Técnicas de Vacío: Vacío Inducido en una

Campana de Acero por un Sistema Compuesto

de una Bomba Mecánica de Vacío y una Bomba
de Difusión Conectadas en Serie.
Tania Georgina Velarca García (Mex)
Laboratorio de Física Contemporánea ll, profesor Fís. César Augusto Santamaría
Vergara, ayudante de cátedra Noé Francisco Ponce Campos.
Facultad de Ciencias, UNAM

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RESUMEN
Antecedentes: El vacío se refiere a un espacio lleno con gases a una presión menor a la atmosférica. La inducción de vacío
mediante ciertas técnicas, tiene aplicaciones en el empaquetado de alimentos, en sistemas de soldadura por haz de electrones,
en la industría de semiconductores, entre otras. Objetivo: Inducir un vacío en una campana de acero inoxidable utilizando un
sistema de vacío. Método: el sistema de vacío utilizado está compuesto por una bomba mecánica de vacío y una bomba de
difusión conectadas en serie. Resultados: para una bomba mecánica que trabaja sola, es posible inducir suficiente vacío para
obtener una presión de 0.024Torrs, que es la presión mínima alcanzable. Pero conectando en serie a la bomba mecánica con la
difusora es posible alcanzar una presión tan baja como de 0.000018 Torrs. Conclusiones: para obtener presiones muy bajas (ó
un alto vacío), siempre es indispensable un sistema de dos bombas y ese es el mecánico-difusor.

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El vacío se refiere a un espacio lleno con gases a una técnicas, utilizan las llamadas bombas de vacío para
evacuar gas hacia el exterior de una porción cerrada del
presión menor a la atmosférica
espacio. Las bombas de vacío pueden ser de dos tipos:
(𝑃𝑎𝑡𝑚 = 760𝑇𝑜𝑟𝑟 𝑑𝑜𝑛𝑑𝑒 1𝑇𝑜𝑟𝑟 = 1𝑚𝑚𝐻𝑔).
-BOMBA MECÀNICA: consiste en un cilindro (rotor), que
Podemos clasificar los diferentes grados de vacío (que es la
gira dentro de una cavidad también cilìndrica pero de mayor
condición donde la densidad de las partículas es baja) de
tamaño (estator).
acuerdo al valor de la presión del gas. A menor presión,
mayor es el grado de vacío:

Tipo de Vacío Presión (Torrs)

Bajo 1-760
Medio 0.001-1
Alto 0.000001-0.001
Muy Alto 10−9 − 10−6
Ultra Alto 𝑃 ≤ 10−9
Tabla 1: Tipos de Vacío
Figura 1: Diagrama de la bomba mecánica
Para poder inducir un vacío (y por tanto, reducir la presión)
en un espacio cerrado, tiene que evacuarse el gas que se Conforme gira el rotor , arrastra todo el gas contenido entre
encuentra dentro de éste espacio. Por lo que, es cuando el rotor y el estator desde el punto de admisión hasta la
recurrimos a las llamadas TECNICAS DE VACÍO. Dichas compuerta de salida, que comunica con una cámara llena
de aceite y que de allí sale todo el gas expulsado al exterior.
Este mismo aceite, baja por gravedad hacia el cilindro del
estator por unos pequeños conductos para lubricar, enfriar
y, para sellar las diversas partes del rotor contra las paredes
del estator, evitando así el desgaste de ambos, pues están
muy pegados entre sí. Dentro del rotor hay dos vainas
dispuestas diametralmente que por medio de un resorte
ajustan contra las paredes del estator. En cada giro del
rotor, el cual está montado concentricamente con el eje del
motor, las vainas barren todo el volumen entre los dos
cilindros, forzando el gas contenido allí desde el punto de
admisión al punto de salida. No debemos de apagar la
bomba sin antes haber dejado entrar algo de aire al sistema
que se encuentra ahora a menor presión.

