Focused Ion Beam

Abstract: La tecnologa FIB (Focused Ion Beam) (Haz de iones focalizado) es una tcnica
ampliamente utilizada en la industria de los semiconductores y en la ciencia de los materiales y
ampliamente utilizado en el campo biolgico para el anlisis y la ablacin (eliminacin del material
en la superficie de un objeto por evaporacin) de materiales.

La tcnica FIB fue desarrollada a mediados de los aos 70, ms exactamente en 1975 se crearon los
primeros sistemas de FIB basados en tecnologa de emisin de campo desarrollados por Levi-Setti,
Orloff y Swanson [1] utilizando fuentes de ionizacin de campo de gas, en 1978 se cre el primer sistema
FIB basado en fuentes metal lquido y fue construido por R.L. Seliger [2] y actualmente es una de las
tcnicas ms empleadas para grabado electrnico en la industria de los semiconductores.

El FIB tiene una similitud con la microscopia electrnica de barrido y la microscopia electrnica de
transmisin ya que en estas tcnicas se hacen uso de electrones para acelerarlos y enfocarlos por
medio de campos elctricos y magnticos, el FIB en vez de electrones utiliza iones. Un ion es un
tomo o molcula en el que el nmero total de electrones no es igual al nmero total de protones,
lo que da una carga neta positiva. El ion ms ligero tiene casi 2000 veces la masa de un electrn
[3],en la microscopia electrnica de barrido los electrones de masa relativamente baja interactan
con una muestra de forma no destructiva para generar electrones secundarios que, cuando se
recogen, proporcionan una resolucin de imagen de alta calidad hasta el rango de sub nanmetro.
En los instrumentos FIB el haz de iones enfocado puede modificar directamente o "moler" la
superficie del espcimen, a travs del proceso de pulverizacin catdica, y este fresado puede ser
controlado con precisin nanomtrica. Al controlar cuidadosamente la energa y la intensidad del
haz de iones, es posible realizar un nano-mecanizado muy preciso para producir componentes
diminutos o para eliminar material no deseado.

Un instrumento de haz de iones focalizado tpico est compuesto por una cmara de vaco ,una
fuente de iones de metal liquido LMIS( Liquid metal Ion source) ,una columna de iones ,una etapa
de muestreo,un detector de imgenes y el uso de diferentes fuentes de gas, en la figura 1 se
observa el diagrama esquemtico de un sistema FIB bsico:

Figura 1. Diagrama esquemtico de un sistema FIB bsico [4]

A continuacin se describe detalladamente cada componente del sistema FIB y sus respectivo
funcionamiento:
1.Camara de vaco (Vacuum chamber) : Tiene tpicamente tres regiones de bombeo al vaco , una
para la fuente y la columna de iones otra para la etapa de muestreo y los detectores de imagen y
finalmente una tercera para el intercambio de las muestras, cada regin requiere estar a una
presin diferente .La fuente y la columna requiere tener un vaco a una presin que se encuentre
en el orden de 118 [4] para prevenir la contaminacin de la fuente y prevenir una descarga
en la columna de iones de alta tensin. La presin de la etapa de muestreo en la cmara debe estar
en el rango de los 16 [4], una presin menor de 14 mostrar evidencia de interaccin
entre el haz de iones y molculas de gas porque la trayectoria media de los iones disminuye a
medida que la presin en la cmara aumenta. La trayectoria media es reducida al punto en que los
iones ya no recorren la distancia a la muestra sin sufrir colisiones con los tomos o molculas de
gas. Normalmente se utilizan bombas de iones para la columna primaria y las bombas turbo
moleculares respaldadas por aceite o las bombas secas se usan tpicamente para las cmaras de
intercambio de muestra y de muestra.[4]

2.La fuente de iones de metal Liquido(LMSIS): Una LMIS es una fuente de iones que utiliza un metal
que se calienta hasta obtener el estado lquido y se utiliza para formar electro nebulizacin(El
nombre electro nebulizacin ( electrospray )se utiliza para un aparato que emplea electricidad para
dispersar un lquido o para el aerosol fino resultante de este proceso. El alto voltaje se aplica a un
lquido suministrado a travs de un emisor (generalmente un vidrio o un capilar metlico).
Idealmente, el lquido que llega a la punta emisora forma un cono Taylor, que emite un chorro de
lquido a travs de su vrtice).

