dupa traversarea probei un fascicul divergent mult
largit. Astfel electronii imprastitati vor forma un con spatial a carui axa este reprezentata de
traiectoria nedeviata a fasciculului incident.
Cu cat este mai mic unghiul conului sub care sunt deviate electronii de la directia initiala, cu
atat mai mare va fi densitatea electronilor imprastiati, deci implicit a electronilor care vor atinge in
final ecranul sau placa fotografica. In general, imprastierea electronilor, deci marimea unghiului
conului de deviatie, este influentata de densitatea substantei imprastietoare si de grosimea probei.
Prin cresterea grosimii sau densitatii probei, fractia de electroni imprastiati la unghiuri mari creste.
Acelasi fenomen se observa si la micsorarea energiei electronilor incidenti. Datorita acestui fapt, in
microscopia electronica prin transmisie, probele au grosimi de cateva sute de angstrmi la energii
ale fasciculului electronic de 50 100 keV. In aceste conditii, fasciculul electronic este imprastiat la
unghiuri mici, de ordinal a 1, iar dispersia energetica la traversarea probei nu depaseste 10 eV.
Imaginea elecrono-optica a obiectului se formeaza prin intermediul lentilei obiectiv cu
ajutorul electronilor imprastiati. Fasciculul paralel, format in tunul electronic si lentilele
condensoare, contine electroni de aproximativ aceeasi energie (fascicul monocromatic).Dupa
traversarea probei, fasciculul emergent contine electroni deviati sub unghiuri diferite. Ulterior, acest
fascicul electronic transmis intra in lentila obiectiv, prevazuta cu o diafragma circulara cu
deschidere de 0,03-0,04 mm, care joaca un rol important intrucat opreste electronii deviati la
unghiuri mai mari decat deschiderea sa.
Electronii care nu trec prin diafragma nu vor participa la formarea imaginii in timp ce
electronii nedeviati sau slab deviate vor trece prin lentila obiectiv si vor forma pe ecranul fluorescent
imaginea electronooptica a obiectului de studiat (fig. 5).
Probele supuse investigarii electrono-microscopice sunt de obicei asezate pe straturi suport
care imprastie mult mai slab electronii decat proba, deci pe un fond luminos se va obtine imaginea
mai intunecata a probei. Imaginea obtinuta astfel se numeste imagine in camp luminos (fig. 5a).

9
Figura 5. Formarea imaginii

Un alt tip de imagine care se poate obtine in microscopul electronic prin transmisie este
imaginea in camp intunecat ( dark field), unde pe un fond intunecat se obtine imaginea luminoasa
a obiectului. In acest caz, fasciculul electronic cade pe proba sub un anumit unghi fata de axa optica
a microscopului, in asa fel incat electronii nedeviati sa fie stopati (absorbiti) de diafragma, prin
deschiderea acesteia trecand si formand imaginea doar electronii care au suferit o imprastiere
(difractie) suficient de intensa in proba (fig. 10b). Astfel, portiunile cele mai dense si mai groase vor
aparea pe ecran cele mai luminoase, iar detaliile slab imprastietoare vor fi cele mai intunecate.
Pentru formarea imaginii in camp intunecat se poate utiliza fie inclinarea sistemului de
iluminare (tunului electronic), fie deplasarea diafragmei din pozitia sa centrala. Imaginea in camp
intunecat are o rezolutie ceva mai slaba decat cea in camp luminos, intrucat la obtinerea sa participa
electronii imprastiati la unghiuri mari, cu o dispersie energetica relativ mare, ceea ce determina
cresterea aberatiilor cromatica si sferica ale lentilei obiectiv.
Este interesant de observat ca, desi imaginea in camp intunecat poate fi considerata ca un
negativ al imaginii in camp luminos, totusi exista o serie de detalii fine care nu coincid in cele doua
tipuri de imagini. Din acest motiv, cele doua metode de obtinere a imaginii in camp luminos si
intunecat sunt utilizate complementar.
Formarea imaginii unor seturi de plane ale retelei cristaline in probe metalice a fost posibila
prin trecerea prin apertura lentilei obiectiv atat a fasciculului direct transmis cat si a fasciculelor
difractate pe respectivul set de plane. Imaginea formata poate fi considerata ca un tip de imagine de
interferenta, utilizata curent ca test de rezolutie pentru microscopul electronic.