Figura 3: Bomba difusora y su funcionamiento. Las

Figura 2: Diagrama del funcionamiento de la bomba
mecánica. El rotor excéntrico accionado por el motor,
tiene paletas móviles que sellan con una película de
aceite de baja presión de vapor. El gas tomado desde la
cámara (1) es comprimido y expulsado al ambiente (3).
Ninguna ellas es capaz de bajar a presiones menores que
10−2Torr, por lo que se puede recurrir a poner dos etapas
(como la descrita) pero conectadas en serie, de tal manera
que la diferencia de presión entre los accesos de la primera
bomba sean reducidos por la segunda, pudiendo así el par
alcanzar presiones menores a 10−3Torr.
toberas 1, 2 y 3 son refrigeradas (agua, aire) para que
condense el aceite (4) que se evapora por acción del
calentador eléctrico (5). El gas empujado por el aceite es
evacuado por 6 con la bomba mecánica. El aceite de
difusora (de muy baja presión de vapor) no puede
calentarse en presencia de oxígeno pues se degrada La
cámara a evacuar está conectada “arriba” de la
difusora.
Cuando ya se conectan mínimo dos bombas en serie, ya
podemos decir que tenemos un sistema de vacío. Tenemos
que las partes generales de un sistema de vacío son:

-BOMBA DE DIFUSIÓN: es la que bombea por medio de

una corriente de vapor. No tienen partes móviles pero el
bombeo se lleva a cabo por la corriente de alta velocidad y
alta densidad de vapor, que está dirigido alejándose del
punto de entrada hacia el punto de salida. Las moléculas de
gas son dirigidas hacia afuera por choques con las
moléculas de vapor y por tanto, son sacadas del sistema. La
bomba de difusión trabaja eficientemente cuando la presiòn Figura 4: Sistema de vacío con bomba mecánica y
difusora. Donde 1 es el soporte, 2 es caja de control
de entrada no excede de 2X10−2 y la de salida no excede
eléctrica, 3 es llave de control, 4 son las luces
de 5X10−1Torr. Por tanto la bomba de difusion no opera de
indicadoras, 5 es la bomba difusora, 6 es una válvula, 7
manera independiente, sino que se necesita otra bomba
es la válvula de aislamiento de alto vacío, 8 es la válvula
para reducir la presión anterior del recipiente hasta que sea
de entrada de aire, 9 es la bomba mecánica y 10 es la
menor que la máxima presión de entrada antes de que
descarga de ésta última bomba mencionada.
empieze a trabajar. Además se necesita que esa bomba
mantenga la presión posterior de salida menor que el
máximo tolerable y esa es la BOMBA MECÁNICA.
MÉTODO
En el presente trabajo, se utilizó el sistema de vacío
compuesto por una campana de acero inoxidable la cual
esta unida (conectada) a una bomba mecánica (marca
Leybold de tipo TRIVAC, de dos etapas y es capaz de
alcanzar presiones del orden de 10−3 Torr) y a una bomba
de difusión (marca Leybold de tipo Oil-Diffusion y es capaz
de alcanzar una presión de 10−6 Torr ); ambas bombas
están unidas en serie. Junto con éste sistema se utilizó un
sensor (marca CENTER ONE modelo RS32) que es capaz
de medir la presión en el interior de la campana. Por último,
se utlizó una cámara de un teléfono celular (marca Bmobile),
el cual es capaz de grabar video de todos los datos que
marca el sensor.
Figura 5: Sistema de vacío utilizado para la realización
del presente trabajo.
Para la realización del experimento se procedió de la
siguiente manera:
- Se limpió el interior de la campana utilizando gasas y
acetona. Esto, para evitar tener residuos que pudiesen
impedir la inducción de un vacío adecuado y para poder
sellar la boca de la campana que está en contacto con la
mesa (esto fue realizado con grasa de silicón, la cual es
tóxica, por lo que se utilizarón guantes y bata); evitando así
el paso de aire.
- Se abrió totalmente la llave de paso (que conecta a
la campana con la bomba difusora).
- Se cerraron las válvulas de paso.
- Se coloca a la palanca de paso vía 2, dejando al
sistema en modo mecánico-difusora.
- Al mismo tiempo se enciende la bomba mecánica, y
el sensor y se comienza a filmar con el celular.
- Rápidamente se procede a hacer presión hacia abajo
en la campana con las manos para no permitir la
entrada de aire a esta y dejamos de hacerlo cuando la
presión marcada en el sensor sea menor que la que
había inicialmente.
- Esperamos a que el sensor marque una presión de
10−3Torr ó en su defecto, esperamos el suficiente
tiempo para observar que la presión se mantenga
constante y que ya no pueda bajar más; es entonces
cuando también encendemos la bomba de difusión. Y
rápidamente abrimos el agua de la llave de paso de
agua para que no haya un sobrecalentamiento de
dicha bomba.
- Esperamos hasta llegar a una presión de 10−6 Torr ó
en su defecto esperamos hasta que la presión se
