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ANALISIS DE MICROVIGA RESISTIVA
Fabian Santiago Barbosa Mendez, Estudiante, Universidad Distrital Francisco Jose de Caldas, 20101005066
fsbarbosam@correo.udistrital.edu.co
Daniel Torres Hernandez, Estudiante, Universidad Distrital Francisco Jose de Caldas, 20111005062
dtorresh@correo.udistrital.edu.co
I. M ARCO TE ORICO
La teora de microvigas se fundamenta en sobre la
teora de MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), los
cuales son todos aquellos sistemas compuestos por piezas
a escalas micrometricas (hasta 100 m) o se trata tambien
de dispositivos de hasta 1 mm de tamano. La particularidad
de estos sistemas es que a esa escala los fenomenos fsicos
de diferentes areas inciden e interfieren unos con otros y
se deben tener en cuenta, tales son los casos de cargas
electrostaticas, momentos magneticos, tension superficial
de fluido y viscosidad, o algunos mas complejos como
efecto piezoelectrico y piezoresistivo, fuerzas estructurales
producidas por un campo electrico o magnetico, tensiones
termicas, entre otros.
Los MEMS entonces se dividen en dos tipos: sensores y
actuadores. De la misma manera que a escala macro, sus
funciones son convertir energa para obtener una determinada
salida. Estos pueden estar constituidos por diferentes materia-
les como lo pueden ser metales, semiconductores, polmeros
o ceramicas. A pesar de que el tema en torno a los MEMS
es extenso, la informacion acerca de estas microvigas es muy
reducida ya que la mayora de los autores no se centra en
definir de que se trata, sino en la manera en que las utilizan
para sus experimentos.
II. M ETODOLOG IA
II-A. Pre-proceso de la simulacion.
Primero seleccionas el asistente de modelado.
Luego se elige la dimension que se va a usar como 3D.
Despues de seleccionar la dimension, seleccionar una
fsica se escoge el efecto Joule y se le da anadir.
En la interfacesfsica anadidas se selecciona mecanica
de solidos.
Se da click en estudio y se abre una sub-seccion en donde
permite seleccionar el estudio en el menu elegimos la
opcion estacionario.
II-B. Descripcion del modelo.
Se selecciona definicion de parametros, y se despliega un
sub-menu en donde se elige parametros.
Agregar los parametros uno por uno, con su nombre
y valor en las columnas correspondientes para poder
referenciarlas mas adelante.
Geometria
Ir al Menu y seleccionar la carpeta de Geometria.
Modificar la unidadde longitud um.
Dar clic derecho carpeta de geometra uno y seleccionar
plano de trabajo.
En tipo de trabajo seleccionar Rapido.
Luego dar clic derecho a la subcarpeta geometra.
De la lista de opciones que aparece seleccionar polgono
de Bezier.
Al hacer clic el polgono de Bezier, se da clic en agregar
lnea.
Insertar valores para Control points en los ejes x = 5 y
y = 1,5.
Dar clic en agregar Linear para agregar el segmento
siguiente.
Insertar valores en el siguiente segmento, solamente en
el eje x = 18.
Dar clic en agregar Linear para agregar el segmento
siguiente.
Insertar valores para x = 23 y y = 0 en la fila 2, los
valores de las otras casillas no se modifican.
Dar clic en agregar Linear para agregar el segmento
siguiente.
Insertar valor para la siguiente lnea en el eje y = 4 de
la fila 2.
Dar clic en agregar Linear para agregar el segmento
siguiente.
Insertar valores en el siguiente segmento para los ejes
x = 18 y y = 2,5 en la fila 2.
Adicionar un nuevo segmento dando clic en agregar
linear.
Insertar un valor para el eje x = 5 en la fila 2.
Adicionar nuevamente un segmento dando clic al boton
agregar Linear.
Insertar valores para los ejes x = 0 y y = 4 en la fila 2.
Dar un clic en agregar Linear, sin modificar ninguno de
los valores que se encuentran en las casillas.
Dar un clic al icono de Cerrar Curve para cerrar las lneas
de la geometra.
Extruir 1
En plano de trabajo damos clic y en el sub-menuse elige
la opcion extruir
En la casilla de distancia colocar 3.
Luego se da clic en construir todo y en la ventana grafica
se ajusta el zoom.
Plano de trabajo
Ir a la ventana de constructor de modelo.

Seleccionar la geometra1.
Dar clic derechoy seleccionar un nuevo plano de trabajo
2.
En definicion del plano seleccionar el tipo de caras
paralelas.