1.4. Formarea contrastului

Datorita neomogenitatii probei, diferitele sale zone vor imprastia electronii in mod diferit.
Intrucat stralucirea imaginii va depinde de cantitatea de electroni care cad pe ecran, densitatea
minima de electroni pe ecran va corespunde acelor detalii ale probei, cu cu grosime si densitate
maxima, reprezentand zone de imprastiere puternica. Aceste detalii ale probei vor aparea in imagine
mai intunecate. Invers, unele detalii slab imprastietoare ale probei vor apare pe ecran ca zone mai
luminoase.
Diferenta de stralucire intre zone invecinate ale imaginii probei defineste contrastul imaginii
in microscopia electronica. Pentru obtinerea contrastului in imagine pe ecranul fluorescent este

10
necesar ca densitatea electronilor sa nu fie aceeasi pe sectoarele corespunzatoare diferitelor detalii
ale obiectului, ceea ce va face ca aceste sectoare sa apara distincte. In cazul contrar, al unei densitati
egale de electroni, ecranul se va lumina uniform, neaparand deci nici o imagine.
Contrastul imaginii creste cu cresterea diferentelor de densitate si grosime in diferitele zone
ale obiectului si cu micsorarea deschiderii diafragmei lentilei obiectiv si a tensiunii de accelerare.
Intr-adevar, cresterea tensiunii de accelerare produce cresterea vitezei elctronilor si, prin urmare,
micsorarea imprastierii lor, ceea ce va slabi contrastul in imagine.
Un contrast foarte bun va permite observarea celor mai fine detalii existente in structura
probei.
Din punct de vedere cantitativ, in microscopia electronica prin transmisie,, contrastul dintre
doua zone diferite ale probei este dat de diferenta relativa a numarului de electroni care trec prin
diafragma dupa imprastierea in cele doua zone; deci intensitatea contrastului, G, se defineste prin

N1 N 2 N
G= =1 2 (1)
N1 N1

unde N1 si N2 reprezinta numarul de electroni pe unitatea de suprafata proveniti din cele doua zone
invecinate ale probei.
In cazul probelor de grosimi mici, un calcul bazat pe proportionalitatea numarului de
electroni imprastiati cu numarul de electroni incidenti si cu grosimea probei, duce la urmatoarea
relatie:


G = NA ( x 2 x1 ) (2)
A

unde NA este numarul lui Avogadro, A masa atomica, densitatea, capacitatea de imprastiere a
electronilor de catre un anumit tip de atomi sub un unghi mai mare decat cel al diafragmei lentilei
obiectiv, iar x1 si x2 sunt grosimile zonelor respective din proba. Marimea = A / N A reprezinta
coeficientul de transparenta al probei fata de fasciculul de electroni.
Din relatia (2) rezulta ca , la grosimi foarte apropiate, diferenta de contrast este legata
exclusiv de diferenta dintre numerele atomice si masele atomice caracteristice elementelor din
proba. In cazul unei probe care contine acelasi tip de atomi, contrastul depinde numai de variatia
grosimii probei.
Din punctual de vedere al formarii contrastului exista o diferenta principiala intre
microscopul electronic prin transmisie si microscopul optic obisnuit. In microscopul optic,
contrastul apare din cauza absorbtiei diferite a luminii in zonele invecinate ale probei. In
microscopul electronic, contrastul se formeaza pe baza imprastierii diferite a electronilor in portiuni
adiacente din proba.
In probele amorfe (fara structura cristalina, deci cu o distributie haotica a atomilor
substantei), fasciculul de electroni sufera o imprastiere dezordonata pe nucleele atomice avand ca
rezultat devierea de la directia initiala. O fractie oarecare din flux patrunde prin diafragma, ceea ce
conduce la formarea in imagine a unui contrast slab, numit contrast de absorbtie.
In cazul probelor cristaline, constratul imaginii in microscopia electronica prin transmisie
este in principal un contrast de difractie, deoarece grosimea mica a probelor si tensiunile mari de
accelerare fac ca absorbtia electronilor sa joace un rol neglijabil.
Contrastul de difractie este legat de imprastierea prin difractie a electronilor pe planele
retelei cristaline dupa anumite directii preferentiale. Electronii din fasciculul primar, difractati sub
anumite unghiuri, modifica densitatea de electroni care formeaza imaginea, ceea ce explica aparitia

11
contrastului de difractie. Intrucat, de obicei, unghiurile sub care electronii sunt difractati depasesc
unghiul de deschidere al diafragmei lentilei obiectiv, zonele cristaline din imaginea in camp luminos
vor aparea mult mai intunecate decat cele amorfe.
Contrastul de difractie este dependent de tensiune ade accelerare si de particularitatile de
difractie ale obiectului (gradul de cristalinitate, orientarea cristalografica, numerele atomice ale
elementelor din proba, grosimile diferitelor zone ale probei).
In cazul in care reteaua cristalina are defecte (dislocatii, defecte de impachetare, pori,
granite intercrstaline, limite de macle), conditiile locale de difractie vor fi alterate, fata de cazul unei
periodicitati ideale a retelei cristaline, ceea ce va permite evidentierea acestor defecte prin metoda
contrastului de difractie. Concomitent poate fi evaluata densitatea si distributia diferitelor tipuri de
defecte in proba studiata.