mantenga constante; entonces es cuando apagamos
la bomba difusora.
- Al cabo de 20 minutos, apagamos la bomba
mecánica.
- Se abren las válvulas de paso para llevar al sistema a
las condiciones que tenía antes de realizarse el
experimento.
- Se espera un lapso de 30 minutos.
- Exceptuando el proceso de la limpieza de la
campana, volvemos a repetir todo el experimento.
- La llave de paso de agua se cierra después de
finalizado todo ésto y de que la bomba difusora se
encuentre completamente fría.
RESULTADOS Y DISCUSIÓN
Los datos descritos a continuación se encuentran en las
tablas de los ANEXOS.
En la primera repetición del experimento, la presión inicial,
justo al encender la bomba mecánica fue de 740 Torr (Tabla
1). Después de haber encendido dicha bomba, la presión
decreció hasta 41 Torr en tan solo 100s (t=1.66min.).
A continuación se muestra la gráfica obtenida desde el inicio
del experimento, cuando se comienza a trabajar con la
bomba mecánica hasta el momento justo antes de accionar
la bomba difusora.
800
700 P(Torr) vs. T(s) Bomba
600
Mecánica
Presión (Torrs)
500
400
300
200
100
0 esto a una rapidez de
0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500
Tiempo (segundos)
Gráfica 1: gráfica de los datos de la Tabla 1 para primera
repetición del experimento para la parte de bomba
mecánica.
Podemos pensar que en los primeros 100s, la gráfica se
aproxima a una recta, por lo que la rapidez de la bomba
mecánica a la que se induce vacío durante este tiempo es
de 𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐𝑐𝑖ó𝑛 𝑣𝑎𝑐í𝑜 0−100𝑠 = −6.9900𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Desde los 100s hasta llegar a los 3600s, precisamente
antes de encender la bomba difusora (es decir, que en un
intervalo de 58.33 min.), la presión bajo desde los 41 Torr,
hasta los 0.0265 Torr; por lo que si seguimos con la
aproximación de una recta, entonces la rapidez con la que
se creó vacío durante ese intervalo de tiempo fue de
𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐𝑐𝑖ó𝑛 𝑣𝑎𝑐í𝑜 100−3600𝑠 = −0.0117𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Cabe destacar, que la presión mínima alcanzada con sólo la
bomba mecánica, fue en el segundo 3600 y de 0.026Torr.
A partir de los 3600s (t=1hr), se enciende la bomba difusora,
de manera que trabaja junto con la bomba mecánica hasta
finalizar la primera repetición del experimento. Se obtiene la
gráfica 2. En el segundo 4200s (t=1hr y 10 minutos), el
sistema de vacío hizo que la presión en la campana
aumentara a 0.064Torr con una rapidez de
𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 3600−4200𝑠 = +0.000063𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Este comportamiento del aumento de presión, se debe a
que el aceite contenido en la bomba de difusión se calentó
tanto que se gasificó, lo que provocó un aumento en la
presión de todo el sistema por tanto, en la campana.
Luego a partir del segundo 4200 se llegó al segundo 4440, y
(en 3.3min.) hubo una caída de presión hasta los 0.037Torr,
por lo que se observa que se vuelve a inducir vacío a una
rapidez de
𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢 𝑣𝑎𝑐í𝑜 4200−4440𝑠 = −0.000063𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Aquí tenemos que la bomba ya va funcionando con
normalidad, el aceite se caliente y se condensa, ya casi hay
un un equilibrio.
Luego vemos que se sigue induciendo vacío pero a una
rapidez menor, pues del segundo 4400 hasta el 4620 (en
3.6min. de intervalo), la presión desciende hasta los 0.034
Torr. Entonces
𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 4440−4620𝑠 = −0.000014𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Luego de 4620 a 4725s hay una caída muy rápida de
presión (en 1.75min.), se llega hasta los 0.000578Torr, todo
𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 4620−4725𝑠 = −0.000318𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Dentro del intervalo de tiempo desde el segundo 4725 hasta
el segundo 5520 (que es cuando apagamos la bomba de
difusión porque ya no se observan variaciones importantes
en la presión), obtenemos el mínimo en la presión para el
sistema mecánico difusor (0.0000197Torr), particularmente
en el segundo 4795 (t=1hr y 20 min.). Esto a una rapidez de
𝑅𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 4725−4795𝑠 = −0.000001𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠
0,07
0,06
0,05
Presión (Torrs)
0,04
0,03
0,02
0,01
0
3700 4200 4700 5200
-0,01
Tiempo (segundos)
Gráfica 2: gráfica de los datos de la Tabla 2 para primera
repetición del experimento para la parte de bomba de
difusión junto con bomba mecánica.

