Documente Academic
Documente Profesional
Documente Cultură
semicondutores
Sumrio da apresentao
Introduo
semicondutor
histria
Mtodos de produo de semicondutores
Obteno da matria-prima
Mono e policristal
Fabricao de Policristal
Fabricao de Monocristal
Fabricao do Wafer
Tratamento do Wafer
Montagem
Concluso
Referncias bibliogrficas
O que um semicondutor?
A conduo ocorre por causa
da presena de eltrons na
banda de conduo.
Materiais semicondutores
apresentam uma quantidade
de eltrons na banda de
conduo, insuficiente para a
conduo.
Materiais semicondutores
apresentam uma baixa ener-
gia de gap (energia necess-ria
para que um eltron migre da
banda de valncia para a de
conduo).
Tipos de semicondutores
Os semicondutores mais utilizados so: Silcio,
Germnio e Arseneto de Glio.
Histria dos semicondutores
Policristais: cristal
formado por vrios
monocristais.
Fabricao do policristal
Slica
Silcio metalrgico
Pureza 99%
O silcio utilizado na
construo de semi-
condutores o ultra-
puro, 99,999%.
Obtido por dois m-
todos: Fsico e Qu-
mico.
Mtodos Fsicos
Baseiam-se na maior solubilidade
das impurezas contidas no silcio
lquido.
Mtodo Siemens
Mtodo Dupont
Mtodo Siemens
Silcio Policristalino
As barras de silcio de
alta pureza so
expostas a 1150 C ao
Triclorosilano. Gs que
se decompe
depositando silcio na
barra
O silcio obtido
possui impurezas
na ordem de 0,001
ppm
Mtodo Dupont
Reage tetracloreto de silcio a 950C com vapores de zinco muito
puros
progressivamente ao
longo do crescimento do
recipiente
Mtodo de Bridgeman
Fotolitografia
Dopagem
Tcnicas de Dopagem
Mtodos de Purificao
Montagem
Fotolitografia
Aplicao de SiO2 no Wafer, com gs e calor
Cobertura de substncia foto-sensvel solvel, que
ser exposta a uma luz ultra-violeta
Retirada da camada foto-sensvel da parte que no foi
atingida pela luz ultra-violeta
Remoo de SiO2 incorreto por etching
Remoo completa da camada foto-sensvel
Segunda camada de SiO2, com camada de polisilcio por
cima.
Repetio do processo sucessivas vezes, at a ltima
camada e mscara.
Camadas de metal fazem conexes entre as camadas
Dopagem
Aps a fabricao da wafer, para a utilizao
do semicondutor na fabricao de
dispositivos, necessrio que ele apresente
uma maior condutividade.
As wafers so bombardeadas com vrios
ons.
De acordo com o tipo de semicondutor (P ou
N), dopa-se com diferentes elementos
Tcnicas de dopagem