Las capacidades del FIB para la pulverizacin de pequeas sondas es posible gracias a la LMIS que
tiene la habilidad de proporcionar una fuente de 5nm de dimetro [4] ,en la figura 2 se observa la
composicin de la LMIS:

Tres fuerzas configuran la superficie de una fuente de iones lquido-metal: tensin de campo
elctrico, tensin superficial y presin interna causada por el flujo de lquido. Los dos primeros
afectan a cualquier lquido conductor expuesto a un campo elctrico: el campo tiende a tirar de los
tomos lquidos en la direccin del gradiente del campo, mientras que la tensin superficial tiende
a mantener el lquido plano. Ambas fuerzas son inversamente proporcionales al cuadrado del radio
de curvatura de la superficie lquida. Cuanto ms ntido sea el punto en el que el metal se ensancha,
ms fuerte es el campo elctrico que lo extrae ms lejos, pero tambin ms fuerte es la tensin
superficial que lo tira hacia atrs. Sir Geoffrey I. Taylor, que investig el comportamiento de los
lquidos en campos elctricos fuertes a principios de 1960, demostr que slo unas pocas formas
conducen a un equilibrio entre tensin elctrica y tensin superficial. Lo ms importante es un cono
(ahora conocido como un cono Taylor) cuya mitad del ngulo es de aproximadamente 49,3 grados.
Las tensiones elctricas y mecnicas mantienen el lquido en forma cnica indefinidamente.

El campo elctrico en la punta de un cono matemtico Taylor idealizado va al infinito, al igual que la
tensin superficial. En realidad, los tomos se evaporan desde la punta del cono, asistidos por el
campo elctrico. Las rbitas de los electrones en los tomos evaporados estn tan distorsionadas
que los electrones pueden tnel de nuevo en el lquido. Los iones positivos resultantes salen de la
punta del cono bajo la influencia del campo elctrico. Este proceso, llamado evaporacin de campo,
es el principal mecanismo para la produccin de iones por la fuente de LMI.

Se cree que el radio de la punta del cono oscila entre uno y cinco nanmetros, pero el valor es difcil
de determinar exactamente porque la forma de la punta es modificada por el flujo de metal lquido
para reemplazar los tomos perdidos por ionizacin. Adems, la distribucin del campo elctrico
cerca del pice del cono est fuertemente distorsionada por la carga espacial positiva transportada
por los iones salientes, los cuales se mueven muy lentamente durante el primer nanmetro de
recorrido. La forma exacta de una fuente de LMI operativa depende de la produccin de iones por
evaporacin de campo, la hidrodinmica de un metal lquido y el campo elctrico sobre un
conductor de forma desconocida en presencia de carga espacial extrema. David R. Kingham y Lyn
W. Swanson del Instituto de Graduados de Oregon han modelado el proceso asumiendo un valor
inicial para la forma de la punta y

El campo elctrico resultante y el clculo de la tasa de evaporacin de campo. Luego calculan las
trayectorias de iones usando la ecuacin de Poisson, que determina el potencial elctrico en
presencia de carga espacial causada por los propios iones. El potencial elctrico a su vez influye en
la tasa de evaporacin del campo. Varan la forma del lquido hasta que los clculos generan una
respuesta consistente. Su anlisis indica que la regin emisora de iones del cono es de hecho slo
unos pocos nanmetros de dimetro, aunque las dimensiones exactas dependen de las
aproximaciones utilizadas en el clculo y de la corriente a travs del cono. La carga espacial es del
orden de un milln de amperios por centmetro cuadrado, es decir, 0 mil millones de amperios por
metro cuadrado, por lo que es difcil asegurar que la forma calculada es exactamente la correcta.

Los tomos eliminados del extremo del cono por ionizacin son reemplazados por flujo de lquido.
Una corriente de iones de un microampere implica que alrededor de cinco mcrones cbicos de
tomos

Debe ser ionizada por segundo. La punta del cono de Taylor tiene un rea de slo unos diez millones
de micrones cuadrados, por lo que la velocidad del lquido cerca del extremo es del orden de un
metro por segundo.
Esta velocidad es notable: un metro es mil millones de veces el radio final del cono. Si una pelota de
bisbol moviera mil millones de veces su propio radio en un segundo, una pelota lanzada
precisamente al medioda, hora del este, en Shea Stadium llegara a la

Placa en Candlestick Park 50 milisegundos ms tarde (ignorando los efectos de

relatividad especial). Las fuerzas generadas por el flujo, que pueden ser aproximadas usando la
ecuacin de Bernoulli, distorsionan el cono de Taylor en forma de punta de flecha y como resultado
la fuente de iones de metal lquido parece un pequeo chorro en el extremo del cono.

3.Columna de iones:

El enfoque de las partculas cargadas tiene una fuerte semejanza con el enfoque de los fotones. En
lugar de vidrio u otros materiales de alto ndice de refraccin, Sin embargo, estos sistemas pticos
utilizan campos electrostticos o magnticos variables. Las lentes magnticas se usan tpicamente
para enfocar los haces de electrones, pero tales dispositivos no funcionarn para

Ya que el poder de enfoque de las lentes magnticas depende de la raz cuadrada de la relacin
carga-masa de una partcula. Una lente magntica para iones de galio, por ejemplo,

Tienen que ser alrededor de 3 S0 veces ms fuertes que una lente magntica para electrones de la
misma energa.