En la segunda repetición del experimento, la presión inicial,
justo al encender la bomba mecánica fue de 730 Torr (Tabla
3). Después de haber encendido dicha bomba, la presión
decreció hasta 40,8 Torr en tan solo 95s (t=1.58min.).
A continuación se muestra la gráfica obtenida desde el inicio
de la segunda repetición del experimento, cuando se
comienza a trabajar con la bomba mecánica hasta el
momento justo antes de accionar la bomba difusora.
800
P(Torr) vs. T(s) Bomba Mecánica
700 (2da Repetición)
600
Presión (Torrs)
500
400
300
200
100
0 P(Torr) vs. T(s) Bomba Difusora
0 1000 2000 3000 4000
Tiempo (s)
Gráfica 3: gráfica de los datos de la Tabla 3 para la
segunda repetición del experimento para la parte de
bomba mecánica.
Entonces, la rapidez de inducción de vacío en el intervalo de
0 a 95s es de
𝑟𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 0−95𝑠 = −7.2547𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠
Desde los 95s hasta llegar a los 2880s, precisamente antes
de encender la bomba difusora (en un intervalo de 46.42
min.), la presión bajo desde los 40,8 Torr, hasta los 0.02200
Torr; entonces la rapidez de inducción de vacío durante ese
intervalo de tiempo fue de 𝑟𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 95−2880𝑠 =
−0.0146𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠.
Desde el segundo 2880s hasta el segundo 2640, se alcanzó
el mínimo en la presión para la bomba mecánica que fue de
0.022Torr. A partir de los 2880s, se enciende la bomba
difusora.
En la gráfica 4, se observa, que para la bomba de difusión, a
partir de los 2800s hasta el segundo 3120, la presión
desciende muy lentamente hasta los 0.0215Torr.
Prácticamente la presión se mantiene constante.
𝑟𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 2800−3120𝑠 = −0.000002𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠
A partir de los 3120s comienza a haber un aumento de la
presión, hasta llegar al segundo 3840 con una presión de
0.0285Torr. Por lo que la presión (siempre dentro de la
campana) en ese intervalo aumentó con
𝑟𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 3120−3840𝑠 = +0.000015𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠
Luego, empieza a haber un descenso de la presión muy
rápido desde los 3840s hasta los 3975s, se llega a una
presión de 0.0185Torr, con una rapidez de:
𝑟𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 3840−3975𝑠 = −0.000074𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠
Después, hay una caída de presión mucho más rápida, de
una presión de 0.0185Torr a una de 0.000103 en solo 20s.
𝑟𝑑𝑧 𝑖𝑛𝑑𝑢𝑐 𝑣𝑎𝑐í𝑜 3975−3995𝑠 = −0.000920𝑇𝑜𝑟𝑟/𝑠
Ya a partir de los 3995s hasta el segundo 4320, las
presiones obtenidas varían en un margen muy pequeño;
dentro de este intervalo de tiempo, llegamos a la presión
mínima alcanzable por el sistema mecánico difusor, en el
segundo 4045 con una presión 0.000018Torrs.
0,035
0,03 (2da Repetición)
0,025
0,02
Presión (Torrs)
0,015
0,01
0,005
0
2999 3499 3999
-0,005
Tiempo (segundos)
Gráfica 4: gráfica de los datos de la Tabla 4 para la
segunda repetición del experimento para la parte de
bomba de difusión junto con bomba mecánica.
Observamos que en la segunda repetición, la caída de
presión fue más rápida que en la primera repetición.
CONCLUSIONES
Para la bomba mecánica, la rapidez de inducción de vacío
(-0.013Torrs/s) es más alta en los primeros 1.63 minutos,
llegando al final de éste tiempo a una presión en la campana
de 40.400 Torrs en promedio (cuando la inicial era de
735Torr en promedio). Después de éste tiempo la presión
dentro de la campana tiende a seguir bajando (a una
rapidez promedio de -0.01315Torrs/s) y a estabilizarse a
una presión promedio de 0.024 Torrs (este es el mínimo de
presión alcanzable por la bomba mecánica) en 53.33
minutos después de haber iniciado el experimento.