Adicionar la frontera 6 para la ext1, desde la ventana
de Graphics seleccionando manualmente la frontera de
la geometra.
Insertar el valor de 1,5 en desplazamiento de direccion
normal.
Activar la casilla dedireccion normal reversa.
Seleccionar desde 3D projection la opcion de Entire 3D
geometry.
Poligono
Seleccionar en geometra 1 el plano de trabajo 2 y dar
clic derecho, seleccionar la opcion de polgono de Bezier.
En la ventaja de ajustes y en los segmentos de polgono
seleccionar el boton agregar lnea.
Desde puntos de control insertar los siguientes valores
para los ejes correspondientes a la fila 1, x = 11,5,
y = 1,5.
Insertar para la fila 2 los siguientes valores x = 6,3,
y = 1,5.
Dar nuevamente en Anadir lnea para adicionar el nuevo
segmento.
Insertar valor en la fila para el eje y = 0, 5, el valor de
las otras casillas se queda igual.
Agregar otra lnea insertar el valor para x = 6, 3 de la
fila 2.
Agregar otra lnea y agregar el valor para el eje y = 1, 5
de la fila 2.
Para adicionar el segmento, dar clic en anadir lnea y
fijar un valor para el eje x = 11, 5 de la fila 2.
Agregar una lnea, y agregar valores para los ejes x =
6, 5, y = 1, 5 correspondientes a la fila 2.
Agregar una lnea e insertar el valor para el eje x = 6, 5
en la fila 2.
En puntos de control, seleccionar la opcion cerrar curva.
Elegir laopcion de construir todo para visualizar la geo-
metra.
Dar clic en el boton de vista extendida, para ajustar la
geometra en la ventana de Graficos.
Fileteado
Desde la ventada de modelado de construccion, ir a la
carpeta Modelo 1.
Despues ir a las subcarpetas de plano de trabajo 2 y dar
en geometra.
Dar clic derecho a esta ultima subcarpeta y de la lista de
opciones selecciona fileteado.
En la seccion de configuracion, seleccionar el apartado
de puntos y dar clic en anadir seleccion.
Adicionar los puntos 4 y 6, seleccionandolos desde la
ventana de graficos.
Insertar valor en el apartado Radio de 0, 3.
Dar un clic en el boton de construir todo para ver los
resultados del fileteado.
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Dar clic en el boton de vista extendida para ajustar la
imagen a la ventana.
Extruir
Ir a la ventana de construccion de modelo,seleccionar las
carpetas modelo 1 y en esta geometra 1.
Ir hacia la subcarpeta de plano de trabajo 2 y dar clic
derecho.
De la lista de opciones que se desplego, elegir Extruir.
Ir a la seccion de configuracion para extruir.
Estables un valor de 4 para las distancias dese el apartado
de distancias para el plano de trabajo.
Dar clic en construir todo para obtener la imagen de la
extrusion.
Dar clic en el boton de vista extendida para ajustar la
imagen completa en la ventana
Interseccion
Ir a la ventana de construccion del modelo y desplegar
las siguientes carpetas Geometra 1.
Dar clic derecho a la carpeta Geometria1, de la lista de
opciones que aparece seleccionar Operaciones Boolea-
nas. 3. Desde Operaciones Booleanaselegir la opcion de
interseccion.
Ir a la seccion de ajustes para Interseccion, desde objetos
de entrada agregar ext2 y ext1 con el boton agregar
seleccion.
Despues dar clic en el boton de construir todo para cargar
las nuevas caractersticas al modelo y poder visualizarlo.
Le damos en zoom para amoldar la geometra, y obten-
dremos una figura.
Union de forma
En la ventana de construccion del modelo, desplegar las
carpetas Modelo 1> geometria1.
Dar clic derecho a la Geometra 1, de la lista que aparece
seleccionar la opcion de union de forma.
Ir a la seccion de ajustes y seleccionar el boton de
seleccionar construccion para cargar las nuevas especi-
ficaciones al modelo.
II-C. Proceso de simulacion.
Seleccion explcita I
En la ventana de construccion del modelo desplegar las
siguientes Modelo 1 Definiciones.
Dar clic derecho a la definicion y de la lista que aparece
abrir las opciones de Seleccion y elegir Explicita.
Seleccionar la opcion de remarcar
Agregar la nueva carpeta como conector1 y dar clic en
OK.
Ir a construccion del modelo y seleccionar conector1,
desde la seccion de ajustes modificar el apartado entrada.
Elegir limite desde nivel de entidad geometrica.