1.5. Metode de preparare a probelor fizico-metalurgice

Probele preparate pentru microscopia electronica prin transmisie trebuie sa tina seama, in
privinta grosimii, de tensiunea acceleratoare, pentru ca transmisia electronilor sa se faca fara pierderi
energetice excesive. In general, pentru tensiuni acceleratoare pana la 100 kV, grosimea probelor
poate varia intre 100 si 1000, in functie de natura materialului si caracterul studiului intreprins.
In principiu se disting doua tipuri diferite de metode de pregatire a probelor in functie de
scopul urmarit in cadrul investigatiilor structurale: metode de studiu a topografiei si morfologiei
suprafetei si metode in vederea examinarii structurii interne.
a) metode de preparare a probelor pentru studiul topografiei si morfologiei superficiale.
Una dintre tehnicile cele mai utilizate pentru investigarea suprafetelor este metoda replicilor.
Aceasta metoda consta in depunerea pe suprafata probei investigate a unui strat subtire de substanta,
care apoi se separa de proba, constituind o replica care se studiaza in microdcopul electronic prin
transmisie, tinand seama ca replica reprezinta o copie negativaa topografiei suprafetei. Principala
cerinta a unor replici de calitate este preluarea exacta prin replicare a topografiei superficiale a
probei. Se pot obtine replici de pe suprafete rugoase, de pe suprafete de rupere (fractura) sau de pe
suprafete polizate si lustruite, atacate chimic, electrochimic sau prin bombardament ionic. In cazul
suprafetelor atacate, morfologia unor constituent5i sau faze secundare poate fi usor relevata datorita
ratei diferite de atac a acestora in rapot cu matricea.
In functie de natura si propietatile materialelor investigate exista mai multe tipuri de replica:
1) replici in plastic; 2) replici obtinute prin evaporare; 3) replici obtinute prin oxidare.
Replicile in plastic se obtin prin depunerea pe suprafata probei a unei solutii de material
plastic intr-un solvent organic corespunzator. Dupa evaporarea solventului, pe suprafata probei
ramane un strat de lac solid si subtire, care se poate desprinde de proba pe cale mecanica sau
chimica (prin dizolvarea probei). In acest scop se utilizeaza curent solutii de 0,5 2% colodiu in
acetat de amil sau 1-5% formvar in dioxin. Uneori aceste replici sunt insa putin transparente pentru
fasciculul de electroni si contrastul in imagine este scazut.
Mult mai utilizate sunt replicile obtinute prin evaporare care confera in general rezolutii
inalte si contrast ridicat. In mod obisnuit aceste replici se obtin prin evaporarea termica in vid a
carbonului in instalatii speciale de evaporare.
Replicile oxidice pot fi obtinute numai in cazul unor metale si aliaje care se oxideaza usor
(de exemplu aluminiul si aliajele sale). Stratul de oxid se poate obtine de exemplu ca rezultat al unui
proces de electroliza si se desprinde de proba intr-un solvent corespunzator, fiind apoi asezat pe un
suport special pentru studiul direct in microscopul electronic.
Frecvent, in functie de numarul etapelor parcurse pentru obtinerea preparatului de studiat,
metodele de pregatire a replicilor (replicare) se clasifica in :
- metode de replicare cu o singura treapta;

12
- metode de replicare cu doua trepte.
In prima metoda (fig. 6a) se obtine replica direct de pe suprafata investigate, asa cum s-a
descries anterior, aceasta copie negativa fiind studiata ulterior in miocroscopul electronic prin
transmisie.
In a doua metoda (fig. 6b), replica se obtine in doua etape: la inceput se obtine o replica
intermediara groasa (matrita) de pe suprafata probei, iar ulterior, dupa separarea mecanica a
acesteia, se pregateste replica finala (prezentand acelasi microrelief ca si proba initiala) printr-un
procedeu asemanator primei metode. In acest scop, se executa evaporarea de carbon in strat subtire
pe suprafata matritei, urmand ca replica finala de carbon sa se separte de matrita de plastic prin
dizolvarea acesteia intr-un solvent organic.Ca materiale plastice pentru matrite se pot utiliza:
polistirol, formvar, colodiu sau celuloza, iar ca silventi tipici pentru acestea se folosesc: benzol,
dioxin, acetat de amil si acetona.

