Microfabricacin con Laser

Juan Garca Ortega

Jos M. Quero
Dpto. Ingeniera Electrnica
 ndice

Introduccin. Lseres.
Mecanizado por Ablacin.
Mecanizado por Adicin.
 Tecnologa lser
Fundamentos del lser
hf

TOMO

Popt

Emisin espontnea Emisin estimulada

Amplio ancho de espectro. Radiacin monocromtica.
Direcciones aleatorias. Igual direccin.
Fases aleatorias. Igual fase.
 Tecnologa lser
Componentes del lser
Superficie Superficie
reflectante semireflectante

medio
Salida del haz
lser

bombeo
 Tecnologa lser
Parmetros del lser:
Longitud de onda (medio)
CO2 entre 940-1060 nm
Nd3+ a 532 nm
Rub a 694 nm

Duracin del pulso (tecnologa)

Continuos o pulsados

Potencia alcanzable (tecnologa)

CO2 entre 1-100W DC y 1012W AC
Nd3+ entre 1-100W DC y 106W AC
Rub entre 10-50 MegW AC
 Tecnologa lser
Litografa Micromecanizado
Aplicacin indirecta Aplicacin directa

Fabricacin de mscaras Eliminacin de material

Escritura directa sobre (ablacin, corte, etc)
sustratos Adicin de material
(rpm: SLA, SLS, etc)
 ABLACIN
Q
T
Procesos implicados en si

vibracin
un pulso:
1. Absorcin de energa

2. Eyeccin de material

3. Conduccin de calor Q
 ABLACIN
Procesos implicados en
un pulso:
 ABLACIN

Proceso de expulsin de material en tres diferentes muestras:

Agua, Gelatina y piel.
Lser Er:YAG , 4.6 J/cm2, 5 mm dimetro agujero, 200 s pulso.
 ABLACIN
Dependencia con la energa
aportada.

= 355 nm
P1 = 8.7 Gw/cm2
P2 = 3.5 Gw/cm2
P3 = 2.3 Gw/cm2
 ABLACIN
Dependencia con la longitud de onda.

= 355 nm = 1064 nm
 ABLACIN
Dependencia con la duracin del pulso
 ABLACIN
Ejemplo ataque polmero
 ADICIN

2PP/SLA: Laser
Zentrum Hannover

Micro-SLS:
Laserinstitut
Mittelsachsen e.V. Micro-SLA (Georgia Tech)
 ADICIN
Micro-SLS:
 ADICIN
Micro-SLM:
 ADICIN
Pulsed Laser Deposition (PLD)
Etapas:
1) Absorcin en el
objetivo.
2) Expansin
unidimensional.
3) Expansin
tridimensional.
4) Expansin en gas.
5) Crecimiento de la capa
en el sustrato.