Kraftsik Lavinia TCM IFR An III

Tehnica de depunere de straturi de acoperire prin procedeele PVD

Tehnici de depunere PVD

Tehnicile PVD pentru fotovoltaice sunt tehnici fizice de depunere. Straturile

nanostructurate, prin aceste tehnologii de depunere, permit aplicaţii de transformare a energiei

termice în energie electrică. Deoarece celulele fotovoltaice se depun în straturi foarte subţiri,

în continuare acestei lucrări se va face referire la tehnicile de depunere a filmelor subţiri.

Procesul de depunere include depunere uscată şi umedă. Depunerea chimică de vapori şi

depunerea fizică de vapori sunt depuneri uscate. În procesul de depunere, atomii depuşi sunt

legaţi numai prin legături moleculare datorate forţelor van der Waals.

Depunerea fizică din vapori - Physical Vapour Deposition (PVD) este metoda prin care

straturile subţiri (de 1 - 10 µm) se obţin prin condensarea pe suprafaţa substratului a unor specii

atomice sau moleculare aflate în fază de vapori. Procesele PVD pot fi împărţite după metodele

de formare a vaporilor primari în: procese de vaporizare (termice) şi procese de pulverizare

(cinetice).

In timpul depunerii PVD materialul care urmează să fie depus este vaporizat sau

pulverizat, se amestecă cu un gaz şi apoi se condensează din starea de vapori sub forma unui

strat (film) subţire pe piese.

PVD este un proces de depunere a unui strat subţire, în fază de gaz, în care sursa materialului

este transformată prin mijloace fizice în vid, dintr-un substrat fără nici o reacţie chimică

implicată.

În timpul depunerii PVD, materialul care urmează să fie depus este vaporizat sau pulverizat,

se amestecă cu un gaz şi apoi se condensează din starea de vapori sub forma unui film subţire

pe piesa. Straturile se obţin prin condensarea pe suprafaţa substratului a unor specii atomice

sau moleculare, aflate în fază de vapori. Procesele PVD se pot împărţi după metodele de

formare a vaporilor primari în: procese de vaporizare termice şi procese de pulverizare

cinetice. Materialul de depunere sau cel puţin componenta de bază a acestuia se află iniţial în

stare solidă sau lichidă. Trecerea atomilor sursă de vapori se face prin mecanisme fizice, adică

prin pulverizare, prin bombardare cu particule sau evaporare. Pentru ca depunerea să se

producă pe substrat, cu pierderi de material cât mai mici, este necesar ca între pereţi si

1(4)

substrat să existe diferenţe de temperatură, adică substratul să fie mai rece iar pereţii să fie la

temperaturra sistemului.

Tehnica PVD se foloseşte cu rezultate deosebite pentru straturi metalice cu morfologie

controlată. Depunerea PVD presupune parcurgerea urmtoarelor etape:

- Se pleacă de la un precursor, care este adus în stare de vapori, pe un sistem mai rece.

- Vaporii sunt transportaţi într-o regine de presiune joasă ,de pe sursă pe substrat.

- Vaporii sunt condensaţi pe substrat pentru a forma filmul subţire

Unele dintre avantajele şi dezavantajele acestei tehnici de depunere:

Un avantaj important este acela că pot fi obţinute straturi complexe de tipul

multicomponent şi multistrat cu proprietăţi deosebite de natură mecanică, electronică, optică,

termică etc. In ceea ce priveşte formarea straturilor subţiri prin evaporare termică, Frenkel

dezvoltă o teorie prin care viteza de desorbţie w _d se calculează cu relaţia următoare :

(1.1)

unde: E _d este energia de desorbţie iar C este o constantă de material (al suportului). Pentru

fiecare pereche de tipul substanţă acoperitoare - material de bază, există o temperatură critică

deasupra căreia nu mai are loc condensarea deoarece toţi atomii sunt reflectaţi de suprafaţa prea

caldă.

Cele mai utilizate tehnici de depunere PVD sunt :

- depunerea prin pulverizare magnetică (catodică);

- evaporarea termică;

- placarea ionică.

Metoda PVD presupune totalitatea proceselor prin care un material (solid, lichid sau

gaz) se depune pe o suprafaţă solidă. Aceasta presupune o serie de reacţii chimice dintre substrat

şi materialul de acoperire. Unul din aspectele importante pentru tehnica PVD este ca substratul

poate fi încălzit la temperaturi scăzute (50– 500 ^o C).

2(4)

Fig. 1.1. Principiul metodei PVD

În figura 1.1. se prezintă schematizat principiul metodei PVD. Materialul care urmează

a se depune (sursa) se amplasează într-o cameră vidată, unde este evaporată printr-o încălzire

intensă utilizând un filament (de tungsten, de exemplu). O alternativă pentru a evapora sursa este tehnica bombardării cu ioni. Depunerea pe suprafaţa solidă presupune formarea de straturi atomice de material.

În funcţie de modalitatea de obţinere a acoperirilor pentru depunerea filmului de TiN există două categorii de metode: chimice (Chemical Vapor Deposition – CVD) şi fizice (Physical Vapor Deposition– PVD) .

Diversele variante ale acestor metode sunt prezentate în figura 1.2. În comparație cu procedeele CVD, procedeele PVD permit obținerea de straturi la temperaturi mai scăzute, într-

o	varietate microstructurală şi compozițională mult mai mare. În plus procedeele PVD mai au
o	calitate ce nu trebuie neglijată şi anume nu poluează mediul.

3(4)

Fig. 1.2. Clasificarea principalelor procedee de obținere a straturilor din fază de vapori

Avantaje

Rata ridicată de depunere a filmului Suprafaţa substratului este mai putin afectată de atomii ce influenţeaza formarea filmului Puritatea excelentă a filmului datorită condiţiilor de vid ridicat

Dezavantaje

Dificultăţi de control a compoziţiei filmului Absenţa capacităţi de a realize curătire insitu pe suprafaţa substratului Pasul de acoperire este dificil de corectat

Un sistem de depunere prin PVD este prezentat în fig urmatoare:

4(4)