Replica monotreapta Replica in doua trepte Replica de extractie

a b c
Figura 6. Metode de pregatire a replicilor

Contrastul in imaginea microscopica este neomogen in diferitele portiuni ale replicii, in


functie de microrelieful suprafetei probei. In unele cazuri, contrastul poate fi atat de slab, incat unele
detalii investigate nu pot fi distinse pe fondul general al imaginii. Pentru intensificarea contrastului
se utilizeaza metoda umbririi cu metale grele care au o putere mai mare de imprastiere a
electronilor. In principiu, metoda consta in depunerea prin evaporare in vid , sub anumite unghiuri
fata de suprafata probei, a unor straturi subtiri de metal.
Depunerea are loc prin incalzirea electrica a materialului metalic intr-o spirala sau cosulet de
wolfram sau tantal care se monteaza in acelasi dispozitiv de evaporare mentionat.
Particulele de metal formeaza straturi cu grosimi diferite, in functie de unghiul format de
diversele portiuni al replicii in directia fluxului particulelor evaporate. Zonele din relieful replkicii,
care se afla situate normal pe directia fluxului, vor fi acoperite cu un strat mai gros de metal, spre
deosebire de celelalte zone unde grosimea stratului va depinde de unghiul de inclinare. Portiunile
mascate de alte elemente de relief vor fi umbite, deci in acele zone nu se va depune metal. Aceste
regiuni vor fi mai transparente la electroni si, deci, in imaginea electrono-miocroscopica mai

13
luminoasa decat portiunile acoperite cu un strat mai gros de metal, unde luminozitatea va fi in
functie de grosime acestuia.
Metoda umbririi permite valoarea inaltimii h a elementelor de microrelief prin masurarea
lungimii umbrelor lasate de acestea pe imagine, cu ajutorul relatiei:

l = h / tg (3)

unde l este lungimea umbrei, iar unghiul sub care s-a facut umbrirea.
Prin urmare, in cazul unor detalii de dimensiuni mari, se vor utilize unghiuri de cca 45,
raportul inaltime-umbra fiind in acest caz de 1:1, iar in cazul unor detalii mai fine ale reliefului se
recomanda folosirea unor unghiuri mici de umbrire de pana la 10-12.
Metalele grele cele mai utilizate pentru umbrire sunt: crom, aur, platina, aliaje de platina cu
paladiu sau aur, uraniu, oxid de uranium, oxid de wolfram etc.
Un tip special de replici il constituie repliocile de extractie (fig.6c), care sunt replica
obisnuite extrase de pe suprafete atacate chimic un timp mai indelungat, deci in replica vor fi
retinute doar microparticule sau faze izolate. Microparticulele sau fazele extrase isi vor pastra
morfologia si localizarea, iar prin tehnici de microdifractie sau microanaliza se va putea preciza
natura acestora.
O alta metoda de preparare pentru investigarea suprafetelor prin microscopie electronica prin
transmisie este metoda decorarii care consta in depunerea prin evaporare de scurta durata pe
suprafata probei a unor germeni cristalini metalici, care vor forma aglomerari sau lanturi de particule
in zonele continand defecte cristaline, pe care le decoreaza, marcand prezenta si locul acestora in
imagine. Prin metoda decorarii este posibila vualizarea directa a acelor elemente de relief superficial
care constituie centre electric active sau concentratoare de tensiuni. De asemenea, se poate urmari
evolutia defectelor respective ca rezultat al diverselor interactiuni fizico-chimice.
Toate tipurile de replici, fiind de grosimi reduse si, in general, fragile, sunt asezate pe suporti
metalici sub forma de retea, avand uzual un diametru de cca 3mm.
b) metode de preparere a probelor in vederea examinarii structurii interne. O mare varietate
de metode a fost propusa pentru reducerea grosimii probelor pana la obtinerea unor folii subtiri, cu
grosimi adecvate investigatiilor electrono-microscopice. Straturi subtiri au fost obtinute prin
evaporare si depunere in vid, sau prin pulverizare cu fascicule ionice a materialului respective pe
suporti convenabili. Unele cristale ( de exemplu mica) pot fi direct clivate la grosimi suficient de
subtiri, pentru a permite examinarea in microscopul electronic prin transmisie.
Metodele curente de obtinere a unor probe cu grosimi sub 0,5mm constau in taierea
mecanica, eroziunea chimica sau electrochimica. Materialele ceramice pot fi de asemenea subtiate
prin utilizarea bombardamentului ionic.
In final, probele cu grosime redusa trebuie sa fie aduse la transparenta electronica printr-un
process controlat de polizare electrolitica. Electropolizarea se efectueaza prin doua tehnici standard:
metoda ferestrei si metoda Bollmann.
In prima metoda, proba acoperita cu un lac protector in zona marginilor, pentru a preveni un
atac chimic excesiv, este suspendata intr-un electrolit. In fata probei, care constituie anodul, se afla
catodul confectionat din acelasi material. Aplicand o tensiune si o densitate de curent adecvate, in
fereastra constituita de zona nelacuita a suprafetei probei se formeaza gauri, pe marginea carora
sau intre care se afla portiuni transparente pentru fasciculul electronic, acestea din urma putand fi
decupate si studiate in microscop.
In metoda Bollmann, proba de subtiat (anodul) se afla intre doi catozi de otel inoxidabil
ascutiti. Acesti doi electrozi sunt plasati la cca 0,5mm de centrul suprafeti probei. Dupa obtinerea
unei perforatii, proba este deplasata astfel incat electrozii sa se afle intre perforatia anteriaoa si
marginea cea mai apropiata a probei. Subtierea continua in acelasi regim, pana in momentul in care

