Microscopio electronico

Evelyn-1 Berrocal 1
1
Institute of Solid State Physics, University of Latvia, Kengaraga Str. 8, LV-1063 Riga, Latvia
2 INFN-Laboratori Nazionali di Frascati, Via Enrico Fermi 40, I-00044, Frascati-Rome, Italy,

RESUMEN

En este laboratorio se basó en el aprendizaje del encendido, funcionamiento, tratamiento de la muestra con el software
SmatSem del microscopio de barrido. Se inició con el cargado de dos muestras orgánicas colocadas en las posiciones 8 el chuño
y en el 9 la tunta, luego se procedió al ingreso del nitrógeno en la cámara de vacío para acelerar este último, después se digitaron
las condiciones necesarias para que el microscopio pueda trabajar en óptimas condiciones ergo nos percatamos que la muestra
de chuño se quemó esto es porque incidimos un haz de electrones al compuesto orgánico, por lo tanto solo pudimos observar a
la muestra de tunta.

Palabras Clave: electrones secundarios, vacío, condiciones, detectores.

ABSTRACT

In this laboratory, it was based on the learning of the ignition, operation, treatment of the sample with the software
SmatSem of the scanning microscope. It began with the loading of two organic samples placed in the 8 positions
chuño and the 9 tunta, then proceeded to the entry of nitrogen in the vacuum chamber to accelerate the latter,
then entered the conditions necessary for the microscope can work in optimal conditions ergo we realized that the
sample of chuño was burned this is because we incited a beam of electrons to the organic compound, therefore we
could only observe the tunta sample.

Keywords: secondary electrons, vacuum, conditions, detectors.

1 INTRODUCCION

Microscopio electrónico de barrido (MEB):

En el microscopio electrónico de barrido también es

necesario que los electrones impacten contra la
muestra. En este caso, los electrones no iluminan toda
la muestra simultáneamente sino que se hace un
escaneado recorriendo los distintos puntos de la
muestra.
Cuando los electrones impactan con la muestra estos
pierden parte de su energía debido a distintas
interacciones. Parte de su energía inicial se transforma
en calor o en emisiones de rayos X. Además, se produce Figura 1: microscopio electronico de barrido zeiss evo ma10
también la emisión de electrones que se desprenden de
la superficie de la muestra. Estos electrones se conocen
como electrones secundarios. SISTEMA DE VACÍO
El principio de funcionamiento de los microscopios Para la operación del SEM, cabeza del cañón de
electrónicos de barrido se basa en medir alguna de electrones, la columna y la cámara de muestra tienen
estas propiedades para extraer información de la que estar bajo. El vacío es esencial para la operación del
muestra observada. Generalmente, esto consiste en cañón y para prevenir que los electrones colisionen con
medir la cantidad de electrones secundarios que emite las moléculas del gas.
la superficie cuando es bombardeada con electrones.
 ALGUNAS ESPECIFICACIONES TECNICAS

Figura 2:sistema de vacio.

1. Cabeza de cañón
2. Medidor
3. Cámara
4. Turbo válvula de aislamiento
5. Válvula de cierre de la cámara
6. Válvula de ventilación
7. Bomba rotatoria
8. Turbo bomba

Vacío en el cañón:

Una bomba captadora de iones se usa para mantener el

área del cañón en alto vacío. El vacío en la cabeza del
cañón se llama 'Gun vaccum'. Debería estar muy debajo
de 5x10-7 mbar.
Figura 3: Especificaciones de técnicas.
El portamuestras se instala en la cámara baja de la
columna cuando está en el aire. La muestra se puede SOFTWARE DE CONTROL SmartSEM:
intercambiar después de seleccionar el comando Vent a
través de la interfaz de usuario SmartSEM.

Ventilación:
Al recibir el comando de Vent, el gas de ventilación fluye
hacia la cámara de muestra a través de la válvula de
ventilación. Tan pronto
como se obtiene el equilibrio de presión, la puerta de la
cámara se puede abrir para cambiar la muestra.
Bombeo al vacío:
Para continuar con la operación, el comando de Pump
bombea la cámara de muestra usando la prebomba
(rotativa) y turbo.
Tan pronto como el vacío en la cámara de muestras esté
listo para funcionar, aparecerá el mensaje ‘EHT Vac
ready’ en la interfaz de usuario de SmartSEM. El cañón
y EHT pueden encenderse.

Figura 4: Interfaz del software SmartSEM

PRENDIDO DEL SOFTWARE:
1. Levantar la tapa del botón amarillo STANDBY y
presionar (ubicada en la parte baja izquierda de
la mesa que soporta al microscopio).
2. Presionar el botón verde ON.

