UNIVERSITATEA “ GHEORGHE ASACHI “ IAȘI

FACULTATEA DE MECANICĂ

Tehnologii MEMS in industria medicala

Student :
Ungureanu Mihai
Definitie

Microsistemele electromecanice sunt sisteme integrate de dimensiuni mici şi foarte mici (de
la câţiva micrometri până la milimetri) care combină în structura lor elemente electrice şi mecanice.

Dispozitivele MEMS sunt in mod uzual produse utilizand tehnologii de procesare bazate pe
litografie, in general descrise ca “microthenologii in volum sau microtehnologii de suprafata”,
imprumutate din bine cunoscutul proces tehnologic al circuitelor integrate (IC).

În medicină se folosesc adesea senzori de măsurare a tensiunii arteriale, sisteme de

stimulare a muşchilor, senzori de tensiune arterială implantaţi, microinstrumente, proteze,
stimulatoare cardiace, etc.

Prin biodispozitiv se intelege un ansamblu de părţi electrice, biologice, mecanice, optice – ca

elemente active – (traductoare, amplificatoare, de caracterizare, etc) şi a unor elemente de
interconectare, capsule, terminale, microcanale de alimentare cu biolichid – ca elemente de
conectare cu mediul extern.

Biodispozitivul poate avea funcţii complexe. Atunci când el este construit doar pentru a
detecta o anumită substanţă, poartă numele de biosenzor. Biosenzorii sunt biodispozitive sau parti
ale acestora, care receptioneaza substante. Deci clasa biodispozitivelor este o clasa mai larga, care o
include pe cea a biosenzorilor.

Dar există biodispozitive create şi în alte scopuri: caracterizarea unor materiale biologice,
furnizarea unui medicament, sau detectarea multor substanţe (biodispozitiv de tip multisenzor)
combinată cu furnizarea de substanţe, vehicularea şi manipularea de substanţe, ţesuturi, etc.

O larga varietate a dispozitivelor au inceput sa fie dezvoltate acest lucru aducand avantaje
materialelor si instrumentelor pentru procesul de microfabricatie pentru aplicatii in medicina si
biologie.

Ca rezultat al avansarilor facute de industria microelectronicii,avantajul pentru aceste

dispozitive consta in potentialele micro-dimensiuni ale acestora si abilitatea de a fi
confectionate(fabricate) in volum mare si cu un cost per unitate mic.Cu toate acestea, dispozitive ca
SistemeMicroElectroMecanice Bilogice(BioMEMS),Tranzistoare ISFET sau microelectronic pe baza de
Sliciu s-au comportat bine in vitro dar cu experienta bioincompatibila semnificativa in mediul liber.

Tehnologia MEMS bazata pe Siliciu incepe sa influenteze domeniul serviciilor medicale cu

perfectionarea biocapsulelor micrometrice si imuno-izolante.Cantitatea de date despre
biocompatibilitate si bioincompatibilitate este necesara nu numai in sprijinul alegerii materialului
pentru dispozitive pentru aplicatii medicale,dar si pentru intelegerea suplimentara a interactiunilor
in mediul liber dintre tehnologie si mediul biologic.

În continuare voi prezenta câteva microstructuri electromecanice utilizate pentru aplicaţii

medicale . Un exemplu de biodispozitiv este cel utilizat pentru furnizarea insulinei la diabetici.

În fig 1 este prezentat un biodispozitiv implantabil pentru furnizarea insulinei. El face parte
dintr -o clasa mai largă, bazată pe aş a numitele biomicrocapsule, care au scopul de a asigura un
spaţiu sigur pentru o specie de celule închise într-o cavitate şi plasate în interiorul unui organism
gazdă.

Se creează o cameră imunoizolantă reprezentată de două membrane semipermeabile, care

să permită schimbul de nutrienţi cu exteriorul. Urmează închiderea camerei după introducerea
celulelor. Materialele membranei trebuie săasigure o funcţionare normală a celulelor încapsulate,
fără să permită recunoaşterea lordin partea corpului, deci evitarea funcţiilor de respingere.

Din punct de vedere tehnologic se porneşte de la corodarea anizotropă a două plachete de

siliciu până la obţinerea unor membrane subţiri cu grosimi de circa 10 μm. Aceste membrane sunt
porozificate astfel încât se obţin microcanale cu lungimi între 6-9μm şi diametre nanometrice. Se
creează camera imunoizolantă. Se acoperă marginile plachetelor cu colagen sau albumină serică, se
introduc celulele în cavitate ş i apoi selipesc plachetele de siliciu, închizând camera. Membranele
semipermeabile din Si poros permit celulelor să funcţioneze normal (absorb nutrienţi din exterior şi
furnizează insulină prin membrana poroasă).S-a demonstrat că celulele producătoare de insulină au
o viabilitate de aproximativ 8 zile pe substrat de Si poros, dar prezintă o proliferare superioară în
aceste 8 zile pe Si poros faţă de substratul de latex, clasic utilizat în biochimie.

Fig 1. Dispozitiv de furnizare a insulinei prin încapsularea celulelor secretoare de

insulină între două membrane de Si-poros.
 In figura de mai jos este prezentat un sistem implantabil in servicii medicale care utilizeaza
membrane de baza din aur pentru sigilarea individuala a rezervelor de medicamente .