Adicionar solamente limite 1(la base de un extremo de la
geometra) con el boton de agregar seleccion seleccionan-
do el lmite desde la ventana de Grafico manualmente. O
bien el boton de pegar seleccion escribiendo el numero
1 que corresponde al lmite.
Seleccion explcita II
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En la ventana de construccion de modelo desplegar pansion termica, despues dar clic en la subcarpeta de
nuevamente las siguientes carpetas Model1Definicion. calentamiento de Joule modelo 1.
Dar clic derecho a la carpeta de definicion y de la lista Ir a la seccion de configuraciones para la subcarpeta
que aparece abrir las opciones de Seleccion y elegir Calentamiento Joule modelo 1.
Explicita. Identificar el apartado de corriente de conduccion y
Clic derecho a Explicita 2 desde construccion de modelo. selecciona la opcion de resistencia lineal (Linearized
Seleccionar la opcion de Renombrar. resistivity).
Agregar el nuevo nombre para esta carpeta, conector2 En el mismo apartado de corriente de conduccion, lo-
y dar clic en OK. calizar coeficiente de resistencia por temperatura (),
Ir a construccion de modelo y seleccionar conector2, y elegir la opcion de uso definido, mantenga el valor
en la seccion de ajustes elegir limites desde nivel de la predeterminado de cero para ().
entidad geometrica. Nota: Antes de resolver el modelo con las dos fsicas aco-
Adicionar solamente limite 13, con el boton de pegar pladas, en el cual se estudia la dependencia de la resistividad
seleccion escribiendo el numero 13 correspondiente al con respecto a la temperatura, se define por el momento una
lmite. resistividad constante para comparar estos resultados con los
Seleccion explcita III que se obtendran mas adelante usando las dos fsicas.
Repetir los pasos del 1 al 3 realizados en las explicitas III. R ESULTADOS OBTENIDOS
anteriores.
Renombrar con el nombre de conectores y dar clic en
OK.
Ir a construccion de modelo y seleccionar conector2, en
la seccion de ajustes elegir Boundary desde nivel de la
entidad geometrica.
Adicionar Boundary 1 y 13, con el boton de pegar
seleccion escribiendo el numero 1 y 13 uno por uno.
Materiales
En la ventana de construccion de modelo, ir hacia las
siguientes carpetas Modelo 1Materiales.
Dar clic derecho a la carpeta de Materiales, de la lista
que aparece seleccionar abrir Material.
Ir a la seccion de Material, de la lista que aparece
desplegar MEMSMetalesCu.
Seleccionar y dar clic derecho al material Cu, poste-
riormente dar clic en agregar Material para el modelo.
Cobre (Cu)
En la ventana de construccion de modelo, seleccionar las
Figura 1: Imagen del analisis multifsico (tension, desplazamiento, tempera-
siguientes carpetas Modelo 1Materiales. tura).
De la carpeta Materiales desplegar la subcarpeta Cu, ir
hacia la seccion de ajustes.
Localizar el apartado de Contenido de materiales, en
la tabla de propiedades que aparece insertar valor para
permitividad relativa = 1.
En la misma seccion identificar el apartado de pro-
piedades del material, extender las siguientes carpetas
modelo electromagnetico Resistencia Lineal referencia
resistiva (rho0)
Dar clic en el boton inferior de anadir al material para
agregar esas propiedades al modelo.
Regresar al apartado de contenido de materiales, e iden-
tificar propiedades que se anexaron en el paso anterior.
Definir valores para esas propiedades en la lista que
aparece en contenido de materiales.
Calentamiento por efecto Joule y dilatacion termica
Calentamiento por efecto Joule modelo 1.
Desde la ventana de construccion de modelo, desplegar
las carpetas de modelo 1calentamiento Joule y ex- Figura 2: Analisis termico de la microviga.
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IV. C ONCLUSIONES
Se pudo observar en la simulacion los diferentes fenome-
nos que afectan a la microviga y como estos pueden estar
relacionados inclusive.

R EFERENCIAS
[1] Gua de laboratorio, Analisis multifsico para la microviga resistiva.
[2] MEMS, se puede encontrar en https://en.wikipedia.org/wiki/
Microelectromechanical systems
[3] MEMS, se puede encontrar en https://www.memsnet.org/mems/what is.
html
[4] Generacion de modelos reducidos para micro-actuadores electrostaticos,
se pueden encontrar en http://www.scielo.org.co/scielo.php?script=sci
arttext&pid=S0121-49932005000100005