14
marginile perforatiei si probei aproape se unesc. Zona foliei cuprinsa intre cele doua margini poate fi
taiata si examinata direct in microscop.
Solutiile de electroliti se aleg in functie de natura materialului iar regimul de subtiere
electrolitica (tensiune, densitate de curent) este variabil si necesita uneori lucrul la temperature fie
scazute, fie ridicate. Un exemplu tipic de electrolit, utilizat pentru subtierea otelurilor inoxidabile,
este cel format din 42% H3PO4, 34% H2SO4 si 24% H2O, intr-un regim de polizare caracterizat prin
U= 8-9 V, I=9-10A, t=30 -60 C .
Dupa cum s-a mentionat anterior, stratul subtiri metalice sau ceramice pot fi obtinute prin
procedee de depunere prin evaporare in vid, prin pulverizare catodica sau cu fascicule ionice, prin
depunere electrolitica, sau prin depunere chimica in faza de vapori (CVD). Straturile obtinute de
grosimi variabile pot fi mono sau policristaline. Factorii esentiali pentru controlul dimensiunii
grauntilor, orientarea cristalografica si compozia chimica a straturilor depuse sunt: viteza de
depunere, temperature suportului, natura chimica a suportului si stratului. In calitate de suport se
utilizeaza curent halogenuri alcaline, carboni, sticla, mase plastice etc.

15
Capitolul 2. Microanaliza elementara cu ajutorul sondei electronice
2.1. Principiul tehnic

Microanaliza electronica este o tehnica de analiza elementara locala in care rezolutia in


profunzime poate varia de la cateva zecimi de micrometri la cativa micrometri.Ea este bazata pe
spectrometria de radiatii X caracteristice emise de un esantion masiv sub impactul unui fascicul de
electroni incidenti focalizati(sonda electronica):
Masura de energii de propagare caracteristice informate din natura elementelor continute in
volumul analizat
Intensitatea masurata (numarul de fotoni colectati) pentru o energie data,este legata de
concentratia masica a elementului referit in volumul analizat.
Electronii componenti ai cortegiului electronic de atomi liberi sunt situati deasupra nivelelor
de energie bine definite,corespondenti la diferite straturi K,L,M.

Figura 7. Excitatia si dezexcitatia unui atom pe stratul K

Atunci cand un material este supus la o propagare de energie puternica(aici un fascicul de


electroni accelerati de energie cuprinsi intre 2 si 35 KV),o parte din energia incidenta a propagarii
este transferata la atomii din materia care a trecut atunci din starea lor fundamentala la o stare
excitata:un electron este scos afara din atom (Fig.7).
Starea excitata este instabila,atomul tinde sa revina la starea fundamentala prin tranzitiile
electronice de tipul XY.O energie W=Wx-Wyeste atunci eliberata sub forma unui foton X.
Fotonii X emisi prin excitatie la un nivel X formeaza seria X.Intr-o serie data,liniile sunt
notate cu litere grecesti indexate,prin ordinea descrescatoare a intensitatii(notatia de Siegbahn).
De exemplu,la seria K corespunde o excitatie la nivelul K,litera suplimentara(alfa,beta,..)
indica tipul de tranzitie avand loc la momentul dezexcitatiei (L---K sau M---K,):
tranzitia L3---K notata K1,tranzitia L2---K notata K2
tranzitia M3---K notata K1,tranzitia M2---K notata K3

16
Energia de propagare emisa este legata de numarul atomic de elemnet emitator(legea lui
Moeseley).Masura sa permite deci identificarea atomului din care provine.Acest principiu serveste
ca baza la microanaliza calitativa.
Numararea fotonilor X cu o energie data permite reintoarcerea la concentratia masica a
elementului emitator in volumul de analiza considerat.Masura acestor intensitati serveste ca baza la
microanaliza cantitativa.
Vom remarca similitudinea de principiu intre aceasta tehnica si analiza elementara globala
prin fluorescenta X. Diferenta esentiala intre aceste 2 tehnici este sursa energiei in cazul
fluorescentei X,se actioneaza un fascicul de radiatii X colimatate dar nu focalizate(analiza
elementara a unui volum de ordin de cm3).In cazul microanalizei electronice,se actioneaza un
fascicul de electroni focalizati si volumul explorat este de ordinul de cativa micrometri cubi.
Electronii sunt intr-adevar foarte puternic absorbiti de catre materie.Mecanismele absorbtiei
preponderente sunt difuzia elastica(fara pierdere de energie,cu schimbare de directie),de
interactiunea electronului la un loc cu norul electronic al unui atom in ansamblul sau,cat si difuzia
inelastica(cu pierdere de energie,fara schimbare de directie) de interactiune la loc individualizat cu
un electron din material.Electronii sufera difuzii multiple cu pierderi de energie aleatorii succesive
conform traiectoriilor in linii marcate,eventual pana la oprire,volumul iradiat,desi numit "barna de
interactiune" in argumentul formei sale (fig.8), depinde de energia E0 a electronilor incidenti,de
numarul atomic Z al obiectivului si de densitatea sa.