Para el sistema de vacío mecánico difusor, tenemos que si

la bomba difusora ya está caliente de manera previa, por
ejemplo cuando la apagamos y la volvemos a prender para
realizar otra repetición del experimento, se observa que los
procesos de cuando aumenta la presión, y luego lo de las
caídas de presión necesitan menor tiempo a comparación
de cuando el experimento se realiza con la bomba de
difusión fría y apenas se prende. El mínimo de presión
alcanzable con este sistema es de 0.000018Torrs y esto se
logra en tan solo 25.33 minutos, por lo que es más rápido y
efectivo trabajar con ambas bombas que con tan solo la
bomba mecánica.

BIBLIOGRAFÍA
1 Manual del Laboratorio de Física Contemporánea II de la
Facultad de Ciencias, UNAM (La parte de Técnicas de
Vacío).

2 Fundamentals of Vacuum Technology.

Dr. Walter Umrath

3 Introducción al vacío

http://users.df.uba.ar/vbekeris/Vacio.pdf

4Catalogo de Bombas Leybold

https://www.leybold.com/epaper/en/

5 Manual Center One Single-Channel Vacuum Gauge

Controller:

https://www.artisantg.com/info/leybold_centerone_manual.p
df
ANEXOS 185 1,9 ± 0,00038
190 1,6 ± 0,00032
195 1,4 ± 0,00028
Tablas del experimento 200 1,1 ± 0,00022
205 0,98 ± 0,000196
210 0,87 ± 0,000174
Tabla 1: Tabla de datos de la gráfica 1, 215 0,755 ± 0,000151
220 0,645 ± 0,000129
de la primera repetición del experimento
225 0,56 ± 0,000112
para la parte de bomba mecánica. 230 0,495 ± 0,000099
235 0,395 ± 0,000079
T (s) P(Torr) 240 0,37 ± 0,000074
0 740 ± 0,148 245 0,33 ± 0,000066
5 745 ± 0,149 250 0,29 ± 0,000058
10 710 ± 0,142 255 0,26 ± 0,000052
15 655 ± 0,131 260 0,23 ± 0,000046
20 575 ± 0,115 265 0,215 ± 0,000043
25 470 ± 0,094 270 0,2 ± 0,00004
30 400 ± 0,08 275 0,18 ± 0,000036
35 355 ± 0,071 280 0,175 ± 0,000035
40 290 ± 0,058 285 0,16 ± 0,000032
45 250 ± 0,05 290 0,15 ± 0,00003
50 220 ± 0,044 295 0,14 ± 0,000028
55 190 ± 0,038 300 0,135 ± 0,000027
60 160 ± 0,032 330 0,105 ± 0,000021
65 135 ± 0,027 360 0,0905 ± 1,81E-05
70 110 ± 0,022 390 0,0815 ± 1,63E-05
75 96,5 ± 0,0193 420 0,076 ± 1,52E-05
80 80,5 ± 0,0161 450 0,071 ± 1,42E-05
85 70 ± 0,014 480 0,067 ± 1,34E-05
90 60 ± 0,012 510 0,0635 ± 1,27E-05
95 48,5 ± 0,0097 540 0,061 ± 1,22E-05