Fig.2 Dispozitiv microcip pentru servicii medicale:viziune asupra electrodului si a rezervelor

Acest dispozitiv permite impachetarea individuala si sigilarea compusilor (componentelor),

impreuna cu abilitatea de a accesa individual membranele pentru sigilarea rezervelor trecand la
fixarea reactiei electrochimice(anod/catod).Obiectivul producerii dispozitivului MEMS este sa
realizeze agenti terapeutici specifici dozati in monstre in combinatii complexe.

Dispozitivul poate fi folosit pentru realizarea horminilor agenti chimioterapeutici, analgezice,

anestezice si alti agenti bioactivi.

Orice dispozitiv facut pentru a fi de durata in aplicatiile din mediul liber trebuie sa
indeplineasca conditii riguroase de biocompatibilitate si biostabilitate.In primul rand,nu trebuie sa
produca toxicitate pentru tesuturile inconjuratoare,si nu trebuie sa avarieze tesutul local prin
inducerea stresului mecanic.In al doilea rand,capacitatile dispozitivului MEMS pentru extragerea
medicamentelor nu ar trebui sa fie compromise de tesuturile inconjuratoare.Specific,implantul
trebuie sa tolereze expunere de durata pentru mediul fiziologic,de asemenea si rezistenta la
impactul cu tesutul inconjurator si cu functiile sale(bioincompatibilitate).
Senzori de presiune în medicină

Se utilizează la microsisteme de măsurare a tensiunii arteriale şi sunt introduse intravenos.

Principiul de funcţ ionare ai senzorilor de presiune utilizaţi în medicină este prezentat în schema
următoare :

Atunci când sângele acţionează asupra membranei de silicon a senzorului , apare o

deformare a membranei ce acţionează asupra elementului piezoelectric . Acesta din urmă
transformă deformarea mecanică în semnal electric .

În figura următoare se pot observa cele mai utilizate microsisteme electromecanice pentru
măsurarea tensiunii arteriale

Un senzor foarte utilizat în medicina este microsenzorul ce masoara presiunea sangelui.

Biomicrosisteme electromecanice

Se utilizează în special pentru sisteme de monitorizare la domiciliu , printre acestea

numărându-se : sisteme tip lab-on-a-chip , senzori chimici , controlere de debit sau microvalve . În
figura următoare este prezentat un sistem ce supraveghează globulele roşii din sânge :

Un alt biomicrosistem electromecanic utilizat în medicină este biosenzorul amperometric de

glucoză , numit şi ROSADG01. Acesta poate detecta glucoza din sânge în gamă 10-20mM . Este
fabricat într-o tehnologie planară ne-standard , utilizând un film subţire anodic de Al2O3 drept
catalizator şi strat absorbant . Detecţia se realizează întrun timp mai mic de două minute , iar
proiectarea senzorului se bazează pe o celulă Clarck cu patru electrozi .

Institutul de Biochimie Bucureşti , împreună cu Centrul de Nanotehnologii , au realizat

experimental nanostructuri pe siliciu (siliciu poros) cu proprietăţi de biocompatibilitate , pentru
aplicaţii în domeniul biologiei .

În cadrul proiectului s-au obţinut:

a. straturi de siliciu nanoporos cu porozitate medie de 35-50%, biocompatibile, pe

substraturi de siliciu de tip p şi p+;

b. tehnologii de modificare a suprafeţei PS în scopul realizării biocompatibilitatii acestora:

tratament termic în oxigen uscat; depunere straturi de carbon; depunere monostrat de carbon;
tratament de metilare cu hexametildisilazan; depunere strat de carbură de siliciu amorfă din
hexametildisilazan;

c. o matrice test pe siliciu utilizată pentru cultivarea de celule vii. În funcţie de structura sa
(dimensiunea porilor şi a fibrilelor de siliciu), siliciul poros poate fi clasificat astfel:
 - siliciu microporos: pori > 50 nm;

- siliciu mezoporos: pori: 5-50 nm;

- siliciu nanoporos: pori: < 5 nm.

Bioreactivitatea siliciului poate varia cu porozitatea acestuia în felul următor:

- filmele de siliciu microporos de porozitate scăzută (P70 %) manifestă o dizolvare/corodare

substanţială în vitro şi în vivo, deci sunt biodegradabile;

- siliciul neporozificat nu prezintă depuneri de HPA după expunerea la soluţii SBF, deci nu
este bioactiv.

Centrul de Nanotehnologii Bucureşti a proiectat şi realizat experimental un sistem integrat

de microrezervoare pe siliciu pentru eliberarea controlată electrochimic a medicamentelor .

Obiective:

- proiectarea unor structuri cu numar variabil de microrezervoare, cu volum diferit, in functie

de aplicatii;

-structuri experimentale cu retele de microrezervoare - obtinute prin corodarea anizotropa

a siliciului;

-experimentari pentru eliberarea substantelor active din rezervoare prin control

electrochimic, capacul având rol de anod.

Sistem microfluidic integrat pentru analiză în vitro a fluidelor biologice cu aplicaţii în

diagnoză şi tratament medical . Scopul principal a fost realizarea unui microvâscozimetru integrat ce
poate înlocui dispozitivele convenţionale folosite în biochimia medicală, cu microsisteme
programabile ce dau informaţii rapide din cantităţi foarte mici de fluide . În cazul fluidelor
newtoniene tensiunea de tăiere este direct proporţională cu viteza de alunecare, coeficientul de
proporţionalitate fiind coeficientul de vâscozitate dinamică.