Figura 8. Barna de interactiune

17
Analizarea unui atat de mic volum de micrometri cub ne prezinta interesul ca este posibil
reperarea zonei de analizare.Aceasta este facuta in mijlocul imaginilor electronice(formate la
plecarea electronilor emisi pe suprafata esantionului),cu aceeasi maniera ca intr-un microscop
electric la maturare.
Imaginile electronilor secundari au un contrast topografic.Ele nu au nici un pic de interes in
analiza cu microsonda electronica,fiindca spectrometrul WDS utilizat pentru analiza impune
prelucrarea pe esantioane perfect plane(slefuite).
Imaginile electronilor retrodifuzati al caror contrast este chimic sunt mult mai interesante
pentru analiza fiindca ele permit punerea rapida in evidenta a eterogeneitatilor locale ale unui
esantion.

2.2. Microanaliza elementara

Performantele analitice care ii sunt asociate unui spectrometru dispersat in lungimea de unda
sunt:
- buna rezolutie spectrala(de ordinul 5eV) deci putine interferente de raze
- buna sensibilitate la elementele usoare.
Diferitele moduri de functionare a unei microsonde electronice sunt:
- analiza calitativa,
- profilele calitative,
- cartografiile X
- analiza cantitativa.

Profilele calitative
Analiza calitativa permite identificarea elementelor prezente intr-o mica zona reperata pe un
esantion.Ea consta intr-o maturare pe toata gama de lungimi de unda acoperind ansamblul
elementelor de la clasificarea periodica(cazul unui esantion necunoscut din care se cunosc
elementele constitutive) sau micul domeniu de lungimi de unda (cazul unui esantion din care se
cunosc elementele constitutive dar din care vom sti ca unii pot interfera intre ei).

Profilele calitative
Acest mod de functionare este util pentru obtinerea rapida a informatiilor calitative
referitoare la repartitia elementelor. Sonda matura esantionul intr-o miscare liniara sau esantionul se
deplaseaza sub o sonda fixa urmarind o linie.Spectrometrul fiind blocat pe radiatia elementului,vom
masura pentru fiecare punct intensitatea bruta in varful unei raze caracteristice a
elementului.Intensitatea masurata fiind aproximativ proportionala cu concentratia
elementului,traiectoria intensitatilor brute dau o buna aproximatie a repartitiei elementului.

Cartografiile repartitiei elementare


Cartografiile X permit punerea in evidenta a distributiei in doua dimensiuni de elemente
constitutive a unei zone date de esantion.Ele sunt fie analogice adica obtinute prin modulatia
luminozitatii printr-un tub catodic prin numarul taieturilor detectate pe o linie caracteristica a unui
element atunci cand sonda matura in sincronizare o suprafata de esantion,fie,foarte
frecvent,numerice adica stocate sub forma unui fisier numeric asociind la fiecare punct imaginea
numarului de impulsuri detectate.

18
Analiza cantitativa
Analiza cantitativa permite determinarea concentratiei masice a unui sau mai multor
elemente intr-o zona reperata de un esantion.Ea este bazata pe masura pentru fiecare element de "k-
ratio" inca numita "concentratia aparenta".
Concentratiile aparente tot asa obtinute,constituie,in oricare cazuri particulare,o buna
aproximatie a concentratiilor masice a elementelor prezente in esantion(cazul in care efectele
matricei sunt neglijabile).In cele mai multe cazuri totusi,calculele sunt necesare pentru a corecta
efectele matricei caci influenta elementelor matricei pe semnalul caracteristic masurat difera in
general in esantion si standard.
Efectele matricei sunt importante in cazul unei radiatii de energie mica produsa de o matrice
greoaie(de exemplu stratul K de oxigen intr-un oxid de molibden).