En cambio, la ptica inica requiere lentes electrostticas, que consisten en dos o ms electrodos
con altos voltajes aplicados a ellos. Las cualidades pticas tericas de estos sistemas son inferiores
a las de las lentes magnticas, y han sido desdeadas desde hace tiempo por la mayora de los
microscopistas electrnicos, pero sus propiedades de enfoque son independientes de la relacin
carga-masa. Adems, son muy compactos. La nica desventaja real de las lentes electrostticas para
la microscopa electrnica es la aberracin esfrica -la tendencia a llevar las partculas que pasan
ms lejos del eje ptico a un foco ms corto que las que viajan cerca del eje. Pero la abrumadora
influencia de la aberracin cromtica (cambios en la distancia focal basada en la energa de la
partcula

Siendo enfocado) en la mayora de los sistemas de haz de iones enfocados hace que la aberracin
esfrica sea de menor importancia y, por lo tanto, la aberracin esfrica no penaliza las lentes
electrostticas

En esta aplicacin. La aberracin cromtica surge de la alta densidad de iones justo por encima de
la superficie del lquido. La densidad de iones conduce a una carga de espacio extremadamente
grande, lo que hace que las energas de los iones asuman una distribucin amplia. La longitud focal
de una lente electrosttica depende de la energa de la partcula, por lo que los iones de diferentes
energas se enfocan en puntos ligeramente diferentes. La carga espacial tambin perturba las
trayectorias de los iones y hace que el tamao aparente de la fuente de iones aumente. James W.
Ward y sus colegas del Hughes Research Laboratory mostraron que la densidad de corriente muy
alta justo por encima de la superficie de una fuente de LMI hace que los iones se repelan
fuertemente y de manera aleatoria. Aunque el rea de emisin de una fuente de iones de metal
lquido es de slo unos pocos nanmetros de dimetro, la fuente vista a travs de la ptica de una
columna de enfoque parece ser un orden de magnitud mayor.
La longitud de onda de un in en movimiento es tan pequea que los sistemas pticos inicos no
pueden ser analizados por la ptica de onda usada para calcular el enfoque y la difraccin de rayos
de luz o de electrones. Incluso los supercomputadores ms grandes tomaran demasiado tiempo
para resolver las ecuaciones requeridas. Afortunadamente, un mtodo ms simple sirve en su lugar.
La ptica geomtrica, el tipo de ptica enseada en la escuela secundaria, es el caso lmite para las
partculas cuya longitud de onda es cero. La distancia focal, la ampliacin y las aberraciones de la
lente pueden definirse simplemente resolviendo las ecuaciones de movimiento de las partculas a
travs del campo electrosttico \ usando las ecuaciones de movimiento de Newton. Adems,
Gertrude F. Rempfer y Michael Mauck de la Universidad Estatal de Portland y Mitsugu Sato de
Hitachi han desarrollado mtodos para encontrar la distribucin de partculas cargadas en un plano
de enfoque, en trminos de la distribucin de densidad de corriente de la fuente y las propiedades
de las lentes . Una vez calculada esta distribucin, ser posible determinar en detalle el
comportamiento de un haz enfocado.

En que consiste la tcnica:

[1] Levi-Setti, R. (1974). "Microscopa de exploracin protnica: viabilidad y promesa". Microscopa

electrnica de barrido : 125.

[2] Seliger, R., Ward, JW, Wang, V. y Kubena, RL (1979). "Una sonda de ionizacin de exploracin
de alta intensidad con tamao de punto submicromtrico".

[3] https://www.fei.com/introduction-to-electron-microscopy/fib/

[4] INTRODUCTION TO FOCUSED ION BEAMS Instrumentation, Theory, Techniques and Practice

Lucille A. Giannuzzi, FEZ Company and Fred A. Stevie North Carolina State University

[5] Focused Ion Beams, Liquid-metal sources, their conical shape generated by electrostatic
fields, produce charged atoms that can cut away and rebuild circuits on a microscopic scale.by Jon
Orloff

[6] http://cime.epfl.ch/files/content/users/120862/files/MSE-704%20FIB-NT/3_4%20FIB_2015.pdf

[7] https://www.intechopen.com/books/modern-electron-microscopy-in-physical-and-life-
sciences/focused-ion-beams-fib-novel-methodologies-and-recent-applications-for-
multidisciplinary-sciences

[8] https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3196160/