BREVE DESCRICPCION DE ALGUNAS FUNCIONES DEL

SOTFWARE:

 CARGANDO LA CAMARA DE MUESTRAS

1. Click en el icono ChamberScope en la barra

de herramientas.
3. Al hacer doble click en el icono SmartSEM, el
EM Server se abre y empiezan a cargar los
drivers. La función del EM Server es
implementar e inicializar la comunicación
interna entre el software y el hadware del
microscopio.
En una vista de TV se observa la cámara de muestra

4. Aparece un cuadro de dialogo donde se

solicita ingresar el USERNAME y el PASWORD.
2. Selccionar Tools/Goto Control Panel del
La interfaz del software es abierta.
menú
El panel SEM controls abre
3. Ir a la pestaña Vacuum.
4. Para ventilar la cámara de muestras, click
en Vent.
 Los mensajes de estado de vacío muestran los niveles
de vacío actuales alcanzados

 ENCENDIENDO EL CAÑON

1. En la pestaña Vacuum:
Verificar que indique EHT Vac
ready = Yes.

Un mensaje aparece preguntando ‘Are you sure you

want to vent?’
5. Confirmar haciendo click en Yes
La cámara de muestras es llena de
nitrógeno gaseoso.
6. Agarrar la manija de la puerta y abrir
lentamente.

1. En la barra de estados click en Gun

2. Seleccionar Gun On del menú
emergente.

El cañón está corriendo.

7. Colocar el portamuestras adecuadamente.

8. Cerrar muy cuidadosamente la puerta de la
cámara.
9. En el panel SEM Control, click en Pump.

 ENCENDIENDO LA ACELERACION DE VOLTAJE

1. Mirar los mensajes de estados de vacío en la

pestaña Vacuum del panel SEM Controls
Cuando el vacío requerido haya
sido alcanzado se verá un mensaje
diciendo ‘Vac status = Ready’
2. Ir a la pestaña Gun
3. Elegir la aceleración de voltaje.
a) Doble click en EHT= field.
b) Ingresar la aceleración de voltaje decidido en el
campo EHT Target y confirmar el voltaje escogido
haciendo click en OK
4. Encender el EHT

a) Click EHT en la barra de estados.

b) Seleccionar EHT On del menú emergente.

4. Seleccionar una baja magnificzción por

ejemplo Mag=500x
a) Click en el icono Magnification/Focus en la
barra de herramientas.

El EHT esta subiendo hasta el valor de voltaje b) Presionar el botón izquierdo del mouse y
ingresado arrastrar el mouse para ajustar la
magnificación de 500 x

La actual magnificación esta indicado en la barra de

estados.
El haz de electrones esta encendido

 GENERANDO UNA IMAGEN

1. Ir a la pestaña Detectors. 5. Escoger el foco

2. Seleccionar el detector que se desea usar de la a) Presionar el botón del medio del mouse y
lista desplegable de Detectors arrastrar el mouse para enfocar.
3. Ir a la pestaña Scanning.

Seleccionar una velocidad de escaneo rápida por

ejemplo Scan Speed =1 de la lista desplegable.

La actual distancia de trabajo (WD) esta indicado en la

barra de estados.
6. Ajustar el contraste y el brillo
a) Ir a la pestaña Detectors.
b) Use los deslizadores Brightness and Contrast.
  A mayor potencial de los detectores se atrae
más electrones pero también mas ruido.
 Alejar la muestra provoca un mayor ángulo de
visión.
 Para un mejor contraste todo el espectro tiene
que estar dentro del recuadro que sale en el
panel SEM Controls.

CONCLUSIONES
 El

BIBLIOGRAFIA
 https://www.zeiss.com/microscopy/int/produc
ts/scanning-electron-microscopes/evo.html
OBSERVACIONES
 A mayor corriente mayor ‘spot size’ o tamaño  Zeiss-SmartSEM-software-manual.
del rayo.
 Se tiene que buscar la máxima intensidad de
brillo.
 A mayor resolución mayor es el tiempo de
obtención de la imagen.

 A mayor potencial de los detectores se atrae más electrones pero también mas ruido.
 Alejar la muestra provoca un mayor ángulo de visión.
 Para un mejor contraste todo el espectro tiene que estar dentro del recuadro que sale en el panel SEM
Controls.

CONCLUSIONES
 El

BIBLIOGRAFIA
 https://www.zeiss.com/microscopy/int/products/scanning-electron-microscopes/evo.html

 Zeiss-SmartSEM-software-manual.