100 41 ± 0,0082 570 0,059 ± 1,18E-05
105 34 ± 0,0068 600 0,057 ± 1,14E-05
110 28 ± 0,0056 630 0,056 ± 1,12E-05
115 24 ± 0,0048 660 0,0535 ± 1,07E-05
120 14,5 ± 0,0029 690 0,052 ± 1,04E-05
125 16 ± 0,0032 720 0,051 ± 1,02E-05
130 13,5 ± 0,0027 750 0,05 ± 0,00001
135 11 ± 0,0022 780 0,049 ± 9,8E-06
140 9,7 ± 0,00194 810 0,048 ± 9,6E-06
145 7,9 ± 0,00158 840 0,047 ± 9,4E-06
150 6,7 ± 0,00134 870 0,0455 ± 9,1E-06
155 5,5 ± 0,0011 900 0,0445 ± 8,9E-06
160 4,6 ± 0,00092 930 0,043 ± 8,6E-06
165 3,9 ± 0,00078 960 0,043 ± 8,6E-06
170 3,3 ± 0,00066 1080 0,04 ± 0,000008
175 2,75 ± 0,00055 1200 0,037 ± 7,4E-06
180 23 ± 0,0046 1320 0,035 ± 0,000007
1440 0,035 ± 0,000007
1560 0,034 ± 6,8E-06
1680 0,033 ± 6,6E-06
1800 0,032 ± 6,4E-06
1920 0,031 ± 6,2E-06
2040 0,0305 ± 6,1E-06
2160 0,03 ± 0,000006
2280 0,029 ± 5,8E-06
2400 0,029 ± 5,8E-06
2520 0,0285 ± 5,7E-06
2640 0,028 ± 5,6E-06
2760 0,028 ± 5,6E-06
2880 0,0285 ± 5,7E-06
3000 0,028 ± 5,6E-06
3120 0,027 ± 5,4E-06
3240 0,027 ± 5,4E-06
3360 0,027 ± 5,4E-06
3480 0,027 ± 5,4E-06
3600 0,0265 ± 5,3E-06
Tabla 2: Tabla de datos para la gráfica 2 4860 8,09E-05 ± 1,618E-08
para la primera repetición del experimento 4920 8,69E-05 ± 1,738E-08
4980 0,00009 ± 1,8E-08
para la parte de bomba difusora junto con 5040 0,000086 ± 1,72E-08
bomba mecánica. 5100 8,07E-05 ± 1,614E-08
5160 5,54E-05 ± 1,108E-08
T (s) P(Torr) 5220 7,14E-05 ± 1,428E-08
3720 0,0265 ± 0,0000053 5280 5,61E-05 ± 1,122E-08
3840 0,027 ± 0,0000054 5340 0,000056 ± 1,12E-08
3960 0,035 ± 0,000007 5400 0,000047 ± 9,4E-09
4080 0,061 ± 0,0000122 5460 0,000055 ± 1,1E-8
4200 0,064 ± 0,0000128 5520 0,000048 ± 9,6E-09
4260 0,055 ± 0,000011 .
4320 0,047 ± 0,0000094
4380 0,042 ± 0,0000084
4440 0,037 ± 0,0000074
4500 0,036 ± 0,0000072
4560 0,035 ± 0,000007
4620 0,034 ± 0,0000068
4680 0,026 ± 0,0000052
4685 0,026 ± 0,0000052
4690 0,025 ± 0,000005
4695 0,0245 ± 0,0000049
4700 0,0235 ± 0,0000047
4705 0,022 ± 0,0000044
4710 0,02 ± 0,000004
4715 0,018 ± 0,0000036
4720 0,018 ± 0,0000036
4725 0,000578 ± 1,156E-07
4730 0,00015 ± 3E-08
4735 0,00014 ± 2,8E-08
4740 0,000986 ± 1,972E-07
4745 8,19E-05 ± 1,638E-08
4750 4,45E-05 ± 8,9E-09
4755 0,00004 ± 8E-09