2.3. Echipament

Elementele esentiale ale unei microsonde electronice sunt:


- coloana electronica
- spectrometrele de dispersie a lungimii de unda

COLOANA ELECTRONICA
Coloana electronica este foarte similara cu cea a unui microscop electronic la maturare.Unele
elemente ii vor fi adaugate (ca regulatorul de fascicule,optica de vedere) pentru a face un instrument
dedicat microanalizei elementare.
Coloana electronica (fig.9) este ansamblul care permite producerea sondei electronice.
Sonda electronica este imaginea redusa a unei surse de electroni furnizata de o teava.Teava
la emiterea termoionica a filamentului de wolfram este actual dispozitivul cel mai bine adaptat la
microanaliza X.Intr-adevar utilizarea sa este putin costisitoare,reglarea usoara,si stabilitatea
satisfacatoare.El elibereaza intensitati puternice de curent (1 la 1000 nA) pentru diametrele de
sonda de ordinul micrometrilor.
Doua lentile condensatoare servesc la formarea unei imagini reduse a sursei si a treia lentila
numita lentila obiectiv este utilizata pentru focalizarea fasciculului de electroni pe esantion.
Pentru analiza cantitativa,un sistem de masurare a curentului de la sonda este indispensabil
caci durata medie de analiza a unui esantion (mai multe puncte de analiza) depaseste din plin o ora.
Diafragmele sunt introduse la diferite nivele ale coloanei pentru a minimaliza erorile opticii
elecronice si a reduce intensitatea fasciculului de electroni.
Maturarea ondei electronice din esantion este asigurata de bobinele de deflexiune.Coloana
este in general echipata de detectori de electroni secundari si retrodifuzati pentru a realiza imaginile
necesare la reperarea zonelor la analizare.

19
Figura 9. Schema unei coloane electronice si a unui spectrometru la dispersarea lungimii de unda

1.Teava de electroni 7.Regulatorul de fascicule 13.Camera esantionului


2.Pompa ionica 8.Colivia lui Faraday 14.Platina suport-esantion
3.Bobinele de aliniere 9.Spectrometre WDS 15.Spectrometre EDS
4.Captusirea absorbanta a electronilor 10.Cristal monocromator 16.SAS introducerea esantionului
5.Lentilele condensatoare 11.Contorul de gaz 17.Lentile obiectiv
6.Diafragmele 12.Esantionul 18.Detectorul de electroni retrodifuzat

2.4. Efectuarea analizei

PREPARAREA ESANTIOANELOR
Esantionul trebuie sa fie plan si perfect slefuit.Sferele sau extruderele de catalizatori sunt in
prealabil acoperite cu rasina dupa care slefuit la diametru.Slefuirea se face in prezenta de apa,sau de
heptan in cateva cazuri particulare.

INCEPEREA UNEI ANALIZE


Platina lama (pe care se pune obiectul care trebuie examinat la microscop) de la microsonda
electronica autorizeaza inceperea simultana a mai multor esantioane si al unui sau mai multor probe-
etalon necesare la analiza lor cantitativa.

IMAGINILE ELECTRONICE
Prima etapa a unei analize consista la reperarea din punct de vedere geographic al fazelor la
observarea si la asigurarea caracterului reprezentativ al lor.Aceasta operatie este condusa fie la
optica de vedere ridicata pe utilaj,fie prin intermediul imaginilor electronice:imaginile in electroni

20
secundari si imaginile in electroni retrodifuzati.Imaginile in electroni retrodifuzati sunt cele mai
interesante din punct de vedere al analizei caci ele permit in partea contrastului lor chimic de a pune
rapid in evidenta eterogeneitatile locale ale unui esantion.

ANALIZA CALITATIVA
Daca esantionul este necunoscut sau contine elemente care pot interfera intre ele,vom realiza
pentru prima data o analiza calitativa.In analiza calitativa spectrometrele baleiaja impreuna sau pe
o portiune dintr-un domeniu de lungimi de unda accesibile ajutarii unui motor pas cu pas in
efectuarea unei numarari rapide (de ordinul a 1/10e s) pe fiecare pozitie unghiulara a cristalelor.In
ordinea descrescatoare a energiilor se vor utiliza cristale LiF,PET,TAP si cristale de tip multistrat.

PROFILELE CALITATIVE
Se vor utiliza aceste tipuri de profile pentru descrierea repartizarii unui element atunci cand
concentratia locala a elementelor de analizat este superioara in procente,cand elementele de dozat nu
interfereaza deloc intre ele si cand matricea unei compozitii este relativ constanta.Acest tip de profil
prezinta avantajul ca descrie perfect o pelicula foarte fina a unui element concentrat in vecinatatea
unei sfere sau a unui extrudere.

PERFORMANTE
Microanaliza cu ajutorul microsondei electronice este o metoda de analiza elementara
locala:ea permite identificarea elementelor prezente intr-o zona mica de esantion si determinarea
concentratiei masice a acestor elemente.
Masurile punctuale realizate la intervale rezultate permit stabilirea profilelor de repartitie a
diferitelor elemente ce constituie un esantion.

