MICROSCOPIA ELECTRONICA DE

BARRIDO(SEM)

INTEGRANTES:
Gutirrez Fabio
Mejia Jose Juan
Correa Inti Emmanuel
Santana Paola Giovanna
Mondragon Leonardo
Snchez Hamid
 SEM

Es aquel que utiliza un haz de electrones en lugar de un haz de luz para formar
una imagen.
Tambin produce imgenes de alta resolucin, que significa que caractersticas
espacialmente cercanas en la muestra pueden ser examinadas a una alta
magnificacin.
La preparacin de las muestras es relativamente fcil pues la mayora de slo
requieren que estas sean conductoras
 En el microscopio electrnico de barrido la muestra
generalmente es recubierta con una capa de carbn
o una capa delgada de un metal como el oro para
darle propiedades conductoras a la muestra.
Posteriormente es barrida con los electrones
acelerados que viajan a travs del can. Un detector
mide la cantidad de electrones enviados que arroja la
intensidad de la zona de muestra, siendo capaz de
mostrar figuras en tres dimensiones, proyectados en
una imagen de TV o una imagen digital.
Su resolucin est entre 4 y 20 nm, dependiendo del
microscopio.
 PARTES DE UN SEM

Un can de electrones
Un sistema de lentes electromagnticas
Un sistema de barrido
Uno o varios sistemas de deteccin
Una salida conectada a una o varias bombas que
producen el vaco necesario para que el conjunto
funcione adecuadamente
 TIPOS DE FILAMENTOS

Emisin termoinica :Los electrones son emitidos por

calentamiento de un filamento.

Emisin de campoLos electrones son extrados de un filamento

metlico mediante un potente campo elctrico. Proporcionan
un mayor brillo pero requieren un alto vaco.
 LENTES MAGNTICOS

El paso de una corriente elctrica

genera un intenso campo magntico en
el centro de la bobina
 ABERRACIONES

Astigmatismo aparece porque los campos

magnticos de las lentes que desvan los e-
no son perfectamente simtricos respecto
de su eje.
 ABERRACIONES

Cromtica Debido a que el haz de e-no es estrictamente mono energtico y

por lo tanto tiene diferentes longitudes de onda. Las mas cortas tienen mayor
distancia focal
 ABERRACIONES

Esfrica Se produce porque las

diferentes longitudes de onda
entran y salen de la lente a
diferentes ngulos.
 SISTEMA DE VACO

1. Producir una haz coherente : el camino libre medio de los electrones presin
atmosfrica es solamente1 cm. A 10-6 Torrpuedenrecorrer6.5 m and y se
elimnala dispersin
2. Medio aislante : no hay interaccin haz-molculas. Elimina descargas elctricas
en el rea del filamento
3. Aumentar la vida del filamento : eliminando el oxgeno que produce la
oxidacin del filamento
4. Reducir la interaccin entre las molculas de gas, los electrones la muestra
que producira contaminacin
 SEALES GENERADAS
EN EL SEM

Dispersin elstica(sin transferencia de energa)

Dispersin inelstica(con transferencia de energa)

DISPERSIN ELSTICA: ELECTRONES
RETRODISPERSADOS

# de electrones desviados
d/d= (Ze2/16peoE)2sen-4(/2)

La seal de electrones retrodispersados est

compuesta por aquellos electrones que emergen de
la muestra con una energa superior a 50
eV(electronvoltios).
 DISPERSIN INELSTICA: ELECTRONES
SECUNDARIOS(AUGER) Y RAYOS X

Es la que se emplea normalmente para

obtener una imagen de la muestra. Es la
seal que nos proporciona una imagen
ms real de la superficie que estemos
estudiando, se considera un electrn
secundario aquel que emerge de la
superficie de la muestra con una energa
inferior a 50 eV(electronvoltios),
 TIPOS DE IMGENES ELECTRNICAS EN
EL SEM

Imgenes de Imgenes de
electrones electrones
secundarios retrodispersados
 PARMETROS PARA UN ESTUDIO
CORRECTO EN EL SEM

1.TENSIN DE ACELERACIN
2.INTENSIDAD DE CORRIENTE
3.TENSIN DE EXCITACIN DE LAS LINEAS CARACTERSTICAS DE RAYOS X
4.BUENA PREPARACIN DE MUESTRA
LIMPIA Y DESENGRASADA
CONDUCTORA
Metalizacin con Au, Au-Pdetc. para observar imgenes de electrones secundarios
Metalizacin con C para hacer microanlisis SEM
 PROFUNDIDAD DE CAMPO

Diferencia de altura que hay

entre dos planos de la muestra
que presentan la misma calidad
de foco

La profundidad de campo
aumenta si aumentan la
tensin de aceleracin y la
distancia de trabajo
 INFLUENCIA DE LA TENSIN DE
ACELERACIN EN LA RESOLUCIN DE UNA
IMAGEN DE ELECTRONES SECUNDARIOS
 METALIZACIN

Los tcnicas empleadas para mejorar la conductividad de la muestras, para su

estudio al MEB/MSE son la evaporacin y el sputtering. Ambas conducen a
los mismos resultados, pero los mecanismos son distintos.
La eleccin del material con el que se va a recubrir la muestra depende
fundamentalmente del estudio que se va a realizar:
Au y Au-Pd Imgenes de electrones secundarios: Producen mayor emisin
CEstudio microanaltico; Transparente a los rayos-X emitidos por la muestra
METALIZACIN