4760 0,00003 ± 6E-09
4765 0,000022 ± 4,4E-09
4770 2,08E-05 ± 4,16E-09
4775 0,000019 ± 3,8E-09
4780 1,72E-05 ± 3,44E-09
4785 0,000015 ± 3E-09
4790 1,78E-05 ± 3,56E-09
4795 1,97E-05 ± 3,94E-09
4800 2,13E-05 ± 4,26E-09
4805 3,25E-05 ± 6,5E-09
4830 3,82E-05 ± 7,64E-09
4835 6,04E-05 ± 1,208E-08
4840 7,17E-05 ± 1,434E-08
4850 7,97E-05 ± 1,594E-08
Tabla 3: Datos de la gráfica 3, de 220 0,575 ± 1E-04
la segunda repetición del experimento 225 0,49 ± 1E-04
230 0,435 ± 9E-05
para la parte de bomba mecánica. 235 0,38 ± 8E-05
240 0,33 ± 7E-05
T (s) P(Torr)
245 0,295 ± 6E-05
0 730 ± 0,146
250 0,265 ± 5E-05
5 690 ± 0,138
255 0,235 ± 5E-05
10 645 ± 0,129
260 0,215 ± 4E-05
15 575 ± 0,115
265 0,2 ± 4E-05
20 470 ± 0,094
270 0,185 ± 4E-05
25 405 ± 0,081
275 0,17 ± 3E-05
30 365 ± 0,073
280 0,155 ± 3E-05
35 305 ± 0,061
285 0,14 ± 3E-05
40 255 ± 0,051
290 0,135 ± 3E-05
45 225 ± 0,045
295 0,125 ± 3E-05
50 190 ± 0,038
300 0,12 ± 2E-05
55 165 ± 0,033
330 0,092 ± 2E-05
60 135 ± 0,027
360 0,078 ± 2E-05
65 115 ± 0,023
390 0,07 ± 1E-05
70 97 ± 0,019
420 0,064 ± 1E-05
75 81 ± 0,016
450 0,06 ± 1E-05
80 69,5 ± 0,014
480 0,057 ± 1E-05
85 58,5 ± 0,012
510 0,055 ± 1E-05
90 48 ± 0,01
540 0,053 ± 1E-05
95 40,8 ± 0,008
570 0,052 ± 1E-05
100 34 ± 0,007
600 0,05 ± 1E-05
105 27,5 ± 0,006
630 0,048 ± 1E-05
110 23,5 ± 0.0047
660 0,047 ± 9E-06
115 19 ± 0,004
690 0,045 ± 9E-06
120 16 ± 0,003
720 0,044 ± 9E-06
125 13,5 ± 0,003
750 0,043 ± 9E-06
130 11 ± 0,002
780 0,041 ± 8E-06
135 9,4 ± 0,002
810 0,04 ± 8E-06
140 7,75 ± 0,002
840 0,04 ± 8E-06
145 6,88 ± 0,001
870 0,038 ± 8E-06
150 5,68 ± 0,001
900 0,038 ± 8E-06
155 4,65 ± 9E-04
930 0,037 ± 7E-06
160 3,95 ± 8E-04
960 0,037 ± 7E-06
165 3,25 ± 7E-04
1080 0,033 ± 7E-06
170 2,8 ± 6E-04
1200 0,031 ± 6E-06
175 2,35 ± 5E-04
1320 0,03 ± 6E-06
180 2 ± 4E-04
1440 0,029 ± 6E-06
185 1,65 ± 3E-04
1560 0,027 ± 5E-06
190 1,4 ± 3E-04
1680 0,027 ± 5E-06
195 1,2 ± 2E-04
1800 0,026 ± 5E-06
200 1 ± 2E-04
1920 0,025 ± 5E-06
205 0,895 ± 2E-04
2040 0,024 ± 5E-06
210 0,775 ± 2E-04
2160 0,024 ± 5E-06
215 0,669 ± 1E-04
2280 0,023 ± 5E-06
2400 0,023 ± 5E-06
2520 0,023 ± 5E-06
2640 0,022 ± 4E-06
2760 0,022 ± 4E-06
2880 0,022 ± 4E-06
Tabla 4: Datos de la gráfica 4,