ELEMENTELE ANALIZATE
Toate elementele cu numar atomic mare sau egal cu 5 pot fi analizate.Elementele usoare
(B,O) pun totusi probleme specifice datorita intensitatilor mici si energiilor cu raze caracteristice si
cu raport semnal/zgomot.Complicatiile suplimentare pot im acelasi timp sa rezulte din:
Interferenta de raze X de ordin superior
Prezenta razelor L a unor elemente grele
Cauza contaminarii suprafetelor.Aceasta contaminare este evitata prin captarea moleculelor
organice pe o placa racita la temperatura azotului lichid care este asezata in vecinatatea
esantionului.

REZOLUTIA SPATIALA A UNEI ANALIZE


Puterea rezolutiei laterale in microanaliza esantioanelor masive este condusa de difuzia
electronilor.Zona cea mai mica poate fi analizata pe o suprafata de 0.5 pana la 5m(de-a lungul
tensiunii de excitatie si compozitiei locale),valoare in general superioara a diametrului sondei.

PRECIZIA UNEI ANALIZE


Precizia analizelor are pentru limite inferioare statistica de numarare care,chiar ea depinde de
conditiile operatoare(timpul de numarare, curentul de sonda si tensiune) si de elementul analizat si
de matricea sa (numarul atomic,linia utilizata pentru analiza).Pentru elementele usoare
(bor,carbon,oxigen)se adauga incertitudinile pe valoarea parametrilor de corectie (mai ales
coeficientii de absorbtie).
Performantele clasice a unei microsonde electronice pentru analiza cantitativa a unui
material masiv sunt o precizie de ordinul de 1% pentru elementele majore si limitele de detectie de

21
ordinul de 100 pana la 500 ppm.Precizia unei analize de catalizator are pentru limita inferioara
statistica de nunarari la care se adauga o eroare legata de natura poroasa a materialului

LIMITELE DE DETECTIE
Limitele de detectie depind:
De timpii de numarare: limitele de detectie sunt ameliorate in cresterea timpilor de numarare.
Aceste conditii nu sunt intotdeauna compatibile cu o buna stabilitate a esantionului.In aceste
conditii foarte severe vom constata adesea efectele fortelor si o incalzire a esantionului sub
fascicul(o parte a energiei electronilor incidenti este convertita in caldura si provoaca o
crestere a temperaturii in punctual de iradiere a esantionului).
De procentul numeric raportat la continutul elementului(sensibilitatea masurarii)
De elementul analizat (randament slab de emisie a elementelor usoare)
Si de matricea sa(numarul atomic,linia utilizata pentru analiza).Detectarea elementelor grele
in matricile usoare este cazul cel mai favorabil.

22
Concluzii

In concluzie,microsonda este un instrument de alegere pentru studiul distributiei elementelor


active sau impurificarii catalizatorilor.Ea permite sa caracterizeze afinitatea intre elemente sau
afinitatea unui element pentru un suport intr-un amestec de suporturi.
Pragurile de detectie sunt compatibile cu nivelele de concentratie in general foarte joase,de
aceste elemente si de rezolutie,de ordinul micrometrului,este perfect adaptat la descrierea sferelor
sau extruderelor de talie milimetrica.
Trebuie sa distingem timpul de preparare (invelirea ,slefuirea si metalizarea -de ordinul unei
ore pe esantion) si timpii de analiza precisa,variabila pe urmatorul tip de analiza cerut.O analiza
calitativa dureaza de la 1 ora la 2 ore pentru 5 profile.
In cazul unei analize semicantitative recurente (etaloane deja stocate ,matricea esantionului
cunoscut) durata analizei este de o ora- timpul acordat personalului (faza de calibrare si controlul
parametrilor,stocarea coordonatelor punctelor de analizat)+30 minute de exploatare (iesirea
rezultatelor,trasarea curbelor,redactarea unui buletin de analize) pe esantion.
In cazul unei analize necesita o punere la punct,trebuie sa contabilizam in plus prepararea
standardelor si inregistrarilor relative ale acestor standarde (de ordinul unei jumatati de zi) apoi
verificarea manuala a catorva puncte de analiza pe esantion.
In cazul unei analize de elemente usoare (B,C,O) optimizarea poate lua mai multe zile.

23
Bibliografie

1. Ernst Ruska (1986). Autobiografia lui Ernst (versiunea in engleza). Nobel Foundation. Accesat la
2007-02-06.
2. http://www.nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1986/
3. http://www.scribd.com/doc/57678478/Microscopie-electronica
4. OM: World-Record Resolution at 0.78 , (18 mai 2001) Berkeley Lab Currents
5. http://dexonline.ro/definitie/in%20situ
6. Microscopia electronic cu scanare, 1928 - 1965

24

S-ar putea să vă placă și