de la segunda repetición del

experimento para la parte de

bomba de difusión junto con

bomba mecánica .

T (s) P(Torr)
3000 0,0215 ± 4,3E-06
3120 0,0215 ± 4,3E-06
3240 0,022 ± 4,4E-06
3360 0,0235 ± 4,7E-06
3480 0,025 ± 0,000005
3600 0,026 ± 5,2E-06
3720 0,028 ± 5,6E-06
3840 0,0285 ± 5,7E-06
3960 0,0205 ± 4,1E-06
3965 0,0205 ± 4,1E-06
3970 0,0195 ± 3,9E-06
3975 0,0185 ± 3,7E-06
3980 0,0195 ± 3,9E-06
3985 0,0185 ± 3,7E-06
3990 0,0165 ± 3,3E-06
3995 0,000103 ± 2,06E-08
4000 9,27E-05 ± 1,85E-08
4005 8,86E-05 ± 1,77E-08
4010 8,02E-05 ± 1,6E-08
4015 6,84E-05 ± 1,37E-08
4020 5,35E-05 ± 1,07E-08
4025 3,81E-05 ± 7,62E-09
4030 3,15E-05 ± 6,3E-09
4035 2,28E-05 ± 4,56E-09
4040 1,95E-05 ± 3,9E-09
4045 1,84E-05 ± 3,68E-09
4050 1,86E-05 ± 3,72E-09
4055 1,89E-05 ± 3,78E-09
4060 1,89E-05 ± 3,78E-09
4065 2,02E-05 ± 4,04E-09
4070 2,24E-05 ± 4,48E-09
4075 2,17E-05 ± 4,34E-09
4080 2,08E-05 ± 4,16E-09
4140 2,39E-05 ± 4,78E-09
4200 2,52E-05 ± 5,04E-09
4260 2,55E-05 ± 5,1E-09
4320 2,53E-05 ± 5,06E-09